KR101312285B1 - 기판의 홈 가공 장치 - Google Patents

기판의 홈 가공 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101312285B1
KR101312285B1 KR1020120098673A KR20120098673A KR101312285B1 KR 101312285 B1 KR101312285 B1 KR 101312285B1 KR 1020120098673 A KR1020120098673 A KR 1020120098673A KR 20120098673 A KR20120098673 A KR 20120098673A KR 101312285 B1 KR101312285 B1 KR 101312285B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
swinging
substrate
groove
tool
head
Prior art date
Application number
KR1020120098673A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130034588A (ko
Inventor
마사노부 소야마
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20130034588A publication Critical patent/KR20130034588A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101312285B1 publication Critical patent/KR101312285B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Milling, Broaching, Filing, Reaming, And Others (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

[과제] 툴을 왕복 이동시켜 홈 가공하는 장치에 있어서, 툴의 흔들림을 억제하여, 홈을 높은 정도(精度)로 가공할 수 있도록 한다.
[해결 수단] 이 홈 가공 장치는, 이동 방향의 양단(兩端)에 날을 가지는 홈 가공 툴(2)을 기판의 패터닝 라인을 따라 왕복 이동시켜, 기판 상에 홈을 형성하는 장치이고, 기판이 재치(載置)되는 테이블(1)과, 홈 가공 툴(2)이 장착되는 헤드(3)와, 테이블(1)과 헤드(3)를 수평면 내에서 상대적으로 이동시키기 위한 이동 지지 기구(6)를 구비하고 있다. 헤드(3)는, 상하 이동 가능한 홀더(17)와, 요동(搖動) 부재(18)와, 흔들림 규제 기구를 가지고 있다. 요동 부재(18)는, 홈 가공 툴(2)을 보지(保持)하고, 이동 방향과 직교하는 요동 축을 지점(支點)으로 하여 홀더(17)에 요동 가능하게 지지되어 왕동(往動) 위치와 복동(復動) 위치를 취할 수 있다. 흔들림 규제 기구는 왕동 위치와 복동 위치의 요동 부재(18)의 요동 축 방향의 흔들림을 규제한다.

Description

기판의 홈 가공 장치{GROOVE PROCESSING DEVICE FOR SUBSTRATE}
본 발명은, 홈 가공 장치, 특히, 이동 방향의 양단(兩端)에 날을 가지는 홈 가공 툴을 기판의 패터닝 라인을 따라 왕복 이동시켜, 기판 상에 홈을 형성하는 기판의 홈 가공 장치에 관한 것이다.
박막 태양 전지는, 예를 들어 특허 문헌 1에 나타내지는 방법으로 제조된다. 이 특허 문헌 1에 기재된 제조 방법에서는, 유리 등의 기판 상에 Mo막으로 이루어지는 하부 전극막이 형성되고, 그 후, 하부 전극막에 홈이 형성되는 것에 의하여 단책상(短冊狀)으로 분할된다. 다음으로, 하부 전극막 상에 CIGS막 등의 황동광(chalcopyrite) 구조 화합물 반도체막을 포함하는 화합물 반도체막이 형성된다. 그리고, 이러한 반도체막의 일부가 홈 가공에 의하여 스트라이프(stripe) 형상으로 제거되어 단책상으로 분할되고, 이것들을 덮도록 상부 전극막이 형성된다. 마지막으로, 상부 전극막의 일부가 홈 가공에 의하여 스트라이프 형상으로 박리(剝離)되어 단책으로 분할된다.
이상과 같은 공정에 있어서의 홈 가공 기술의 하나로서, 다이아몬드 등의 메커니컬 툴에 의하여 박막의 일부를 제거하는 메커니컬 스크라이브법이 이용되고 있다. 이 메커니컬 스크라이브법에 있어서, 안정된 폭의 홈 가공을 행할 수 있도록, 특허 문헌 2에 나타내지는 방법이 제안되어 있다. 이 특허 문헌 2에 나타내진 방법에서는, 가공 부하를 조정하는 가공 부하 조정 기구를 구비한 홈 가공 툴 및 박리 툴이 이용되고 있다.
일본국 공개실용신안공보 실개소63-16439호 일본국 공개특허공보 특개2002-033498호
종래의 홈 가공 장치 혹은 홈 가공 방법에서는, 연속하여 복수의 홈을 가공하는 경우, 1개의 홈을 가공한 후에, 헤드를 상승시켜, 가공 개시 위치까지 이동시키고, 계속하여 다음의 홈을 가공한다고 하는 동작이 반복된다. 이와 같은 종래의 장치 및 방법에서는, 가공에 시간이 걸리고, 또한 먼저 조정된 툴의 압압력(押壓力, 내리누르는 힘)을 재조정하여야 하는 경우가 있다.
그래서, 본건 발명자들은, 효율 좋고 신속하게 홈 가공을 행할 수 있는 가공 장치를 개발하여, 이미 출원하였다(일본국 특허출원 특원2010-082953). 이 가공 장치는, 헤드에 상하 이동 가능하게 툴 홀더가 취부되어 있고, 나아가, 이 툴 홀더에 소정의 각도 범위 내에서 요동(搖動) 부재가 요동 가능하게 취부되어 있다. 요동 부재에는 홈 가공 툴이 보지(保持)되어 있고, 요동 부재는 왕동(往動) 시의 전진 절삭 자세와 복동(復動) 시의 후진 절삭 자세로 반전시켜진다. 홈 가공 툴에는, 왕동 측 및 복동 측에 대칭적인 전부(前部) 인선(刃先) 및 후부(後部) 인선이 설치되어 있다. 그리고, 요동 부재가 왕동(전진) 절삭 자세에 있을 때에 전부 인선이 태양 전지 기판에 접촉하고, 복동(후진) 절삭 자세에 있을 때에 후부 인선이 태양 전지 기판에 접촉한다.
이상과 같은 홈 가공 툴을 이용하여 홈 가공을 행하면, 효율 좋게 홈 가공을 행할 수 있다. 그러나, 툴이 고정된 요동 부재가 요동 가능하기 때문에, 홈 가공 시에 이동 방향과 직교하는 방향으로 툴 및 요동 부재가 흔들릴 우려가 있다. 홈 가공 시에 툴이 이동 방향과 직교하는 방향으로 흔들리면, 홈을 높은 정도(精度)로 형성할 수 없다.
본 발명의 과제는, 툴을 왕복 이동시켜 홈 가공하는 장치에 있어서, 툴의 흔들림을 억제하여, 홈을 높은 정도로 가공할 수 있도록 하는 것에 있다.
제1 발명에 관련되는 기판의 홈 가공 장치는, 이동 방향의 양단에 날을 가지는 홈 가공 툴을 기판의 패터닝 라인을 따라 왕복 이동시켜, 기판 상에 홈을 형성하는 장치이고, 기판이 재치(載置, 물건의 위에 다른 것을 올리는 것)되는 테이블과, 홈 가공 툴이 장착되는 헤드와, 테이블과 헤드를 수평면 내에서 상대적으로 이동시키기 위한 이동 기구를 구비하고 있다. 헤드는, 상하 이동 가능한 홀더와, 요동 부재와, 흔들림 규제 기구를 가지고 있다. 요동 부재는, 홈 가공 툴을 보지하고, 이동 방향과 직교하는 요동 축을 지점(支點)으로 하여 홀더에 요동 가능하게 지지되어 왕동 위치와 복동 위치를 취할 수 있다. 흔들림 규제 기구는 왕동 위치와 복동 위치의 요동 부재의 요동 축 방향의 흔들림을 규제한다.
이 장치에서는, 홈 가공 툴은 왕복 이동되고, 왕동 시와 복동 시의 양방(兩方)에 있어서 기판 상에 홈이 형성된다. 그리고, 요동 부재는, 왕동 시에는 왕동 위치에, 또한 복동 시에는 복동 위치에 위치한다. 이러한 위치에 있어서, 이동 방향과 직교하는 방향의 요동 부재의 흔들림이 흔들림 규제 기구에 의하여 규제된다.
여기에서는, 왕동 시 및 복동 시에 있어서, 요동 부재의 흔들림이 규제되기 때문에, 가공 시에 있어서의 홈 가공 툴의 흔들림이 규제된다. 이 때문에, 홈의 특히 이동 방향과 직교하는 방향의 단면(端面)을 높은 정도로 가공할 수 있다.
제2 발명에 관련되는 기판의 홈 가공 장치는, 제1 발명의 홈 가공 장치에 있어서, 요동 부재의 요동 범위를 왕동 위치와 복동 위치의 사이로 규제하기 위한 한 쌍의 스토퍼(stopper)를 더 구비하고 있다.
이 장치에서는, 요동 부재는 한 쌍의 스토퍼에 의하여 요동 범위가 규제되어, 왕동 시에는 왕동 위치에, 복동 시에는 복동 위치에 위치시켜진다.
제3 발명에 관련되는 기판의 홈 가공 장치는, 제2 발명의 홈 가공 장치에 있어서, 요동 부재는, 요동 축의 하방(下方)에 형성되고 홈 가공 툴이 장착되는 툴 장착부와, 요동 축의 상방(上方)에 형성되고 한 쌍의 스토퍼에 당접(當接, 부딪는 상태로 접하는 것) 가능한 당접부를 가지고 있다. 그리고, 흔들림 규제 기구는, 한 쌍의 스토퍼 및 당접부에 형성된 계합부(係合部) 및 계합부가 계합(係合, 걸어 맞춤)하는 피계합부를 가지고 있다.
여기에서는, 한 쌍의 스토퍼 및 당접부에 형성된 계합부 및 피계합부에 의하여, 요동 축의 흔들림이 규제된다. 이 때문에, 간단한 구성으로 홈의 가공 정도를 높게 할 수 있다.
제4 발명에 관련되는 기판의 홈 가공 장치는, 제3 발명의 홈 가공 장치에 있어서, 피계합부는 이동 방향을 향하여 폭이 좁아지는 V자 형상의 홈이고, 계합부는 V자 형상 홈에 계합 가능하다.
여기에서는, 계합부가 V자 형상 홈에 계합하는 것에 의하여, 요동 부재의 흔들림이 규제된다.
제5 발명에 관련되는 기판의 홈 가공 장치는, 제1 내지 제4 발명 중 어느 하나의 홈 가공 장치에 있어서, 가공 시 이외에 있어서, 요동 부재를 중립 위치로 유지하기 위한 중립 유지 기구를 더 구비하고 있다.
제6 발명에 관련되는 기판의 홈 가공 장치는, 제5 발명의 홈 가공 장치에 있어서, 중립 유지 수단은, 요동 부재를 사이에 두고 요동 부재를 중립 위치로 압박하는 한 쌍의 스프링이다.
이상과 같은 본 발명에서는, 툴을 왕복 이동시켜 홈 가공하는 장치에 있어서, 툴의 흔들림을 억제하여, 높은 정도로 홈을 가공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 홈 가공 툴이 장착된 홈 가공 장치의 외관 사시도.
도 2는 홈 가공 장치의 헤드의 정면도.
도 3은 요동 부재의 확대 부분도.
도 4는 요동 부재와 스토퍼와의 관계를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 도 4에 상당하는 도면.
본 발명의 일 실시예에 의한 홈 가공 장치로서의 집적형 박막 태양 전지용 홈 가공 장치의 외관 사시도를 도 1에 도시한다.
［홈 가공 장치의 전체 구성］
이 장치는, 태양 전지 기판(W)이 재치되는 테이블(1)과, 홈 가공 툴(이하, 단순히 툴이라고 적는다)(2)이 장착된 헤드(3)와, 각각 2개의 카메라(4) 및 모니터(5)를 구비하고 있다.
테이블(1)은 수평면 내에 있어서 도 1의 Y 방향으로 이동 가능하다. 또한, 테이블(1)은 수평면 내에서 임의의 각도로 회전 가능하다. 덧붙여, 도 1에서는, 헤드(3)의 개략의 외관을 도시하고 있고, 헤드(3)의 상세는 후술한다.
