JP2013130833A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
【課題】光変調特性が高性能であるとともに、温度ドリフト特性を改善した光変調器を提供する。
【解決手段】電気光学効果を有する基板と、基板に形成された2本の光導波路と、基板の上方に形成されたバッファ層と、バッファ層の上方に形成された導電層と、導電層の上方に形成された中心導体と接地導体からなる進行波電極とを少なくとも具備する光変調器において、2本の光導波路と交わる方向の断面において、2本の光導波路に近い側の基板側壁に隣接して別体基板部が設けられており、別体基板部は、電気光学効果を有する別体の基板と、別体の基板の上方に形成された導電媒質でなる電極とで少なくとも構成され、別体の基板上の前記電極と当該電極に隣接する前記基板上の前記接地電極とが電気的に接続され、焦電効果に起因する温度ドリフトを抑制する。
【選択図】図1
【解決手段】電気光学効果を有する基板と、基板に形成された2本の光導波路と、基板の上方に形成されたバッファ層と、バッファ層の上方に形成された導電層と、導電層の上方に形成された中心導体と接地導体からなる進行波電極とを少なくとも具備する光変調器において、2本の光導波路と交わる方向の断面において、2本の光導波路に近い側の基板側壁に隣接して別体基板部が設けられており、別体基板部は、電気光学効果を有する別体の基板と、別体の基板の上方に形成された導電媒質でなる電極とで少なくとも構成され、別体の基板上の前記電極と当該電極に隣接する前記基板上の前記接地電極とが電気的に接続され、焦電効果に起因する温度ドリフトを抑制する。
【選択図】図1
Description
本発明は、電気光学効果を利用して、光導波路に入射した光を高周波電気信号で変調して光信号パルスとして出射する光変調器に関する。
近年、高速、大容量の光通信システムが実用化されている。このような高速、大容量の光通信システムに組込むための高速、小型、低価格、かつ高安定な光変調器の開発が求められている。
このような要望に応える光変調器として、リチウムナイオベート(LiNbO3)のように電界を印加することにより屈折率が変化する、いわゆる電気光学効果を有する基板(以下、LN基板と略す)に光導波路と進行波電極を形成した進行波電極型リチウムナイオベート光変調器(以下、LN光変調器と略す)がある。このLN光変調器は、その優れたチャーピング特性から2.5Gbit/s、10Gbit/sの大容量光通信システムに適用されている。最近はさらに40Gbit/sの超大容量光通信システムにも適用が検討されている。
以下、従来、実用化され、又は提唱されてきたリチウムナイオベートの電気光学効果を利用したLN光変調器について説明する。
(従来技術)
図5は、z−カットLN基板を用いて構成した特許文献1に開示された第1の従来技術のLN光変調器(あるいは、プレーナ型LN光変調器)についての斜視図、図6はその上面図、また図7は図5のA−A´線における断面図である。以下の議論は、DQPSKやDP−QPSKのような複数のマッハツェンダ構造を有するネスト構造の光変調器においても同様と言うことができるが、ここでは説明の簡単のために1個のマッハツェンダ光導波路を有する光変調器について考える。
図5は、z−カットLN基板を用いて構成した特許文献1に開示された第1の従来技術のLN光変調器(あるいは、プレーナ型LN光変調器)についての斜視図、図6はその上面図、また図7は図5のA−A´線における断面図である。以下の議論は、DQPSKやDP−QPSKのような複数のマッハツェンダ構造を有するネスト構造の光変調器においても同様と言うことができるが、ここでは説明の簡単のために1個のマッハツェンダ光導波路を有する光変調器について考える。
オプティカルグレード基板でなるz−カットLN基板1に光導波路3が形成されている。この光導波路3は、金属Tiを1050℃で約10時間熱拡散して形成した光導波路であり、マッハツェンダ干渉系(あるいは、マッハツェンダ光導波路)を構成している。従って、光導波路3の電気信号と光が相互作用する部(相互作用部と言う)には2本の相互作用光導波路(あるいは、光導波路)3aと3b、つまりマッハツェンダ光導波路の2本のアームが形成されている。
この光導波路3の上面にSiO2バッファ層2が形成されている。一般に、z−カットLN基板1を用いて製作したLN光変調器に特有の焦電効果に起因する温度ドリフトを抑圧するためのSi導電層5を、このSiO2バッファ層2の上面に形成している。
