JP2013088315A - 計測方法 - Google Patents
計測方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013088315A JP2013088315A JP2011229894A JP2011229894A JP2013088315A JP 2013088315 A JP2013088315 A JP 2013088315A JP 2011229894 A JP2011229894 A JP 2011229894A JP 2011229894 A JP2011229894 A JP 2011229894A JP 2013088315 A JP2013088315 A JP 2013088315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- measured
- partial
- shape
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 98
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- OQCFWECOQNPQCG-UHFFFAOYSA-N 1,3,4,8-tetrahydropyrimido[4,5-c]oxazin-7-one Chemical compound C1CONC2=C1C=NC(=O)N2 OQCFWECOQNPQCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面2の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面2に対して、前記被計測面2の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域8を設定する第1ステップと、前記複数の部分領域8のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域8のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、前記複数の部分領域8のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面2の表面形状を算出する第3ステップと、を有し、前記平行四辺形は、120度と60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。
【選択図】図3
Description
Claims (6)
- 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域を設定する第1ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有し、
前記平行四辺形は、120度と60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下であることを特徴とする計測方法。 - 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の全体を覆うように、三角形の同一の外形を有する複数の部分領域を設定する第1ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有し、
前記三角形は、60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下であることを特徴とする計測方法。 - 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の中心を通る直線で点対称に2分割された部分領域を設定する第1ステップと、
前記部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記部分領域のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、
前記部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有することを特徴とする計測方法。 - 前記第3ステップは、
前記部分領域のそれぞれについて、前記部分領域のそれぞれの形状を前記計測装置で計測したときの計測誤差を直交関数系で定義するステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれについて、前記直交関数系の係数を変数として含む目的関数を設定し、当該目的関数の値が許容範囲に収まるように前記係数を決定して前記計測誤差を求めるステップと、
前記計測誤差が除去された前記部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出するステップと、
を含むことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の計測方法。 - 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域を設定する第1ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれを計測装置の計測領域に位置決めして前記計測領域を前記計測装置で計測し、前記複数の部分領域のそれぞれについて、前記複数の部分領域のそれぞれの表面形状を含む計測データを取得する第2ステップと、
前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有し、
前記平行四辺形は、120度と60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下であることを特徴とする計測方法。 - 前記計測領域の大きさは、前記部分領域の大きさよりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の計測方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011229894A JP5913900B2 (ja) | 2011-10-19 | 2011-10-19 | 計測方法 |
US13/632,566 US20130103346A1 (en) | 2011-10-19 | 2012-10-01 | Measurement method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011229894A JP5913900B2 (ja) | 2011-10-19 | 2011-10-19 | 計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013088315A true JP2013088315A (ja) | 2013-05-13 |
JP5913900B2 JP5913900B2 (ja) | 2016-04-27 |
Family
ID=48136659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011229894A Expired - Fee Related JP5913900B2 (ja) | 2011-10-19 | 2011-10-19 | 計測方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130103346A1 (ja) |
JP (1) | JP5913900B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170059479A1 (en) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | Parhelion Incorporated | Method for Detecting Turbidity Using Coherent Light |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09273908A (ja) * | 1996-04-05 | 1997-10-21 | Komatsu Ltd | 光学的計測装置 |
JP2004117248A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Seiko Instruments Inc | 広領域走査型プローブ顕微鏡 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4910693A (en) * | 1987-12-29 | 1990-03-20 | Hughes Aircraft Company | Method and apparatus for sampling lattice pattern generation and processing |
JP5424581B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2014-02-26 | キヤノン株式会社 | 部分測定を合成する形状測定方法 |
-
2011
- 2011-10-19 JP JP2011229894A patent/JP5913900B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-10-01 US US13/632,566 patent/US20130103346A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09273908A (ja) * | 1996-04-05 | 1997-10-21 | Komatsu Ltd | 光学的計測装置 |
JP2004117248A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Seiko Instruments Inc | 広領域走査型プローブ顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5913900B2 (ja) | 2016-04-27 |
US20130103346A1 (en) | 2013-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004125768A (ja) | 物体試験表面の完全アパーチャ数値データマップを合成する方法 | |
Luhmann | Close range photogrammetry for industrial applications | |
JP4913054B2 (ja) | 大きなアスペクト比を有するコンポーネントの干渉計測定のための方法および装置 | |
JP2006329628A (ja) | 構造物における変形量計測方法 | |
KR101643113B1 (ko) | 통합된 파면 센서 및 프로파일로미터 | |
WO2018201677A1 (zh) | 基于光束平差的远心镜头三维成像系统的标定方法及装置 | |
CN104990501B (zh) | 一种三维激光扫描装置的系统参数校准方法 | |
CN112967342B (zh) | 一种高精度三维重建方法、系统、计算机设备及存储介质 | |
Lartigue et al. | Digitised point quality in relation with point exploitation | |
JP2013541011A (ja) | 半導体ウェハーエッジ検査のための座標融合および厚さ較正 | |
Geckeler et al. | New frontiers in angle metrology at the PTB | |
US7495773B2 (en) | In situ determination of pixel mapping in interferometry | |
Cai et al. | Calibration method for the rotating axis in panoramic 3D shape measurement based on a turntable | |
JP2008544295A (ja) | 物体の表面トポロジを再構成する方法 | |
Rafeld et al. | Recent developments on an interferometric multilateration measurement system for large volume coordinate metrology | |
JP5913900B2 (ja) | 計測方法 | |
JP5273091B2 (ja) | 3次元形状測定装置及び3次元形状測定方法 | |
Zhou et al. | A segmental calibration method for a miniature serial-link coordinate measuring machine using a compound calibration artefact | |
JP2006515422A (ja) | 小さい対象物の表面再構成のための較正ソフトウェア | |
KR20080030638A (ko) | 폐형 해를 갖는 합성 데이터 맵의 어셈블링 방법 | |
CN115661226B (zh) | 镜面物体的三维测量方法、计算机可读存储介质 | |
Zang et al. | Interferometric measurement of freeform surfaces using irregular subaperture stitching | |
JP2000097663A (ja) | 干渉計 | |
JP6452086B2 (ja) | 形状算出装置及び方法、計測装置、物品製造方法、及び、プログラム | |
Bräuer-Burchardt et al. | Comparison of calibration strategies for optical 3D scanners based on structured light projection using a new evaluation methodology |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160404 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5913900 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |