JP2013068625A - 有関節座標計測機再配置方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】隠れ点を計測できるという有関節ＣＭＭの便利さと、より広い空間を計測できるというレーザトラッカの利点とを併せ実現する有関節座標計測機再配置方法を提供する。
【解決手段】本システム１００では有関節座標計測機（ＣＭＭ）２００及びレーザトラッカ４００を使用し、そのＣＭＭ２００上にはレーザトラッカ４００と対をなすレトロリフレクタを配置する。共通の基準座標系による座標値にＣＭＭ２００による計測値及びレーザトラッカ４００による計測値を変換できるためＣＭＭ２００を移動させることができる。更に、レーザトラッカ４００では計測できない隠れ点を有関節ＣＭＭ２００等で計測することができる。
【選択図】図１

Description

本願は、２００５年６月２３日付米国暫定特許出願第６０／６９３２９５号に基づく利益を享受する出願である。なお、この参照を以てその内容を本願に繰り入れることとする。
本発明は、複数の座標系を併用する座標計測装置に関する。
座標計測装置としては、例えば関節付きの機構を利用して計測対象点の座標値を計測する装置がある。この種の装置には、更に、計測対象点の座標値を機構端部のプローブを接触させて計測するものと非接触スキャナにより計測するものとがある。先端プローブの位置はその機構を構成するセグメント（アーム）同士の連結部（関節）に設けた角度エンコーダによって知ることができる。この種の装置は、プローブ接触式のものもスキャナ式のものも含め、有関節ＣＭＭと呼ばれており（ＣＭＭ：座標計測機）、そのシステム構成としては例えば特許文献１（発明者：Ｒａａｂ）に記載のものがある。
座標計測装置には更にレーザトラッカと呼ばれる装置がある。レーザトラッカは、計測対象点に接している反射体（レトロリフレクタ）に向けレーザビームを出射してレトロリフレクタまでの距離を調べる一方、レトロリフレクタの所在方向を表す二種類の角度を調べ、それらに基づきその計測対象点の座標値を計測する装置である。距離を調べる手段としては距離計測装置例えば干渉計等の絶対距離メータを用い、角度を調べる手段としては角度エンコーダ等の角度計測装置を用いる。レーザビームを所望方向に向ける手段としては例えばジンバル式ビーム駆動機構を使用する。特許文献２（発明者：Ｂｒｏｗｎ ｅｔ ａｌ．）及び特許文献３（発明者：Ｌａｕ ｅｔ ａｌ．）には、この種のシステムの例が記載されている。
米国特許第５４０２５８２号明細書 米国特許第４７９０６５１号明細書 米国特許第４７１４３３９号明細書 "Robot Modeling and Kinematics" by Rachid Manseur, chapters 3 and 4
有関節ＣＭＭは関節を操作して様々な方向に向けることができるので、レーザトラッカのような計測装置では視線外になり計測できない点即ち隠れ点についても、計測を行うことができる。他方、計測できる空間の広さはレーザトラッカの方が有関節ＣＭＭよりかなり広い。そのため、隠れ点を計測できるという有関節ＣＭＭの便利さと、より広い空間を計測できるというレーザトラッカの利点とを併せ実現することが、求められている。
ここに、本発明の一実施形態に係る座標計測システムは、レーザトラッカと、レトロリフレクタと、再配置時に移動される有関節ＣＭＭと、レトロリフレクタを有関節ＣＭＭに取り付けるためのアセンブリと、レーザトラッカ座標系による座標値、ＣＭＭ座標系による座標値又はその双方を共通の基準座標系による座標値に変換する手段と、を備える。本システムに拠れば、レーザトラッカに対するレトロリフレクタの位置をレーザトラッカからのレーザビーム出射によりレーザトラッカ座標系に従い計測する一方有関節ＣＭＭに対するレトロリフレクタの位置を有関節ＣＭＭによりＣＭＭ座標系に従い計測する、という動作を、複数回に亘る有関節ＣＭＭの再配置の前後で実行できる。
本発明の一実施形態に係る座標計測方法は、レーザトラッカを固定配置するステップと、レーザトラッカの位置を固定したままレトロリフレクタを移動させることができるようレトロリフレクタが取り付けられた移動可能な有関節ＣＭＭを、レーザトラッカとは別の場所に配置するステップと、レーザトラッカからのレーザビームの出射及びその反射によりレトロリフレクタの位置をレーザトラッカ座標系に従い計測する一方、レトロリフレクタの位置はそのままで有関節ＣＭＭによりレトロリフレクタの位置を計測することにより、有関節ＣＭＭに対するレトロリフレクタの位置をＣＭＭ座標系に従い計測するステップと、レーザトラッカ座標系による座標値、ＣＭＭ座標系による座標値又はその双方を共通の基準座標系による座標値に変換する座標変換ステップと、を有する。
