JP2013088663A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ディスプレイ部などのように電極数が多く、その電極が微細に配置された電子デバイスの検査を確実に、かつ簡便に実施することが可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、電子デバイスの駆動状態を検査するとともに、電子デバイスと着脱可能に構成される。検査装置は、所定方向に沿って所定ピッチで周期的に電子デバイスに配置される複数のデバイス側電極部の各々と電気的に接続される複数の駆動側電極部と、電子デバイスを駆動させる制御信号を複数のデバイス側電極部に出力するコントローラとを有する。複数の駆動側電極部は、ｎ個のグループに分類され、所定方向に沿って複数のデバイス側電極部の所定ピッチの略１／ｎのピッチで周期的に配置されている。一のグループに属する駆動側電極部は、他のグループに属する駆動側電極部と隣接するように周期的に配置される。
【選択図】図１

Description

本発明は、情報を表示するディスプレイ部などの電子デバイスを駆動して、前記電子デバイスの駆動状態を検査するとともに、電子デバイスと着脱可能に構成された検査装置及び検査方法に関する。

従来、液晶表示装置（ＬＣＤ）に変わる情報表示装置として、帯電粒子気体中移動方式（電子粉流体（登録商標）方式）、帯電粒子液体中移動方式（電気泳動方式）、エレクトロクロミック方式、サーマル方式、２色粒子回転方式などの技術を用いた情報表示装置が提案されている。これらの情報表示装置のなかでも帯電粒子気体中移動方式や帯電粒子液体中移動方式や２色粒子回転方式を用いた情報表示装置では、給電を断ってもディスプレイ部の表示領域に表示させた情報が保持される表示メモリー性を有しているため、電子ペーパなどへの適用が期待されている。

ここで、一般に、ディスプレイ部は、駆動回路部が実装されて製品化される。また、製造工程では、実装工程に不良なディスプレイ部の流出を防ぐため、駆動回路部への実装前に制御信号をディスプレイ部に入力して、点灯などの駆動状態の検査が行われている。

ディスプレイ部に限らず、多くの電子デバイスにおいて、このような動作確認検査が行われる。

なお、一般的に、この種の検査装置としては、検査用プローブピンなどを用いて、駆動回路部に設けられる駆動側電極部とディスプレイ側電極部とを電気的に接続させて、ディスプレイ側電極部に制御信号を出力するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような検査装置を用いてディスプレイ部の駆動状態など、電子デバイスの動作確認のための検査をすることによって、完成品における一定の品質が確保されている。

特開平４−１７９０２９号公報

ところが、上述した検査装置、例えば、ディスプレイ部のような電子デバイスの動作確認のための検査装置では、次のような問題点がある。すなわち、ディスプレイ部の表示領域を構成する画素電極から引き出された引き出し電極をそれぞれ検査装置に接続するため、ディスプレイ部と検査装置との接続箇所が増大する。これらの接続箇所の全てにおいて、電気的に確実に接続することが求められる。例えば、Ａ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の表示領域にＸＧＡモノクロ規格の解像度（１０２４×７６８＝７８６４３２ピクセル）で表示できるディスプレイ部では、引き出し電極を短辺側に纏めて配置する場合、接続する箇所は、１０２４＋７６８＝１７９２箇所になり、電極中心の間隔は、２１０ｍｍ／（１０２４＋７６８）本＝１１７μｍになる。

基板に配置された電極中心の間隔は、上述のように微細である上に、接続するピン（接続用電極）の数が多いため、動作確認を行いたいディスプレイ部（電子デバイス）とその動作確認を行うための検査装置とを接続する際のアライメントを肉眼で行うことが困難である。よって、ディスプレイ部などの電子デバイスの検査では、接続する部分を顕微鏡で観察しながら、電極の接続箇所の全てにおいて確実に電気的接続を行うことが必要になっていた。よって、電極同士の位置合わせに時間がかかり、作業効率が極めて低いという問題があった。なお、このような問題は、ディスプレイ部に限らず、微細に配置された電極を備える様々な電子デバイスに共通する問題でもある。

そこで、本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ディスプレイ部などのように電極数が多く、その電極が微細に配置された電子デバイスの動作確認検査を確実に、かつ簡便に実施することが可能な検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。

第１の特徴に係る検査装置（検査装置２００）は、情報を表示するディスプレイ部１００のような電子デバイスを駆動して、前記電子デバイスの駆動状態を検査するとともに、前記電子デバイスと着脱可能に構成される。検査装置は、所定方向に沿って所定ピッチで周期的に前記電子デバイスに配置される複数のデバイス側電極部（ディスプレイ側電極部１３０）の各々と電気的に接続される複数の駆動側電極部（駆動側電極部２３０）と、前記電子デバイスを駆動させる制御信号を前記複数のデバイス側電極部に出力するコントローラ（コントローラ２４０）とを有する。前記複数の駆動側電極部は、ｎ個のグループに分類される。前記複数の駆動側電極部は、所定方向に沿ってデバイス側電極部における前記所定ピッチの略１／ｎのピッチで周期的に配置される。一のグループに属する駆動側電極部は、他のグループに属する駆動側電極部と隣接するように周期的に配置される。

かかる検査装置では、検査装置側の複数の駆動側電極部は、ｎ個のグループに分類されるとともに、所定方向に沿って、電子デバイス側のデバイス側電極部における所定ピッチの略１／ｎのピッチで周期的に配置されている。一のグループに属する駆動側電極部は、他のグループに属する駆動側電極部と隣接するように周期的に配置されている。つまり、駆動側電極部のピッチは、デバイス側電極部のピッチよりも狭く、かつ、デバイス側電極部の１ピッチあたりに、駆動側電極部がｎ個配置される。

