JP2013093494A - Package for housing electronic component and electronic device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that a holding member of a coaxial cable may be cracked because a base may be warped when a package is screwed to an external circuit board.SOLUTION: In a package 1 for housing an electronic component, a frame 7 has a first sidewall 9 on a straight line connecting a pair of screw portions 5c of a circuit board 5 at a position in parallel with the straight line, and a notch 11 to which an I/O member 13 is fixed is formed in the first sidewall 9 so as to open to the inner side face, the outer side face and the top face. In a region of the notch 11 above the I/O member 13, a joining member 15 having a Young'a modulus lower than that of the frame 7 is provided.

Description

本発明は、半導体素子のような電子部品が収納される電子部品収納用パッケージおよびこれを用いた電子装置に関する。このような電子装置は各種電子機器に用いることができる。   The present invention relates to an electronic component storage package in which an electronic component such as a semiconductor element is stored, and an electronic device using the same. Such an electronic device can be used for various electronic devices.

電子部品を収納する電子部品収納用パッケージ(以下、単にパッケージともいう)としては、例えば、特許文献1に記載されたパッケージが知られている。特許文献1に記載のパッケージは、基体およびこの基体の上面の外周部に接合された枠体を備えている。枠体には内外を貫通する貫通孔が形成され、この貫通孔に保持部材が篏め込まれている。保持部材には枠体の外側から同軸コネクタが挿入されている。基体にはネジ止め孔が形成されている。このネジ止め孔において基体を外部回路基板に固定することによってパッケージが外部回路基板に実装される。   As an electronic component storage package (hereinafter also simply referred to as a package) for storing electronic components, for example, a package described in Patent Document 1 is known. The package described in Patent Document 1 includes a base body and a frame joined to the outer peripheral portion of the upper surface of the base body. A through-hole penetrating the inside and the outside is formed in the frame, and a holding member is clamped in the through-hole. A coaxial connector is inserted into the holding member from the outside of the frame. Screw holes are formed in the base. The package is mounted on the external circuit board by fixing the base body to the external circuit board in the screw holes.

特開2003−7884号公報JP 2003-7884 A

特許文献1に記載のパッケージを外部回路基板にネジ止めした場合、基体に反りが生じることがある。このとき、枠体が基体に固定されていることから、基体の変形に伴って枠体が変形する場合がある。基体および枠体が変形すると、枠体の内外を貫通する貫通孔もまた変形する。この貫通孔の変形に伴って、保持部材には枠体におけるこの貫通孔の上方に位置する部分から押圧力が加わり易い。そのため、パッケージを外部回路基板に強固に固定しようとした場合、保持部材にクラックが生じる、あるいは、保持部材と枠体との間に隙間が形成される可能性がある。   When the package described in Patent Document 1 is screwed to an external circuit board, the base may be warped. At this time, since the frame is fixed to the base, the frame may be deformed along with the deformation of the base. When the base body and the frame body are deformed, the through-hole penetrating the inside and outside of the frame body is also deformed. Along with the deformation of the through hole, the holding member is easily applied with a pressing force from a portion of the frame located above the through hole. For this reason, when the package is to be firmly fixed to the external circuit board, there is a possibility that the holding member cracks or that a gap is formed between the holding member and the frame.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、耐久性の良好な信頼性の高い電子部品収納用パッケージを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a highly reliable electronic component storage package having good durability.

本発明の一つの態様に基づく電子部品収納用パッケージは、電子部品が載置される載置領域を上面に有する平板部および該平板部から互いに反対側の側方に引き出された一対のネジ止め部を具備した基板と、内側面、外側面および上面に開口する切欠き部を有する第1の側壁部を含む複数の側壁部からなり、前記一対のネジ止め部を結ぶ直線上に該直線と平行に前記第1の側壁部が位置して、前記基板の上面に前記載置領域を囲むように設けられた枠体と、上面が前記枠体の上面よりも低く位置するように前記切欠き部に取り付けられた、前記電子部品に電気的に接続される入出力部材と、前記枠体が有するヤング率よりも低いヤング率を有し、前記切欠き部のうち前記入出力部材の上の領域に配設された接合部材とを備えたことを特徴としている。   An electronic component storage package according to one aspect of the present invention includes a flat plate portion having a mounting area on which an electronic component is mounted on the upper surface, and a pair of screws that are pulled out from the flat plate portion to the sides opposite to each other. And a plurality of side walls including a first side wall having a notch opening at the inner side surface, the outer side surface, and the upper surface, and the straight line on the straight line connecting the pair of screwing portions. The first side wall portion is positioned in parallel, and a frame body is provided on the upper surface of the substrate so as to surround the placement area, and the notch is disposed such that the upper surface is positioned lower than the upper surface of the frame body. An input / output member attached to a part and electrically connected to the electronic component; and a Young's modulus lower than a Young's modulus of the frame body; And a joining member disposed in the region. There.

上記態様の電子部品収納用パッケージにおいては、基板をネジ止めした場合に大きな反りが生じ易い一対のネジ止め部の間に、枠体における内側面、外側面および上面に開口する切欠き部を有する第1の側壁部が位置している。この切欠き部に入出力部材が取り付けられている。切欠き部のうち入出力部材の上の領域に、枠体が有するヤング率よりも低い
ヤング率を有する接合部材が配設されている。
In the electronic component storage package of the above aspect, there is a notch portion that opens on the inner side surface, the outer side surface, and the upper surface of the frame body between the pair of screw fixing portions that are likely to be greatly warped when the board is screwed. The first side wall is located. An input / output member is attached to the notch. A joining member having a Young's modulus lower than the Young's modulus of the frame is disposed in a region above the input / output member in the notch.

このように、枠体よりも弾性変形し易い接合部材が上記の領域に充填されていることから、枠体の変形に伴って生じる応力を接合部材で緩和させることができる。そのため、基板に大きな反りが生じた場合であっても、入出力部材に大きな応力が加わる可能性を小さくできる。結果として、電子部品収納用パッケージを耐久性の良好な信頼性の高いものにできる。   Thus, since the joining member that is more elastically deformed than the frame body is filled in the above-described region, the stress generated with the deformation of the frame body can be relaxed by the joining member. Therefore, even if a large warp occurs in the substrate, the possibility that a large stress is applied to the input / output member can be reduced. As a result, the electronic component storage package can be made durable and highly reliable.

第1の実施形態の電子部品収納用パッケージおよびこれを備えた電子装置を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the electronic component storage package of 1st Embodiment, and an electronic apparatus provided with the same. 図1に示す電子部品収納用パッケージの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the electronic component storage package shown in FIG. 1. 図2における領域Aであって、枠体および接合部材を含み、基板の上面に平行な断面を示す拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a region A in FIG. 2, including a frame body and a joining member, and showing a cross section parallel to the upper surface of the substrate. 図2に示す電子部品収納用パッケージのX−X断面における断面図である。It is sectional drawing in the XX cross section of the electronic component storage package shown in FIG. 図1に示す電子部品収納用パッケージの第1の側壁部側の側面図である。It is a side view by the side of the 1st side wall part of the electronic component storage package shown in FIG. 第2の実施形態の電子部品収納用パッケージを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electronic component storage package of 2nd Embodiment. 図6に示す電子部品収納用パッケージの平面図である。FIG. 7 is a plan view of the electronic component storage package shown in FIG. 6. 図7に示す電子部品収納用パッケージのY−Y断面における断面図である。It is sectional drawing in the YY cross section of the electronic component storage package shown in FIG.

以下、各実施形態の電子部品収納用パッケージ(以下、単にパッケージともいう)およびにこれを備えた電子装置について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、実施形態の構成部材のうち、本発明を説明するために必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、本発明に係るパッケージおよび電子装置は、本明細書が参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法および各部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。   Hereinafter, an electronic component storage package (hereinafter also simply referred to as a package) of each embodiment and an electronic device including the same will be described in detail with reference to the drawings. However, in the drawings referred to below, for convenience of explanation, among the constituent members of the embodiment, only the main members necessary for explaining the present invention are shown in a simplified manner. Therefore, the package and the electronic device according to the present invention may include arbitrary components not shown in the drawings referred to in this specification. Moreover, the dimension of the member in each figure does not represent the dimension of an actual structural member, the dimension ratio of each member, etc. faithfully.

