TWI473772B - 薄膜太陽能電池用凹溝加工工具及薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置 - Google Patents

薄膜太陽能電池用凹溝加工工具及薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置 Download PDF

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Description

薄膜太陽能電池用凹溝加工工具及薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置
本發明係關於薄膜太陽能電池用凹溝加工工具(tool)，特別是關於一種被保持於支持具(holder)，並且用以與支持具共同沿著積體型薄膜太陽能電池基板的劃線(scribe)預定線(line)相對性地往復移動而於基板上形成凹溝的凹溝加工工具。
此外，本發明係關於凹溝加工裝置，特別是關於一種使凹溝加工工具沿著積體型薄膜太陽能電池基板的劃線預定線對於基板相對性地移動，而於基板上形成凹溝的凹溝加工裝置。
薄膜太陽能電池係例如以專利文獻1所示之方法製造。在該專利文獻1所記載之製造方法中，由鉬(Mo)膜所構成之下部電極膜係形成於玻璃(glass)等基板上，且於其後，將凹溝形成於下部電極膜，藉以將下部電極膜分割為長條狀。接著，於下部電極膜上形成包含銅銦鎵硒(Copper Indium Gallium DiSelenide，簡稱CIGS)膜等黃銅礦(chalcopyrite)構造化合物半導體膜之化合物半導體膜。而且，該等半導體膜之一部分係以凹溝加工線條(stripe)狀地去除，而分割為長條狀，並以覆蓋該等長條狀半導體膜的方式形成上部電極膜。最後，上部電極膜的一部分係以凹溝加工線條狀地剝離而分割為長條狀。
以如同以上步驟中之凹溝加工技術之一而言，目前已有使用一種機械刻劃(mechanical scribe)法，其係藉由鑽石(diamond)等機械工具(Mechanical tool)而去除薄膜一部分。於該機械刻劃法中，專利文獻2已揭示一種方法，能進行穩定寬度的凹溝加工。於該專利文獻2所揭示的方法中，係使用具備用以調整加工負荷之加工負荷調整機構的凹溝加工工具以及剝離工具。
[先前技術文獻] (專利文獻)
專利文獻1：日本實開昭63-16439號公報
專利文獻2：日本特開2002-033498號公報
習知之凹溝加工裝置或凹溝加工方法中，在連續加工複數條凹溝的情況，係於加工1條溝後，使頭部(head)上升，並使其移動到加工開始位置，接著再加工下個凹溝，並且重複該等動作。在此種習知之裝置以及方法中，加工時耗費時間，而且會有必須再調整先前調整過之工具的推壓力的情況。
因此，本案之發明人等係已開發有一種能有效率且迅速地進行凹溝加工之加工裝置，並已提出申請(日本特願2010-082953)。該加工裝置係於頭部安裝有能上下移動的工具支持具，且進一步於該工具支持具安裝有能在預定的角度範圍內搖動的搖動構件。凹溝加工工具係被保持於搖動構件，且搖動構件係藉由往前移動時之前進切削姿勢與往後移動時之後退切削姿勢而反轉。凹溝加工工具係於往前移動側以及往後移動側設置有對稱性的前部刃尖以及後部刃尖。而且，搖動構件係於處於往前移動(前進)切削姿勢時，前部刃尖接觸於太陽能電池基板，且於處於往後移動(後退)切削姿勢時，後部刃尖接觸於太陽能電池基板。
在此，本發明人等，發現在使用習知之加工工具而進行凹溝加工的情況，最為適當的是在50°至80°的範圍內傾斜工具進行加工。亦即，當工具傾斜未達50°時，刀刃與基板之接觸面積變得更寬，而使加工時的接觸阻力變大。此外，當將工具傾斜超過80°時，會有被去除的膜的排出性變差之情形，或更進一步於加工時有產生所謂略過(未被加工的部分)的情況。
因此，於前述之本案發明人等所開發之加工裝置中，係以工具的傾斜成為70°的方式進行加工。此時，必須將搖動構件的搖動角度範圍設為40°(±20°)。亦即，必需將搖動構件的搖動角度設定為於往前移動時為+20°，且設定為於往後移動時為-20°。
但是，為了用以上的傾斜(姿勢)進行加工，必須有搖動構件的姿勢切換機構，該搖動構件係包含用以供給外部空氣(air)之機構。此外，當使搖動構件以及工具在±20°的範圍內搖動時，因為搖動角度範圍大，故搖動時之工具前端的上下移動距離變大。因此，往復切換時，會有使工具以及搖動構件上升並移動至退避位置，以進行切換控制的必要。因此，生產間隔時間(tact time)變長，亦關係到成本增加。進一步，因搖動角度大，故變異亦大，難以確保高精確度。
本發明之課題，係能以簡單的機構確保高的加工精確度，且能有效率地加工凹溝。
有關第1發明之薄膜太陽能電池用凹溝加工工具，係為被保持於支持具，並且用以與支持具一起沿著積體型薄膜太陽能電池基板的劃線預定線相對性地往復移動而於基板上形成凹溝的工具。該工具係具有被保持於支持具的工具本體、及刀刃前端部。刀刃前端部係形成於工具本體的前端部，且於移動方向的往前移動側之前端與往後移動側之前端具有刀刃。此外，刀刃前端部之對向之往前移動側的側面與往後移動側的側面，係以移動方向的寬度隨著越靠近前端而隨之變窄的方式，形成為傾斜且對稱。
該凹溝加工工具係往復移動，並於往前移動時與往後移動時之兩方於基板上形成凹溝。此外，因往前移動側以及往後移動側之側面係呈傾斜，故於加工時能使工具之傾斜角度變小達該傾斜角度量。
只要將以上之凹溝加工工具裝設於加工裝置，即能使保持工具之構件的搖動角度範圍變小。因此，用以切換工具姿勢的機構簡單化。此外，因能使搖動角度範圍變小，故工具切換姿勢時之上下移動距離亦變小，而沒有必要在切換姿勢時將工具上升至退避位置。或者切換姿勢時之工具上升距離變短。因此，能縮短生產間隔時間。進一步，因搖動角度範圍小，故能抑制工具切換姿勢時之精確度的降低。
有關第2發明之薄膜太陽能電池用凹溝加工工具，係為於第1發明之工具中，刀刃前端部的刀刃係形成為直線狀，且往前移動側之側面以及往後移動側之側面之相對於刀刃的切削面角度為50°以上80°以下。
凹溝加工時之工具的適當角度係為70°左右，故藉由將切削面角度設為50°以上80°以下，即能將用以切換工具姿勢的搖動角度作成為非常小。
有關第3發明之薄膜太陽能電池用凹溝加工工具，係為於第2發明之工具中，刀刃前端部的前端之凹溝形成方向的寬度，係為50μm以上200μm以下。
有關第4發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係為使凹溝加工工具沿著積體型薄膜太陽能電池基板的劃線預定線對於基板相對性地移動，而於基板上形成凹溝的裝置。該凹溝加工裝置係具備載置薄膜太陽能電池基板的平台(table)、裝設有第1發明至第3發明之任一發明所記載之凹溝加工工具的頭部、及用以使平台與頭部在水平面內相對性地移動之移動機構。頭部係具備可上下移動之支持具、搖動構件、及推壓構件。搖動構件係以與凹溝形成方向正交之搖動軸作為支點，而以搖動自如的方式被支持於支持具，以保持凹溝加工工具。推壓構件係以預定的推壓力將被保持於支持具的凹溝加工工具推壓至基板。
在該裝置中，第1發明至第3發明的任一發明之凹溝加工工具係被保持於頭部的搖動構件。而且，凹溝加工工具係被推壓構件以預定的推壓力推壓至基板。當在此狀態下使平台與頭部沿著劃線預定線相對性移動時，保持有工具的搖動構件，係隨著移動而搖動預定角度。亦即，工具成為適當的加工姿勢。
在此，因工具的往前移動側以及往後移動側的側面係為傾斜，故與前述同樣地，能使保持有工具的搖動構件之搖動角度範圍變小，而使構造簡單化。此外，能縮短用以切換姿勢的時間，並能進一步抑制切換工具姿勢時之精確度的降低。
有關第5發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第4發明之中，搖動構件係以搖動軸為支點在±5°以下的範圍內搖動自如。
有關第6發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第5發明之中，復具備：中立維持手段，用以在加工時以外將搖動構件維持於中立位置、及止動器(stopper)，以搖動構件的搖動角度不超過±5°的方式而限制搖動範圍。
在此，能防止搖動構件之搖動角度變大。
有關第7發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第6發明之中，中立維持手段係具有1對彈性構件，該彈性構件係中間隔著搖動構件而將搖動構件彈推至中立位置。
有關第8發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第7發明之中，彈性構件係為螺旋彈簧(coil spring)。
有關第9發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第7發明之中，彈性構件係為軟質製橡膠。
有關第10發明之薄膜太陽能電池的凹溝加工裝置，係於第7發明之中，彈性構件係為板片彈簧。
有關第11發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第6發明之中，中立維持手段係具有設置於搖動構件之至少上端的磁性體、及與磁性體隔開預定間隔而對向配置於支持具之磁鐵。
有關第12發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第6至第11發明之任一發明的裝置中，止動器係固定於支持具，且具有1對抵接面，該1對抵接面係隔著預定的間隔包夾中立位置的搖動構件的上端部而配置。
有關第13發明之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係於第6至第11發明之任一發明的裝置中，止動器係固定於支持具，且具有1對抵接構件，該抵接構件係隔著預定間隔而與中立位置之搖動構件的搖動方向的兩側面對向配置。
在以上之本發明中，能以簡單的機構確保高的加工精確度，且能有效率地加工凹溝。
將採用本發明之一實施形態的積體型薄膜太陽能電池用劃線裝置的外觀斜視圖顯示於第1圖。
〔劃線裝置之整體構成〕
此裝置係具備載置太陽能電池基板W的平台1、裝設有凹溝加工工具(以下僅記載為工具)2的頭部3、2個攝影機(camera)4以及2個監視器(monitor)5。
平台1係為能於水平面內中移動於第1圖之Y方向。此外，平台1係在水平面內能轉動任意的角度。再者，在第1圖中，係顯示頭部3的概略外觀，而於後敘述頭部3之詳細內容。
頭部3係為藉由移動支持機構6而能於平台1之上方朝X,Y方向移動。再者，如第1圖所示，X方向係為在水平面內正交於Y方向之方向。移動支持機構係具有1對支持柱7a,7b、跨設於1對支持柱7a,7b間之引導桿(guide bar)8、及用以驅動形成於引導桿8的引導件9之馬達(motor)10。各頭部3係沿著引導件9而能以前述方式移動於X方向。
2個攝影機4係分別固定於台座12。各台座12係為能沿著設置於支持台13之延伸於X方向的引導件14移動。2個攝影機4係能上下移動，且以各攝影機4所拍攝之影像係顯示於對應之監視器5。
[頭部]
將頭部3抽出並顯示於第2圖。頭部3係具有板狀之底座(base)16、支持具17、搖動構件18、氣壓缸(air cylinder)(推壓構件)19。
支持具17係透過未圖示之軌道(rail)而於上下方向滑動自如地被支持於底座16。支持具17係具有支持具本體22、及固定於支持具本體22之表面的支持構件23。支持具本體22係形成為板狀，且於上部具有開口22a。支持構件23係為朝橫方向之長矩形狀之構件，且於內部形成有供搖動構件18插通之貫通孔23a。
搖動構件18係具有下部之工具裝設部24、及由工具裝設部24朝上方延伸而形成之延長部25。工具裝設部24形成有溝，且於該溝插入工具2，並進一步藉由固定板(plate)24a而將工具2固定於溝內。於延長部25之下部，在水平方向中，形成有貫通於與溝形成方向成正交之方向的孔25a。而且，搖動構件18係以貫通該孔25a的插銷(pin)26為中心而搖動自如。於延長部25之上端部25b的左右兩側係設置有1對限制構件27a,27b。各限制構件27a,27b係如第4圖所示，具有固定於支持具本體22的筒狀構件(stopper)28a,28b、及插入筒狀構件28a,28b之內部的彈簧(spring)(中立維持手段)29a,29b。而且，各彈簧29a,29b的前端係抵接於延長部25的上端部25b，而藉以使搖動構件18維持於如第2圖以及第4圖(b)所示之中立位置。此外，搖動構件18係搖動而推動任一個彈簧29a,29b，並藉由延長部25之上端部25b抵接於筒狀構件28a,28b而限制搖動角度。在此實施形態中，雖設定為搖動構件18的搖動角度被限制在±3°的角度範圍內，但宜為限制在±5°的角度範圍內。
氣壓缸19係固定於缸體支持構件30之上表面。缸體支持構件30係配置於支持具17的上部，且固定於底座16。缸體支持構件30係形成有貫通上下方向的孔，且氣壓缸19之活塞桿(piston rod)(未圖示)係貫通於該貫通孔，且桿前端係連結於支持具17。
此外，底座16之上部係設置有彈簧支持構件31。彈簧支持構件31與支持具17之間設置有彈簧32，且藉由該彈簧32將支持具17彈推至上方。藉由該彈簧32，能大致抵銷(cancel)支持具17的自體重量。
於支持具17的兩側係設置有1對空氣供給部34a,34b。1對空氣供給部34a,34b係為相同構成，且分別具有接頭(joint)35與空氣噴嘴(nozzle)40。
[工具]
第3圖係顯示工具2的詳細內容。第3圖(a)係為工具2的正視圖，且第3圖(b)係為其側視圖。於第3圖(a)係顯示工具2的移動方向M。
工具2係具有保持於支持具17的工具本體36、及形成於工具本體36之前端部的刀刃前端部37。刀刃前端部37的前端兩側係分別形成有刀刃38a,38b。在此，一方的刀刃38a係為用以於往前移動時進行凹溝加工之刀刃，且另一方之刀刃係為用以於往後移動時進行凹溝加工之刀刃。
具體而言，刀刃前端部37係構成為其移動方向的寬度w(第3圖(a))隨著越朝向前端越窄。亦即，刀刃前端部的對向之往前移動側的側面37a與往後移動側之側面37b係形成為傾斜且對稱。刀刃前端部37之前端在安裝於支持具17(搖動構件18)之中立狀態中，於水平方向形成為直線狀。而且，往前移動側的側面37a與往後移動側之側面37b的相對於刀刃之切削角度α係在本實施形態中設定為70°。再者，該切削角度係宜為50°以上80°以下。此外，刀刃前端部37之前端的凹溝形成方向的寬度w係宜為50μm以上200μm以下。
[凹溝加工動作]
在使用以上之裝置對薄膜太陽能電池基板進行凹溝加工的情況下，藉由移動機構6使頭部3移動，並且使平台1移動，而使用攝影機4及監視器5使工具2定位於劃線預定線上。
在進行以上之對位後，驅動氣壓缸19而使支持具17以及搖動構件18下降，並將工具2之前端碰觸薄膜。此時，工具2對於薄膜之外加壓力，係藉由對氣壓缸19所供給之氣壓而調整。
接著驅動馬達10，並使頭部3沿著劃線預定線掃掠。將此時之搖動構件18以及工具2之姿勢示意性顯示於第4圖。
往前移動時(第4圖中往右側移動時)，係如第4圖(a)所示，藉由刀刃38a與基板上之薄膜之接觸阻力，搖動構件18以插銷26為中心而順時針地搖動。該搖動係藉由搖動構件18之上端部25b抵接於右側的筒狀構件28a時而受到限制。因此，工具2係維持如第4圖(a)所示之傾斜姿勢，以刀刃38a抵接於基板上之薄膜，且刀刃38b係未抵接於基板之表面的狀態朝+M方向移動而形成凹溝。
之後，使頭部3相對於基板相對性地移動，並使工具2移動至下次應下降之劃線預定線上。而且，與前述相同地，將工具2推抵至基板上的薄膜，並使頭部3朝前述之反方向移動。
於該往後移動時(第4圖中往左側之移動)，如第4圖(c)所示，藉由刀刃38b與基板上之薄膜的接觸阻力，搖動構件18係以插銷26為中心朝逆時針方向搖動。該搖動係藉由搖動構件之上端部25b抵接左側之桶狀構件28b時受到限制。因此，工具2係維持如第4圖(c)所示之傾斜姿勢，以刀刃38b抵接於基板上之薄膜，且刀刃38a係未抵接於基板之表面的狀態朝-M方向移動而形成凹溝。
