JP2013134817A - 質量分析装置及び質量分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第一の電極と、第二の電極と、試料の導入部及び排出部を有し前記第一の電極と前記第二の電極との間に設けられている誘電体部と、からなるイオン源と、前記第一の電極と前記第二の電極の何れか一方に対して交流電圧を印可し、前記第一の電極と前記第二の電極との間で発生する放電により前記試料をイオン化する電源と、前記排出部から排出されたイオンを分析する質量分析部と、前記放電が発生する領域に対し光を照射する光照射部と、を備えることを特徴とする質量分析装置。
【選択図】 図1
Description
102 試料を含む気体
103 試料の流れ
104 バルブ
105 バルブ開閉制御機構
106 試料容器
111 透明な誘電体
112 試料導入部側の放電用電極
113 質量分析部側の放電用電極
114 放電領域
115 交流電源
116 照明
117 照明点滅制御機構
118 カバー
121 質量分析及びイオン検出部
161 誘電体
162 放電用電極1
163 放電用電極2
268 光の反射材
301 イオン
302 電子
311 コンバージョンダイノード
312 シンチレーション検出器
313 光電子増倍管
Claims (15)
- 第一の電極と、第二の電極と、試料の導入部及び排出部を有し前記第一の電極と前記第二の電極との間に設けられている誘電体部と、からなるイオン源と、
前記第一の電極と前記第二の電極の何れか一方に対して交流電圧を印可し、前記第一の電極と前記第二の電極との間で発生する放電により前記試料をイオン化する電源と、
前記排出部から排出されたイオンを分析する質量分析部と、
前記放電が発生する領域に対し光を照射する光照射部と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載した質量分析装置であって、
前記光照射部の照度を制御する照射制御部をさらに備え、
前記照射制御部は、前記質量分析部が分析する際には前記光照射部の照度を下げることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項2に記載した質量分析装置であって、
前記照射制御部は、前記質量分析部が分析する際には前記光照射部を消灯することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項2に記載の質量分析装置であって、
前記照射制御部は、前記交流電圧の印可時間の一部又は全部において前記光照射部を点灯することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項2に記載の質量分析装置であって、
前記照射制御部は、前記交流電圧が印加される前に前記光照射部を点灯し、前記交流電圧が印加されている状態が終わる前に前記光照射部の照度を下げることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項4に記載の質量分析装置であって、
前記導入部において前記試料は連続的に導入されることを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載した質量分析装置にであって、
バルブ、及び前記バルブの開閉時間を制御するバルブ制御部をさらに有することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載した質量分析装置であって、
前記光照射部を前記イオン源の内部に設置することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載した質量分析装置であって、
前記イオン源の内部に反射材を有することを特徴とする質量分析装置。 - 請求項1に記載した質量分析装置であって、
前記放電は、2Torr以上300Torr以下で行われることを特徴とする質量分析装置。 - 試料の導入部及び排出部を有し第一の電極と第二の電極との間に設けられている誘電体部に試料を導入する試料導入工程と、
電源を用いて前記第一の電極と前記第二の電極の何れか一方に対して交流電圧を印可する電圧印加工程と、
前記第一の電極と前記第二の電極との間の領域に対し、照射制御部が光を照射しながら、前記試料をイオン化するイオン化工程と、
前記排出部から排出された前記イオン化された試料を分析する分析工程と、
を有することを特徴とする質量分析方法。 - 請求項11に記載の質量分析方法であって、
前記イオン化工程において、前記照射制御部が前記分析工程を始める前に前記照射している照度を下げることを特徴とする質量分析方法。 - 請求項12に記載の質量分析方法であって、
前記イオン化工程において、前記照射制御部が前記分析工程を始める前に前記光を消灯することを特徴とする質量分析方法。 - 請求項12に記載の質量分析方法であって、
前記電圧印加工程において、前記照射制御部が前記交流電圧の印可時間の一部又は全部において前記光照射部を点灯することを特徴とする質量分析方法。 - 請求項12に記載の質量分析方法であって、
前記イオン化工程において、前記照射制御部は、前記電圧印加工程での前記交流電圧が印加される前に前記光照射部を点灯し、前記交流電圧が印加されている状態が終わる前に前記光照射部の照度を下げることを特徴とする質量分析方法。
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