図1〜5に示すように、第1の実施形態のパッケージ1は、電子部品3が載置される載置領域5aを上面に有する基板5と、載置領域5aを囲むように基板5の上面に設けられた枠体7とを備えている。基板5は、載置領域5aを上面に有する平板部5bおよび平板部5bから互いに反対側の側方に引き出された一対のネジ止め部5cを具備している。枠体7は、第1の側壁部9を含む複数の側壁部からなる。第1の側壁部9は、内側面、外側面および上面に開口する切欠き部11を有している。このような枠体7は、基板5の一対のネジ止め部5cを結ぶ直線上に、この直線と平行に第1の側壁部9が位置するとともに載置領域5aを囲むように基板5の上面に設けられている。   As shown in FIGS. 1 to 5, the package 1 of the first embodiment includes a substrate 5 having a placement area 5 a on which an electronic component 3 is placed on the upper surface, and a substrate 5 so as to surround the placement area 5 a. And a frame 7 provided on the upper surface. The substrate 5 includes a flat plate portion 5b having a mounting area 5a on the upper surface and a pair of screwing portions 5c drawn from the flat plate portion 5b to the sides opposite to each other. The frame body 7 includes a plurality of side wall portions including the first side wall portion 9. The 1st side wall part 9 has the notch part 11 opened to an inner surface, an outer surface, and an upper surface. Such a frame body 7 has an upper surface of the substrate 5 on a straight line connecting the pair of screwing portions 5c of the substrate 5 so that the first side wall portion 9 is located in parallel to the straight line and surrounds the mounting region 5a. Is provided.

また、本実施形態のパッケージ1は、切欠き部11に取り付けられた入出力部材13を備えている。このとき、入出力部材13は、その上面が枠体7の上面よりも低く位置するように取り付けられている。入出力部材13は、電子部品3に電気的に接続される。さらに、本実施形態のパッケージ1は、切欠き部11のうち入出力部材13の上の領域に配設された接合部材15を備えている。そして、接合部材15が、枠体7が有するヤング率よりも低いヤング率を有していることを特徴としている。   In addition, the package 1 of this embodiment includes an input / output member 13 attached to the notch portion 11. At this time, the input / output member 13 is attached such that its upper surface is positioned lower than the upper surface of the frame body 7. The input / output member 13 is electrically connected to the electronic component 3. Furthermore, the package 1 of the present embodiment includes a joining member 15 disposed in a region above the input / output member 13 in the notch portion 11. And the joining member 15 has the Young's modulus lower than the Young's modulus which the frame 7 has, It is characterized by the above-mentioned.

このように、枠体7よりも弾性変形し易い接合部材15が、切欠き部11のうち入出力部材13の上の領域に充填されていることから、枠体7の変形に伴って生じる応力を接合部材15で緩和させることができる。そのため、基板5に大きな反りが生じた場合であっても、入出力部材13に大きな応力が加わる可能性を小さくできる。結果として、パッケージ1を耐久性の良好な信頼性の高いものにできる。   As described above, since the joining member 15 that is more elastically deformed than the frame body 7 is filled in the region above the input / output member 13 in the notch portion 11, the stress generated along with the deformation of the frame body 7. Can be relaxed by the joining member 15. Therefore, even when a large warp occurs in the substrate 5, the possibility that a large stress is applied to the input / output member 13 can be reduced. As a result, the package 1 can be made durable and highly reliable.

本実施形態における基板5は、電子部品3が載置される載置領域5aを上面に有する平板部5bおよび平板部5bから互いに反対側の側方に引き出された一対のネジ止め部5cを具備している。平板部5bは、四角板形状であって、上面に電子部品3が載置される載置領域5aを有している。また、四角板形状の平板部5bの四隅からは、ネジ止め部5cがそれぞれ側方に引き出されている。すなわち、本実施形態のパッケージ1においては、基板5が互いに反対側の側方に引き出された一対のネジ止め部5cを2つ備えている。これらのネジ止め部5cに形成されたネジ止め孔によってパッケージ1を実装基板103にネジ止め固定することができる。平板部5bとネジ止め部5cとは別体形成した後に両者を接合してもよいが、基板5の強度を高めるためには、平板部5bおよびネジ止め部5cが一体形成されていることが好ましい。   The substrate 5 in the present embodiment includes a flat plate portion 5b having a placement area 5a on the top surface on which the electronic component 3 is placed, and a pair of screwing portions 5c drawn from the flat plate portion 5b to opposite sides. doing. The flat plate portion 5b has a square plate shape and has a placement area 5a on which the electronic component 3 is placed. Moreover, the screwing part 5c is each pulled out from the four corners of the flat plate part 5b of square plate shape. That is, in the package 1 of the present embodiment, the substrate 5 includes two pairs of screwing portions 5c that are pulled out to the opposite sides. The package 1 can be screwed and fixed to the mounting substrate 103 by screwing holes formed in these screwing portions 5c. The flat plate portion 5b and the screwing portion 5c may be formed separately and then joined together. However, in order to increase the strength of the substrate 5, the flat plate portion 5b and the screwing portion 5c may be integrally formed. preferable.

なお、本実施形態において載置領域5aとは、基板5を平面視した場合に電子部品3と重なり合う領域を意味している。平板部5bが四角板形状である場合、その大きさを、例えば一辺10mm以上100mm以下に設定することができる。また、基板5の厚みとしては、例えば、0.3mm以上3mm以下に設定することができる。   In the present embodiment, the placement area 5a means an area that overlaps the electronic component 3 when the substrate 5 is viewed in plan. In the case where the flat plate portion 5b has a square plate shape, the size thereof can be set to, for example, 10 mm to 100 mm on a side. Moreover, as thickness of the board | substrate 5, it can set to 0.3 mm or more and 3 mm or less, for example.

本実施形態においては載置領域5aが基板5の平板部5bにおける上面の中央部に形成されているが、電子部品3が載置される領域を載置領域5aとしていることから、例えば、平板部5bの上面の端部に載置領域5aが形成されていても何ら問題ない。また、本実施形態の基板5は一つの載置領域5aを有しているが、基板5が複数の載置領域5aを有し、それぞれの載置領域5aに電子部品3が載置されていてもよい。   In the present embodiment, the placement area 5a is formed at the center of the upper surface of the flat plate portion 5b of the substrate 5, but the area where the electronic component 3 is placed is the placement area 5a. There is no problem even if the placement region 5a is formed at the end of the upper surface of the portion 5b. Further, the substrate 5 of the present embodiment has one placement region 5a, but the substrate 5 has a plurality of placement regions 5a, and the electronic component 3 is placed on each placement region 5a. May be.

基板5の上面における載置領域5aには電子部品3が配設される。電子部品3には、ボンディングワイヤ17が電気的に接続されている。電子部品3は、このボンディングワイヤ17、リード端子41などを介して外部の配線回路(不図示)との間で信号の入出力を行うことができる。このように、基板5の上面には電子部品3が配設される。そのため、基板5としては、少なくとも電子部品3が配設される部分には高い絶縁性を有していることが求められる。   The electronic component 3 is disposed in the placement region 5 a on the upper surface of the substrate 5. A bonding wire 17 is electrically connected to the electronic component 3. The electronic component 3 can input and output signals with an external wiring circuit (not shown) via the bonding wire 17 and the lead terminal 41. Thus, the electronic component 3 is disposed on the upper surface of the substrate 5. Therefore, the substrate 5 is required to have high insulation properties at least in a portion where the electronic component 3 is disposed.

高い絶縁性を有する基板5は、複数の絶縁性部材を積層することによって作製できる。そして、この基板5の載置領域5aに電子部品3が載置される。絶縁性部材としては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体および窒化珪素質焼結体のようなセラミック材料を用いることができる。また、これらのセラミック材料の代わりにガラスセラミック材料を用いてもよい。   The substrate 5 having high insulation can be produced by laminating a plurality of insulating members. Then, the electronic component 3 is placed on the placement area 5 a of the substrate 5. As the insulating member, for example, a ceramic material such as an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, a silicon carbide sintered body, an aluminum nitride sintered body, and a silicon nitride sintered body may be used. it can. Further, a glass ceramic material may be used instead of these ceramic materials.