再者，於凹溝加工中或凹溝加工結束時，由各空氣供給部34a,34b之空氣噴嘴40噴出空氣，以由基板將剝離的膜去除。
[特徵]
於以上之凹溝加工時，因搖動構件18的搖動角度係為微少(在此為±3°)，故不需要用以控制搖動構件18之姿勢的致動器(actuator)。此外，因搖動角度被限制於±3°，故在由往前移動時到往後移動時切換工具2的姿勢時，工具2上下的距離係為微少。因此，在由往前移動時到往後移動時不需要使支持具17上升而使工具2由基板離開等之處理。進一步，因為同樣的理由，工具2之振幅變小，故精確度不易產生變異，而能以高精確度進行凹溝加工。
[其他實施形態]
本發明並非限定於以上之實施形態者，且能在不脫離本發明之範圍做種種變形或修正。
例如，工具之切削面角度或工具前端長度係並非為限定於前述實施形態者，且能做種種之變更。
(a)將中立維持手段以及止動器之其他實施形態顯示於第5圖。於第5圖中，支持具117係為矩形之板構件，且搖動構件118藉由插銷126而搖動自如地被支持於該支持具117。搖動構件118係具有下部的工具裝設部124、由工具裝設部124朝上方延伸而形成之延長部125。工具2係被插入而固定於工具裝設部124。
於支持具117的左右側部，係分別設置有形成有貫通於橫方向的螺絲孔之1對塊部(Block)127a,127b。於該1對塊部127a,127b之螺絲孔係螺合有螺絲構件129a,129b。而且，該螺絲孔127a,127b之前端係固定有軟質製之橡膠構件130a,130b。各橡膠構件130a,130b之前端係接觸於搖動構件118之延長部125的搖動方向之側面。
在以上之構成中，係藉由軟質製之橡膠構件130a,130b之前端抵接於延長部125之兩側面，而維持搖動構件118之中立位置。而且，於加工時頭部進行往復移動之際，橡膠構件130a,130b係因應搖動構件118之搖動而彈性變形。因此，搖動構件118之搖動不會受到妨礙。
此外，於支持具118的上部係固定有止動器128。於止動器128之下端面係形成有形成為倒V字狀的溝131。搖動構件118之延長部125的上端部125a係由下方進入該溝131。於延長部125之上端部125a與溝131之兩壁面(抵接面)131a,131b之間係設置有預定的間隔。
在以上之構成中，當搖動構件118在預定的角度範圍內搖動時，上端部125a係抵接於溝131之壁面131a,131b，且搖動構件118之搖動角度範圍受到限制。此時，搖動構件118之容許搖動角度範圍係與前述實施形態同樣地為±3°。
(b)將中立維持手段另一之其他形態顯示於第6圖。該第6圖所示之實施形態，係除中立維持手段之外，與第5圖所示之實施形態為相同。因此，對相同構件賦予相同符號。
在第6圖中，於支持具117的左右側部，係分別設置有形成有貫通於橫方向的螺絲孔之1對塊部227a,227b。於該1對塊部227a,227b與搖動構件118之延長部125之間，係分別設置有板片彈簧230a,230b。
板片彈簧230a,230b係具有抵接於各塊部227a,227b之固定部231a,231b、一部分抵接於延長部125之搖動方向側面之抵接部232a,232b、及連結固定部231a,231b之上端與抵接部232a,232b之下端的連結部233a,233b。而且，固定部231a,231b係分別藉由螺絲構件229a,229b而固定於塊部227a,227b。此外，抵接部232a,232b係於插銷126之上方抵接於延長部125的側面。
在以上構成中，板片彈簧230a,230b之抵接部232a,232b係抵接於延長部125之兩側面，而藉以維持搖動構件118之中立位置。而且，於加工時頭部進行往復移動之際，板片彈簧230a,230b因應搖動構件118之搖動而彈性變形。因此，搖動構件118的搖動不會受到妨礙。
(c)將中立維持手段以及止動器的的另一其他實施形態顯示於第7圖。於第7圖中，係對與第5圖之相同構件賦予相同符號。
