KR101510175B1 - 기판의 홈 가공 툴 및 홈 가공 장치 - Google Patents

기판의 홈 가공 툴 및 홈 가공 장치 Download PDF

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Abstract

(과제) 툴을 교환한 경우라도, 가공 위치의 조정이 불필요하고, 정밀도 좋게 홈 가공을 행할 수 있도록 한다.
(해결 수단) 이 홈 가공 툴(2)은, 홀더(17)에 보유지지(holding)되며, 가공 대상인 기판 상을 홀더(17)와 함께 상대적으로 이동시켜 기판에 홈을 형성하기 위한 툴로서, 툴 본체(36)와 날끝부(37)를 구비하고 있다. 툴 본체(36)는, 홀더(17)에 맞닿는 맞닿음면(36a)을 갖고, 홀더(17)에 보유지지된다. 날끝부(37)는, 툴 본체(36)의 선단부에 형성되며, 맞닿음면(36a)으로부터 연속하여 맞닿음면(36a)과 동일면으로 형성된 기준면(37a)을 가짐과 함께, 기준면(37a)으로부터 소정의 폭을 갖고 있다.

Description

기판의 홈 가공 툴 및 홈 가공 장치{GROOVE PROCESSING TOOL AND GROOVE PROCESSING APPARATUS FOR SUBSTRATE}
본 발명은, 홈 가공 툴, 특히 홀더에 보유지지(holding)되며, 가공 대상인 기판 상을 홀더와 함께 상대적으로 이동시켜 기판에 홈을 형성하기 위한 기판의 홈 가공 툴에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 이상의 홈 가공 툴을 구비한 홈 가공 장치에 관한 것이다.
박막 태양전지는, 예를 들면 이하에 나타내는 바와 같은 방법으로 제조된다. 즉, 우선, 유리 등의 기판 상에 Mo막으로 이루어지는 하부 전극막이 형성되고, 그 후, 하부 전극막에 홈이 형성됨으로써 단책(短冊) 형상으로 분할된다. 다음으로, 하부 전극막 상에 CIGS막 등의 칼코파이라이트(chalcopyrite) 구조 화합물 반도체막을 포함하는 화합물 반도체막이 형성된다. 그리고, 이들 반도체막의 일부가 홈 가공에 의해 스트라이프 형상으로 제거되어 단책 형상으로 분할되고, 이들을 덮도록 상부 전극막이 형성된다. 마지막으로, 상부 전극막의 일부가 홈 가공에 의해 스트라이프 형상으로 박리되어 단책 형상으로 분할된다.
이상과 같은 방법에 있어서 사용되는 홈 가공 툴이, 특허문헌 1에 나타나 있다. 이 특허문헌 1에 나타나는 홈 가공 툴은, 홀더에 보유지지되는 툴 본체와, 툴 본체의 선단부에 형성되어 홈 가공용의 날을 갖는 날끝부를 갖고 있다.
일본공개특허공보 제2011-142235호
특허문헌 1의 도 3 등으로부터 분명한 바와 같이, 종래의 홈 가공 장치에 이용되는 툴은, 툴의 이동 방향과 직교하는 폭방향의 중앙부에만 날이 형성되어 있다. 즉, 툴의 홀더로의 장착면과 날과의 사이에는 간격이 존재한다. 이 간격은, 툴 자체의 가공 오차에 따라 변화한다.
이러한 상황에 있어서, 툴의 마모 등에 의해 툴을 교환한 경우, 전술한 가공 오차에 따라, 홀더의 툴 장착면에서 툴의 날까지의 거리가 변화하는 경우가 있다. 이 거리가 변화하면, 정밀도 좋게 홈을 가공할 수 없다. 따라서, 툴을 교환할 때마다 가공 위치를 조정할 필요가 있다.
본 발명의 과제는, 툴을 교환한 경우라도, 가공 위치의 조정이 불필요하고, 정밀도 좋게 홈 가공을 행할 수 있도록 하는 것에 있다.
제1 발명에 따른 기판의 홈 가공 툴은, 홀더에 보유지지되며, 가공 대상인 기판 상을 홀더와 함께 상대적으로 이동시켜 기판에 홈을 형성하기 위한 툴로서, 툴 본체와 날끝부를 구비하고 있다. 툴 본체는, 홀더에 맞닿는 맞닿음면을 갖고, 홀더에 보유지지된다. 날끝부는, 툴 본체의 선단부에 형성되고, 맞닿음면으로부터 연속하여 맞닿음면과 동일면으로 형성된 기준면을 가짐과 함께, 기준면으로부터 소정의 폭을 갖고 있다.
