JP2012146954A - 薄膜太陽電池用溝加工ツール及び薄膜太陽電池の溝加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この薄膜太陽電池用溝加工ツール2は、ホルダ17に保持され、ホルダ17とともに基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するためのツールである。このツール2は、ホルダ17に保持されるツール本体36と、刃先部37と、を備えている。刃先部37は、ツール本体36の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃38a,38bを有している。また、刃先部37は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面37aと復動側の側面37bとが傾斜しかつ対称に形成されている。
【選択図】図2
Description
スプリングである。
この装置は、太陽電池基板Wが載置されるテーブル1と、溝加工ツール(以下、単にツールと記す)2が装着されたヘッド3と、それぞれ2つのカメラ4及びモニタ5と、を備えている。
図2にヘッド3を抽出して示している。ヘッド3は、板状のベース16と、ホルダ17と、揺動部材18と、エアシリンダ(押圧部材)19と、を有している。
図3にツール2の詳細を示している。図3(a)はツール2の正面図であり、同図(b)はその側面図である。図3(a)にツール2の移動方向Mを示している。
以上のような装置を用いて薄膜太陽電池基板に溝加工を行う場合は、移動機構6によりヘッド3を移動させるとともにテーブル1を移動させ、カメラ4及びモニタ5を用いてツール2をスクライブ予定ライン上に位置させる。
以上のような溝加工時において、揺動部材18の揺動角度が微少(ここでは±3°)であるので、揺動部材18の姿勢を制御するためのアクチュエータが不要となる。また、揺動角度が±3°に規制されているので、往動時から復動時にツール2の姿勢が切り替えられるときに、ツール2が上下する距離が微少である。このため、往動時から復動時においてホルダ17を上昇させてツール2を基板から離す等の処理が不要になる。さらに、同様の理由により、ツール2の振れ幅が小さくなるので、精度がバラツキにくくなり、高い精度で溝加工を行うことができる。
本発明は以上のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
2 ツール
3 ヘッド
17,117 ホルダ
18,118 揺動部材
19 エアシリンダ
27a,27b,128 ストッパ
28a,28b 筒状部材
29a,29b スプリング
130a,130b ゴム部材
131 溝
131a,131b 壁面(当接面)
230a,230b 板ばね
329c,329d 球状先端部
330 磁石
331 鉄製吸着部
Claims (13)
- ホルダに保持され、前記ホルダとともに集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するための溝加工ツールであって、
前記ホルダに保持されるツール本体と、
前記ツール本体の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃を有する刃先部と、
を備え、
前記刃先部は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面と復動側の側面とが傾斜しかつ対称に形成されている、
薄膜太陽電池用溝加工ツール。 - 前記刃先部の刃は直線状に形成されており、
前記往動側の側面及び前記復動側の側面の前記刃に対する掬い面角度は50°以上80°以下である、
請求項1に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。 - 前記刃先部の先端の溝形成方向の幅は、50μm以上200μm以下である、請求項2に記載の薄膜太陽電池用溝加工ツール。
- 集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って溝加工ツールを基板に対して相対的に移動させ、前記基板上に溝を形成する溝加工装置であって、
薄膜太陽電池基板が載置されるテーブルと、
請求項1から3のいずれかに記載の溝加工ツールが装着されるヘッドと、
前記テーブルと前記ヘッドとを水平面内で相対的に移動させるための移動機構と、
を備え、
前記ヘッドは、
上下移動可能なホルダと、
前記溝形成方向と直交する揺動軸を支点として前記ホルダに揺動自在に支持され、前記溝加工ツールを保持する揺動部材と、
前記ホルダに保持された溝加工ツールを基板に対して所定の押圧力で押圧する押圧部材と、
を備えた薄膜太陽電池の溝加工装置。 - 前記揺動部材は、前記揺動軸を支点として±5°以下の範囲で揺動自在である、請求項4に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
- 加工時以外において、前記揺動部材を中立位置に維持するための中立維持手段と、
前記揺動部材の揺動角度が±5°を越えないように揺動範囲を規制するストッパと、
をさらに備えている、請求項5に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。 - 前記中立維持手段は、前記揺動部材を挟んで前記揺動部材を中立位置に付勢する1対の弾性部材を有する、請求項6に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
- 前記弾性部材はコイルスプリングである、請求項7に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
- 前記弾性部材は軟質製のゴムである、請求項7に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
- 前記弾性部材は板ばねである、請求項7に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
- 前記中立維持手段は、
前記揺動部材の少なくとも上端に設けられた磁性体と、
前記ホルダに前記磁性体と所定の隙間をあけて対向して配置された磁石と、
を有する、請求項6に記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。 - 前記ストッパは、前記ホルダに固定され、中立位置の前記揺動部材の上端部を所定の隙間を介して挟んで配置された1対の当接面を有する、請求項6から11のいずれかに記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
- 前記ストッパは、前記ホルダに固定され、中立位置の前記揺動部材の揺動方向の両側面に所定の隙間を介して対向して配置された1対の当接部材を有する、請求項6から11のいずれかに記載の薄膜太陽電池の溝加工装置。
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