於支持具117的左右側部，係分別設置有形成有貫通於橫方向的螺絲孔之1對塊部127a,127b。於該1對塊部127a,127b之螺絲孔係螺合有螺絲構件329a,329b。而且，螺絲構件329a,329b之前端部329c,329d係形成為球狀。在此，在搖動構件118處於中立位置之狀態中，於各球狀前端部329c,329d與搖動構件118之側面之間係受到確保相等間隔。
在以上之構成中，當搖動構件118在預定的角度範圍內搖動時，延長部125的各側面抵接於螺絲構件之球狀前端部329c,329d，且搖動構件118的搖動角度範圍受到限制。此時，搖動構件118之容許搖動角度範圍係與前述實施形態同樣地為±3°。
此外，於支持具117之上部係固定有吸著用塊體328。吸著用塊體328之下端面係設置有磁鐵330。磁鐵330係隔開預定的間隔，且以與中立位置的搖動構件118之延長部125的上端部呈對向的方式而配置。而且，於延長部125之上端部，係設置有鐵製之吸著部331。
在以上之構成中，設置於延長部125之上端部的鐵製吸著部331係受到磁鐵330之吸引。因此，在未加工之狀態中，搖動構件118之中立位置受到維持。再者，於加工時，藉由工具2之加工阻力，搖動構件118係抵抗磁鐵330與吸著部331之間之吸著力而搖動。
1．．．平台
2．．．凹溝加工工具
3．．．頭部
4．．．攝影機
5．．．監視器
6．．．移動支持機構
7a、7b．．．支持柱
8．．．引導桿
9．．．引導件
10．．．馬達
12．．．台座
13．．．支持台
14．．．引導件
16．．．底座
17、117．．．支持具
18、118．．．搖動構件
19．．．氣壓缸
22．．．支持具本體
22a．．．開口
23．．．支持構件
23a．．．貫通孔
24、124．．．工具裝設部
24a．．．固定板
25、125．．．延長部
25a．．．孔
25b．．．上端部
26、126．．．插銷
27a、27b、128．．．限制構件(止動器)
28a、28b．．．筒狀構件
29a、29b．．．彈簧
30．．．缸體支持構件
31．．．彈簧支持構件
32．．．彈簧
34a、34b．．．空氣供給部
35．．．接頭
36．．．工具本體
37．．．刀刃前端部
37a．．．往前移動側的側面
37b．．．往後移動側之側面
38a、38b．．．刀刃
40．．．空氣噴嘴
127a、127b、227a、227b．．．塊部
129a、129b．．．螺絲構件
130a、130b．．．橡膠構件
131．．．溝
131a、131b．．．壁面(抵接面)
229a、229b、329a、329b．．．螺絲構件
230a、230b．．．板片彈簧
231a、231b．．．固定部
232a、232b．．．抵接部
233a、233b．．．連結部
328．．．吸著用塊體
329c、329d．．．球狀前端部
330．．．磁鐵
331．．．鐵製吸著部
M．．．移動方向
第1圖係為採用本發明之一實施形態之凹溝加工裝置的外觀斜視圖。
第2圖係為前述裝置之頭部的正視圖。
第3圖係為裝設於前述裝置之凹溝加工工具的正視圖以及側視圖。
第4圖係為用以說明凹溝加工時之動作的示意圖。
第5圖係為顯示根據本發明之其他實施形態之中立維持手段以及止動器的圖。
第6圖係為顯示根據本發明之另一其他實施形態之中立維持手段以及止動器的圖。
第7圖係為顯示根據本發明之另一其他實施形態之中立維持手段以及止動器的圖。
2．．．凹溝加工工具
3．．．頭部
16．．．底座
17．．．支持具
18．．．搖動構件
19．．．氣壓缸
22．．．支持具本體
22a．．．開口
23．．．支持構件
23a．．．貫通孔
24、124．．．工具裝設部
24a．．．固定板
25、125．．．延長部
25a．．．孔
25b．．．上端部
26．．．插銷
27a、27b．．．限制構件(止動器)
30．．．缸體支持構件
31．．．彈簧支持構件
32．．．彈簧
34a、34b．．．空氣供給部
35．．．接頭
40．．．空氣噴嘴

Claims (13)

