JP2013105117A5 - - Google Patents

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JP2841210B2 (ja) * 1989-06-30 1998-12-24 株式会社トーキン 光アイソレータ、及びその製造方法
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JPH10293263A (ja) * 1997-04-22 1998-11-04 Venture Forum Mie:Kk 光走査装置
JP4325839B2 (ja) * 2003-03-27 2009-09-02 並木精密宝石株式会社 光アイソレータ
JP2009216999A (ja) * 2008-03-11 2009-09-24 Seiko Epson Corp 光偏向器及びその製造方法

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