これらのガラス粉末およびセラミック粉末を含有する原料粉末、有機溶剤並びにバインダを混ぜることにより混合部材を作製する。この混合部材をシート状に成形することにより複数のセラミックグリーンシートを作製する。作製された複数のセラミックグリーンシートを積層することにより複数の積層体を作製する。複数の積層体をそれぞれ約1600度の温度で一体焼成することにより基板5が作製される。   A mixing member is prepared by mixing the raw material powder containing these glass powder and ceramic powder, an organic solvent, and a binder. A plurality of ceramic green sheets are produced by forming the mixed member into a sheet. A plurality of laminated bodies are produced by laminating the produced ceramic green sheets. The substrate 5 is manufactured by integrally firing the plurality of laminated bodies at a temperature of about 1600 degrees.

なお、基板5としては、複数の絶縁性部材が積層された構成に限られるものではない。一つの絶縁性部材により基板5が構成されていてもよい。また、基板5として、少なくとも電子部品3が配設される部分に高い絶縁性を有していることが求められることから、例えば、金属部材上に絶縁性部材を積層した構成としてもよい。特に、基板5に対して高い放熱性が求められる場合、基板5が上記の構成であることが好ましい。金属部材は高い放熱性を有しているからである。金属部材上に絶縁性部材を積層した構成とすることで、基板5の放熱性を高めることができる。   The substrate 5 is not limited to a configuration in which a plurality of insulating members are stacked. The board | substrate 5 may be comprised by one insulating member. Moreover, since it is calculated | required that the board | substrate 5 has high insulation in the part by which the electronic component 3 is arrange | positioned at least, it is good also as a structure which laminated | stacked the insulating member on the metal member, for example. In particular, when high heat dissipation is required for the substrate 5, the substrate 5 preferably has the above-described configuration. This is because the metal member has high heat dissipation. By setting it as the structure which laminated | stacked the insulating member on the metal member, the heat dissipation of the board | substrate 5 can be improved.

具体的には、本実施形態における基板5のように、絶縁性の載置基板19を備えていてもよい。本実施形態におけるパッケージ1では、基板5が金属部材からなり、この基板5の載置領域5a上に載置基板19が配設されている。そして、この載置基板19上に電子部品3が載置されている。   Specifically, an insulating mounting substrate 19 may be provided like the substrate 5 in the present embodiment. In the package 1 in the present embodiment, the substrate 5 is made of a metal member, and the mounting substrate 19 is disposed on the mounting region 5 a of the substrate 5. The electronic component 3 is placed on the placement board 19.

金属部材としては、具体的には、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルトおよびタングステンのような金属部材、あるいはこれらの金属からなる合金を用いることができる。このような金属部材のインゴットに圧延加工法、打ち抜き加工法のような金属加工法を施すことによって基板5を構成する金属部材を作製することができる。   Specifically, a metal member such as iron, copper, nickel, chromium, cobalt, and tungsten, or an alloy made of these metals can be used as the metal member. The metal member which comprises the board | substrate 5 is producible by giving metal processing methods, such as a rolling method and a punching method, to such an ingot of a metal member.

載置基板19としては、絶縁性部材と同様に絶縁性の良好な部材を用いることが好ましく、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体および窒化珪素質焼結体のようなセラミック材料、またはガラスセラミック材料を用いることができる。   As the mounting substrate 19, it is preferable to use a member having good insulation like the insulating member. For example, an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, a silicon carbide sintered body, and an aluminum nitride material are used. Ceramic materials such as sintered bodies and silicon nitride-based sintered bodies, or glass ceramic materials can be used.

本実施形態のパッケージ1は、基板5の上面であって載置領域5aを囲むように配設された枠体7を備えている。枠体7は、第1の側壁部9を含む複数の側壁部からなる。具体的には、枠体7は、平面視した場合の内周面および外周面がそれぞれ略四角形の筒形状であり、4つの側壁部によって構成されている。第1の側壁部9は、これら4つの側壁部の一つである。   The package 1 of the present embodiment includes a frame body 7 disposed on the upper surface of the substrate 5 so as to surround the placement region 5a. The frame body 7 includes a plurality of side wall portions including the first side wall portion 9. Specifically, the frame body 7 has a substantially rectangular cylindrical shape on the inner peripheral surface and the outer peripheral surface in plan view, and is configured by four side wall portions. The first side wall portion 9 is one of these four side wall portions.

第1の側壁部9は、内側面、外側面および上面に開口する切欠き部11を有している。このような枠体7は、基板5の一対のネジ止め部5cを結ぶ直線上に、この直線と平行に第1の側壁部9が位置するとともに載置領域5aを囲むように基板5の上面に接合材(不図示)を介して基板5に接合されている。接合材としては、例えば、金−錫ロウ、銀ロウが挙げられる。   The 1st side wall part 9 has the notch part 11 opened to an inner surface, an outer surface, and an upper surface. Such a frame body 7 has an upper surface of the substrate 5 on a straight line connecting the pair of screwing portions 5c of the substrate 5 so that the first side wall portion 9 is located in parallel to the straight line and surrounds the mounting region 5a. And bonded to the substrate 5 via a bonding material (not shown). Examples of the bonding material include gold-tin brazing and silver brazing.

枠体7は、平面視した場合の外周を一辺10mm以上100mm以下に設定することができる。また、外周と内周との間の幅で示される枠体7の厚みは、例えば0.5mm以上2mm以下に設定することができる。また、枠体7の高さとしては、例えば3mm以上30mm以下に設定することができる。   The frame body 7 can set the outer periphery in a plan view to 10 mm or more and 100 mm or less on a side. Moreover, the thickness of the frame 7 shown by the width | variety between an outer periphery and an inner periphery can be set to 0.5 mm or more and 2 mm or less, for example. Moreover, as the height of the frame 7, it can set to 3 mm or more and 30 mm or less, for example.

枠体7としては、例えば、基板5と同様に絶縁性の良好な部材を用いることができる。絶縁性の良好な部材としては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体および窒化珪素質焼結体のようなセラミック材料を用いることができる。また、これらのセラミック材料の代わりにガラスセラミック材料を用いてもよい。   As the frame body 7, for example, a member having good insulating properties can be used in the same manner as the substrate 5. Examples of members having good insulation include ceramic materials such as an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, a silicon carbide sintered body, an aluminum nitride sintered body, and a silicon nitride sintered body. Can be used. Further, a glass ceramic material may be used instead of these ceramic materials.

また、枠体7としては上記の絶縁性の良好な部材の他にも、例えば、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルトおよびタングステンのような金属部材、あるいはこれらの金属からなる合金を用いることができる。このような金属部材のインゴットに圧延加工法、打ち抜き加工法のような金属加工法を施すことによって枠体7を構成する複数の板状部材を作製することができる。また、枠体7は、一つの部材からなっていてもよいが、複数の部材の積層構造であってもよい。   In addition to the above-described members having good insulation properties, for example, metal members such as iron, copper, nickel, chromium, cobalt, and tungsten, or alloys made of these metals may be used as the frame 7. it can. A plurality of plate-like members constituting the frame body 7 can be produced by subjecting such an ingot of the metal member to a metal working method such as a rolling method or a punching method. Further, the frame body 7 may be composed of one member, but may be a laminated structure of a plurality of members.

本実施形態のパッケージ1における枠体7の第1の側壁部9は、内側面および外側面に開口する第1の貫通孔21を有している。具体的には、第1の貫通孔21は、第1の側壁部9における基板5と接合する下面側に形成され、第1の側壁部9の下面、内側面および外側面にそれぞれ開口する形状である。   The first side wall 9 of the frame 7 in the package 1 of the present embodiment has a first through hole 21 that opens to the inner surface and the outer surface. Specifically, the first through hole 21 is formed on the lower surface side of the first side wall portion 9 to be bonded to the substrate 5 and has a shape that opens to the lower surface, the inner surface, and the outer surface of the first side wall portion 9. It is.

第1の貫通孔21には、入出力部材13(第1の入出力部材13)の一部が挿入固定されている。第1の入出力部材13は、第1の絶縁部材23、第2の絶縁部材25および配線導体27を有している。第1の入出力部材13は、配線導体27を介して電子部品3と外部配線とを電気的に接続する部材である。第1の絶縁部材23は、基板5の上面に配設されている。   A part of the input / output member 13 (first input / output member 13) is inserted and fixed in the first through hole 21. The first input / output member 13 includes a first insulating member 23, a second insulating member 25, and a wiring conductor 27. The first input / output member 13 is a member that electrically connects the electronic component 3 and external wiring via the wiring conductor 27. The first insulating member 23 is disposed on the upper surface of the substrate 5.

