JP2013077826A - 固体撮像装置及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換素子PDと画素トランジスタからなる画素が複数配列され、画素トランジスタのうちの転送トランジスタにおける転送ゲートのチャネル幅が、光電変換素子PD側よりフローティングディフージョン(FD)領域側で広くして成る。そして、転送ゲートは、FD領域と転送ゲートとが接する位置の両端部間を結ぶ直線よりも、FD領域側に少なくともその一部が形成されている。さらに、FD領域は、直線と平行な方向において、転送ゲートと接する位置以外のFD領域の端部間の長さが、両端部間を結ぶ直線からFD領域側に向けて広がる部分を有する。
【選択図】図1
Description
なお、図示しないが、選択トランジスタTr4を省略した3トランジスタとフォトダイオードPDで画素を構成することも可能である。
その他、第1実施形態の構成で説明したと同様の効果を奏する。
Claims (21)
- 光電変換素子と画素トランジスタからなる画素が複数配列され、
前記画素トランジスタのうちの転送トランジスタにおける転送ゲートのチャネル幅が、前記光電変換素子側よりフローティングディフージョン領域側で広く構成され、
前記転送ゲートは、前記フローティングディフージョン領域と前記転送ゲートとが接する位置の両端部間を結ぶ直線よりも、前記フローティングディフージョン領域側に少なくともその一部が形成され、
前記フローティングディフージョン領域は、前記直線と平行な方向において、前記転送ゲートと接する位置以外の前記フローティングディフージョン領域の端部間の長さが、前記両端部間を結ぶ直線から前記フローティングディフージョン領域側に向けて広がる部分を有する
固体撮像装置。 - 前記フローティングディフージョン領域の一部に高濃度領域が形成されている請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域の、前記高濃度領域を囲いかつ素子分離領域との間の他部が、前記高濃度領域の不純物濃度より低い低濃度領域で形成されている請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域の前記高濃度領域がコンタクト部と共用されている請求項2又は3に記載の固体撮像装置。
- 前記高濃度領域は、前記転送ゲートの凸部の先端に隣接している請求項2乃至4に記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲートと接する位置以外の前記フローティングディフージョン領域の端部間の長さが、前記両端部間を結ぶ直線から前記フローティングディフージョン領域側に向けて漸次広がる部分を有する請求項1乃至5に記載の固体撮像装置。
- 前記光電変換素子は複数存在し、前記複数の光電変換素子は前記フローティングディフージョン領域を共有している請求項1乃至6に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域を共有している前記複数の光電変換素子は、前記フローティングディフージョン領域を囲う4個の光電変換素子である請求項7に記載の固体撮像装置。
- 複数の光電変換素子と該それぞれの光電変換素子の信号電荷を読み出す複数の転送トランジスタの組が、他の画素トランジスタを共有している請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記他の画素トランジスタは少なくともリセットトランジスタ、増幅トランジスタを含む請求項9記載の固体撮像装置。
- 前記他の画素トランジスタはリセットトランジスタ、増幅トランジスタ、選択トランジスタを含む請求項9記載の固体撮像装置。
- 複数の前記光電変換素子と該それぞれの光電変換素子の信号電荷を読み出す複数の前記転送トランジスタの組が、垂直及び水平方向の直交座標系に配列される請求項1に記載の固体撮像装置。
- 複数の前記光電変換素子と該それぞれの光電変換素子の信号電荷を読み出す複数の前記転送トランジスタの組が、垂直及び水平方向から斜めに傾いた軸に直交する座標系に配列されている請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記画素トランジスタからの画像信号が垂直信号線に読み出される請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記垂直信号線に接続された水平転送部を有し、前記画像信号が前記垂直信号線から前記水平転送部に読み出される請求項14に記載の固体撮像装置。
- 前記水平転送部は、増幅器、アナログ/デジタル変換器、列選択回路、及び水平転送線から選ばれる少なくとも1つ以上を備える請求項15に記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲート下において、前記光電変換素子、前記フローティングディフージョン領域、及び、前記素子分離領域に囲まれた領域にチャネル部を有する請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記転送ゲート下において、前記光電変換素子と前記チャネル部とが接続する長さが前記光電変換素子側のチャネル幅であり、前記フローティングディフージョン領域と前記チャネル部とが接続する長さが前記フローティングディフージョン領域側のチャネル幅である請求項17に記載の固体撮像装置。
- 前記フローティングディフージョン領域、前記光電変換素子、及び、前記チャネル部を囲む前記素子分離領域が、前記フローティングディフージョン領域と逆導電型の半導体層から形成されている請求項18に記載の固体撮像装置。
- 前記高濃度領域は、前記フローティングディフージョン領域を共有する複数の前記光電変換素子に対して、前記フローティングディフージョン領域の中央に配置されている請求項7に記載の固体撮像装置。
- 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の光電変換素子に入射光を導く光学系と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路を備えたカメラであって、
前記固体撮像装置は、
光電変換素子と画素トランジスタからなる画素が複数配列され、
前記画素トランジスタのうちの転送トランジスタにおける転送ゲートのチャネル幅が、前記光電変換素子側よりフローティングディフージョン領域側で広く構成され、
前記転送ゲートは、前記フローティングディフージョン領域と前記転送ゲートとが接する位置の両端部間を結ぶ直線よりも、前記フローティングディフージョン領域側に少なくともその一部が形成され、
前記フローティングディフージョン領域は、前記直線と平行な方向において、前記転送ゲートと接する位置以外の前記フローティングディフージョン領域の端部間の長さが、前記両端部間を結ぶ直線から前記フローティングディフージョン領域側に向けて広がる部分を有する
カメラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012264657A JP5531081B2 (ja) | 2012-12-03 | 2012-12-03 | 固体撮像装置及びカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007311183A Division JP5292787B2 (ja) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | 固体撮像装置及びカメラ |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014087272A Division JP5725232B2 (ja) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 固体撮像装置及びカメラ |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013077826A true JP2013077826A (ja) | 2013-04-25 |
JP5531081B2 JP5531081B2 (ja) | 2014-06-25 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012264657A Expired - Fee Related JP5531081B2 (ja) | 2012-12-03 | 2012-12-03 | 固体撮像装置及びカメラ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5531081B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5531081B2 (ja) | 2014-06-25 |
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