헤드(3)는, 이동 지지 기구(6)에 의하여, 테이블(1)의 상방에 있어서 X, Y 방향으로 이동 가능하다. 덧붙여, X 방향은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 수평면 내에서 Y 방향에 직교하는 방향이다. 이동 지지 기구(6)는, 한 쌍의 지지 기둥(7a, 7b)과, 한 쌍의 지지 기둥(7a, 7b) 사이에 걸쳐 설치된 가이드 바(8)와, 가이드 바(8)에 형성된 가이드(9)를 구동하는 모터(10)를 가지고 있다. 헤드(3)는, 가이드(9)를 따라, 전술과 같이 X 방향으로 이동 가능하다.
2개의 카메라(4)는 각각 대좌(臺座, 12)에 고정되어 있다. 각 대좌(12)는 지지대(13)에 설치된 X 방향으로 연장되는 가이드(14)를 따라 이동 가능하다. 2개의 카메라(4)는 상하동(上下動)이 가능하고, 각 카메라(4)로 촬영된 화상이 대응하는 모니터(5)에 표시된다.
［헤드］
도 2에 헤드(3)를 추출하여 도시하고 있다. 헤드(3)는, 판상(板狀)의 베이스(16)와, 홀더(17)와, 요동 부재(18)와, 에어 실린더(19)를 가지고 있다.
홀더(17)는, 도시하지 않는 레일을 통하여, 베이스(16)에 대하여 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 홀더(17)는, 홀더 본체(22)와, 홀더 본체(22)의 표면에 고정된 지지 부재(23)를 가지고 있다. 홀더 본체(22)는, 판상으로 형성되고, 상부에 개구(開口, 22a)를 가지고 있다. 지지 부재(23)는 가로 방향으로 긴 직사각형 형상의 부재이며, 내부에 요동 부재(18)가 삽통(揷通, 구멍에 통과시키는 것)하는 관통 구멍(23a)이 형성되어 있다.
요동 부재(18)는, 홀더 본체(22) 및 지지 부재(23)에 요동 가능하게 지지되어 있다. 요동 부재(18)는, 하부의 툴 장착부(24)와, 툴 장착부(24)로부터 상방으로 연장되어 형성된 연장부(25)를 가지고 있다.
툴 장착부(24)에는 홈이 형성되고, 이 홈에 툴(2)이 삽입되며, 나아가 고정 플레이트(24a)에 의하여 툴(2)이 홈 내에 고정되어 있다.
연장부(25)의 하부에는, 수평 방향에서, 또한 홈 형성 방향과 직교하는 방향으로 관통하는 구멍(25a)이 형성되어 있다. 그리고, 이 구멍(25a)을 관통하는 핀(26)을 중심으로 요동 부재(18)는 요동 가능하게 되어 있다. 핀(26)은 홀더 본체(22)와 지지 부재(23)에 의하여 지지되어 있다. 또한, 연장부(25)의 상단부(上端部)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 당접부(28)가 형성되어 있다. 당접부(28)의 좌우 측면에는, 각각 상하 방향으로 연장되는 계합 홈(28a)이 형성되어 있다. 계합 홈(28a)은, 도 4에 도시하는 바와 같이, 평면으로부터 볼 때 V자 형상으로 형성되어 있다. 덧붙여, 도 3은 요동 부재(18)의 연장부(25)를 확대하여 도시한 것이다. 또한, 도 4는 요동 부재(18)의 상단부를 상방으로부터 본 도면이다.
도 2 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 요동 부재(18)의 당접부(28)의 좌우 양측에는, 한 쌍의 스토퍼(27a, 27b)가 설치되어 있다. 각 스토퍼(27a, 27b)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 통상(筒狀) 부재(41)와 나사 부재(42)를 가지고 있다. 각 통상 부재(41)는, 홀더 본체(22)에 고정되어 있고, 내부에 나사 구멍(41a)이 형성되어 있다. 나사 부재(42)는 이 나사 구멍(41a)에 나합(螺合, 나사를 끼워 맞추는 것)되어 있다. 나사 부재(42)의 선단(先端)은 대략 원추상(圓錐狀)으로 형성되어 있다.