여기에서, 날끝부는, 툴 본체의 홀더에 장착되는 맞닿음면과 동일면인 기준면을 갖고 있고, 이 기준면으로부터 소정의 폭으로 형성된다. 따라서, 툴 본체의 맞닿음면과 날과의 사이의 거리가 가공 오차에 따라 툴마다 상이한 경우는 없다. 이 때문에, 툴 교환시에 가공 위치의 조정을 할 필요가 없고, 정밀도 좋게 홈을 가공할 수 있다.
제2 발명에 따른 기판의 홈 가공 툴은, 제1 발명의 홈 가공 툴에 있어서, 날끝부의 선단에는 날이 형성되어 있고, 날을 포함하는 날끝부의 선단부는 이동 방향으로부터 보아 사각형이다.
여기에서는, 날을 포함하는 날끝부가 사각형이기 때문에, 툴의 날이 마모되어도, 가공되는 홈 폭이 일정해진다.
제3 발명에 따른 기판의 홈 가공 툴은, 제2 발명의 홈 가공 툴에 있어서, 날끝부의 날이 형성된 측부에는, 날로부터 멀어짐에 따라 이동 방향 상류측으로 경사진 경사면이 형성되어 있다.
여기에서는, 날이 형성된 툴의 측부에는 경사면이 형성되어 있기 때문에, 제거된 기판의 일부의 배출성이 양호해진다. 따라서, 홈 주변의 막 등이 박리되는 것을 억제할 수 있다.
제4 발명에 따른 기판의 홈 가공 툴은, 제1 또는 제2 발명의 홈 가공 툴에 있어서, 홀더는 왕복 이동하는 것이다. 또한, 날끝부는, 이동 방향의 가는 이동(往動) 측의 선단에 형성된 제1 날과, 오는 이동(復動) 측의 선단에 형성된 제2 날을 갖고 있다. 그리고, 제1 날이 형성된 날끝부의 제1 측부와, 제2 날이 형성된 날끝부의 제2 측부에는, 각 날로부터 멀어짐에 따라 이동 방향 상류측으로 경사진 경사면이 형성되어 있다.
여기에서는, 홀더를 왕복 이동시킴으로써, 가는 이동시에는 툴의 제1 날로, 오는 이동시에는 툴의 제2 날로, 각각 홈 가공을 할 수 있다. 또한, 제3 발명과 동일하게, 각 날이 형성된 툴의 양측부에는 경사면이 형성되어 있기 때문에, 제거된 기판의 일부의 배출성이 양호해진다. 따라서, 홈 주변의 막 등이 박리되는 것을 억제할 수 있다.
제5 발명에 따른 기판의 홈 가공 장치는, 기판의 패터닝 라인을 따라서 홈을 형성하는 장치로서, 기판이 올려놓여지는 테이블과, 제1 내지 제4 발명 중 어느 하나의 홈 가공 툴이 장착되는 헤드와, 테이블과 헤드를 수평면 내에서 상대적으로 이동시키기 위한 이동 기구를 구비하고 있다. 그리고, 헤드는, 상하 이동 가능한 홀더와, 홀더에 보유지지된 홈 가공 툴을 기판에 대하여 소정의 압압력(pressing force)으로 압압하는 압압 부재를 갖고 있다.
이 장치에서는, 홈 가공 툴은, 압압 부재에 의해 기판에 소정의 압압력으로 압압되어, 왕복 이동된다. 그리고, 가는 이동시와 오는 이동시의 양방에 있어서 기판 상에 홈이 형성된다.
제6 발명에 따른 기판의 홈 가공 장치는, 제5 발명의 장치에 있어서, 홀더는, 홈 가공 툴을 보유지지하고, 이동 방향과 직교하는 요동축을 지점으로 하여 요동하여, 가는 이동 위치와 오는 이동 위치를 취할 수 있는 요동 부재를 갖고 있다.
이상과 같은 본 발명에서는, 툴을 교환한 경우라도, 가공 위치의 조정이 불필요해져, 정밀도 좋게 홈 가공을 행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 의한 홈 가공 툴이 장착된 홈 가공 장치의 외관 사시도이다.