本発明の一実施形態に係る有関節ＣＭＭ用レトロリフレクタアセンブリは、レトロリフレクタと、そのレトロリフレクタを有関節ＣＭＭ上に取り付けるためのマウントと、を備える。
本発明の一実施形態に係る方法は、有関節ＣＭＭを対象物周囲の複数の場所に再配置してその対象物を計測する方法であって、有関節ＣＭＭのアーム上に位置するレトロリフレクタの位置を、その有関節ＣＭＭの角度センサを用いＣＭＭ座標系に従い計測するステップと、レトロリフレクタの位置はそのままで、レーザビームを出射しレトロリフクレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカによりレーザトラッカ座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、有関節ＣＭＭのアームを動かしレトロリフレクタの位置を第１の位置から第２の位置に変化させた上で、有関節ＣＭＭの角度センサを用いＣＭＭ座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、レトロリフレクタの位置はそのままで、レーザトラッカによりレーザトラッカ座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、有関節ＣＭＭのアームを動かしレトロリフレクタの位置を第２の位置から第３の位置に変化させた上で、有関節ＣＭＭの角度センサを用いＣＭＭ座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、レトロリフレクタの位置はそのままで、レーザトラッカによりレーザトラッカ座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、ＣＭＭ座標系及びレーザトラッカ座標系を共通の基準座標系に関連づける変換行列を、第１、第２及び第３の各位置にて有関節ＣＭＭが計測した位置及びレーザトラッカが計測した位置に基づき生成するステップと、を有する。
そして、本発明の一実施形態に係るレーザ式対物計測機は、角度エンコーダを有する有関節ＣＭＭと、距離メータ及び角度エンコーダを有するレーザトラッカと、有関節ＣＭＭのアーム上に配置されレーザトラッカと連携するレトロリフレクタと、を備える。
本発明によれば、隠れ点を計測できるという有関節ＣＭＭの便利さと、より広い空間を計測できるというレーザトラッカの利点とを併せ実現することができる。
有関節ＣＭＭとレーザトラッカの関係を示す斜視図である。 レトロリフレクタクランプアセンブリを示す分解斜視図である。 レーザトラッカを使用して再配置される有関節ＣＭＭを示す斜視図である。 固定球アセンブリを示す斜視図である。 固定球アセンブリに着座接触させたレトロリフレクタを示す斜視図である。 固定球アセンブリに着座接触させたレトロリフレクタを示す斜視図である。 有関節ＣＭＭの数学的諸元を示す斜視図である。 有関節ＣＭＭの数学的諸元を示す斜視図である。
以下、本発明の実施形態に関し図面を参照して説明する。以下の説明は本発明の技術的範囲を限定する趣旨のものではない。また、図中、同様の符号には同一の符号を付してある。
別紙図面に、本発明の一実施形態を詳細に示す。
まず、図１に例示した大規模座標計測システム１００は、有関節ＣＭＭ２００、レトロリフレクタクランプアセンブリ３００及びレーザトラッカ４００を備えている。図示した例はあくまで一例であり、図示したものとは異なる向き、位置、構成、設定等にすることも可能である。それらはその用途の仔細に応じて決めればよいのであって、本発明を限定解釈する要素にはなりえない。
図２に分解して示した通り、レトロリフレクタクランプアセンブリ３００は、球殻装着型レトロリフレクタ（ＳＭＲ）３１０、キネマティックネスト３２０及びクランプ３３０を備えている。ＳＭＲ３１０は反射性キューブコーナ(cube-corner retroreflector)３１２を部分球殻３１４に埋め込んだ構成であり、そのキューブコーナ３１２はガラス等からなる３個の平面鏡セグメントＭ１、Ｍ２及びＭ３を有している。それらのセグメントはそれぞれ各セグメントが他の２セグメントに対し９０°で交差するよう組み合わされており、３個のセグメントＭ１、Ｍ２及びＭ３全てが交わる頂点Ａは、部分球殻３１４の中心に位置している。