도 4는, 전술과 같이, 요동 부재(18)의 당접부(28)를 상방으로부터 본 도면이며, 동 도 (a)는, 요동 부재(18)가 핀(26)의 둘레에 반시계 방향으로 요동하여, 당접부(28)의 계합 홈(28a)에 스토퍼(27b) 측의 나사 부재(42)의 선단이 계합한 상태를 도시하고 있다. 이 상태는, 헤드(3)가 도 2의 -M 방향으로 이동할 때의 상태이며, 요동 부재(18)는 복동 위치에 위치하고 있다. 동 도 (b)는 요동 부재(18)의 당접부(28)만을 도시하고 있다. 동 도 (c)는, 요동 부재(18)가 핀(26)의 둘레에 시계 방향으로 요동하여, 당접부(28)의 계합 홈(28a)에 스토퍼(27a) 측의 나사 부재(42)의 선단이 계합한 상태를 도시하고 있다. 이 상태는, 헤드(3)가 도 2의 +M 방향으로 이동할 때의 상태이며, 요동 부재(18)는 왕동 위치에 위치하고 있다.
이상과 같은 구성에서는, V자 형상의 계합 홈(28a)에 나사 부재(42)의 선단이 계합한 상태에서는, 툴(2)이 고정된 요동 부재(18)는 이동 방향과 직교하는 방향의 흔들림이 규제된다. 즉, 요동 부재(18)의 당접부(28)에 형성된 V자 형상의 계합 홈(28a)과 나사 부재(42)에 의하여, 흔들림 규제 기구가 구성되어 있다.
에어 실린더(19)는 실린더 지지 부재(30)의 상면(上面)에 고정되어 있다. 실린더 지지 부재(30)는, 홀더(17)의 상부에 배치되고, 베이스(16)에 고정되어 있다. 실린더 지지 부재(30)에는 상하 방향으로 관통하는 구멍이 형성되어 있어, 에어 실린더(19)의 피스톤 로드(piston rod, 도시하지 않음)가 이 관통 구멍을 관통하고, 로드 선단이 홀더(17)에 연결되어 있다.
또한, 베이스(16)의 상부에는 스프링 지지 부재(31)가 설치되어 있다. 스프링 지지 부재(31)와 홀더(17)와의 사이에는 스프링(32)이 설치되어 있고, 스프링(32)에 의하여 홀더(17)는 상방으로 압박되어 있다. 이 스프링(32)에 의하여, 홀더(17)의 자중을 대략 캔슬할 수 있다.
홀더(17)의 좌우 양측에는, 한 쌍의 에어 공급부(34a, 34b)가 설치되어 있다. 한 쌍의 에어 공급부(34a, 34b)는 모두 같은 구성이며, 각각 조인트(35)와 에어 노즐(36)을 가지고 있다.
［홈 가공 동작］
이상과 같은 장치를 이용하여 박막 태양 전지 기판에 홈 가공을 행하는 경우는, 이동 지지 기구(6)에 의하여 헤드(3)를 이동시키는 것과 함께 테이블(1)을 이동시켜, 카메라(4) 및 모니터(5)를 이용하여, 툴(2)을 홈 가공 예정 라인 상에 위치시킨다.
이상과 같은 위치 맞춤을 행한 후, 에어 실린더(19)를 구동하여 홀더(17) 및 요동 부재(18)를 하강시켜, 툴(2)의 선단을 박막에 닿게 한다. 이 때의, 툴(2)의 박막에 대한 가압력(加壓力)은, 에어 실린더(19)로 공급되는 에어압에 의하여 조정된다.
다음으로 모터(10)를 구동하여, 헤드(3)를 홈 가공 예정 라인을 따라 주사한다.
왕동 시(도 2에 있어서 우측으로의 이동 시)는, 툴(2)의 날과 기판 상의 박막과의 접촉 저항에 의하여, 요동 부재(18)는 핀(26)을 중심으로 시계 방향으로 요동한다. 이 요동은, 요동 부재(18)의 당접부(28)의 계합 홈(28a)에, 스토퍼(27a) 측의 나사 부재(42)의 선단이 당접하는 것에 의하여 규제된다. 즉, 헤드(3)의 왕동 시에는, 요동 부재(18)는 왕동 위치에 위치한다. 그리고, 나사 부재(29)의 선단이 요동 부재(18)의 당접부(28)에 형성된 계합 홈(28a)에 계합한 상태에서는, 요동 부재(18)의 흔들림, 상세하게는, 이동 방향과 직교하는 방향의 흔들림이 규제된다. 이 때문에, 왕동 시에 있어서의 툴(2)의 흔들림이 규제되어, 가공되는 홈의 양 단면의 품질이 향상한다.