配線導体27は、第1の絶縁部材23の上面であって枠体7で囲まれた領域に位置する線路導体29と、線路導体29に電気的に接続され、枠体7の外側に引き出された配線ケーブル31とを具備している。第2の絶縁部材25は、配線導体27の一方の端部および他方の端部がそれぞれ露出するように、第1の絶縁部材23および配線導体27の上面に配設されている。このとき、配線導体27の一方の端部が枠体7で囲まれた領域内に位置して、他方の端部が凹部の内面に引き出されている。配線導体27の一方の端部は、電子部品3にボンディングワイヤ17を介して電気的に接続されている。配線ケーブル31における枠体7の外側に位置する部分は絶縁性の被覆部材33によって覆われていることが好ましい。   The wiring conductor 27 is electrically connected to the line conductor 29 and the line conductor 29 located on the upper surface of the first insulating member 23 and surrounded by the frame body 7, and is drawn out to the outside of the frame body 7. And a distribution cable 31. The second insulating member 25 is disposed on the top surfaces of the first insulating member 23 and the wiring conductor 27 so that one end and the other end of the wiring conductor 27 are exposed. At this time, one end of the wiring conductor 27 is located in a region surrounded by the frame body 7, and the other end is drawn out to the inner surface of the recess. One end of the wiring conductor 27 is electrically connected to the electronic component 3 via the bonding wire 17. It is preferable that a portion of the wiring cable 31 positioned outside the frame body 7 is covered with an insulating covering member 33.

本実施形態における第1の入出力部材13は、第1の絶縁部材23と第2の絶縁部材25との間に枠体7の内側および外側にそれぞれ開口する隙間が形成されている。言い換えれば、第1の絶縁部材23および第2の絶縁部材25によって構成される絶縁部材が、枠体7の内側と外側との間を貫通する貫通孔を有した構成となっている。   In the first input / output member 13 in the present embodiment, gaps are formed between the first insulating member 23 and the second insulating member 25 so as to open inside and outside the frame body 7, respectively. In other words, the insulating member constituted by the first insulating member 23 and the second insulating member 25 has a through-hole penetrating between the inside and the outside of the frame body 7.

さらに、この貫通孔の内周面に接地導体(不図示)が配設されるとともに配線ケーブル31が接地導体から離れて、接地導体との間に隙間を有した状態で貫通孔に挿入固定されている。すなわち、配線ケーブル31および接地導体によって同軸ケーブルが形成されている。配線ケーブル31と接地導体との間には絶縁体が配設されていてもよく、また、配線ケーブル31と接地導体との間が空隙となっていても良い。   Further, a ground conductor (not shown) is disposed on the inner peripheral surface of the through hole, and the wiring cable 31 is separated from the ground conductor, and is inserted and fixed in the through hole with a gap between the ground conductor. ing. That is, a coaxial cable is formed by the wiring cable 31 and the ground conductor. An insulator may be provided between the wiring cable 31 and the ground conductor, and a gap may be provided between the wiring cable 31 and the ground conductor.

特に、配線ケーブル31と接地導体との間が空隙となっている場合、本実施形態のパッケージ1の特徴的構成が特に有効となる。従来のパッケージ1のように基板5の変形に伴って基板5および枠体7から第1の入出力部材13に大きな応力が加わった場合、配線ケーブル31と接地導体との間隔が変化するため、配線ケーブル31における信号の伝送特性が大きな影響を受ける可能性がある。しかしながら、本実施形態のパッケージ1では、第1の入出力部材13に加わる応力を接合部材15で緩和することができるので、配線ケーブル31と接地導体との間隔が変化することを抑制できる。   In particular, when the space between the wiring cable 31 and the ground conductor is an air gap, the characteristic configuration of the package 1 of the present embodiment is particularly effective. When a large stress is applied to the first input / output member 13 from the substrate 5 and the frame body 7 in accordance with the deformation of the substrate 5 as in the conventional package 1, the distance between the wiring cable 31 and the ground conductor changes. The signal transmission characteristics in the wiring cable 31 may be greatly affected. However, in the package 1 of the present embodiment, the stress applied to the first input / output member 13 can be relaxed by the bonding member 15, so that it is possible to suppress a change in the interval between the wiring cable 31 and the ground conductor.

本実施形態のパッケージ1においては、ボンディングワイヤ17を介して配線導体27と電子部品3とが電気的に接続されているが、これに限られるものではない。例えば、基板5の上面に、一方の端部が配線導体27と電気的に接続され、他方の端部が載置領域5aにまで引き回された接続用の導体を配設して、このような導体と電子部品3とを接続しても良い。   In the package 1 of the present embodiment, the wiring conductor 27 and the electronic component 3 are electrically connected via the bonding wire 17, but the present invention is not limited to this. For example, a connection conductor in which one end is electrically connected to the wiring conductor 27 and the other end is routed to the placement region 5a is disposed on the upper surface of the substrate 5, and thus A simple conductor and the electronic component 3 may be connected.

また、本実施形態のパッケージ1においては、配線導体27が線路導体29および配線ケーブル31によって構成されているが、配線導体27はこのような構成に限定されるものではない。第1の絶縁部材23の上面であって、枠体7で囲まれた領域から枠体7の外側に引き出された線路導体29のみからなる構成であっても良い。なお、配線導体27がこのような構成である場合、配線導体27と外部の配線回路とはリード端子41などを用いて電気的に接続すればよい。   In the package 1 of the present embodiment, the wiring conductor 27 is constituted by the line conductor 29 and the wiring cable 31, but the wiring conductor 27 is not limited to such a configuration. The upper surface of the first insulating member 23 may be configured by only the line conductor 29 drawn from the region surrounded by the frame body 7 to the outside of the frame body 7. When the wiring conductor 27 has such a configuration, the wiring conductor 27 and an external wiring circuit may be electrically connected using the lead terminal 41 or the like.

第1の絶縁部材23の例示的な大きさとしては、平面視した場合における配線導体27の引き出し方向に平行な短手方向の幅が1〜20mm程度、平面視した場合における配線
導体27の引き出し方向に垂直な長手方向の幅が2〜20mm程度であって、厚みが0.5〜10mm程度である四角板形状の部材を用いることができる。第1の絶縁部材23としては、絶縁性部材と同様に絶縁性の良好な部材を用いればよい。
As an exemplary size of the first insulating member 23, the width of the short side direction parallel to the drawing direction of the wiring conductor 27 in a plan view is about 1 to 20 mm, and the drawing of the wiring conductor 27 in a plan view. A square plate-shaped member having a width in the longitudinal direction perpendicular to the direction of about 2 to 20 mm and a thickness of about 0.5 to 10 mm can be used. As the first insulating member 23, a member having a good insulating property may be used similarly to the insulating member.

配線導体27は、同軸コネクタやリード端子41などを介して外部の配線回路と電子部品3とを電気的に接続するための部材である。配線導体27としては、導電性の良好な部材を用いることが好ましい。具体的には、タングステン、モリブデン、ニッケル、銅、銀および金のような金属材料を配線導体27として用いることができる。上記の金属材料を単一で用いてもよく、また、合金として用いてもよい。   The wiring conductor 27 is a member for electrically connecting an external wiring circuit and the electronic component 3 via a coaxial connector, a lead terminal 41, or the like. As the wiring conductor 27, it is preferable to use a member having good conductivity. Specifically, a metal material such as tungsten, molybdenum, nickel, copper, silver, and gold can be used as the wiring conductor 27. The above metal materials may be used alone or as an alloy.

本実施形態における第2の絶縁部材25は、四角板形状である。例示的な大きさとしては、平面視した場合における配線導体27の引き出し方向に平行な短手方向の幅が0.5〜19.5mm程度、平面視した場合における配線導体27の引き出し方向に垂直な長手方向の幅が2〜20mm程度であって、厚みが0.5〜10mm程度である四角板形状の部材を用いることができる。第2の絶縁部材25としては、第1の絶縁部材23と同様に絶縁性の良好な部材を用いればよい。   The second insulating member 25 in the present embodiment has a square plate shape. As an exemplary size, the width in the short direction parallel to the drawing direction of the wiring conductor 27 in a plan view is about 0.5 to 19.5 mm, and is perpendicular to the drawing direction of the wiring conductor 27 in a plan view. A square plate-shaped member having a width in the longitudinal direction of about 2 to 20 mm and a thickness of about 0.5 to 10 mm can be used. As the second insulating member 25, a member having good insulating properties may be used similarly to the first insulating member 23.