도 2는 홈 가공 장치의 헤드의 정면도이다.
도 3은 홈 가공 툴의 측면, 정면을 나타내는 도면이다.
도 4는 홈 가공시의 동작을 설명하기 위한 개략도이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
본 발명의 일 실시 형태에 의한 홈 가공 툴이 장착된 홈 가공 장치의 외관 사시도를 도 1에 나타낸다.
[홈 가공 장치의 전체 구성]
이 장치는, 기판(W)이 올려놓여지는 테이블(1)과, 홈 가공 툴(이하, 단순히 툴이라고 기술함)(2)이 장착된 헤드(3)와, 각각 2개의 카메라(4) 및 모니터(5)를 구비하고 있다.
테이블(1)은 수평면 내에 있어서 도 1의 Y방향으로 이동 가능하다. 또한, 테이블(1)은 수평면 내에서 임의의 각도로 회전 가능하다. 또한, 도 1에서는, 헤드(3)의 개략의 외관을 나타내고 있으며, 헤드(3)의 상세는 후술한다.
헤드(3)는, 이동 지지 기구(6)에 의해, 테이블(1)의 상방에 있어서 X, Y방향으로 이동 가능하다. 또한, X방향은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 수평면 내에서 Y방향에 직교하는 방향이다. 이동 지지 기구(6)는, 한 쌍의 지지기둥(7a, 7b)과, 한 쌍의 지지기둥(7a, 7b) 간에 걸쳐 형성된 가이드 바(8)와, 가이드 바(8)에 형성된 가이드(9)를 구동하는 모터(10)를 갖고 있다. 헤드(3)는, 가이드(9)를 따라서, 전술과 같이 X방향으로 이동 가능하다.
2개의 카메라(4)는 각각 대좌(臺座; 12)에 고정되어 있다. 각 대좌(12)는 지지대(13)에 형성된 X방향으로 연장되는 가이드(14)를 따라서 이동 가능하다. 2개의 카메라(4)는 상하 이동이 가능하고, 각 카메라(4)로 촬영된 화상이 대응하는 모니터(5)에 표시된다.
[헤드]
도 2에 헤드(3)를 추출하여 나타내고 있다. 헤드(3)는, 판 형상의 베이스(16)와, 홀더(17)와, 에어 실린더(19)를 갖고 있다.
홀더(17)는, 도시하지 않은 레일을 통하여, 베이스(16)에 대하여 상하 방향으로 슬라이드가 자유롭게 지지되어 있다. 홀더(17)는, 홀더 본체(22)와, 홀더 본체(22)의 표면에 고정된 지지 부재(23)와, 요동 부재(18)를 갖고 있다.
홀더 본체(22)는, 판 형상으로 형성되며, 상부에 개구(22a)를 갖고 있다. 지지 부재(23)는 횡방향으로 긴 직사각 형상의 부재로서, 내부에 요동 부재(18)가 삽입 통과하는 관통 구멍(23a)이 형성되어 있다.
요동 부재(18)는, 홀더 본체(22) 및 지지 부재(23)에 요동이 자유롭게 지지되어 있다. 요동 부재(18)는, 하부의 툴 장착부(24)와, 툴 장착부(24)로부터 상방으로 연장되어 형성된 연장부(25)를 갖고 있다.
툴 장착부(24)에는 홈이 형성되며, 이 홈에 툴(2)이 삽입되고, 추가로 고정 플레이트(24a)에 의해 툴(2)이 홈 내에 고정되어 있다.
연장부(25)의 하부에는, 수평 방향으로, 그리고 홈 형성 방향과 직교하는 방향으로 관통하는 구멍(25a)이 형성되어 있다. 그리고, 이 구멍(25a)을 관통하는 핀(26)을 중심으로 요동 부재(18)는 요동이 자유롭게 되어 있다. 핀(26)은 홀더 본체(22)와 지지 부재(23)에 의해 지지되어 있다.
연장부(25)의 상단부(25b)의 좌우 양측에는, 한 쌍의 규제 부재(27a, 27b)가 형성되어 있다. 각 규제 부재(27a, 27b)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 홀더 본체(22)에 고정된 통 형상 부재(28a, 28b)와, 통 형상 부재(28a, 28b)의 내부에 삽입된 스프링(29a, 29b)을 갖고 있다. 그리고, 각 스프링(29a, 29b)의 선단이 연장부(25)의 상단부(25b)에 맞닿음으로써, 요동 부재(18)는 도 2 및 도 4(b)에 나타내는 바와 같은 중립 위치에 유지되어 있다. 또한, 요동 부재(18)가 요동하여 어느 스프링(29a, 29b)을 눌러, 연장부(25)의 상단부(25b)가 통 형상 부재(28a, 28b)에 맞닿음으로써, 요동 각도가 규제되게 되어 있다.
에어 실린더(19)는 실린더 지지 부재(30)의 상면에 고정되어 있다. 실린더 지지 부재(30)는, 홀더(17)의 상부에 배치되며, 베이스(16)에 고정되어 있다. 실린더 지지 부재(30)에는 상하 방향으로 관통하는 구멍이 형성되어 있고, 에어 실린더(19)의 피스톤 로드(도시하지 않음)가 이 관통공을 관통하여, 로드 선단이 홀더(17)에 연결되어 있다.
또한, 베이스(16)의 상부에는 스프링 지지 부재(31)가 형성되어 있다. 스프링 지지 부재(31)와 홀더(17)와의 사이에는 스프링(32)이 설치되어 있으며, 스프링(32)에 의해 홀더(17)는 상방으로 탄성지지되어 있다. 이 스프링(32)에 의해, 홀더(17)의 자중을 거의 캔슬할 수 있다.
홀더(17)의 좌우 양측에는, 한 쌍의 에어 공급부(34a, 34b)가 형성되어 있다. 한 쌍의 에어 공급부(34a, 34b)는 모두 동일한 구성이며, 각각 조인트(35)와 에어 노즐(39)을 갖고 있다.
[툴]
도 3에 툴(2)의 상세를 나타내고 있다. 도 3(a)는 툴(2)을 이동 방향으로부터 본 측면도이며, 도 3(b)는 그의 정면도이다. 도 3(b)에 툴(2)의 이동 방향(M)을 나타내고 있다.
툴(2)은, 홀더(17)에 보유지지되는 툴 본체(36)와, 툴 본체(36)의 선단부에 형성된 날끝부(37)를 갖고 있다. 도 3(a)에 있어서, 툴 본체(36)의 한쪽의 면은, 툴 장착부(24)에 맞닿는 맞닿음면(36a)으로 되어 있다.
날끝부(37)는, 툴 본체(36)의 선단부에 있어서, 높이(h)(도 3(b) 참조)의 범위에 형성되어 있다. 도 3(a)로부터 분명한 바와 같이, 날끝부(37)의 한쪽의 면은, 툴 본체(36)의 맞닿음면(36a)과 연속하여, 동일면으로 형성된 기준면(37a)으로 되어 있다. 날끝부(37)는, 이 기준면(37a)으로부터 소정의 폭으로 형성되어 있고, 이동 방향으로부터 보아 사각형으로 형성되어 있다.
날끝부(37)의 선단에 있어서, 이동 방향의 양측에는 제1 날(38a) 및 제2 날(38b)이 형성되어 있다. 여기에서는, 제1 날(38a)이 가는 이동시에 홈 가공을 하기 위한 날이며, 제2 날(38b)이 오는 이동시에 홈 가공을 하기 위한 날이다.
또한, 도 3(a)에서 나타내는 바와 같이, 날끝부(37)에 있어서, 이동 방향과 직교하는 방향의 폭(w)은 툴 본체(36)의 동일 방향의 폭에 비교하여 좁게 형성되어 있다. 전술한 바와 같이, 날끝부(37)는 이동 방향으로 형성되어 있기 때문에, 이 방향의 날끝부(37)의 폭은 전체 길이에 걸쳐 동일한 폭(w)이다. 또한, 툴 본체(36)의 날끝부(37)측의 부분은, 도 3(a)로부터 분명한 바와 같이, 이동 방향과 직교하는 방향의 폭이 날끝부(37)에 가까워짐에 따라 좁아지도록, 각도 D로 경사져 있다.
툴(2)은, 날끝부(37)를 포함하는 하단부의 측면에, 경사면이 형성되어 있다. 보다 상세하게는, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 툴(2)을 정면(이동 방향과 직교하는 방향)으로부터 보아, 제1 날(38a)이 형성된 날끝부(37)를 포함하는 제1 측부와, 제2 날(38b)이 형성된 날끝부(37)를 포함하는 제2 측부에는, 각 날(38a, 38b)로부터 상방으로 감에 따라 내부측(각 날에 있어서 이동 방향 상류측)으로 경사진 경사면(40a, 40b)이 형성되어 있다.