이 후, 헤드(3)를 기판에 대하여 상대적으로 이동시켜, 툴(2)을 다음으로 하강하여야 할 홈 가공 예정 라인 상으로 이동시킨다. 그리고, 상기와 마찬가지로, 툴(2)을 기판 상의 박막에 꽉 눌러, 상기와는 반대 방향으로 헤드(3)를 이동시킨다.
이 복동 시(도 2에 있어서 좌측으로의 이동 시)에 있어서는, 툴(2)의 날과 기판 상의 박막과의 접촉 저항에 의하여, 요동 부재(18)는 핀(26)을 중심으로 반시계 방향으로 요동한다. 이 요동은, 요동 부재(18)의 당접부(28)의 계합 홈(28a)에, 스토퍼(27a) 측의 나사 부재(42)의 선단이 당접하는 것에 의하여 규제된다. 즉, 헤드(3)의 복동 시에는, 요동 부재(18)는 복동 위치에 위치한다. 그리고, 나사 부재(42)의 선단이 요동 부재(18)의 당접부(28)에 형성된 계합 홈(28a)에 계합한 상태에서는, 요동 부재(18)의 이동 방향과 직교하는 방향의 흔들림이 규제된다. 이 때문에, 왕동 시와 마찬가지로, 복동 시에 있어서의 툴(2)의 흔들림이 규제되어, 가공되는 홈의 양 단면의 품질이 향상한다.
덧붙여, 홈 가공 중 혹은 홈 가공 종료 시에 있어서, 각 에어 공급부(34a, 34b)의 에어 노즐(36)로부터 에어가 분출되어, 기판으로부터 박리된 막이 제거된다.
［다른 실시예］
본 발명은 이상과 같은 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위를 일탈하는 것 없이 여러 변형 또는 수정이 가능하다.
(a) 도 5에 다른 실시예를 도시하고 있다. 이 도 5에 도시하는 실시예에서는, 한 쌍의 스토퍼의 구성이 상기 실시예와 다르고, 그 외의 구성은 마찬가지이다. 덧붙여, 도 5(a)는 요동 부재(18)의 복동 위치를 도시하고, 동 도 (b)는 가공하고 있지 않는 상태에서의 중립 위치를 도시하며, 동 도 (c)는 왕동 위치를 도시하고 있다.
여기에서는, 통상 부재(50)에는, 동축의 제1 구멍(51), 제2 구멍(52), 제3 구멍(53)이 형성되어 있다. 구멍 직경은, 제1 구멍(51)이 가장 크고, 제2 구멍(52)이 다음으로 크고, 제3 구멍(53)이 가장 작다.
제1 구멍(51)에는 핀(55)이 슬라이드 가능하게 삽입되어 있다. 핀(55)의 선단은 대략 원추상으로 형성되어 있고, 이 원추상의 선단부는 요동 부재(18)의 당접부(28)의 계합 홈(28a)에 계합 가능하다. 또한, 제2 구멍(52)에는 스프링(56)이 삽입되어 있고, 핀(55)을 요동 부재(18)의 당접부(28)를 향하여 압박하고 있다.
이 실시예에서는, 왕동 시 또는 복동 시에는, 상기 실시예와 마찬가지로, 요동 부재(18)는 스프링(56)의 압박력에 저항하여 요동되고, 핀(55)은 통상 부재(50)의 내부로 밀어 넣어진다. 그리고, 핀(55)의 단면이 제1 구멍(51)의 저부(底部)에 당접한 상태로 정지한다. 즉, 요동 부재(18)는, 왕동 위치(도 5(c)) 또는 복동 위치(도 5(a))의 위치에서 정지한다.