そしてSi導電層5の上に進行波電極4を形成している。進行波電極4としては、1つの中心導体4aと2つの接地導体4b、4cを有するコプレーナウェーブガイド(CPW)を用いている。なお、通常、進行波電極4はAuにより形成されている。
6はz−カットLN基板1の裏面全体を金属台座7に強固に固定するための銀ペーストなどの導電性接着層である。
変調用の高周波(RF)電気信号を中心導体4aと接地導体4bに供給すると、中心導体4aと接地導体4bの間に電界が印加される。z−カットLN基板1は電気光学効果を有するので、この電界により屈折率変化を生じ、2本の相互作用光導波路3a、3bを伝搬する光の位相にずれが発生する。このずれがπになった場合、光導波路3のマッハツェンダ光導波路としての合波部において高次モードを励振し、その結果光はOFF状態になる。このようにして、LN光変調器を動作させるために選んだDC電圧をバイアス電圧と呼んでいる。
図7からわかるように、図5に示した特許文献1の光変調器の特徴としては、1)中心導体4aの幅を光導波路3a、3bの幅とほぼ同じ6μm〜12μm程度としている、2)中心導体4aと接地導体4b、4c間のギャップを例えば15μmと広くしている、さらに3)光導波路3a、3bを伝搬する光の中心導体4aと接地導体4b、4cからなる進行波電極4を構成する金属による吸収を抑えるためにのみ使用されてきたSiO2バッファ層2の比誘電率が4〜6と比較的低いことを利用して、SiO2バッファ層2の厚みを400nm〜1.5μm程度と厚くする、ことにより、高周波電気信号のマイクロ波等価屈折率nmを低減して、光導波路3a、3bを導波する光の等価屈折率noに近づけるとともに、特性インピーダンスをなるべく50Ωに近づけている。
また、図7に示した第1の従来技術では、特許文献2に開示された進行波電極4の厚みを場合によっては約30μmと厚くした構成とすることにより、マイクロ波等価屈折率nmをよりいっそう低減して光の等価屈折率noに近づけている。このように厚い進行波電極4は、例えば10Gbit/s、あるいは40Gbit/sのような高速光変調には必須となる。この第1の従来技術は50Ω系の特性インピーダンスを有するLN光変調器としてブレークスルーとなり、広く使用されている。
図7においてLaは光導波路3aの中心とz−カットLN基板1の側壁50との距離であり、Lbは光導波路3bの中心とz−カットLN基板1の側壁51との距離である。一般に、図5の斜視図から推測されるように、La<<Lb、つまり光導波路3bに比べて光導波路3aはz−カットLN基板1の側壁(光導波路3aの場合は50)に極めて近くなっている。従って、焦電効果により発生する電界10は基板側壁50と51に近づくに従って不均一になる。特に、基板側壁50の近傍に光導波路3aがあるため、環境温度の変化に伴い焦電効果により発生する電界10の変化は、光導波路3aを伝搬する光の等価屈折を変化させる。その結果、図8に示すようにこの従来技術では大きな温度ドリフトが発生していた。
なお、特許文献1,2に示されているLN基板の断面図においては、光導波路3aから基板側壁50までの距離Laが図7に示したものよりも遠くした態様となっている。そして、上記した問題が発生しないように、距離Laをこの特許文献1,2のように遠くして構成させることも考えられる。しかし実際にLN光変調器基板を製造する際には、コストの面から1枚の(オプティカルグレード相当でなる)ウエハから極力多くのLN光変調器基板を製造することが求められるため、図7に示したように距離Laを極力近くして製造するのが一般的である。特にこのことは、複数のマッハツェンダ光導波路をネスト型で使用するDQPSKやDP−QPSKなどの光変調器において、顕著となる。
以上のように、従来技術ではマッハツェンダを構成する2本の光導波路のうち、片方の光導波路がLN基板の側壁に近いために、環境温度が変化した場合にマッハツェンダを構成する2本の光導波路に異なる大きさの焦電効果による電界が印加され、その結果大きな温度ドリフトが生じていた。そのため、この温度ドリフトを安価に効率良く抑圧できる光変調器構造の開発が急務となっていた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、光変調特性が高性能であるとともに、安定性とコストについて改善された光変調器を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載の光変調器は、電気光学効果を有する基板と、前記基板に形成された2本の光導波路と、前記基板の上方に形成されたバッファ層と、前記バッファ層の上方に形成された導電層と、前記導電層の上方に形成された中心導体と接地導体からなる進行波電極とを少なくとも具備する光変調器において、前記2本の光導波路と交わる方向の断面において、前記2本の光導波路に近い側の基板側壁に隣接して別体基板部が設けられており、前記別体基板部は、電気光学効果を有する別体の基板と、前記別体の基板の上方に形成された導電媒質でなる電極とで少なくとも構成され、前記別体の基板上の前記電極と当該電極に隣接する前記基板上の前記接地電極とが電気的に接続され、焦電効果に起因する温度ドリフトを抑制することを特徴としている。