このような検査装置によれば、電子デバイスと検査装置とを接続する際に、駆動側電極部の位置とデバイス側電極部の位置とがずれても、デバイス側電極部が、ｎ個のグループのいずれかの駆動側電極部に接触するので、各グループの駆動側電極部から順番に制御信号を出力すれば、いずれかのグループの駆動側電極部から出力された制御信号をデバイス側電極部に確実に入力させることが可能になる。すなわち、かかる検査装置によれば、ディスプレイなどのように電極数が多く、その電極が微細に配置された電子デバイスの動作確認検査を確実に、かつ簡便に実施することが可能になる。

第１の特徴において、前記複数の駆動側電極部に含まれる電極数は、前記複数のデバイス側電極部に含まれる電極数よりも多い。

第１の特徴に係る検査装置における検査方法は、前記ｎ個のグループの中から、制御対象グループを選択する工程Ａと、制御対象グループ以外のグループに属する駆動側電極部にハイインピーダンスを設定し、前記制御対象グループに属する駆動側電極部に、前記制御対象グループに対応する制御信号を出力する工程Ｂとを有する。前記工程Ｂは、前記工程Ａにおいて前記ｎ個のグループの全てが前記制御対象グループとして選択されるまで繰り返される。

第１の特徴に係る検査装置における検査方法は、前記デバイス側電極部に接続された前記駆動側電極部が属するグループを検出する工程Ａと、前記工程Ａで検出されたグループ以外のグループに属する駆動側電極部にハイインピーダンスを設定し、前記工程Ａで検出されたグループに属する駆動側電極部に、前記工程Ａで検出されたグループに対応する制御信号を出力する工程Ｂとを有する。

本発明によれば、ディスプレイ部などのように電極数が多く、その電極が微細に配置された電子デバイスの動作確認検査を確実に、かつ簡便に実施することが可能な検査装置及び検査方法を提供することができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る検査システムの構成を説明する構成図である。 図２は、本発明の第１実施形態に係る検査システムの検査装置の駆動側電極部および電子デバイスのデバイス側電極部を拡大した拡大図である。 図３（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１実施形態に係る検査システムの電子デバイスのデバイス側電極部と検査装置の駆動側電極部との接続態様を説明する模式図である。 図４は、本発明の第１実施形態に係る検査システムを制御する検査システムの検査方法を説明する図である。 図５は、本発明の第１実施形態の検査装置に係る電子デバイスと検査装置との着脱機構の一例を示す斜視図である。 図６は、本発明の第２実施形態に係る検査システムの検査装置の駆動側電極部および電子デバイスのデバイス側電極部を拡大した拡大図である。 図７は、本発明の第２実施形態に係る検査システムを制御する検査システムの検査方法を説明するフローチャートである。 図８は、本発明の実施形態の変形例に係る検査システムの検査装置の駆動側電極部および電子デバイスのデバイス側電極部を拡大した拡大図である。

本発明に係る検査装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。具体的には、（１）第１実施形態、（２）第２実施形態、（３）変形例、（４）その他の実施形態について説明する。

なお、以下の図面の記載において、同一部分には、同一の符号を付している。ただし、図面は模式的なのものであり、各寸法の比率などは現実のものとは異なることを留意すべきである。従って、具体的な寸法などは以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる。

（１）第１実施形態
ここでは、（１−１）検査システムの構成、（１−２）駆動側電極部の構成、（１−３）電子デバイスの一例としてディスプレイ部を取り上げ、デバイス側電極部と駆動側電極部との接続態様の説明、（１−４）検査装置で行う検査方法、（１−５）作用・効果について説明する。

（１−１）検査システムの構成
図１は、本発明の第１実施形態に係る検査システム１の構成を説明する構成図である。図１に示すように検査システム１は、電子デバイス（ここでは、所定の情報を表示するディスプレイ部１００を示す）と、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）を駆動して、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）の駆動状態を検査する検査装置２００とを備える。また、検査システム１では、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）と検査装置２００とが着脱可能に構成されている。なお、電子デバイスの動作確認検査とは、各電子デバイスの機能を発現させる駆動状態を確認するための検査であり、例えば、ディスプレイ部１００の動作確認としては、表示領域に所定の画像を表示できるかどうかを確認するための点灯状態の検査などが挙げられる。

以下では、電子デバイスとしてディスプレイ部を例にして説明する。

ディスプレイ部１００は、所定の情報が表示される表示領域１１０と、表示領域１１０に配置された画素電極（不図示）から引き出された配線１２０と、配線の端部に連結されたディスプレイ側電極部１３０とを有する。

図１に示す検査システム１では、ディスプレイ部１００は、少なくとも一方が透明な２枚の電極付き基板間の気体中空間（真空中を含む）に、光学的反射率を有する帯電性粒子を含む粒子群として構成した表示媒体を少なくとも１種類以上配置好ましくは封入し、表示媒体に電界を付与することによって、表示媒体を移動させて画像などの情報を表示する気体中粒子移動方式ディスプレイパネルである。後述するが、表示媒体および駆動方式は上記に限定されない。

ディスプレイ部１００の表示領域１１０には、画素電極を形成する互いに直交する行方向のライン電極（不図示）と、列方向のライン電極（不図示）とが設けられており、表示領域１１０の端部まで引き出されて配線１２０に接続されている。

配線１２０は、表示領域１１０に配置された画素電極（不図示）に連結されており、ディスプレイ側電極部１３０は、配線１２０の端部に連結されている。すなわち、ディスプレイ側電極部１３０は、表示領域１１０に配置された画素電極（不図示）に連結されている。ディスプレイ側電極部１３０は、所定の領域に集められて配置されている。なお、本実施形態において、ディスプレイ部１００は、検査装置２００によって検査される電子デバイスを構成し、ディスプレイ側電極部１３０は、電子デバイスに配置される複数のデバイス側電極部を構成する。

検査装置２００は、ディスプレイ側電極部１３０の各々と電気的に接続される複数の駆動側電極部２３０と、ディスプレイ部１００の表示領域１１０に所定の情報を表示させる制御信号をディスプレイ側電極部１３０に出力するコントローラ２４０とを備える。なお、かかる制御信号は、ディスプレイ部１００の駆動状態を検査するための検査信号と言い換えることもできる。コントローラ２４０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、タイミング信号発生回路などを備える。ＣＰＵは、ＲＯＭに格納された制御プログラムに従って、後述するドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂなどを制御する。