キネマティックネスト３２０はクランプ３３０の頂部に取り付けられるよう、またクランプ３３０は有関節ＣＭＭ２００の先端アーム（final link）２１０に固定できるよう、構成されている。即ち、クランプ３３０を用いレトロリフレクタクランプアセンブリ３００をＣＭＭ２００上に配置することができる。
キネマティックネスト３２０にはＳＭＲ３１０が着座する３個の点状接触部（図示せず）が設けられている。即ち、ＳＭＲ３１０がその上で転がってもＳＭＲ３１０の中心位置が動かないよう、ネスト３２０はそれら点状接触部によってＳＭＲ３１０の球殻を三点接触支持している。また、ネスト３２０の下部に磁石を組み込むとなおよい。それにより、３個の点状接触部に対しＳＭＲ３１０が安定に接触している状態を維持することができる。
図１に示した通り、レーザトラッカ４００はＳＭＲ３１０に向けてレーザビーム４１０を出射する。このビーム４１０は反射性キューブコーナ３１２によって反射される。反射されたビームは入射ビーム４１０が辿った光路を逆に辿ってレーザトラッカ４００に入射する。レーザトラッカ４００は、反射ビーム入射位置を監視してトラッカヘッド４０２の姿勢を調整することによって、ＳＭＲ３１０に位置変化があってもビーム４１０を引き続きＳＭＲ３１０上に正確に入射させる。また、本実施形態では、オペレータが有関節ＣＭＭ２００の先端位置を変化させ、各位置でＣＭＭ２００及びレーザトラッカ４００それぞれによりＳＭＲ３１０の座標値を計測する。そのうちＣＭＭ２００によるレトロリフレクタ位置計測は、図示しないがそのＣＭＭ２００に組み込まれている何個かの角度エンコーダ、例えばそのＣＭＭ２００の関節に配置されている角度エンコーダによって行う。レーザトラッカ４００によるレトロリフレクタ位置計測は、図示しないがそのレーザトラッカ４００の距離メータ及び角度エンコーダにより行う。なお、エンコーダやメータとしては上記以外のものを含め様々な種類のものを使用できる。また、本実施形態ではＣＭＭ２００の先端を３個所に亘り動かして計測を行うが、計測個所は例えば１２個所以上にも或いはただの１個所にもすることができる。
こうして有関節ＣＭＭ２００により収集されたデータ及びレーザトラッカ４００により収集されたデータは互いに比較され、その結果に基づき変換行列が決定される。変換行列とは、ＣＭＭ２００の座標系からレーザトラッカ４００の座標系への座標変換、その逆方向の座標変換、或いはそれらの座標系から何らかの好ましいＸＹＺ座標系への座標変換のための行列である。
ここに、有関節ＣＭＭ２００を使用して大きな物体を計測する場合、その物体のうち最初のＣＭＭ位置からではアクセス及び計測できない部位を計測するには、ＣＭＭ２００を別の場所に動かさねばならないことが多い。別の部位を計測するためＣＭＭ２００を別の場所に動かす措置のことは、ＣＭＭ２００の「再配置」と呼ばれている。先に述べた同時計測動作、即ちＣＭＭ２００及びレーザトラッカ４００双方でＳＭＲ３１０の位置を同時に又は相前後して計測する手順は、例えば図３に示すようにＣＭＭ２００を位置Ａから位置Ｂに動かしたとき等、ＣＭＭ２００を再配置するたびに実行する。従って、ＣＭＭ２００が複数の場所で収集したデータを共通の基準座標系上で結びつけ、とぎれない一連のデータにすることができる。更に、この手順に拠れば、レーザトラッカ４００による計測が可能な空間内であれば、どの場所へもＣＭＭ２００を素早く且つ正確に再配置することができる。
これは従来技術に比して多大なる進歩である。従来は、何個かのネスト例えば４個のネストをＣＭＭ用座標基準点として床に配置し、ＣＭＭを移動させるときにはそれらのネストも移動させて各基準点の面倒な再校正等を逐一行わねばならなかったため、このように気軽には再配置を行えなかった。
これに対し、本実施形態では、図３に示すようにある位置Ａから別の位置Ｂへと有関節ＣＭＭ２００を動かすことで、大きな対象物６００を計測することができる。即ち、図示の通りレーザトラッカ４００を用いているため、ＣＭＭ２００を迅速且つ正確に再配置することができる。
有関節ＣＭＭの再配置精度を高めるには例えば次の手法を併用するとよい。（１）まず、有関節ＣＭＭ及びレーザトラッカ双方による計測を多数の位置、例えば４個所以上の位置について行うとよい。（２）また、計測する位置同士を三次元空間内でできるだけ引き離すこと、即ち有関節ＣＭＭによる計測が可能な範囲を隅から隅まで利用することが望ましい。（３）そして、計測する位置を三次元的に引き離すこと、即ち（ほぼ）同一の平面上にある複数の位置を計測対象にすることを避けることが望ましい。
ＳＭＲ位置導出時補償