本発明の請求項2に記載の光変調器は、請求項1に記載の光変調器において、記別体の基板上に形成した電極が、当該電極に隣接する前記基板上の前記接地電極の厚みよりも薄いことを特徴としている。
本発明の請求項3に記載の光変調器は、請求項1または2に記載の光変調器において、前記別体の基板と前記基板とが密着して配置されていることを特徴としている。
本発明の請求項4に記載の光変調器は、請求項1または2に記載の光変調器において、前記別体の基板と前記基板とが、間に前記基板の厚み以内の大きさのギャップを有して配置されていることを特徴としている。
本発明の請求項5に記載の光変調器は、請求項1または2に記載の光変調器において、前記別体の基板と前記基板とが、相対向する基板側壁側で接着剤により固定されていることを特徴としている。
本発明の請求項6に記載の光変調器は、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光変調器において、前記別体基板部が、前記別体の基板と前記電極との間にバッファ層を、または前記別体の基板と前記電極との間に下から順にバッファ層と導電層とを具備することを特徴としている。
本発明の請求項7に記載の光変調器は、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光変調器において、前記基板がオプティカルグレードLN基板であるとともに、前記別体の基板がSAWグレードLN基板であることを特徴としている。
上記のように構成することにより、LN光変調器の環境温度が変化した際に、焦電効果に起因する温度ドリフト特性を著しく改善した信頼性の高いLN光変調器を実現することが可能となる。
以下、本発明の実施形態について説明するが、図5から図7に示した従来技術と同一の符号は同一機能部に対応しているため、ここでは同一の符号を持つ機能部の説明を省略する。
(第1の実施形態)
図1に本発明の第1の実施形態についてその横断面図を示す。ここで、Iは幅Wでなる別体基板部を示す領域であって、別体のz−カットLN基板1´、その上に形成されたSiO2バッファ層2´、Si導電層5´および導電媒質でなる電極40から構成されている6´は導電性接着剤であり、別体のz−カットLN基板1´と台座7とを接着固定している。13は接地導体4bと電極40を電気的に接続する金リボンである。なお、電極40は接地導体4bと略同厚さで構成され、接地導体の一部の機能も有している。
図1に本発明の第1の実施形態についてその横断面図を示す。ここで、Iは幅Wでなる別体基板部を示す領域であって、別体のz−カットLN基板1´、その上に形成されたSiO2バッファ層2´、Si導電層5´および導電媒質でなる電極40から構成されている6´は導電性接着剤であり、別体のz−カットLN基板1´と台座7とを接着固定している。13は接地導体4bと電極40を電気的に接続する金リボンである。なお、電極40は接地導体4bと略同厚さで構成され、接地導体の一部の機能も有している。
図7と図1とを比較するとわかるように、図1の本発明の実施形態では、基板側壁50にz−カットLN基板1´を密接、もしくは近接させて構成している。これにより、電界11を光導波路3aと光導波路3bとにおいて均一化できている。なお、別体のz−カットLN基板1´の基板側壁52の近くでは焦電効果による電界12は均一となっていないが、この領域には光導波路は存在しないので問題とはならない。
図2に、別体のz−カットLN基板1´の幅Wを変数とした場合のバイアス電圧の変化量を示す。図2からわかるように、z−カットLN基板1´の幅Wが大きくなると、基板側壁52近傍における焦電効果による電界12の不均一性の影響が光導波路3aに与える影響が小さくなるので、環境温度の変化に対するバイアス電圧の変化量が小さくなる。
図3は、本発明を適用した実施形態についての温度ドリフトの様子を示している。なお、比較のために従来技術の特性も破線で示している。この図3から、本発明を適用することにより温度ドリフト特性が大幅に改善されていることがわかる。