また、第1の側壁部9は、第1の入出力部材13の上方であって、第1の貫通孔21とつながり、内側面、外側面および上面に開口する溝部35を有している。すなわち、第1の貫通孔21および溝部35によって切欠き部11が形成されている。また、このとき、溝部35が第1の入出力部材13の上方に位置していることから、言い換えれば、第1の入出力部材13の上面が枠体7の上面よりも低く位置するように切欠き部11に取り付けられている。   The first side wall 9 has a groove 35 that is above the first input / output member 13, is connected to the first through-hole 21, and opens on the inner surface, the outer surface, and the upper surface. That is, the notch 11 is formed by the first through hole 21 and the groove 35. At this time, since the groove portion 35 is positioned above the first input / output member 13, in other words, the upper surface of the first input / output member 13 is positioned lower than the upper surface of the frame body 7. It is attached to the notch 11.

このような溝部35を有していない場合、第1の入出力部材13が基板5と枠体7とに挟まれることになる。そのため、基板5に反りなどの変形が生じた場合に第1の貫通孔21が変形して、第1の入出力部材13に基板5および枠体7から大きな押圧力が加わる可能性がある。その結果、基板5、枠体7または第1の入出力部材13にクラックが生じる、あるいは、これらの部材の接合箇所に隙間が生じて、パッケージ1の気密性が低下する可能性が高まる。   When the groove 35 is not provided, the first input / output member 13 is sandwiched between the substrate 5 and the frame body 7. Therefore, when deformation such as warpage occurs in the substrate 5, the first through hole 21 may be deformed and a large pressing force may be applied to the first input / output member 13 from the substrate 5 and the frame body 7. As a result, a crack is generated in the substrate 5, the frame body 7, or the first input / output member 13, or a gap is formed in a joint portion between these members, and the possibility that the airtightness of the package 1 is lowered is increased.

しかしながら、本実施形態のパッケージ1においては、第1の入出力部材13の上方であって、第1の貫通孔21とつながるように内側面、外側面および上面に開口する溝部35を第1の側壁部9が有している。そして、切欠き部11のうち第1の入出力部材13の上の領域である溝部35に、枠体7が有するヤング率よりも低いヤング率を有する接合部材15が配設されている。そのため、基板5のネジ止めに起因して、基板5に反りなどの変形が生じた場合であっても接合部材15が変形し易いので、基板5および枠体7から第1の入出力部材13に加わる押圧力を小さくできる。従って、パッケージ1の耐久性を高めて、気密性の良好なものにできる。   However, in the package 1 of the present embodiment, the groove portion 35 that opens above the first input / output member 13 and opens to the inner side surface, the outer side surface, and the upper surface so as to be connected to the first through hole 21 is provided in the first portion. The side wall part 9 has. A joining member 15 having a Young's modulus lower than the Young's modulus of the frame body 7 is disposed in the groove portion 35 that is the region above the first input / output member 13 in the notch portion 11. For this reason, the bonding member 15 is easily deformed even when the substrate 5 is warped due to the screwing of the substrate 5, so that the first input / output member 13 is formed from the substrate 5 and the frame body 7. The pressing force applied to the can be reduced. Therefore, the durability of the package 1 can be increased and the airtightness can be improved.

本実施形態のパッケージ1における切欠き部11は、入出力部材13が取り付けられた第1の貫通孔21(第1の部分)と、第1の貫通孔21よりも上方に位置して第1の貫通孔21と連続する溝部35(第2の部分)とを有している。このとき、図5に示すように、第1の部分における基板5の上面および第1の側壁部9の内側面に平行な方向の幅W1よりも、第2の部分における基板5の上面および第1の側壁部9の内側面に平行な方向の幅W2が小さい。そのため、第1の入出力部材13の上面の少なくとも一部に対して第1の側壁部9が対向するように位置している。   The notch 11 in the package 1 of the present embodiment is a first through hole 21 (first portion) to which the input / output member 13 is attached and a first position located above the first through hole 21. The through-hole 21 and the groove portion 35 (second portion) that is continuous are provided. At this time, as shown in FIG. 5, the upper surface of the substrate 5 in the second portion and the first width are larger than the width W1 in the direction parallel to the upper surface of the substrate 5 and the inner surface of the first side wall portion 9 in the first portion. The width W2 in the direction parallel to the inner surface of the one side wall 9 is small. Therefore, the first side wall 9 is positioned so as to face at least part of the upper surface of the first input / output member 13.

このように切欠き部11が形成されていることによって、第1の入出力部材13の高さ方向の位置決めを安定して図ることができる。第2の部分における上記の幅は、第1の部
分における上記の幅の5〜50%程度であればよく、10〜20%程度であることが好ましい。なお、第1の部分の幅および第2の部分の幅にそれぞればらつきがある場合、第1の部分の幅の平均値と第2の部分の幅の平均値とを比較すれば良い。
By forming the notch portion 11 in this way, the first input / output member 13 can be stably positioned in the height direction. The width of the second portion may be about 5 to 50% of the width of the first portion, and is preferably about 10 to 20%. When the width of the first part and the width of the second part are different, the average value of the width of the first part and the average value of the width of the second part may be compared.

配線ケーブル31と接地導体との間隔が変化することを抑制するため、あるいは、入出力部材13に大きな応力が加わることによって線路導体29が断線することを抑制するため、第2の部分が配線導体27の直上に位置していることが好ましい。第1の側壁部9は、第2の部分が形成された部分の近傍において、入出力部材13への応力緩和の効果が相対的に大きい。この応力緩和の効果が大きい部分が配線導体27の直上に位置していることによって、配線導体27の伝送特性が変化することを抑制できる。   In order to suppress a change in the distance between the wiring cable 31 and the ground conductor, or to prevent the line conductor 29 from being disconnected due to a large stress applied to the input / output member 13, the second portion is a wiring conductor. It is preferable that it is located just above 27. The first side wall portion 9 has a relatively large stress relaxation effect on the input / output member 13 in the vicinity of the portion where the second portion is formed. Since the portion where the stress relaxation effect is large is located immediately above the wiring conductor 27, it is possible to suppress the transmission characteristic of the wiring conductor 27 from changing.

また、切欠き部11による枠体7から入出力部材13への応力緩和の効果を高めるため、切欠き部11は、第1の側壁部9の長手方向(図2,5における左右方向)の中央に形成されていることが好ましい。第1の側壁部9における、切欠き部11よりも一対のネジ止め部5cの一方側に位置する部分と、切欠き部11よりも一対のネジ止め部5cの他方側に位置する部分と、の間での応力緩和の偏りを小さくできるからである。すなわち、枠体7から入出力部材13に加わる応力の偏りを低減できるので、上記の応力が局所的に大きくなることを抑制できる。   Further, in order to enhance the effect of stress relaxation from the frame 7 to the input / output member 13 by the notch 11, the notch 11 is provided in the longitudinal direction of the first side wall 9 (the left-right direction in FIGS. 2 and 5). It is preferably formed in the center. A portion of the first side wall portion 9 located on one side of the pair of screwing portions 5c from the notch portion 11, a portion located on the other side of the pair of screwing portions 5c from the notch portion 11, This is because the stress relaxation bias between the two can be reduced. That is, since the bias of the stress applied to the input / output member 13 from the frame body 7 can be reduced, it is possible to suppress the above-described stress from locally increasing.

本実施形態のパッケージ1は、切欠き部11のうち入出力部材13の上の領域に配設された接合部材15を備えている。そして、接合部材15が、枠体7が有するヤング率よりも低いヤング率を有している。枠体7よりも弾性変形し易い接合部材15が、切欠き部11のうち入出力部材13の上の領域に充填されていることから、枠体7の変形に伴って生じる応力を接合部材15で緩和させることができる。   The package 1 of this embodiment includes a joining member 15 disposed in a region above the input / output member 13 in the notch portion 11. The joining member 15 has a Young's modulus lower than the Young's modulus of the frame body 7. Since the joining member 15 that is more easily elastically deformed than the frame body 7 is filled in the region above the input / output member 13 in the cutout portion 11, the stress that occurs with the deformation of the frame body 7 is applied to the joining member 15. Can be relaxed.