レトロリフレクタクランプアセンブリ３００を有関節ＣＭＭ２００に取り付けたら、最初に先端アーム２１０の準拠座標系（図６Ｂ参照）におけるＳＭＲ３１０の座標値を調べねばならない。その際には、図４に示す固定球アセンブリ５００を用いた補償手順即ち初期補償手順を実行する。初期補償手順と呼ぶのは、アセンブリ３００をＣＭＭ２００に初めて取り付けたとき以外は行う必要がないからである。
固定球アセンブリ５００は金属球５１０、磁気ネスト５２０及びベース５３０から構成されている。金属球５１０としては例えばＳＭＲ３１０と同じ直径の球を使用する。磁気ネスト５２０に設けられた図示しない３個の点状接触部の上に着座させると、金属球５１０は磁石（図示せず）によって引きつけられ、当該３個の点状接触部によりしっかりと接触保持される。また、磁気ネスト５２０はベース５３０に固定されており、そのベース５３０は更に床その他の安定な面上に固定されている。
この初期補償手順を実行してＳＭＲ位置を導出する際には、まずＳＭＲ３１０をキネマティックネスト３２０から取り外し、磁気ネスト５２０上に着座している金属球５１０にそのネスト３２０を接触させる。この状態を図５Ａに示す。その次は、有関節ＣＭＭ２００のリンク即ちアームを動かし、図５Ｂに示すように別の姿勢・状態にする。ネスト３２０が厳密にはどのような位置にあるは肝要なことではなく、重要なことはアームの姿勢・状態を更に少なくとももう１回、好ましくはできるだけ多様に変化させることである。こうすることによって、ＣＭＭ２００の角度エンコーダによる角度計測値を複数通り得ることができ、それらに基づきＳＭＲ３１０の中心位置を割り出すことができる。
アーム及び関節からなる機構、例えば有関節ＣＭＭやロボットにて得られる情報から座標値を導出する数式は周知の通りであるが、中でも非特許文献１に記載されている数式に注目すべきであろう。この文献に記載されている数式に拠れば、金属球５１０の中心位置について、先端アーム２１０の基準座標系による座標値を表すベクトル
Figure 2013068625
 と有関節ＣＭＭ２００のベース２２０の基準座標系による座標値を表すベクトル
Figure 2013068625
 との関係を特定することができる。ＣＭＭ２００におけるこれらのベクトル
Figure 2013068625
 及び
Figure 2013068625
 の例を図６Ａ及び図６Ｂに示す。これらベクトルの意味を明瞭に示すため、これらの図にはＣＭＭ２００のローカル座標系（ｘA，ｙA，ｚA）及びその先端アーム２１０のローカル座標系（ｘF，ｙF，ｚF）を示してある。上述のＳＭＲ位置導出時初期補償手順では金属球５１０の表面を“倣い計測”するので、ＣＭＭ２００のアームをいくら動かしてもベクトル
Figure 2013068625
 及び
Figure 2013068625
 の大きさは一定に保たれる。従って、これらのベクトルから、次の式
Figure 2013068625
 に示す関係を決定することができる。
この式中、
Figure 2013068625
 は４×４サイズの変換行列である。前掲の非特許文献１の記載に拠れば、この行列は各アームのＤｅｎａｖｉｔ−Ｈａｒｔｅｎｂｅｒｇ（ＤＨ）パラメタによって変化する。ＤＨパラメタは一種類を除きその有関節ＣＭＭの特性を表すパラメタであり、ＣＭＭ製造工場で実行される製造段階補償手順で既に決定づけられている。即ち、ＳＭＲ位置導出時初期補償手順実行時に変化しうるのは各アームのＤＨパラメタのうちそのアームの角度θだけであり、この一種類を除く他のパラメタは当該初期補償手順とは別の製造段階補償手順で決まる固定的なパラメタである。また、この変換行列Ｔはその有関節ＣＭＭの各関節に設けられている一群の角度エンコーダの出力を表すベクトル
Figure 2013068625
 の関数になっている。式中のｉはその出力が得られた計測位置を示す番号である。即ち、図５Ａ及び図５Ｂに二例示したように、ＣＭＭ２００による位置計測はＣＭＭ２００の位置を変えて複数回行われる。ＣＭＭ２００を動かし多くの位置で計測を行った場合は、式（１）の解がユニークにならないので、式（１）を解く代わりにベクトル
Figure 2013068625
 及び
Figure 2013068625
 の最良推定を行い、残留誤差総和が最小になるベクトルを求める。第ｉ計測位置についての残留誤差は次の式
Figure 2013068625
 で表されるので、残留誤差総和を最小にするにはｒｅｓi値の自乗和が最小になるように
Figure 2013068625
 及び
Figure 2013068625