한편, 가공하고 있지 않는 상태에서는, 요동 부재(18)는, 양측으로부터 핀(55)을 통하여 스프링(56)의 압박력에 의하여 눌려, 중립 위치로 유지된다.
이 실시예에 있어서도, 상기 실시예와 마찬가지의 작용 효과를 얻을 수 있다.
(b) 흔들림 기구의 구성은 상기 각 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 요동 부재(18)의 상방에 가이드 부재를 설치하여, 요동 부재(18)의 흔들림을 규제하도록 하여도 무방하다. 구체적으로는, 가이드 부재의 하부에, 이동 방향을 따라 연장되고 하방으로 개방하는 가이드 홈을 형성하고, 이 가이드 홈에 요동 부재(18)의 연장부(25)가 끼워 넣어지도록 하면 된다.
이 경우는, 요동 부재(18)의 연장부(25)는 가이드 홈을 따라 요동한다. 이 때문에, 연장부(25)가 가이드홈의 양 측벽에 의하여 가이드되어, 요동 부재(18) 및 툴(2)의 흔들림을 규제할 수 있다.
1 : 테이블
2 : 툴
3 : 헤드
6 : 이동 지지 기구
17 : 홀더
18 : 요동 부재
28 : 당접부
28a : 계합 홈
42 : 나사 부재
55 : 핀
56 : 스프링

Claims (6)

  1. 이동 방향의 양단(兩端)에 날을 가지는 홈 가공 툴을 기판의 패터닝 라인을 따라 왕복 이동시켜, 기판 상에 홈을 형성하는 홈 가공 장치이고,
    기판이 재치(載置)되는 테이블과,
    상기 홈 가공 툴이 장착되는 헤드와,
    상기 테이블과 상기 헤드를 수평면 내에서 상대적으로 이동시키기 위한 이동 기구
    를 구비하고,
    상기 헤드는,
    상하 이동 가능한 홀더와,
    상기 홈 가공 툴을 보지(保持)하고, 상기 이동 방향과 직교하는 요동(搖動) 축을 지점(支點)으로 하여 상기 홀더에 요동 가능하게 지지되어 왕동(往動) 위치와 복동(復動) 위치를 취할 수 있는 요동 부재와,
    상기 왕동 위치와 상기 복동 위치의 상기 요동 부재의 상기 요동 축 방향의 흔들림을 규제하는 흔들림 규제 기구
    를 가지고 있는, 기판의 홈 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 요동 부재의 요동 범위를 상기 왕동 위치와 상기 복동 위치의 사이로 규제하기 위한 한 쌍의 스토퍼(stopper)를 더 구비한, 기판의 홈 가공 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 요동 부재는,
    상기 요동 축의 하방(下方)에 형성되고 상기 홈 가공 툴이 장착되는 툴 장착부와,
    상기 요동 축의 상방(上方)에 형성되고 상기 한 쌍의 스토퍼에 당접(當接) 가능한 당접부를 가지고,
    상기 흔들림 규제 기구는, 상기 한 쌍의 스토퍼 및 상기 당접부에 형성된 계합부(係合部) 및 상기 계합부가 계합하는 피계합부를 가지고 있는,
    기판의 홈 가공 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피계합부는 상기 이동 방향을 향하여 폭이 좁아지는 V자 형상의 홈이고,
    상기 계합부는 상기 V자 형상 홈에 계합 가능한,
    기판의 홈 가공 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    가공 시 이외에 있어서, 상기 요동 부재를 중립 위치로 유지하기 위한 중립 유지 기구를 더 구비한, 기판의 홈 가공 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 중립 유지 수단은, 상기 요동 부재를 사이에 두고 상기 요동 부재를 중립 위치로 압박하는 한 쌍의 스프링인, 기판의 홈 가공 장치.
