JP5913900B2 - 計測方法 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域を設定する第1ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有し、
前記平行四辺形は、120度と60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下であり、
前記第3ステップは、
前記部分領域のそれぞれについて、前記部分領域のそれぞれの形状を前記計測装置で計測したときの計測誤差を直交関数系で定義するステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれについて、前記直交関数系の係数を変数として含む目的関数を設定し、当該目的関数の値が許容範囲に収まるように前記係数を決定して前記計測誤差を求めるステップと、
前記計測誤差が除去された前記部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出するステップと、
を含むことを特徴とする計測方法。 - 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の全体を覆うように、三角形の同一の外形を有する複数の部分領域を設定する第1ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有し、
前記三角形は、60度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下であり、
前記第3ステップは、
前記部分領域のそれぞれについて、前記部分領域のそれぞれの形状を前記計測装置で計測したときの計測誤差を直交関数系で定義するステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれについて、前記直交関数系の係数を変数として含む目的関数を設定し、当該目的関数の値が許容範囲に収まるように前記係数を決定して前記計測誤差を求めるステップと、
前記計測誤差が除去された前記部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出するステップと、
を含むことを特徴とする計測方法。 - 正六角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面に対して、前記被計測面の中心を通る直線で点対称に2分割された部分領域を設定する第1ステップと、
前記部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記部分領域のそれぞれについて計測データを取得する第2ステップと、
前記部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する第3ステップと、
を有し、
前記第3ステップは、
前記部分領域のそれぞれについて、前記部分領域のそれぞれの形状を前記計測装置で計測したときの計測誤差を直交関数系で定義するステップと、
前記部分領域のそれぞれについて、前記直交関数系の係数を変数として含む目的関数を設定し、当該目的関数の値が許容範囲に収まるように前記係数を決定して前記計測誤差を求めるステップと、
前記計測誤差が除去された前記部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出するステップと、
を含むことを特徴とする計測方法。 - 多角形の外形を有する被計測面の表面形状を計測する計測方法であって、
前記被計測面における複数の部分領域のそれぞれの表面形状を計測装置で計測した前記複数の部分領域のそれぞれの計測データを取得する取得ステップと、
前記複数の部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出する算出ステップと、を有し、
前記複数の部分領域は、前記被計測面の全体を分割した多角形の同一の外形を有する複数の部分領域であり、
前記算出ステップは、
前記複数の部分領域のそれぞれについて、前記部分領域の表面形状を前記計測装置で計測したときの計測誤差を前記部分領域の直交関数系で定義するステップと、
前記直交関数系の係数を変数として含む目的関数の値が許容範囲に収まるように前記係数を決定して前記計測誤差を求めるステップと、
前記計測誤差が除去された前記複数の部分領域のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面の表面形状を算出するステップと、
を含むことを特徴とする計測方法。 - 前記複数の部分領域は、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域、三角形の同一の外形を有する複数の部分領域、又は、前記被計測面の中心を通る直線で点対称に2分割された複数の部分領域である、ことを特徴とする請求項4に記載の計測方法。
- 前記被計測面は、六角形の外形を有する、ことを特徴とする請求項4又は5に記載の計測方法。
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