JP2013088192A - 赤外線固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一実施形態によれば、感熱画素からなる赤外線検出素子部と、前記赤外線検出素子部により得られた赤外線の画像信号をアナログ−デジタル変換するAD変換器と、デジタル信号に変換された画像信号を処理するデジタル信号処理部からなる赤外線固体撮像装置を提供する。前記デジタル信号処理部が、現フレームの直前フレームの取得画像値を記憶し、現フレームの取得画像値から、前記直前フレームの取得画像値に対し予め定めた0から1の間の定数αを乗算した画像値を減算し、さらに減算した画像値を1/(1−α)倍する処理をすることにより、残像の少ない赤外線画像を提供する。
【選択図】 図9
Description
図1に第1の実施形態に係る赤外線固体撮像装置の構成を示す。本赤外線固体撮像装置は、図1左部に示す赤外線検出素子部(アナログ検出部)1と、図1右部に示すAD変換部4及びデジタル信号処理部5からなる。赤外線検出素子部(アナログ検出部)1により、外部から赤外線検出素子部1に入射した赤外線が検出され、検出された赤外線のアナログ電気信号(画像信号)は、AD変換部4に送られ、AD変換部4によりデジタル信号に変換される。このデジタル信号はデジタル信号処理部5に送られ、そこで各フレーム毎の画像値(赤外線画像のデジタル信号)からその直前フレームの画像値に定数を乗算した値を減算して、残像低減処理を行う。
可視光センサであるCMOSイメージセンサでは、フォトダイオードに蓄積した信号電荷を電気的にリセットすることによって、非撮像時の信号レベル(ダークレベル)を各画素ごとに出力し、ダークレベルの画素間ばらつきを補正することができる。しかし熱型赤外線検出素子部では、各感熱画素は常に何らかの被写体温度信号を反映しており、メカニカル・シャッタによる物理的な遮光動作を行わないと熱的なダークレベルを取得できない。特に熱型赤外線検出素子部の各感熱画素は、ダークレベルの各感熱画素間ばらつきが、被写体温度信号よりも数桁大きいため、ダークレベル補正が必須となっている。
4 ・・・AD変換器
5 ・・・デジタル信号処理部
12 ・・・感熱画素
17 ・・・支持基板
18 ・・・凹部
31 ・・・行選択回路
32 ・・・カラムアンプ
34 ・・・垂直信号線
41 ・・・フレームメモリ
42 ・・・定数乗算部
43 ・・・減算器
44 ・・・定数乗算部
45 ・・・出力
161・・・熱電変換部
162・・・支持構造
162a・・・絶縁膜
162b・・・接続配線
191・・・赤外線吸収膜
193・・・埋め込み絶縁層
192・・・pn接合ダイオード
194・・・配線
201・・・カラムアンプ
202・・・バッファ
Claims (3)
- 感熱画素からなる赤外線検出素子部と、前記赤外線検出素子部により得られた赤外線の画像信号をアナログ−デジタル変換するAD変換器と、デジタル信号に変換された画像信号を処理するデジタル信号処理部からなり、前記デジタル信号処理部は、現フレームの直前フレームの取得画像値を記憶し、現フレームの取得画像値から、前記直前フレームの取得画像値に対し予め定めた0から1の間の定数αを乗算した画像値を減算し、さらに減算した画像値を1/(1−α)倍する処理をすることを特徴とする赤外線固体撮像装置。
- 赤外線吸収膜と、熱電変換部と、該熱電変換部を前記半導体基板内部に形成される中空熱分離構造上に支持するための支持構造とにより構成され、前記支持構造には前記熱電変換部からの信号を読み出すための配線が含まれており、前記配線が前記行選択線および信号線に接続される感熱画素と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の赤外線固体撮像装置。
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