  1. 一種薄膜太陽能電池用凹溝加工工具，係搖動自如地被保持於支持具，並且在往前移動時與往後移動時一邊改變搖動角度一邊用以與前述支持具一起沿著積體型薄膜太陽能電池基板的劃線預定線相對性地往復移動而於前述積體型薄膜太陽能電池基板上形成凹溝者，係具備：工具本體，係被保持於前述支持具；及刀刃前端部，係形成於前述工具本體的前端部，且於移動方向的往前移動側之前端與往後移動側之前端分別具有在往前移動時與往後移動時所使用之刀刃；前述刀刃前端部之對向之往前移動側的側面與往後移動側的側面，係以移動方向的寬度隨著越靠近前端而隨之變窄的方式，形成為傾斜且對稱。
  2. 如申請專利範圍第1項之薄膜太陽能電池用凹溝加工工具，其中，前述刀刃前端部之刀刃係形成為直線狀，且前述往前移動側之側面以及前述往後移動側之側面相對於前述刀刃的切削面角度為50°以上80°以下。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之薄膜太陽能電池用凹溝加工工具，其中，前述刀刃前端部的前端之凹溝形成方向的寬度，係為50μm以上200μm以下。
  4. 一種薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，係為使凹溝加工 工具沿著積體型薄膜太陽能電池基板的劃線預定線對於前述積體型薄膜太陽能電池基板相對性地移動，而於前述積體型薄膜太陽能電池基板上形成凹溝者，係具備：平台，係載置前述積體型薄膜太陽能電池基板；頭部，係裝設有申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之凹溝加工工具；及移動機構，係用以使前述平台與前述頭部在水平面內相對性地移動；前述頭部係具備：支持具，係可上下移動；搖動構件，係以與前述凹溝形成方向正交之搖動軸作為支點，而以搖動自如的方式被支持於前述支持具，以保持前述凹溝加工工具；及推壓構件，係以預定的推壓力將被保持於前述支持具的凹溝加工工具推壓至前述積體型薄膜太陽能電池基板。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述搖動構件係以前述搖動軸為支點在±5°以下的範圍內搖動自如。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，復具備：中立維持手段，係用以將前述搖動構件維持於中立 位置；及止動器，係以前述搖動構件的搖動角度不超過±5°的方式而限制搖動範圍。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述中立維持手段係具有1對彈性構件，該彈性構件係中間隔著前述搖動構件而將前述搖動構件彈推至中立位置。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述彈性構件係為螺旋彈簧。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述彈性構件係為軟質製橡膠。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述彈性構件係為板片彈簧。
  11. 如申請專利範圍第6項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述中立維持手段係具有：磁性體，係設置於前述搖動構件之至少上端；及磁鐵，係與前述磁性體隔開預定間隔而對向配置於前述支持具。
  12. 如申請專利範圍第6項至第11項中任一項所述之薄膜 太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述止動器係固定於前述支持具，且具有1對抵接面，該1對抵接面係隔著預定的間隔包夾中立位置的前述搖動構件的上端部而配置。
  13. 如申請專利範圍第6項至第11項中任一項所述之薄膜太陽能電池之凹溝加工裝置，其中，前述止動器係固定於前述支持具，且具有1對抵接構件，前述抵接構件係隔著預定間隔而與中立位置之前述搖動構件的搖動方向的兩側面對向配置。
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