JP2013128074A - 基体表面の傷の修復方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明は、傷の周辺部にプレカーサを供給し、紫外線レーザを傷部に照射することにより、局部的に基体表面の微細な傷を修復する。
【選択図】 なし
Description
テトラエトキシシランをプレカーサ、石英ガラス板(20mm×20mm×2mm)を基体とし、下記の要領で石英ガラス膜を得た。
テトラエトキシシランをプレカーサ、Siウエハ(20mm×20mm×0.73mm)を基体とし、実施例1と同様の方法により基体上に膜を形成した。図2にレーザ照射後の基体の写真を示す。膜はレーザ照射部に選択的に形成されており、レーザによって局部的に膜を形成できたことを確認した。
オクタメチルシクロテトラシロキサンをプレカーサ、Siウエハ(20mm×20mm×0.73mm)を基体とし、下記の要領で石英ガラス膜を得た。
2.基体表面上の微細な傷
3.紫外線レーザ照射によって形成した物質
4.エッチング処理におけるエッチング深さ
5.実施例2のレーザ照射領域
6.実施例2の膜の赤外スペクトル
7.SiO2熱酸化膜の赤外スペクトル
8.実施例3の膜の赤外スペクトル
9.SiO2熱酸化膜の赤外スペクトル
Claims (6)
- 基体表面の微細な傷の周辺部にプレカーサを供給し、傷部に波長150〜380nmの紫外線レーザを照射することで、前記傷部を前記プレカーサの反応物質で埋めることを特徴とする基体表面の微細な傷の修復方法。
- 基体が石英ガラス基板であることを特徴とする請求項1に記載の基体表面の微細な傷の修復方法。
- プレカーサが、金属―酸素結合を有することを特徴とする請求項1または2に記載の基体表面の微細な傷の修復方法。
- プレカーサが、シロキサン(Si−O)結合を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基体表面の微細な傷の修復方法。
- 紫外線レーザ照射と同時または紫外線レーザ照射後に、熱処理を行なうことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の基体表面の微細な傷の修復方法。
- 紫外線レーザ照射後または熱処理後に、傷部に形成した物質と石英ガラス基体のエッチングレートがほぼ等しくなるエッチング条件で、傷の深さ以上の厚みをエッチングする工程を含む請求項1から5のいずれかに記載の基体表面の微細な傷の修復方法。
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---|---|---|---|---|
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-
2011
- 2011-12-19 JP JP2011277594A patent/JP5861441B2/ja active Active
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