接合部材15は、入出力部材13と枠体7とを接合する部材である。そのため、接合部材15は、切欠き部11のうち少なくとも入出力部材13の上の領域に配設されているが、この領域のみに配設されていることを意味するものではない。本実施形態のパッケージ1においては、入出力部材13を囲むように切欠き部11の表面全体に接合部材15が配設されている。これによって、入出力部材13と枠体7との接合性を良好なものにしている。   The joining member 15 is a member that joins the input / output member 13 and the frame body 7. For this reason, the joining member 15 is disposed at least in the region above the input / output member 13 in the notch 11, but it does not mean that the joining member 15 is disposed only in this region. In the package 1 of the present embodiment, the joining member 15 is disposed on the entire surface of the notch 11 so as to surround the input / output member 13. As a result, the bondability between the input / output member 13 and the frame 7 is improved.

また、接合部材15は切欠き部11からはみ出していても良い。例えば、本実施形態のパッケージ1においては、図2に示すように、枠体7の外側に接合部材15の一部がはみ出している。このとき、接合部材15が、基板5の上面に平行な断面において、切欠き部11からはみ出して露出する表面が曲面形状であることが好ましい。   Further, the joining member 15 may protrude from the notch portion 11. For example, in the package 1 of this embodiment, as shown in FIG. 2, a part of the joining member 15 protrudes outside the frame body 7. At this time, it is preferable that the surface of the bonding member 15 that protrudes from the notch 11 and is exposed in a cross section parallel to the upper surface of the substrate 5 has a curved shape.

図2に示すように、切欠き部11の表面が凸曲面形状である場合、枠体7の変形に伴って接合部材15が変形する際に、接合部材15の特定の領域に内部応力が集中することを抑制できる。そのため、接合部材15にクラックが生じる、あるいは接合部材15が枠体7または入出力部材13から剥離する、という可能性を抑制できるからである。   As shown in FIG. 2, when the surface of the notch 11 has a convex curved surface shape, the internal stress is concentrated in a specific region of the joining member 15 when the joining member 15 is deformed along with the deformation of the frame body 7. Can be suppressed. Therefore, it is possible to suppress the possibility that the joining member 15 is cracked or the joining member 15 is peeled off from the frame body 7 or the input / output member 13.

なお、本実施形態のパッケージ1においては、接合部材15が切欠き部11からはみ出し、この部分で露出する表面が凸曲面形状であるが、例えば、接合部材15全体が切欠き部11の内に位置して、切欠き部11から露出する表面が凹曲面形状であっても同様に接合部材15の特定の領域に内部応力が集中することを抑制できる。   In the package 1 of the present embodiment, the joining member 15 protrudes from the notch 11 and the surface exposed at this part has a convex curved surface shape. For example, the entire joining member 15 is in the notch 11. Even if the surface exposed from the notch 11 is a concave curved surface, the concentration of internal stress on a specific region of the joining member 15 can be similarly suppressed.

接合部材15としては、例えば、樹脂部材またはロウ材を用いることができる。樹脂部剤としては、例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂およびエポキシ樹脂が挙げられる。ロウ材としては、例えば、金−錫ロウおよび銀ロウが挙げられる。   As the bonding member 15, for example, a resin member or a brazing material can be used. As a resin part agent, a silicone resin, an acrylic resin, and an epoxy resin are mentioned, for example. Examples of the brazing material include gold-tin brazing and silver brazing.

一例を挙げると、枠体7として140GPa程度のFe−Ni−Co、あるいは250−300GPa程度のCu−Wを用いるとともに、接合部材15として60GPa程度の金−錫ロウを用いた場合、接合部材15のヤング率が枠体7のヤング率よりも小さい。そのため、基板5および枠体7から入出力部材13に加わる応力を小さくできる。接合部材15のヤング率は、枠体7のヤング率の3/4以下、さらには1/2以下であることが好ましい。   For example, when the frame 7 uses Fe-Ni-Co of about 140 GPa or Cu-W of about 250-300 GPa, and the joint member 15 uses gold-tin solder of about 60 GPa, the joint member 15 Is smaller than the Young's modulus of the frame body 7. Therefore, the stress applied to the input / output member 13 from the substrate 5 and the frame body 7 can be reduced. The Young's modulus of the joining member 15 is preferably 3/4 or less, more preferably 1/2 or less, of the Young's modulus of the frame body 7.

本実施形態における枠体7は、第1の側壁部9に形成された第1の貫通孔21だけでなく、第1の側壁部9とは別の側壁部に形成された第2の貫通孔を有している。第2の貫通孔は、第1の貫通孔21と同様に、枠体7の下面、内周面および外周面にそれぞれ開口する形状である。第2の貫通孔には、第2の入出力部材37の一部が挿入固定されている。第2の入出力部材37は、絶縁部材および配線導体を備えており、第1の入出力部材13と同様の構成となっている。   The frame body 7 in the present embodiment is not only the first through hole 21 formed in the first side wall part 9 but also the second through hole formed in a side wall part different from the first side wall part 9. have. Similar to the first through hole 21, the second through hole has a shape that opens to the lower surface, the inner peripheral surface, and the outer peripheral surface of the frame body 7. A part of the second input / output member 37 is inserted and fixed in the second through hole. The second input / output member 37 includes an insulating member and a wiring conductor, and has the same configuration as that of the first input / output member 13.

第1の入出力部材13が挿入固定される第1の貫通孔21が、基板5の一対のネジ止め部5cを結ぶ直線上に位置する第1の側壁部9に形成されている一方で、第2の入出力部材37が挿入固定される第2の貫通孔は、基板5の一対のネジ止め部5cを結ぶ直線上には位置していない別の側壁部に形成されている。そのため、基板5をネジ止めした際に基板5に反りなどの変形が生じた場合であっても、第2の貫通孔の変形は相対的に小さい。従って、第2の貫通孔の上方に溝部が形成されていなくてもよい。   While the first through hole 21 into which the first input / output member 13 is inserted and fixed is formed in the first side wall portion 9 located on a straight line connecting the pair of screwing portions 5c of the substrate 5, The second through hole into which the second input / output member 37 is inserted and fixed is formed in another side wall portion that is not located on a straight line connecting the pair of screwing portions 5 c of the substrate 5. Therefore, even when the substrate 5 is deformed such as warping when the substrate 5 is screwed, the deformation of the second through hole is relatively small. Therefore, the groove portion may not be formed above the second through hole.

本実施形態のパッケージ1においては、電子部品3として光半導体素子が用いられている。光半導体素子としては、例えば、LD素子に代表される、光ファイバに対して光を出射する発光素子、PD素子に代表される、光ファイバに対して光を受光する受光素子が挙げられる。このような光半導体素子を用いている場合、光半導体素子と光ファイバとの間で光学的な結合を行う必要がある。   In the package 1 of the present embodiment, an optical semiconductor element is used as the electronic component 3. Examples of the optical semiconductor element include a light emitting element that emits light to an optical fiber, typified by an LD element, and a light receiving element that receives light to the optical fiber, typified by a PD element. When such an optical semiconductor element is used, it is necessary to perform optical coupling between the optical semiconductor element and the optical fiber.

本実施形態における枠体7には、第1の貫通孔21および第2の貫通孔とは別に開口部が形成されており、この開口部に光半導体素子と光学的に結合される筒状の光ファイバ保持部材39が固定されている。光ファイバ保持部材39には光ファイバが保持される。そのため、光半導体素子と光ファイバとの間で光学的な結合を行うことができる。筒状の光ファイバ保持部材39は、光ファイバを固定して位置決めを図るための部材である。また、光ファイバ保持部材39が筒状であることによって、この筒形状の中空部分で光半導体素子と光ファイバとの間での光の伝達を行うことができる。   In the frame body 7 in this embodiment, an opening is formed separately from the first through hole 21 and the second through hole, and a cylindrical shape optically coupled to the optical semiconductor element is formed in the opening. An optical fiber holding member 39 is fixed. An optical fiber is held by the optical fiber holding member 39. Therefore, optical coupling can be performed between the optical semiconductor element and the optical fiber. The cylindrical optical fiber holding member 39 is a member for fixing and positioning the optical fiber. Further, since the optical fiber holding member 39 is cylindrical, light can be transmitted between the optical semiconductor element and the optical fiber through the cylindrical hollow portion.