図１に示す検査装置２００は、ディスプレイ側電極部１３０を駆動する制御信号を出力するドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂを有する。ドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂは、記憶部２５０から読み出したデータに基づいて、ディスプレイ側電極部１３０に所定の電圧を印加するか、または、ハイインピーダンスの状態にする。図１に示す検査装置２００では、ディスプレイ側電極部１３０を制御する制御信号は、コントローラ２４０から直接送信されず、ドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂから送信される。

また、検査装置２００は、ディスプレイ部１００に表示する所定の情報などのデータが格納された記憶部２５０と、コントローラ２４０の電源回路２６０とを有する。記憶部２５０は、半導体メモリー、ハードディスク等により構成されている。記憶部２５０は、書き換え可能なＵＳＢメモリー等の記録媒体であってもよい。電源回路２６０は、情報の表示或いは消去に応じた所定の電圧を発生させる。

図１に示す検査システム１において、ディスプレイ側電極部１３０と駆動側電極部２３０とは、着脱可能に構成されたディスプレイ部１００と検査装置２００とを電気的及び機械的に接続する接続部ＣＮを構成する。

図１に示す実施形態では、検査装置２００の駆動側電極部２３０は、複数のグループに分けられている。複数の駆動側電極部２３０には、第１グループに属する第１駆動側電極部２３１と、第２グループに属する第２駆動側電極部２３２とが含まれる。図１に示す実施形態では、異なるグループに属する駆動側電極部２３０が基板面に順に配置されている。すなわち、第１駆動側電極部２３１と第２駆動側電極部２３２とが交互に配置されている。配線２２０は、駆動側電極部２３０に含まれる。

接続部ＣＮを構成するディスプレイ側電極部１３０及び駆動側電極部２３０の材質としては、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）等の導電性金属酸化物を用いてもよい。或いは、ディスプレイ側電極部１３０及び駆動側電極部２３０の材質としては、銅、アルミニウム、ニッケル、クロムなどの金属を用いてもよく、金、銀、白金、パラジウムなどの貴金属を用いてもよく、これらの合金を用いてもよい。抜き挿し方式の接続部ＣＮを構成する場合には、曲げや擦過に対する強度に優れている材料を電極部材料として用いることが好ましい。このような材料は、例えば、上述した金属、貴金属又は合金である。このうち、安価な良導電性材料である銅を好ましく用いることができる。

図１に示す実施形態では、第１駆動側電極部２３１は、ドライバＩＣ２１０Ａに接続される。ドライバＩＣ２１０Ａは、第１グループに属する第１駆動側電極部２３１にディスプレイ側電極部１３０を駆動する制御信号を出力する。第２駆動側電極部２３２は、ドライバＩＣ２１０Ｂに接続される。ドライバＩＣ２１０Ｂは、第２グループに属する第２駆動側電極部２３２にディスプレイ側電極部１３０を駆動する制御信号を出力する。

コントローラ２４０は、ディスプレイ側電極部１３０と駆動側電極部２３０とが電気的に接続された状態で、異なるグループに属する第１駆動側電極部２３１と第２駆動側電極部２３２に対して、異なるタイミングで制御信号を出力する。

なお、第１実施形態では、複数の駆動側電極部２３０が２つのグループに分類されるケースについて例示しているに過ぎない。複数の駆動側電極部２３０は、ｎ個のグループに分類されてもよい（但し、ｎは整数）。

（１−２）駆動側電極部の構成
図２は、検査システム１の検査装置２００における駆動側電極部２３０および電子デバイス側のデバイス側電極部１３０を拡大した拡大図である。第１駆動側電極部２３１と第２駆動側電極部２３２は、所属するグループが異なることを分かり易くするために符号により区別しているが、同じ構成を有する。

各駆動側電極部２３０は、ドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂに連結される配線２２０の端部に連結されており、配線２２０の端部に取り付けられた矩形状の電極パッド２３０Ａを有する。なお、デバイス側電極部１３０は、配線１２０の端部に取り付けられた矩形状の電極パッド１３０Ａを有する。

ここで、デバイス側電極部１３０（電極パッド１３０Ａ）のピッチは、“Ｐｄｐ”で表される。ピッチＰｄｐは、互いに隣接するデバイス側電極部１３０（電極パッド１３０Ａ）の中心の間隔である。電極パッド１３０Ａの幅は、“Ｗｄｐ”で表される。デバイス側電極部１３０（電極パッド１３０Ａ）間のギャップは、“Ｗｄｇ”で表される。ギャップＷｄｇは、互いに隣接する電極パッド１３０Ａ間に設けられる間隙である。なお、“Ｐｄｐ”は、“Ｐｄｐ”＝“Ｗｄｐ”＋“Ｗｄｇ”の関係で表される。

また、駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）のピッチは、“Ｐｐ”で表される。ピッチＰｐは、互いに隣接する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）の中心の間隔である。電極パッド２３０Ａの幅は、“Ｗｐ”で表される。駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）間のギャップは、“Ｗｇ”で表される。ギャップＷｇは、互いに隣接する電極パッド２３０Ａ間に設けられる間隙である。なお、“Ｐｐ”は、“Ｐｐ”＝“Ｗｐ”＋“Ｗｇ”の関係で表される。

さらに、同一グループに属する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）のうち、互いに隣接する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）間のギャップは、“Ｗｎｇ”で表される。なお、図２に示すように、駆動側電極部２３０が２つのグループに分類される場合には、“Ｗｎｇ”は、“Ｗｐ”＋２דＷｇ”で表される。