なお、LN基板1と1´との間の向かい合う基板側壁間を、例えば絶縁性接着剤を用いて固定してもよい。また当該基板側壁間にギャップを設けた近接配置としてもよく、このギャップはLN基板1の厚み以下が望ましく、好適にはLN基板1の厚みの半分以下とすればよい。
また、好適な態様としては、z−カットLN基板1をオプティカルグレードLN基板で制作し、別体のLN基板1´をSAWグレードLN基板で制作するようにすればよい。この場合には、コストの高いオプティカルグレードの半導体ウエハ1枚から作成することができるLN基板1の数量を多くすることができ、コスト面で優れている。
(第2の実施形態)
図4に本発明の第2の実施形態についてその横断面図を示す。ここで、IIは第1の実施形態と同様に幅Wでなる別体基板部を示す領域である。第1の実施形態とは、Si導電層5´上の電極の厚みのみが異なっている。本実施形態では電極41の厚みを第1の実施形態の電極40よりも薄く構成しており、これにより貴金属であるAuの使用量を減らすことができるとともに、製作のコストを低減することも可能としている。
図4に本発明の第2の実施形態についてその横断面図を示す。ここで、IIは第1の実施形態と同様に幅Wでなる別体基板部を示す領域である。第1の実施形態とは、Si導電層5´上の電極の厚みのみが異なっている。本実施形態では電極41の厚みを第1の実施形態の電極40よりも薄く構成しており、これにより貴金属であるAuの使用量を減らすことができるとともに、製作のコストを低減することも可能としている。
(各実施形態)
以上の説明においては、分岐光導波路の例としてマッハツェンダ光導波路を用いたが、方向性結合器などその他の分岐合波型の光導波路にも本発明を適用可能であることは言うまでもなく、本発明の技術思想は3本以上の光導波路にも適用可能である。また光導波路の形成法としてはTi熱拡散法の他に、プロトン交換法など光導波路の各種形成法を適用できるし、バッファ層としてAl2O3等のSiO2以外の各種材料も適用できる。
以上の説明においては、分岐光導波路の例としてマッハツェンダ光導波路を用いたが、方向性結合器などその他の分岐合波型の光導波路にも本発明を適用可能であることは言うまでもなく、本発明の技術思想は3本以上の光導波路にも適用可能である。また光導波路の形成法としてはTi熱拡散法の他に、プロトン交換法など光導波路の各種形成法を適用できるし、バッファ層としてAl2O3等のSiO2以外の各種材料も適用できる。
なお、以上の説明においては説明を簡単にするために、z−カットLN基板の表面が平坦なプレーナ構造を用いて説明してきたが、本発明は光導波路近傍のz−カットLN基板の近傍を掘り込んだリッジ構造であったも適用できることは言うまでもない。また、分極反転を用いた構造においても有効である。この場合には、別体のz−カットLN基板1´もz−カットLN基板1と同様にその一部を分極反転して構成しておけば良い。さらに、複数のマッハツェンダ光導波路を有するDQPSKやDP−QPSKなどのネスト構造にも適用可能であることは言うまでもない。
さらに、明細書中で説明した別体基板IおよびIIとz−カットLN基板1とは密着して構成していることが望ましいが、若干ならばそれらの間にギャップが空いていても良いし、互いに接着剤で固定しても良いことは言うまでもない。
別体基板上にはSiO2バッファ層とSi導電層を形成するとして説明したが、SiO2バッファ層とSi導電層のどちらか一方を省略しても良いし、別体のLN基板の上に直接Ti、Auや銀ペーストなどの導電媒質(あるいは導体)を電極として形成しても良い。なお、一般に銀ペーストを用いると別体基板の電極(銀ペースト)の厚みは接地導体の厚みよりも厚くなる。
また、z−カットLN基板について説明したが、x−カットやy−カットなどその他の面方位のLN基板でも良いし、リチウムタンタレート基板など異なる材料の基板でも良い。
1:z−カットLN基板(オプティカルグレードLN基板)
1´:z−カットLN基板(SAWグレードLN基板)
2、2´:SiO2バッファ層(バッファ層)
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b:マッハツェンダ光導波路を構成する相互作用光導波路
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4b´、4c、4c´:接地導体
5、5´:Si導電層
6:導電性接着層
7:台座
8:導電性膜
9:接着層
10、11、12:焦電効果による電界
13:金リボン
40、41:別体の基板上の電極
50、51、52:基板側壁
I、II:別体基板部
1´:z−カットLN基板(SAWグレードLN基板)
2、2´:SiO2バッファ層(バッファ層)
