JP2013074118A - 基板の溝加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この溝加工装置は、移動方向の両端に刃を有する溝加工ツール2を基板のパターニングラインに沿って往復移動させ、基板上に溝を形成する装置であって、基板が載置されるテーブル1と、溝加工ツール2が装着されるヘッド3と、テーブル1とヘッド3とを水平面内で相対的に移動させるための移動支持機構6と、を備えている。ヘッド3は、上下移動可能なホルダ17と、揺動部材18と、振れ規制機構と、を有している。揺動部材18は、溝加工ツール2を保持し、移動方向と直交する揺動軸を支点としてホルダ17に揺動自在に支持されて往動位置と復動位置とを取り得る。振れ規制機構は往動位置と復動位置の揺動部材18の揺動軸方向の振れを規制する。
【選択図】図4
Description
この装置は、太陽電池基板Wが載置されるテーブル1と、溝加工ツール(以下、単にツールと記す)2が装着されたヘッド3と、それぞれ2つのカメラ4及びモニタ5と、を備えている。
図2にヘッド3を抽出して示している。ヘッド3は、板状のベース16と、ホルダ17と、揺動部材18と、エアシリンダ19と、を有している。
以上のような装置を用いて薄膜太陽電池基板に溝加工を行う場合は、移動機構6によりヘッド3を移動させるとともにテーブル1を移動させ、カメラ4及びモニタ5を用いて、ツール2を溝加工予定ライン上に位置させる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
2 ツール
3 ヘッド
6 移動支持機構
17 ホルダ
18 揺動部材
28 当接部
28a 係合溝
42 ネジ部材
55 ピン
56 スプリング
Claims (6)
- 移動方向の両端に刃を有する溝加工ツールを基板のパターニングラインに沿って往復移動させ、基板上に溝を形成する溝加工装置であって、
基板が載置されるテーブルと、
前記溝加工ツールが装着されるヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動機構と、
を備え、
前記ヘッドは、
上下移動可能なホルダと、
前記溝加工ツールを保持し、前記移動方向と直交する揺動軸を支点として前記ホルダに揺動自在に支持されて往動位置と復動位置とを取り得る揺動部材と、
前記往動位置と前記復動位置の前記揺動部材の前記揺動軸方向の振れを規制する振れ規制機構と、
を有している、基板の溝加工装置。 - 前記揺動部材の揺動範囲を、前記往動位置と前記復動位置の間に規制するための1対のストッパをさらに備えた、請求項1に記載の基板の溝加工装置。
- 前記揺動部材は、
前記揺動軸の下方に形成され前記溝加工ツールが装着されるツール装着部と、
前記揺動軸の上方に形成され前記1対のストッパに当接可能な当接部と、を有し、
前記振れ規制機構は、前記1対のストッパ及び前記当接部に形成された係合部及び前記係合部が係合する被係合部を有している、
請求項2に記載の基板の溝加工装置。 - 前記被係合部は前記移動方向に向かって幅が狭くなるV字状の溝であり、
前記係合部は前記V字状溝に係合可能である、
請求項3に記載の基板の溝加工装置。 - 加工時以外において、前記揺動部材を中立位置に維持するための中立維持機構をさらに備えた、請求項1から4のいずれかに記載の基板の溝加工装置。
- 前記中立維持手段は、前記揺動部材を挟んで前記揺動部材を中立位置に付勢する1対のスプリングである、請求項5に記載の基板の溝加工装置。
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