 を選択すればよい。ここでは
Figure 2013068625
 及び
Figure 2013068625
 は何れも三次元座標値（例えばｘ，ｙ，ｚにより表される座標値）を表すベクトルであるので、特定すべきパラメタ値は６種類ある。なお、自乗和を最小にするパラメタを求める手順は本件技術分野において周知であり、広汎に流通しているソフトウェアを使用して容易に実行することができるので、ここではその詳細について説明しないこととする。
再配置計算
先に言及した通り、ＳＭＲ３１０を数個所に動かし有関節ＣＭＭ２００及びレーザトラッカ４００によってその位置を同時計測することにより、ＣＭＭ２００の再配置を至便に行うことができる。更に、ＣＭＭ２００を用いて収集した計測結果及びレーザトラッカ４００による計測結果との関係を、次の式
Figure 2013068625
 に従い特定することができる。
この式中、
Figure 2013068625
 はレーザトラッカ４００の準拠座標系によるＳＭＲ３１０の座標値、
Figure 2013068625
 は有関節ＣＭＭ２００の準拠座標系によるＳＭＲ３１０の座標値、量ｒｘ，ｒｙ，ｒｚはＸ，Ｙ，Ｚ各軸周りでの回転角を表すオイラー角（同順）、ｔｘ，ｔｙ，ｔｚはＸ，Ｙ，Ｚ各軸沿いの変位量（同順）である。行列Ｍ（ｒｘ，ｒｙ，ｒｚ，ｔｘ，ｔｙ，ｔｚ）は、再配置したＣＭＭ２００により計測したＳＭＲ３１０の座標値を、共通の基準座標系による座標値へと変換するための行列である。なお、上の式ではレーザトラッカ４００の準拠座標系を以て共通の基準座標系としているが、適当なものである限りこれ以外のどのような座標系でも共通の基準座標系として使用し又は割り当てることができる。この行列Ｍ（ｒｘ，ｒｙ，ｒｚ，ｔｘ，ｔｙ，ｔｚ）は再配置手順で決定される行列であり、そのための計算は適宜プロセッサやソフトウェア（図示せず）等の手段で行うことができる。一旦行列Ｍ（ｒｘ，ｒｙ，ｒｚ，ｔｘ，ｔｙ，ｔｚ）が判明すれば、先端アーム２１０に取り付けられた先端プローブ２０５による計測値にそれを直ちに適用することができる。即ち、ＣＭＭ２００によって計測された先端プローブ２０５の座標値を行列Ｍ（ｒｘ，ｒｙ，ｒｚ，ｔｘ，ｔｙ，ｔｚ）を用いて座標変換し、レーザトラッカ４００の準拠座標系による先端プローブ２０５の座標値を得ることができる。
行列Ｍ（ｒｘ，ｒｙ，ｒｚ，ｔｘ，ｔｙ，ｔｚ）を導出する際には、第ｉ計測位置についての残留誤差
Figure 2013068625
 を求める。
この式には６種類のパラメタｒｘ，ｒｙ，ｒｚ，ｙｘ，ｔｙ，ｔｚが含まれているので、一般的な最小自乗当てはめ計算を行い、残留誤差の自乗和が最小になるようそれらを決定すればよい。
以上、本発明の実施形態について図示説明したが、本件技術分野において相当程度の熟練を積まれた方々（いわゆる当業者）であれば理解できるように、本願に記載の装置及び方法、即ちＣＭＭ上に実装されているレトロリフレクタをそのＣＭＭとレーザトラッカとにより計測する有関節ＣＭＭ再配置装置及び方法については、本発明の技術的範囲内で様々な変形や改良を施すことができる。言い換えれば、本願記載の実施形態は本発明の内容を説明するための例であり本発明の要旨を限定するものではないので、その点を理解されたい。

Claims (3)

  1. 有関節座標計測機を対象物周囲の複数の場所に再配置してその対象物を計測する方法であって、
    有関節座標計測機のアーム上に位置するレトロリフレクタの第１の位置を、その有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    有関節座標計測機のアームを動かしレトロリフレクタの位置を第２の位置に変化させた上で、有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    有関節座標計測機のアームを動かしレトロリフレクタの位置を第３の位置に変化させた上で、有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    第１及び第２の座標系を共通の基準座標系に関連づける変換行列を、第１、第２及び第３の各位置にて有関節座標計測機が計測した位置及びレーザトラッカが計測した位置に基づき生成するステップと、
    を有する方法。
  2. 請求項１記載の方法であって、更に、レーザトラッカでは捕らえられない隠れ位置を有関節座標計測機で計測しその結果を上記変換行列を用い上記基準座標系に関連づける方法。