[홈 가공 동작]
이상과 같은 장치를 이용하여 박막 태양전지 기판에 홈 가공을 행하는 경우는, 이동 지지 기구(6)에 의해 헤드(3)를 이동시킴과 함께 테이블(1)을 이동시키고, 카메라(4) 및 모니터(5)를 이용하여, 툴(2)을, 홈을 형성할 예정 라인 상에 위치시킨다.
이상과 같은 위치 맞춤을 행한 후, 에어 실린더(19)를 구동하여 홀더(17) 및 요동 부재(18)를 하강시켜, 툴(2)의 선단을 박막에 닿게 한다. 이때의, 툴(2)의 박막에 대한 가압력은, 에어 실린더(19)에 공급되는 에어압에 의해 조정된다.
다음으로 모터(10)를 구동하여, 헤드(3)를 홈 가공 예정 라인을 따라서 주사한다. 이때의 요동 부재(18) 및 툴(2)의 자세를, 도 4에 개략적으로 나타내고 있다.
가는 이동시(도 4에 있어서 우측으로의 이동시)는, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 제1 날(38a)과 기판 상의 박막과의 접촉 저항에 의해, 요동 부재(18)는 핀(26)을 중심으로 시계 방향으로 요동한다. 이 요동은, 요동 부재(18)의 상단부(25b)가 우측의 통 형상 부재(28a)에 맞닿음으로써 규제된다. 따라서, 툴(2)은 도 4(a)에 나타내는 바와 같은 경사 자세인 채, 제1 날(38a)이 기판 상의 박막에 맞닿고, 제2 날(38b)이 기판의 표면에 맞닿아 있지 않은 상태에서 ＋M방향으로 이동되어, 홈이 형성된다.
이후, 헤드(3)를 기판에 대하여 상대적으로 이동시키고, 툴(2)을 다음에 하강해야 할 홈 가공 예정 라인 상으로 이동시킨다. 그리고, 상기와 동일하게, 툴(2)을 기판 상의 박막에 밀어붙여, 상기와는 반대 방향으로 헤드(3)를 이동시킨다.
이 오는 이동시(도 4에 있어서 좌측으로의 이동시)에 있어서는, 도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 제2 날(38b)과 기판 상의 박막과의 접촉 저항에 의해, 요동 부재(18)는 핀(26)을 중심으로 반시계 방향으로 요동한다. 이 요동은, 요동 부재(18)의 상단부(25b)가 좌측의 통 형상 부재(28b)에 맞닿음으로써 규제된다. 따라서, 툴(2)은 도 4(c)에 나타내는 바와 같은 경사 자세인 채, 제2 날(38b)이 기판 상의 박막에 맞닿고, 제1 날(38a)이 기판의 표면에 맞닿아 있지 않은 상태에서 -M방향으로 이동되어, 홈이 형성된다.
이상과 같은 홈 가공 중에 있어서, 툴(2)의 날끝부(37)를 포함하는 선단 부분에는, 경사면(40a, 40b)이 형성되어 있기 때문에, 각 날(38a, 38b)에 의해 제거된 막을 기판의 상방으로 원활하게 보낼 수 있다. 따라서, 홈 주변부의 막 박리를 억제할 수 있다.
또한, 홈 가공 중 혹은 홈 가공 종료시에 있어서, 각 에어 공급부(34a, 34b)의 에어 노즐(39)로부터 에어가 분출되어, 기판으로부터 박리된 막이 제거된다.
툴(2)의 날끝부(37)가 마모된 경우는, 툴(2)을 교환할 필요가 있다. 이 툴(2)의 교환시에 있어서는, 툴 본체(36)의 맞닿음면(36a)을 홀더 본체(22)의 표면에 맞닿게 하여 장착하는 것만으로 좋다. 날끝부(37)는 맞닿음면(36a)과 동일면인 기준면으로부터 소정의 폭으로 형성되어 있기 때문에, 각 날(38a, 38b)의 위치가 툴마다 바뀌는 일이 없다. 따라서, 툴(2)의 교환시에 교환 전후에서 날(38a, 38b)의 위치가 바뀌는 일이 없어, 툴 교환시에 툴의 부착 위치의 조정이 불필요해진다.
