JP2013132603A5 - - Google Patents

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  1. ボスに結合された固定状態の固定ハニカム状吸着素子と、着脱自在の着脱ハニカム素子とを有し、前記着脱ハニカム状吸着素子は前記固定ハニカム吸着素子よりも薄く形成され、さらに前記着脱ハニカム状吸着素子は複数のおうぎ形に分割され、前記固定ハニカム吸着素子は前記分割された着脱ハニカム状吸着素子を装着するため金属で作られた骨材を有し、この骨材に前記分割された着脱ハニカム状吸着素子を装着したことを特徴とする吸着ロータ。
  2. 着脱ハニカム状吸着素子が吸着ロータ処理入口側に位置することを特徴とする請求項１記載の吸着ロータ。
  3. 着脱ハニカム状吸着素子が吸着ロータ再生入口側に位置することを特徴とする請求項１記載の吸着ロータ。
  4. 着脱ハニカム状吸着素子が吸着ロータの周方向に移動させることで骨材から脱離するようにしたことを特徴とする請求項１記載の吸着ロータ。
  5. 前記着脱ハニカム状吸着素子のハニカムサイズが前記固定ハニカム状吸着素子のハニカムサイズより小さいことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の吸着ロータ
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