KR1020120098673A 2011-09-28 2012-09-06 기판의 홈 가공 장치 KR101312285B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011212149A JP5779465B2 (ja) 2011-09-28 2011-09-28 基板の溝加工装置
JPJP-P-2011-212149 2011-09-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130034588A KR20130034588A (ko) 2013-04-05
KR101312285B1 true KR101312285B1 (ko) 2013-09-27

Family

ID=48016807

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120098673A KR101312285B1 (ko) 2011-09-28 2012-09-06 기판의 홈 가공 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5779465B2 (ko)
KR (1) KR101312285B1 (ko)
CN (1) CN103029156B (ko)
TW (1) TWI526408B (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104384591A (zh) * 2014-09-29 2015-03-04 酒泉奥凯种子机械股份有限公司 利用刨床加工长轴通键槽的方法
CN109435078A (zh) * 2018-11-16 2019-03-08 中建四局第六建筑工程有限公司 一种高精混凝土砌块拉结筋开槽工具

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6316439U (ko) * 1986-07-18 1988-02-03 Sanyo Electric Co
JP2002033498A (ja) 2000-07-17 2002-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 集積型薄膜太陽電池の製造方法およびパターニング装置
JP2011216646A (ja) 2010-03-31 2011-10-27 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブ装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1526313A (fr) * 1967-04-14 1968-05-24 Boussois Souchon Neuvesel Sa Appareil pour la découpe du verre
JPS504005B1 (ko) * 1970-01-21 1975-02-13
US4201104A (en) * 1978-11-09 1980-05-06 The Fletcher-Terry Company Glass cutter
DE4407271C2 (de) * 1994-03-04 1997-01-16 Dietrich Heinz Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen Bearbeitung von Materialien mittels Wasserstrahlschneiden
JP2011142236A (ja) * 2010-01-08 2011-07-21 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 薄膜太陽電池用の溝加工ツール及びその角度規制構造
TWI451587B (zh) * 2010-01-08 2014-09-01 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd 薄膜太陽電池用溝加工工具

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6316439U (ko) * 1986-07-18 1988-02-03 Sanyo Electric Co
JP2002033498A (ja) 2000-07-17 2002-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 集積型薄膜太陽電池の製造方法およびパターニング装置
JP2011216646A (ja) 2010-03-31 2011-10-27 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブ装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130034588A (ko) 2013-04-05
TW201317188A (zh) 2013-05-01
JP5779465B2 (ja) 2015-09-16
JP2013074118A (ja) 2013-04-22
CN103029156B (zh) 2016-04-06
CN103029156A (zh) 2013-04-10
TWI526408B (zh) 2016-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI473772B (zh) 薄膜太陽能電池用凹溝加工工具及薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置
JP3326384B2 (ja) 半導体ウエハーの劈開方法およびその装置
KR101251896B1 (ko) 박막 태양 전지용 스크라이브 장치
US20110167979A1 (en) Groove machining tool for use with a thin-film solar cell
KR101510175B1 (ko) 기판의 홈 가공 툴 및 홈 가공 장치
KR101312285B1 (ko) 기판의 홈 가공 장치
KR20110081761A (ko) 박막 태양 전지용 홈 가공 툴 및 그 취부 각도 규제 구조
KR101402755B1 (ko) 기판의 홈 가공 툴
JP5436007B2 (ja) 太陽電池パネルの製膜スクライブ装置
JP2011216646A (ja) スクライブ装置
KR101828375B1 (ko) 기판의 홈 가공 툴 및 기판용 홈 가공 장치
JP2011238672A (ja) ツールホルダおよびこれを用いたスクライブ装置
JP2013125878A (ja) 薄膜太陽電池用溝加工ツール及び薄膜太陽電池の溝加工装置
JP2014192357A (ja) パターニング加工装置およびパターニング加工処理システム
KR20140118846A (ko) 홈 가공 툴 및, 이것을 이용한 홈 가공 장치
CN112209607B (zh) 一种用于加工激光传感器玻璃片的切割工装
JP7095913B2 (ja) スクライブヘッド及びスクライブ装置
JP2014008553A (ja) 加工ヘッド
JP6160365B2 (ja) 加工装置
JP5981795B2 (ja) 基板の溝加工方法及び溝加工装置
CN109278081A (zh) 一种多功能自动化裁断机
JP2014188630A (ja) 溝加工ツール、及びこれを用いた溝加工装置
JP2005283501A (ja) アーム式ウルトラミクロトーム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160818

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170818

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180903

Year of fee payment: 6