[특징]
(1) 날끝부(37)가, 툴 본체(36)의 홀더(17)에 장착되는 맞닿음면(36a)과 동일면인 기준면(37a)으로부터 소정의 폭으로 형성되어 있다. 따라서, 홀더(17)에 대한 각 날(38a, 38b)의 위치가 툴마다 상이한 일은 없어, 툴 교환시에 가공 위치의 조정을 할 필요가 없다.
(2) 날끝부(37)가 이동 방향으로부터 보아 사각형이기 때문에, 날(38a, 38b)이 마모되어도, 가공되는 홈 폭이 일정해진다.
(3) 날끝부(37)를 포함하는 툴(2)의 측부에는 경사면(40a, 40b)이 형성되어 있기 때문에, 제거된 막의 배출성이 양호해져, 홈 주변의 막 박리를 억제할 수 있다.
[다른 실시 형태]
본 발명은 이상과 같은 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위를 일탈하는 일 없이 여러 가지의 변형 또는 수정이 가능하다.
날끝부의 형상은 여러 가지의 변경이 가능하다. 예를 들면, 도 3(a)에 나타낸 폭(w)을, 툴 본체(36)의 폭과 동일하게 해도 좋고, 또한 툴 본체(36)의 폭보다 크게 해도 좋다. 또한, 날의 측부를 임의의 각도로 형성해도 좋다.
1 : 테이블
2 : 툴
3 : 헤드
6 : 이동 지지 기구
17 : 홀더
18 : 요동 부재
19 : 에어 실린더
22 : 홀더 본체
36 : 툴 본체
37 : 날끝부
38a, 38b : 날
40a, 40b : 경사면

Claims (6)

  1. 홀더에 보유지지(holding)되며, 가공 대상인 기판 상을 상기 홀더와 함께 상대적으로 이동시켜 기판에 홈을 형성하기 위한 홈 가공 툴로서,
    상기 홀더에 맞닿는 맞닿음면을 갖고, 상기 홀더에 보유지지되는 툴 본체와,
    상기 툴 본체의 선단부에 형성되고, 상기 맞닿음면으로부터 연속하여 상기 맞닿음면과 동일면으로 형성된 기준면을 가짐과 함께, 상기 기준면으로부터 이동 방향에 직교하는 방향으로 소정의 폭을 갖는 날끝부를 구비한 기판의 홈 가공 툴.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 날끝부의 선단에는 날이 형성되어 있고, 상기 날을 포함하는 상기 날끝부의 선단부는 이동 방향으로부터 보아 사각형인 기판의 홈 가공 툴.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 날끝부의 날이 형성된 측부에는, 상기 날로부터 멀어짐에 따라 이동 방향 상류측으로 경사진 경사면이 형성되어 있는 홈 가공 툴.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 홀더는 왕복 이동하는 것이며,
    상기 날끝부는, 이동 방향의 가는 이동(往動) 측의 선단에 형성된 제1 날과, 오는 이동(復動) 측의 선단에 형성된 제2 날을 갖고,
    상기 제1 날이 형성된 상기 날끝부의 제1 측부와, 상기 제2 날이 형성된 상기 날끝부의 제2 측부에는, 상기 각 날로부터 멀어짐에 따라 이동 방향 상류측으로 경사진 경사면이 형성되어 있는 홈 가공 툴.
  5. 기판의 패터닝 라인을 따라서 홈을 형성하는 기판의 홈 가공 장치로서,
    기판이 올려놓여지는 테이블과,
    제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 홈 가공 툴이 장착되는 헤드와,
    상기 테이블과 상기 헤드를 수평면 내에서 상대적으로 이동시키기 위한 이동 기구를 구비하고,
    상기 헤드는,
    상하 이동 가능한 홀더와,
    상기 홀더에 보유지지된 홈 가공 툴을 기판에 대하여 소정의 압압력으로 압압하는 압압 부재를 갖고 있는 기판의 홈 가공 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 홀더는, 상기 홈 가공 툴을 보유지지하고, 상기 수평면 내에서의 이동 방향과 직교하는 요동축을 지점으로 하여 요동하여, 가는 이동 위치와 오는 이동 위치를 취할 수 있는 요동 부재를 갖고 있는 기판의 홈 가공 장치.
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