光ファイバ保持部材39としては、少なくとも光ファイバを固定できる程度の強度を有していることが好ましい。具体的には、ステンレス、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルトおよびタングステンのような金属部材、あるいはこれらの金属からなる合金を用いることができる。このような金属部材のインゴットに圧延加工法、打ち抜き加工法のような金属加工法を施すことによって筒状の光ファイバ保持部材39を作製することができる。   The optical fiber holding member 39 preferably has a strength that can at least fix the optical fiber. Specifically, metal members such as stainless steel, iron, copper, nickel, chromium, cobalt, and tungsten, or alloys made of these metals can be used. The cylindrical optical fiber holding member 39 can be manufactured by subjecting such an ingot of a metal member to a metal processing method such as a rolling method or a punching method.

特に、枠体7と光ファイバ保持部材39とが、同じ金属部材を用いて形成されていることが好ましい。枠体7および光ファイバ保持部材39の熱膨張差を小さくすることができるので、枠体7と光ファイバ保持部材39との間に生じる応力を小さくすることができるからである。   In particular, the frame body 7 and the optical fiber holding member 39 are preferably formed using the same metal member. This is because the difference in thermal expansion between the frame body 7 and the optical fiber holding member 39 can be reduced, so that the stress generated between the frame body 7 and the optical fiber holding member 39 can be reduced.

本実施形態の電子装置101の使用時においては、光ファイバ保持部材39の他方の端部にフェルールが固定される。フェルールは、光ファイバ保持部材39の筒の内部に対して一方の端部が開口する貫通孔を有している。そして、この貫通孔に光ファイバが挿入固
定される。このようにフェルールが光ファイバ保持部材39に挿入固定されていることによって、光ファイバと電子部品3との光学結合を行うことができる。
When the electronic apparatus 101 of this embodiment is used, a ferrule is fixed to the other end of the optical fiber holding member 39. The ferrule has a through-hole whose one end opens to the inside of the tube of the optical fiber holding member 39. Then, an optical fiber is inserted and fixed in this through hole. In this manner, the ferrule is inserted and fixed to the optical fiber holding member 39, so that the optical fiber and the electronic component 3 can be optically coupled.

フェルールとしては、例えば、ジルコニア、アルミナ等のセラミック材料をもちいることができる。また、光ファイバとしては、石英ガラスのような透光性の材料を用いることができる。なお、本実施形態におけるフェルールは筒状の光ファイバ保持部材39の内周面に固定されているが、これに限られるものではない。例えば、光ファイバ保持部材39の他方の端部の端面にフェルールを接合することによって固定してもよい。   As the ferrule, for example, a ceramic material such as zirconia or alumina can be used. As the optical fiber, a light-transmitting material such as quartz glass can be used. In addition, although the ferrule in this embodiment is being fixed to the internal peripheral surface of the cylindrical optical fiber holding member 39, it is not restricted to this. For example, you may fix by joining a ferrule to the end surface of the other end part of the optical fiber holding member 39.

次に、第2の実施形態の電子部品収納用パッケージ1について、図面を用いて詳細に説明する。なお、本実施形態にかかる各構成において、第1の実施形態と同様の機能を有する構成については、同じ参照符号を付記し、その詳細な説明を省略する。   Next, the electronic component storage package 1 according to the second embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each structure concerning this embodiment, about the structure which has the same function as 1st Embodiment, the same referential mark is attached and the detailed description is abbreviate | omitted.

第2の実施形態のパッケージ1は、第1の実施形態のパッケージ1と比較して、切欠き部11の形状が相違している。具体的には、本実施形態のパッケージ1における切欠き部11は、図6〜8に示すように、第1の側壁部9の内側面および外側面に開口する第1の貫通孔21と、入出力部材13の上方であって第1の貫通孔21とつながり、第1の側壁部9の内側面および外側面のいずれか一方ならびに上面に開口する溝部35とを有している。   The package 1 of the second embodiment differs from the package 1 of the first embodiment in the shape of the notch 11. Specifically, as shown in FIGS. 6 to 8, the notch portion 11 in the package 1 of the present embodiment includes a first through hole 21 that opens to the inner side surface and the outer side surface of the first side wall portion 9, and Above the input / output member 13, it is connected to the first through-hole 21, and has either the inner side surface or the outer side surface of the first side wall portion 9 and a groove portion 35 that opens to the upper surface.

すなわち、本実施形態における切欠き部11は、第1の実施形態における切欠き部11と同様に、第1の側壁部9の内側面および外側面に開口する第1の貫通孔21を有している。また、第1の実施形態における溝部35が、第1の側壁部9の内側面および外側面の両方に開口している一方で、本実施形態における溝部35は、第1の側壁部9の内側面および外側面のいずれか一方に開口している。   That is, the notch portion 11 in the present embodiment has the first through hole 21 that opens to the inner side surface and the outer side surface of the first side wall portion 9 in the same manner as the notch portion 11 in the first embodiment. ing. Moreover, while the groove part 35 in 1st Embodiment is opening to both the inner surface and the outer surface of the 1st side wall part 9, the groove part 35 in this embodiment is the inside of the 1st side wall part 9. It opens to either one of the side surface and the outer surface.

本実施形態での第1の側壁部9における溝部35が形成された部分の厚みが、第1の側壁部9における他の部分の厚みよりも小さい。そのため、溝部35が形成された部分が変形し易くなっている。基板5の一対のネジ止め部5cを結ぶ直線上であって当該直線と平行に位置する側壁部である第1の側壁部9が基板5のネジ止めに起因して変形する場合に、上記の溝部35が形成された部分が変形する。このように相対的に変形し易い部分が、入出力部材13の上方に位置していることから、枠体7から入出力部材13に加わる応力を小さくすることができる。   In the present embodiment, the thickness of the portion of the first sidewall 9 where the groove 35 is formed is smaller than the thickness of the other portion of the first sidewall 9. Therefore, the part in which the groove part 35 was formed becomes easy to deform | transform. When the first side wall 9 that is a side wall located on a straight line connecting the pair of screwing portions 5c of the substrate 5 and parallel to the straight line is deformed due to the screwing of the substrate 5, the above-mentioned The portion where the groove 35 is formed is deformed. Since the relatively easily deformable portion is located above the input / output member 13, the stress applied to the input / output member 13 from the frame 7 can be reduced.

本実施形態のパッケージ1における枠体7から入出力部材13に加わる応力を抑制する効果は、第1の実施形態のパッケージ1と比較すると小さいが、一方で、本実施形態のパッケージ1における枠体7では、溝部35が形成された部分において、枠体7が一定の厚みを有していることから、第1の実施形態のパッケージ1と比較して、枠体7の形状を安定して保持することが可能となる。   The effect of suppressing the stress applied to the input / output member 13 from the frame 7 in the package 1 of the present embodiment is smaller than that of the package 1 of the first embodiment, but on the other hand, the frame in the package 1 of the present embodiment. 7, the shape of the frame body 7 is stably maintained as compared with the package 1 of the first embodiment because the frame body 7 has a constant thickness in the portion where the groove portion 35 is formed. It becomes possible to do.

溝部35が形成された部分における第1の側壁部9の厚みは、第1の側壁部9における他の部分の厚みの5〜50%程度であればよい。なお、第1の側壁部9における溝部35が形成された部分の厚みおよび上記の他の部分の厚みにそれぞればらつきがある場合、それぞれの部分の厚みの平均値を比較すれば良い。   The thickness of the first side wall 9 in the portion where the groove 35 is formed may be about 5 to 50% of the thickness of the other portion in the first side wall 9. In addition, when the thickness of the part in which the groove part 35 in the 1st side wall part 9 was formed, and the thickness of said other part each have dispersion | variation, what is necessary is just to compare the average value of the thickness of each part.

次に、一実施形態の電子装置101について、図面を用いて詳細に説明する。本実施形態の電子装置101は、上記の実施形態に代表される電子部品収納用パッケージ1と、電子部品収納用パッケージ1の載置領域5a内に載置された電子部品3と、枠体7と接合された、電子部品3を封止する蓋体105とを備えている。なお、図1においては、第1の実施形態のパッケージ1を備えた電子装置101を例示している。   Next, an electronic device 101 according to an embodiment will be described in detail with reference to the drawings. The electronic device 101 of this embodiment includes an electronic component storage package 1 typified by the above embodiment, an electronic component 3 placed in the placement region 5 a of the electronic component storage package 1, and a frame 7. And a lid 105 that seals the electronic component 3. FIG. 1 illustrates an electronic device 101 including the package 1 of the first embodiment.

