JP2013091328A - パターン形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターンが形成されたモールド103を、被加工基板101の被加工面上のインプリント材102に接触させてパターンを転写するパターン形成装置であって、モールドを角度を調整し得る状態で把持する把持部3と、モールドが被加工基板上のインプリント材に接触するように、あるいは離型するように、把持部を移動させる移動部2と、モールドの離型時における移動部の離型速度、モールドと被加工基板との間の離型角度を含む離型条件の少なくとも一つが可変となるように制御する制御部とを備える。
【選択図】図1
Description
例えば離型する際の被加工基板の温度を含めてもよい。
2 移動部
3 把持部
4 制御部
101 被加工基板
102 インプリント材
103 モールド
Claims (3)
- パターンが形成されたモールドを、被加工基板の被加工面上のインプリント材に接触させて前記パターンを転写するパターン形成装置であって、
前記モールドを角度を調整し得る状態で把持する把持部と、
前記モールドが前記被加工基板上の前記インプリント材に接触するように、あるいは離型するように、前記把持部を移動させる移動部と、
前記モールドの離型時における前記移動部の離型速度、前記モールドと前記被加工基板との間の離型角度を含む離型条件の少なくとも一つが可変となるように制御する制御部と、
を備えることを特徴とするパターン形成装置。 - 前記制御部は、前記離型条件の少なくとも1つを、ショット毎あるいは前記被加工基板毎に変化させることを特徴とする請求項1記載のパターン形成装置。
- 前記制御部は、前記離型条件としてさらに、前記被加工基板の温度を変化させることを特徴とする請求項1又は2記載のパターン形成装置。
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