第１に、ピッチＰｄｐは、Ｐｐの略ｎ倍（ｎは、グループ数）である。言い換えると、Ｐｐは、ピッチＰｄｐの略１／ｎである。このように、本実施形態に係る検査装置２００では、複数の駆動側電極部２３０に含まれる電極数が、電子デバイス（例えばディスプレイ部１００）の複数のデバイス側電極部１３０に含まれる電極数よりも多くなるように配置されている。なお、“略”とは、ピッチ“Ｐｄｐ”及び電極パッド１３０Ａの数によって定まるずれ幅を含むことを意味する。

第２に、幅Ｗｐ及びギャップＷｇは、Ｗｐ＞Ｗｇの関係（以下、条件Ａ）を満たすことが好ましい。また、幅Ｗｄｐ及びギャップＷｇは、Ｗｄｐ＞Ｗｇの関係（以下、条件Ｂ）を満たすことが好ましい。これによって、電子デバイス（例えばディスプレイ部１００）と検査装置２００との位置関係がずれたとしても、デバイス側電極部１３０（電極パッド１３０Ａ）は、いずれかのグループに属する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）に必ず接続される。

第３に、幅Ｗｄｐ及びギャップＷｎｇは、Ｗｄｐ＜Ｗｎｇの関係（以下、条件Ｃ）を満たすことが好ましい。これによって、デバイス側電極部１３０（電極パッド１３０Ａ）は、同一グループに属する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）のうち、互いに隣接する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）に接続されることがない。

なお、条件Ａ〜条件Ｃが満たされなくても、ディスプレイ側電極部１３０（電極パッド１３０Ａ）がいずれかのグループに属する駆動側電極部２３０（電極パッド２３０Ａ）に接続されることもあることに留意すべきである。

（１−３）デバイス側電極部と駆動側電極部との接続態様の説明
駆動側電極部２３０と、デバイス側電極部１３０との接続状態について説明する。図３（ａ）〜（ｃ）は、検査システム１の電子デバイス（例えばディスプレイ部１００）と検査装置２００との接続態様を説明する模式図である。

駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０との接続状態は、図３（ａ）〜（ｃ）に示すケースで説明することができる。検査システム１では、駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０のうち何れか一方が他方に重ね合わされて互いに接続されているが、説明のため、両者の接続状態が分かるように電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）の基板を透視した状態で表している。すなわち、図３に示す状態は、紙面の垂直方向下側に検査装置２００の駆動側電極部２３０が配置されており、検査装置２００に対して紙面の垂直方向上側に電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）のデバイス側電極部１３０が重ね合わされた状態である。

なお、図３（ａ）〜（ｃ）では、説明のため、デバイス側電極部１３０及びデバイス側電極部１３０に連結される配線１２０を電極１１，１２と表し、駆動側電極部２３０の電極パッド２３０Ａと配線２２０とをグループＡに属する電極Ａ１，Ａ２と表し、グループＢに属する電極Ｂ１，Ｂ２と表す。

図３（ａ）は、駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０とが正常に接続された場合を示した図である。すなわち、この場合のずれｄ０は、０≦ｄ０＜Ｗｇであり、電極１１，１２と電極Ａ１，Ｂ１とが合致している。図３（ｂ）は、図３に示すＤ方向に電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）と検査装置２００とが距離ｄ１（Ｗｇ≦ｄ１＜Ｗｐ）ずれた状態で接続されたケースを表す。この場合、電極１１は、電極Ａ１と電極Ｂ１に接続される。同様に、電極１２は、電極Ａ２と電極Ｂ２に接続される。図３（ｃ）は、図３に示すＤ方向に電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）と検査装置２００とが距離ｄ２（Ｗｐ≦ｄ２＜（Ｐｐ＋Ｗｇ））ずれた状態で接続されたケースを表す。この場合、電極１１は、電極Ｂ１に接続される。同様に、電極１２は、電極Ｂ２に接続される。

駆動側電極部２３０は、上述の構成を備えるため、検査装置２００と電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）とを接続する際に、デバイス側電極部１３０と駆動側電極部２３０とが厳密に重なって正常に接続されなくても、駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０とが接続されて電気的に導通する。

（１−４）検査装置で行う検査方法
図４は、検査システム１の検査装置２００が、ディスプレイ部１００（電子デバイス）に所定の情報を表示させる動作確認を実行して、ディスプレイ部１００の駆動状態を検査するときの検査方法を説明する図である。図４には、検査方法を説明するフローチャートの各ステップと、表示領域１１０に表示されている情報とが紐付けて表されている。

検査装置２００のコントローラ２４０は、以下の手順に基づいて、所定の情報を表示領域１１０に表示するようにドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂを制御する。

ステップＳ１において、コントローラ２４０は、何れかのグループを選択し、選択されたグループ以外のグループに属する複数の駆動側電極部２３０をハイインピーダンスに設定する。ステップＳ２において、コントローラ２４０は、選択されたグループの駆動側電極部２３０に情報を表示するための制御信号を出力する。

すなわち、実施形態の検査システム１では、コントローラ２４０は、グループＡを選択し、グループＢに属する複数の駆動側電極部２３０（この場合、第２駆動側電極部２３２）をハイインピーダンスに設定する。続いて、検査システム１は、選択されたグループの駆動側電極部２３０（この場合、第１駆動側電極部２３１）に情報を表示するための制御信号を出力する。なお、書き換え処理に先立ってリセット処理（消去処理）が行われる。

デバイス側電極部１３０と駆動側電極部２３０との接続状態が、例えば、図３（ａ）または図３（ｂ）のケースであれば、ステップＳ２を終えたとき、表示領域１１０に新たな情報が表示される。

ステップＳ３において、コントローラ２４０は、ステップＳ１で選択されたグループ以外のグループから何れかのグループを選択し、選択されたグループ以外のグループに属する複数の駆動側電極部２３０をハイインピーダンスに設定する。ステップＳ４において、コントローラ２４０は、選択されたグループの駆動側電極部２３０に情報を表示するための制御信号を出力する。