本実施形態の電子装置101においては、基板5の載置領域5aに電子部品3が載置されている。電子部品3は、ボンディングワイヤ17を介して入出力部材13の配線導体27に電気的に接続されている。この電子部品3に配線導体27などを介して外部信号を入力することによって電子部品3から所望の出力を得ることができる。電子部品3としては、上述した光半導体素子の他にも、例えば、IC素子、コンデンサのような部品を用いることができる。   In the electronic device 101 of this embodiment, the electronic component 3 is placed on the placement area 5 a of the substrate 5. The electronic component 3 is electrically connected to the wiring conductor 27 of the input / output member 13 via the bonding wire 17. A desired output can be obtained from the electronic component 3 by inputting an external signal to the electronic component 3 through the wiring conductor 27 or the like. As the electronic component 3, in addition to the above-described optical semiconductor element, for example, a component such as an IC element or a capacitor can be used.

蓋体105は、枠体7と接合され、電子部品3を封止するように設けられている。蓋体105は、枠体7の上面に接合されている。そして、基板5、枠体7および蓋体105で囲まれた空間において電子部品3を封止している。このように電子部品3を封止することによって、長期間のパッケージ1の使用による電子部品3の劣化を抑制することができる。   The lid body 105 is joined to the frame body 7 so as to seal the electronic component 3. The lid body 105 is joined to the upper surface of the frame body 7. The electronic component 3 is sealed in a space surrounded by the substrate 5, the frame body 7, and the lid body 105. By sealing the electronic component 3 in this way, deterioration of the electronic component 3 due to the long-term use of the package 1 can be suppressed.

蓋体105としては、例えば、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルトおよびタングステンのような金属部材、あるいはこれらの金属からなる合金を用いることができる。また、枠体7と蓋体105は、例えばシーム溶接法によって接合することができる。また、枠体7と蓋体105は、例えば、金−錫ロウを用いて接合してもよい。   As the lid 105, for example, a metal member such as iron, copper, nickel, chromium, cobalt, and tungsten, or an alloy made of these metals can be used. The frame body 7 and the lid body 105 can be joined by, for example, a seam welding method. Moreover, you may join the frame 7 and the cover body 105, for example using gold- tin solder.

また、枠体7と蓋体105とは直接に接合されていても良いが、例えば、平面視した場合に枠体7と重なり合うようなリング形状である金属部材、いわゆるシールリングを間に挟んで接合されていても良い。   Further, the frame body 7 and the lid body 105 may be directly joined. For example, a metal member having a ring shape that overlaps the frame body 7 when viewed in plan, a so-called seal ring is interposed therebetween. It may be joined.

以上、各実施形態の電子部品収納用パッケージおよびこれを備えた電子装置について説明してきたが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更や実施形態の組み合わせを施すことは何等差し支えない。   As mentioned above, although the electronic component storage package of each embodiment and the electronic apparatus provided with the same have been described, the present invention is not limited to the above-described embodiment. That is, various modifications and combinations of embodiments may be made without departing from the scope of the present invention.

1・・・電子部品収納用パッケージ(パッケージ)
3・・・電子部品
5・・・基板
5a・・・載置領域
5b・・・平板部
5c・・・ネジ止め部
7・・・枠体
9・・・第1の側壁部
11・・・切欠き部
13・・・入出力部材(第1の入出力部材)
15・・・接合部材
17・・・ボンディングワイヤ
19・・・載置基板
21・・・第1の貫通孔
23・・・第1の絶縁部材
25・・・第2の絶縁部材
27・・・配線導体
29・・・線路導体
31・・・配線ケーブル
33・・・被覆部材
35・・・溝部
37・・・第2の入出力部材
39・・・光ファイバ保持部材
41・・・リード端子
101・・・電子装置
103・・・実装基板
105・・・蓋体
1 ... Electronic component storage package (package)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Electronic component 5 ... Board | substrate 5a ... Mounting area 5b ... Flat plate part 5c ... Screwing part 7 ... Frame body 9 ... 1st side wall part 11 ... Notch 13: Input / output member (first input / output member)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Bonding member 17 ... Bonding wire 19 ... Mounting substrate 21 ... 1st through-hole 23 ... 1st insulating member 25 ... 2nd insulating member 27 ... Wiring conductor 29 ... line conductor 31 ... wiring cable 33 ... covering member 35 ... groove 37 ... second input / output member 39 ... optical fiber holding member 41 ... lead terminal 101 ... Electronic device 103 ... Mounting board 105 ... Cover body

Claims (7)

電子部品が載置される載置領域を上面に有する平板部および該平板部から互いに反対側の側方に引き出された一対のネジ止め部を具備した基板と、
内側面、外側面および上面に開口する切欠き部を有する第1の側壁部を含む複数の側壁部からなり、前記一対のネジ止め部を結ぶ直線上に該直線と平行に前記第1の側壁部が位置して、前記基板の上面に前記載置領域を囲むように設けられた枠体と、
上面が前記枠体の上面よりも低く位置するように前記切欠き部に取り付けられた、前記電子部品に電気的に接続される入出力部材と、
前記枠体が有するヤング率よりも低いヤング率を有し、前記切欠き部のうち前記入出力部材の上の領域に配設された接合部材とを備えた電子部品収納用パッケージ。
A substrate having a flat plate portion having a mounting area on which an electronic component is mounted on the upper surface, and a pair of screwing portions drawn from the flat plate portion to the sides opposite to each other;
The first side wall includes a plurality of side wall parts including a first side wall part having a notch part opened to the inner side surface, the outer side surface, and the upper surface, and is parallel to the straight line on a straight line connecting the pair of screwing parts. The frame is provided so as to surround the placement region on the upper surface of the substrate,
An input / output member electrically connected to the electronic component attached to the notch so that the upper surface is positioned lower than the upper surface of the frame;
An electronic component storage package comprising a bonding member having a Young's modulus lower than a Young's modulus of the frame and disposed in a region of the cutout portion above the input / output member.
前記切欠き部が、前記入出力部材が取り付けられた第1の部分および該第1の部分よりも上方に位置する第2の部分を有し、前記第1の部分における幅よりも前記第2の部分における幅が小さいことを特徴とする請求項1に記載の電子部品収納用パッケージ。   The notch has a first part to which the input / output member is attached and a second part located above the first part, and the second part is larger than the width of the first part. The electronic component storage package according to claim 1, wherein a width of the electronic component is small. 前記入出力部材が、絶縁部材および前記枠体の内側から外側に引き出された配線導体を有し、前記第2の部分が前記配線導体の直上に位置していることを特徴とする請求項2に記載の電子部品収納用パッケージ。   3. The input / output member includes an insulating member and a wiring conductor drawn from the inside to the outside of the frame, and the second portion is located immediately above the wiring conductor. Package for electronic component storage as described in 1. 前記絶縁部材が前記枠体の内側と外側との間を貫通する貫通孔を有し、
該貫通孔の内周面に接地導体が配設されるとともに前記配線導体が前記貫通孔に絶縁体を介して挿入固定されており、
前記配線導体および前記接地導体によって同軸ケーブルが形成されていることを特徴とする請求項3に記載の電子部品収納用パッケージ。
The insulating member has a through-hole penetrating between the inside and the outside of the frame,
A ground conductor is disposed on the inner peripheral surface of the through hole, and the wiring conductor is inserted and fixed to the through hole via an insulator,
The electronic component storage package according to claim 3, wherein a coaxial cable is formed by the wiring conductor and the ground conductor.
前記切欠き部は、前記第1の側壁部の長手方向の中央に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品収納用パッケージ。   2. The electronic component storage package according to claim 1, wherein the cutout portion is formed at a center in a longitudinal direction of the first side wall portion. 前記接合部材は、前記基板の上面に平行な断面において、前記切欠き部から露出する表面が曲面形状であることを特徴とする請求項1に記載の電子部品収納用パッケージ。   2. The electronic component storing package according to claim 1, wherein a surface of the bonding member exposed from the notch is curved in a cross section parallel to the upper surface of the substrate. 請求項1に記載の電子部品収納用パッケージと、
該電子部品収納用パッケージの前記載置領域に載置された電子部品と、
前記枠体の上面に接合された、前記電子部品を封止する蓋体とを備えた電子装置。
The electronic component storage package according to claim 1;
An electronic component placed in the placement area of the electronic component storage package;
An electronic device comprising: a lid body that seals the electronic component joined to an upper surface of the frame body.
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