3:マッハツェンダ光導波路(光導波路)
3a、3b:マッハツェンダ光導波路を構成する相互作用光導波路
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4b´、4c、4c´:接地導体
5、5´:Si導電層
6:導電性接着層
7:台座
8:導電性膜
9:接着層
10、11、12:焦電効果による電界
13:金リボン
40、41:別体の基板上の電極
50、51、52:基板側壁
I、II:別体基板部
Claims (7)
- 電気光学効果を有する基板と、前記基板に形成された2本の光導波路と、前記基板の上方に形成されたバッファ層と、前記バッファ層の上方に形成された導電層と、前記導電層の上方に形成された中心導体と接地導体からなる進行波電極とを少なくとも具備する光変調器において、
前記2本の光導波路と交わる方向の断面において、前記2本の光導波路に近い側の基板側壁に隣接して別体基板部が設けられており、
前記別体基板部は、電気光学効果を有する別体の基板と、前記別体の基板の上方に形成された導電媒質でなる電極とで少なくとも構成され、
前記別体の基板上の前記電極と当該電極に隣接する前記基板上の前記接地電極とが電気的に接続され、焦電効果に起因する温度ドリフトを抑制することを特徴とする光変調器。 - 前記別体の基板上に形成した電極が、当該電極に隣接する前記基板上の前記接地電極の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記別体の基板と前記基板とが密着して配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光変調器。
- 前記別体の基板と前記基板とが、間に前記基板の厚み以内の大きさのギャップを有して配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光変調器。
- 前記別体の基板と前記基板とが、相対向する基板側壁側で接着剤により固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光変調器。
- 前記別体基板部が、前記別体の基板と前記電極との間にバッファ層を、または前記別体の基板と前記電極との間に下から順にバッファ層と導電層とを具備することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光変調器。
- 前記基板がオプティカルグレードLN基板であるとともに、前記別体の基板がSAWグレードLN基板であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光変調器。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03202810A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-09-04 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
JP2000249995A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-09-14 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 導波路型光デバイス |
JP2009031707A (ja) * | 2007-03-15 | 2009-02-12 | Anritsu Corp | 光変調器 |
JP2009098640A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-05-07 | Anritsu Corp | 光変調器 |
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2011
- 2011-12-22 JP JP2011282156A patent/JP2013130833A/ja active Pending
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JPH03202810A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-09-04 | Fujitsu Ltd | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
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