すなわち、実施形態の検査システム１では、コントローラ２４０は、グループＢを選択し、グループＡに属する複数の駆動側電極部２３０（この場合、第１駆動側電極部２３１）をハイインピーダンスに設定する。続いて、検査システム１は、選択されたグループの駆動側電極部２３０（この場合、第２駆動側電極部２３２）に情報を表示するための制御信号を出力する。

デバイス側電極部１３０と駆動側電極部２３０との接続状態が、例えば、図３（ｃ）のケースであれば、ステップＳ４を終えたとき、表示領域１１０に新たな情報が表示される。図３（ｂ）のケースでは、グループＡの駆動側電極部２３０とグループＢの駆動側電極部２３０の両方に接続されているため、ステップＳ４を終えると、ステップＳ３で選択されたグループの駆動側電極部２３０からの制御信号によって表示領域１１０に情報が再び表示される。

図４に示したフローチャートに従って、コントローラ２４０に制御されることにより、図３（ａ）〜図３（ｂ）のいずれの接続状態になっていても、ディスプレイ部１００（電子デバイス）には所定の情報が表示される。

（１−５）作用・効果
以上説明したように、検査システム１では、電子デバイス（ここでは、情報を表示するディスプレイ部１００）と、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）の駆動状態を検査する検査装置２００とが着脱可能に構成されており、ディスプレイ部１００は、表示領域１１０に配置された画素電極に連結された複数のデバイス側電極部１３０を有し、検査装置２００は、デバイス側電極部１３０の各々と電気的に接続される複数の駆動側電極部２３０と、電子デバイスを駆動させる（ここでは、表示領域１１０に情報を表示させる）制御信号をデバイス側電極部１３０に出力するコントローラ２４０とを有する。駆動側電極部２３０は、ｎ個のグループに分類されるとともに、所定方向に沿って電子デバイス側の所定ピッチＰｄｐの略１／ｎのピッチＰｐで周期的に配置されている。一のグループに属する駆動側電極部２３０は、他のグループに属する駆動側電極部２３０と隣接するように周期的に配置されている。つまり、駆動側電極部２３０のピッチＰｐは、デバイス側電極部のピッチよりも狭く、かつ、デバイス側電極部１３０の１ピッチあたりに、駆動側電極部２３０が２個以上配置される。

このため、デバイス側電極部１３０の位置と駆動側電極部２３０の位置とがずれても、デバイス側電極部１３０が、ｎ個のグループのいずれかの駆動側電極部２３０に接続していれば、コントローラ２４０から各グループの駆動側電極部２３０に対して異なるタイミングで送られる制御信号に基づいて、表示領域１１０の情報を書き換えることができる。すなわち、検査装置２００によれば、電極数が多く、その電極が微細に配置されたディスプレイ部１００などの電子デバイスの検査を確実に、かつ簡便に実施することが可能になる。

図１に示す実施形態では、第１グループに属する第１駆動側電極部２３１と、第２グループに属する第２駆動側電極部２３２とが基板面に交互に配置されている。また、各駆動側電極部２３０（第１駆動側電極部２３１及び第２駆動側電極部２３２）は、電極パッド２３０Ａの幅Ｗｐと、隣接する電極パッド２３０Ａ間のギャップＷｇは、Ｗｐ＞Ｗｇを満たす。図１に示す構成では、ディスプレイ側電極部１３０の間隔Ｐｄｐは、Ｐｄｐ＝２Ｐｐである。

例えば、Ａ４サイズ（２１０×２９７ｍｍ）の表示領域にＸＧＡモノクロ規格の解像度（１０２４×７６８＝７８６４３２ピクセル）で表示できるように構成し、Ａ４サイズの短辺部分に縦横ライン電極から引き出されたデバイス側電極部１３０を配置する場合、２１０ｍｍの範囲に、（１０２４＋７６８＝１７９２）本のデバイス側電極部１３０が配置される。従って、接続する箇所は、１０２４＋７６８＝１７９２箇所になり、配線２２０の間隔Ｐｐは、数百μｍ〜百数十μｍになる。

検査システム１では、接続部ＣＮにおける検査装置２００側の電極を少なくとも２つのグループに分け、上記関係を満たすように構成することにより、例えば、駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０との接続状態が図３（ａ）〜（ｃ）に示す何れかのケースになり、デバイス側電極部１３０と駆動側電極部２３０とが厳密に重なって正常に接続されなくても、言い換えれば、精密なアライメントを取らなくても、駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０とが接続されて電気的に導通し得る。すなわち、駆動側電極部２３０とデバイス側電極部１３０とが正常に接続しない場合が無くなる。従って、電子デバイス（例えばディスプレイ部１００）と検査装置２００とを表示の不具合がおこらないように確実に接続することができる。

実施形態では、図３に示したように、位置ずれがｄ０，ｄ１，ｄ２の範囲であれば、電子デバイスは正しく駆動される。ディスプレイ部１００であれば、表示させたい情報が正しく表示される。また、電極１１が電極Ａ２，Ｂ２に接触するような位置ずれが起きた場合には、電極１１から順に配列される電極のうち最後の電極Ｎに通電されないことになるが、表示領域１１０の全域に表示の不具合が発生することはなく動作確認のための検査に不都合はない。

また、デバイス側電極部１３０及び駆動側電極部２３０の材質としては、上述したように、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）等の導電性金属酸化物を用いてもよい。或いは、デバイス側電極部１３０及び駆動側電極部２３０の材質としては、銅、アルミニウム、ニッケル、クロムなどの金属を用いてもよく、金、銀、白金、パラジウムなどの貴金属を用いてもよく、これらの合金を用いてもよい。抜き挿し方式の接続部ＣＮを構成する場合には、曲げや擦過に対する強度に優れている材料を電極部材料として用いることが好ましい。このような材料は、例えば、上述した金属、貴金属又は合金である。

導電性材料から電極パットとしての導電膜を形成する方法としては、次の方法が挙げられる。例えば、上述した導電性材料を基板面にスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、塗布法などにより薄膜状に形成することができる。また、金属材料については、金属箔（例えば、圧延銅箔）を形成し、基板面にラミネートする方法を用いてもよい。更に、導電性材料を含む導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合し、基板面に塗布する方法などを用いることができる。導電性材料は、パターン形成が可能であるため、成形性もよく、好適に使用できる。

導電膜を金属材料で形成する場合には、上述した形成方法のなかでも、金属材料を圧延した薄膜が好ましい。圧延した薄膜は、蒸着により形成された薄膜やスパッタリングにより形成された薄膜に比べて、曲げや擦過に対する強度を高めることができる。導電膜を配置する基板と、導電膜との密着性を高めるために、アンカー材を設けてもよい。

電極パッドとしての導電膜の厚さは、導電性が確保できればよく、一例として、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。

実施形態において、「着脱可能」を実現するための構成としては、検査装置２００が着脱機構を有することが好ましい。ここで、図５（ａ）〜（ｃ）は、着脱機構の一例を示す斜視図である。

図５（ａ）に示す着脱機構２８０は、クリップ方式によって、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）が載置される載置部２８４を有する。載置部２８４の端部２８５は、載置部２８４からせり上がる段差状に形成されている。

電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）が載置部２８４に載置される際、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）の端部１４５が、載置部２８４の端部２８５に突き当てられることで、挿抜方向（図５（ａ）のＸ方向）において、デバイス側電極部１３０の位置と、駆動側電極部２３０の位置とを容易に合わせることができる。

図５（ｂ）に示す着脱機構３８０は、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）を挿抜方向（図５（ｂ）のＸ方向）に沿って抜き差しする挿抜方式によって、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）と検査装置２００とを着脱する。電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）の端部１４５が、載置部３８４の端部３８５に突き当てられることで、挿抜方向において、デバイス側電極部１３０の位置と、駆動側電極部２３０の位置とを容易に合わせることができる。

駆動側電極部２３０は、スプリング式の電極によって構成されていることが好ましい。この場合、デバイス側電極部１３０を着脱機構３８０に差し込んだ際、電極部同士を押さえ付けることができるので、デバイス側電極部１３０と駆動側電極部２３０とを確実に接続させることができる。

図５（ｃ）に示す着脱機構４８０は、磁気吸着力によって、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）と検査装置２００とを着脱するように構成されている。着脱機構４８０では、駆動側電極部２３０を配置した基板４８１が磁石からなり、デバイス側電極部１３０を配置した基板１４１が磁性体からなる。駆動側電極部２３０を配置した基板４８１は、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）が載置される載置部４８４を有する。電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）が載置部２８４に載置される際、電子デバイス（ここではディスプレイ部１００）の端部１４５が、載置部２８４の端部２８５に突き当てられることで、挿抜方向（図５（ｃ）のＸ方向）において、デバイス側電極部１３０の位置と、駆動側電極部２３０の位置とを容易に合わせることができる。

このように、検査装置２００が着脱機構２８０，３８０，４８０を有することによって、電子デバイスを検査装置２００に着脱することが簡便になるので、電子デバイスを検査する際の作業効率が一層向上する。

第１実施形態に示す検査システム１では、駆動側電極部２３０の電極パッド２３０Ａの幅Ｗｐと、隣接する電極パッド２３０Ａ間のギャップＷｇがＷｐ＞Ｗｇを満たし、ディスプレイ側電極部１３０のピッチ（間隔）ＰｄｐがＰｄｐ＝２Ｐｐを満たす構成と合わせて、コントローラ２４０は、図４に示したフローチャートに従う処理を実行する。

すなわち、コントローラ２４０は、選択したグループ以外のグループに属する駆動側電極部２３０をハイインピーダンスに設定し、選択されたグループの駆動側電極部２３０にのみ制御信号を出力する処理を、全グループに行うため、デバイス側電極部１３０は、必ず何れかのグループに属する駆動側電極部２３０と接続されて制御信号を受け取ることができる。従って、一連の処理が終了したときには、図３（ａ）〜図３（ｂ）のいずれの接続状態になっていても、ショートなどの不良を引き起こすことなく、ディスプレイ部１００（電子デバイス）の表示領域１１０に新たな情報を必ず表示することができる。

（２）第２実施形態
次に、第２実施形態について説明する。ここでは、（２−１）検査装置の駆動側電極部、（２−２）検査装置で行う検査方法、（２−３）作用・効果について説明する。

（２−１）検査装置の駆動側電極部
図６は、検査装置４００における駆動側電極部４３０（電極パッド４３０Ａ）およびデバイス側電極部を拡大した拡大図である。第２実施形態として示す検査システム２は、ディスプレイ部３００（電子デバイス）と、検査装置４００とを備え、ディスプレイ部３００（電子デバイス）と検査装置４００とは着脱可能に構成されている。

検査システム２のディスプレイ部３００（電子デバイス）及び検査装置４００には、第１実施形態のデバイス側電極部１３０及び駆動側電極部２３０に加えて、デバイス側電極部１３０に接続された駆動側電極部２３０のグループを検出する検出部を有する。

検査システム２は、短絡されたショート配線３２１と、ショート配線３２１の端部に連結されたデバイス側電極部３３０とを有する。また、デバイス側電極部３３０の各々と電気的に接続される複数の駆動側電極部４３０を備える。駆動側電極部４３０は、複数のグループに分けられている。複数の駆動側電極部４３０には、第１グループに属する第１駆動側電極部４３１と、第２グループに属する第２駆動側電極部４３２とが含まれる。第１駆動側電極部４３１と第２駆動側電極部４３２とは、配線４２１に連結されている。配線４２１は、グループを検出する検出回路２７０に接続されている。ディスプレイ側電極部３３０、ショート配線３２１、配線４２１、配線４２１に連結された第１駆動側電極部４３１、第２駆動側電極部４３２、及び検出回路２７０は、検出部を構成する。

デバイス側電極部３３０のピッチ（間隔）は、デバイス側電極部１３０のピッチ（間隔）と同じＰｄｐである。また、駆動側電極部４３０（第１駆動側電極部４３１、第２駆動側電極部４３２は、矩形状の電極パッド４３０Ａを有し、電極パッド４３０Ａの幅Ｗｐと、隣接する電極パッド４３０Ａ間のギャップＷｇと、配線４２０のピッチ（間隔）Ｐｐとの間には、Ｐｐ＝Ｗｐ＋ＷｇかつＷｐ＞Ｗｇの関係が成り立つ。駆動側電極部４３０が図６に示す構成となっている場合には、駆動側電極部４３０に対応するデバイス側電極部３３０の間隔Ｐｄｐは、Ｐｄｐ＝２Ｐｐ（但し、Ｐｐ＝Ｗｐ＋Ｗｇ）である。

図６では、説明のため、デバイス側電極部３３０に連結されるショート配線３２１を配線Ｓと表し、グループＡに属する第１駆動側電極部４３１を電極ＤＡ１、ＤＡ２、グループＢに属する第２駆動側電極部４３２を電極ＤＢ１，ＤＢ２と表す。検出回路２７０は、配線Ｓによりショートしている電極を検出することにより、グループＡ，Ｂどちらの駆動側電極部２３０がデバイス側電極部１３０に接続されているかを検出する。

（２−２）検査装置で行う検査方法
図７は、本発明の第２実施形態に係る検査システム２の検査装置４００が、ディスプレイ部３００（電子デバイス）に所定の情報を表示させて、ディスプレイ部３００（電子デバイス）の駆動状態を検査するときの検査方法を説明するフローチャートである。図示しないコントローラ２４０は、検出部によって接続されていることが検出されたグループ以外のグループに属する複数の駆動側電極部をハイインピーダンスに設定し、検出されたグループの駆動側電極部に制御信号を出力する。

すなわち、ステップＳ１０において、コントローラ２４０は、検出部により、電極ＤＡ１，ＤＡ２に導通しているか検出する。導通している場合には、ステップＳ１１において、グループＢに属する複数の駆動側電極部２３０（この場合、第２駆動側電極部２３２）をハイインピーダンスに設定する。

続いて、ステップＳ１２において、コントローラ２４０は、グループＡの駆動側電極部２３０によって、表示領域１１０を書き換える。図７に示す処理では、コントローラ２４０は、第１駆動側電極部２３１に情報を表示するための制御信号を出力する。なお、書き換え処理に先立ってリセット処理（消去処理）が行われる。

一方、ステップＳ１０において、電極ＤＡ１，ＤＡ２に導通していないことが検出された場合には、ステップＳ１３において、さらに、電極ＤＢ１，ＤＢ２に導通しているか検出する。導通している場合には、ステップＳ１４において、グループＡに属する複数の駆動側電極部２３０（この場合、第１駆動側電極部２３１）をハイインピーダンスに設定する。

続いて、ステップＳ１５において、コントローラ２４０は、グループＢの駆動側電極部２３０によって、表示領域１１０を書き換える。

（２−３）作用・効果
以上説明したように、検査システム２の検査装置４００は、検出部によって、デバイス側電極部１３０がどのグループに属する駆動側電極部２３０（第１駆動側電極部２３１又は第２駆動側電極部２３２）に接続されているか検出することができるため、検査装置４００は、検出された一方の駆動側電極部２３０に対して制御信号を１回出力することで、表示領域１１０に表示される情報を確実に書き換えることができる。

（３）変形例
図８は、変形例に係る検査システム３の検査装置６００における駆動側電極部６３０（電極パッド６３０Ａ）およびデバイス側電極部を拡大した拡大図である。変形例として示す検査システム３では、デバイス側電極部５３０（電極パッド５３０Ａ）のピッチ（間隔）Ｐｄｐの１／ｎと、駆動側電極部６３０のピッチ（間隔）Ｐｐとが異なっている。すなわち、Ｐｄｐ／ｎ≠Ｐｐである。

すなわち、駆動側電極部６３０は、矩形状の電極パッド６３０Ａを有し、電極パッド６３０Ａの幅Ｗｐと、隣接する電極パッド６３０Ａ間のギャップＷｇとは、Ｗｐ＞Ｗｇの関係が成り立つ。更に、図８に示す構成では、デバイス側電極部５３０のピッチ（間隔）Ｐｄｐは、Ｐｄｐ／ｎ＜Ｐｐ （ｎ＝２）の関係にあるので、Ｐｄｐ＜２Ｐｐである。また、デバイス側電極部５３０がピッチＰｄｐでｍ本配置された幅ＷＤｐ、同じグループに属する駆動側電極部６３０がｍ本ずつ配置されたとき、同じグループに属する駆動側電極部の最も離れた位置にある駆動側電極部間の距離ＷＤｒとするとき、ＷＤｐ−ＷＤｒ＜Ｐｐ＋ｗｇである。

この場合、デバイス側電極部５３０と駆動側電極部６３０との接続状態は、図３（ａ）〜（ｃ）の全てが繰り返し含まれるパターンになるため、ディスプレイ部１００（電子デバイス）に所定の情報を表示することができる。

（４）その他の実施形態
上述したように、本発明の実施形態を通じて本発明の内容を開示したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例が明らかとなる。例えば、本発明の実施形態は、次のように変更することができる。

実施形態では、電子デバイス側の端部１４５が、検査装置側、例えば、着脱機構２８０の載置部２８４の端部２８５に突き当てられることで、挿抜方向（図５の例では、Ｘ方向）において、デバイス側電極部１３０の位置と、駆動側電極部２３０の位置とを容易に合わせることができることを説明したが、例えば図５に示された構成においても、電子デバイスの側端部をガイドする構造を着脱機構２８０の載置部２８４に形成しておけば、挿抜方向だけでなく、挿抜方向の直角方向（図５の例では、Ｙ方向）においても、電子デバイスのデバイス側電極部１３０の位置と、検査装置側の駆動側電極部２３０の位置とをより容易に合わせることができる検査装置が得られる。

実施形態では、ディスプレイ部１００（ディスプレイ部３００，５００も同様）は、気体中粒子移動方式ディスプレイパネルであると説明した。しかし、ディスプレイ部１００は、例えば、電気泳動方式（液体中粒子移動方式）ディスプレイ、コレステリック液晶方式ディスプレイパネル、エレクトロクロミック方式ディスプレイパネルとすることができる。また、給電を断った状態で表示された情報を所定期間保持できる表示メモリー性、いわゆるバイステイブル性を有するＭＥＭＳ方式ディスプレイパネル、銀の電解による析出を用いる方式のディスプレイパネル、溶解反応を利用したディスプレイパネルとすることができる。ディスプレイ部１００は、これら表示メモリー性を有するものが好ましいが、表示メモリー性の無い、従来の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）にも適用できる。

実施形態において、検査システム１には、ドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂが設けられていると説明した。しかし、電子デバイスがディスプレイ部であっても、ドライバＩＣは、必ずしも必要でない。コントローラ２４０がディスプレイ部１００の制御信号を、駆動側電極部２３０を介してディスプレイ側電極部１３０に直接出力する構成であってもよい。ドライバＩＣ２１０Ａ，２１０Ｂを使用すると、コントローラ２４０の負荷軽減、配線２２０の本数を減らすなどの利点がある。

実施形態では、検査装置２００は、記憶部２５０を備えると説明した。この他に、例えば、無線通信及び／又は有線通信を可能とする通信デバイスを備え、ディスプレイ部１００の表示領域１１０に表示する情報に関するデータや、他の電子デバイスなどでもその動作確認に必要なデータを、ネットワークを介して取得することもできる。

実施形態では、駆動側電極部２３０には、グループＡに属する第１駆動側電極部２３１（電極Ａ１，Ａ２）と、グループＢに属する第２駆動側電極部２３２（電極Ｂ１，Ｂ２）とが含まれると説明した。しかし、２つのグループに限定されない。３つであってもよい。

また、実施形態では、駆動側電極部がピッチ（間隔）Ｐｐで配置されており、デバイス側電極部がピッチ（間隔）Ｐｄｐで配置されており、Ｐｄｐ＝２Ｐｐである場合について説明した。しかし、デバイス側電極部のピッチ（間隔）は、駆動側電極部の間隔の整数倍であればよく、２倍に限定されない。すなわち、例えば、Ｐｄｐ＝３Ｐｐ、Ｐｄｐ＝４Ｐｐという関係になるような配置になっていてもよい。

また、実施形態に係る検査システム１乃至３は、検査装置２００，４００，６００を備えていたが、他の検査装置を更に備えてもよい。更に、実施形態に係る検査システム１乃至３は、ネットワークを介して外部装置に接続するように構成されていてもよい。

このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態などを含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は、上述の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

Ａ１，Ａ２…電極、Ｂ１，Ｂ２…電極、１，２，３…検査システム、１１，１２…電極、１００…ディスプレイ部、１１０…表示領域、１２０…配線、１３０…デバイス側電極部、１３０Ａ…電極パッド、２００，４００，６００…検査装置、２１０Ａ，２１０Ｂ…ＩＣドライバ、２２０…配線、２３０…駆動側電極部、２３０Ａ…電極パッド、２３１…第１駆動側電極部、２３２…第２駆動側電極部、２４０…コントローラ、２５０…記憶部、２６０…電源回路、２７０…検出回路、２８０，３８０，４８０…着脱機構、３００，５００…ディスプレイ部、３２１…ショート配線、３３０…デバイス側電極部、４２０…配線、４２１…配線、４３０…駆動側電極部、４３０Ａ…電極パッド、４３１…第１駆動側電極部、４３２…第２駆動側電極部、５３０…デバイス側電極部、５３０Ａ…電極パッド、６３０…駆動側電極部、６３０Ａ…電極パッド

Claims (4)

1. 電子デバイスを駆動して、前記電子デバイスの駆動状態を検査するとともに、前記電子デバイスと着脱可能に構成された検査装置であって、
   所定方向に沿って所定ピッチで周期的に前記電子デバイスに配置される複数のデバイス側電極部の各々と電気的に接続される複数の駆動側電極部と、
   前記電子デバイスを駆動させる制御信号を前記複数のデバイス側電極部に出力するコントローラとを有し、
   前記複数の駆動側電極部は、ｎ個のグループに分類されており、
   前記複数の駆動側電極部は、所定方向に沿って前記所定ピッチの略１／ｎのピッチで周期的に配置されており、
   一のグループに属する駆動側電極部は、他のグループに属する駆動側電極部と隣接するように周期的に配置される
   ことを特徴とする検査装置。
2. 前記複数の駆動側電極部に含まれる電極数は、前記複数のデバイス側電極部に含まれる電極数よりも多い
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 請求項１に記載の検査装置における検査方法であって、
   前記ｎ個のグループの中から、制御対象グループを選択する工程Ａと、
   制御対象グループ以外のグループに属する駆動側電極部にハイインピーダンスを設定し、前記制御対象グループに属する駆動側電極部に、前記制御対象グループに対応する制御信号を出力する工程Ｂとを有しており、
   前記工程Ｂは、前記工程Ａにおいて前記ｎ個のグループの全てが前記制御対象グループとして選択されるまで繰り返される
   ことを特徴とする検査方法。
4. 請求項１に記載の検査装置における検査方法であって、
   前記デバイス側電極部に接続された前記駆動側電極部が属するグループを検出する工程Ａと、
   前記工程Ａで検出されたグループ以外のグループに属する駆動側電極部にハイインピーダンスを設定し、前記工程Ａで検出されたグループに属する駆動側電極部に、前記工程Ａで検出されたグループに対応する制御信号を出力する工程Ｂとを有する
   ことを特徴とする検査方法。

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