  3. 有関節座標計測機を対象物周囲の複数の場所に再配置してその対象物を計測する方法であって、
    有関節座標計測機のアーム上に位置するレトロリフレクタの第１の位置を、その有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    有関節座標計測機のアームを動かしレトロリフレクタの位置を第２の位置に変化させた上で、有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    有関節座標計測機のアームを動かしレトロリフレクタの位置を第３の位置に変化させた上で、有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    有関節座標計測機のアームを動かしレトロリフレクタの位置を第４の位置に変化させた上で、有関節座標計測機の角度センサを用い第１の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    レーザビームを出射しレトロリフレクタによる反射光を捕らえるレーザトラッカにより第２の座標系に従い、レトロリフレクタの位置を計測するステップと、
    第１及び第２の座標系を共通の基準座標系に関連づける変換行列を、第１、第２、第３及び第４の各位置にて、或いは更に第５、第６、第７等々の各位置にて有関節座標計測機が計測した位置及びレーザトラッカが計測した位置に基づき生成するステップと、
    を有する方法。
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WO (1) WO2007002319A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101797122B1 (ko) * 2015-11-13 2017-11-13 인제대학교 산학협력단 이동형 3차원 좌표 측정기(cmm)의 에러 측정 및 보상 방법

Families Citing this family (109)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0501690D0 (en) * 2005-01-27 2005-03-02 Renishaw Plc Articulating device
DE102006031580A1 (de) 2006-07-03 2008-01-17 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Verfahren und Vorrichtung zum dreidimensionalen Erfassen eines Raumbereichs
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
JP5740084B2 (ja) * 2008-12-09 2015-06-24 株式会社東芝 タービン発電機におけるステータコイルの接続組立の３次元形状測定方法及び３次元形状測定装置用冶具
US9739595B2 (en) * 2008-12-11 2017-08-22 Automated Precision Inc. Multi-dimensional measuring system with measuring instrument having 360° angular working range
US8264698B2 (en) * 2009-02-03 2012-09-11 The Boeing Company Device for thermal isolation of a laser tracker
US9551575B2 (en) 2009-03-25 2017-01-24 Faro Technologies, Inc. Laser scanner having a multi-color light source and real-time color receiver
DE102009015920B4 (de) 2009-03-25 2014-11-20 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US8082673B2 (en) * 2009-11-06 2011-12-27 Hexagon Metrology Ab Systems and methods for control and calibration of a CMM
US8659749B2 (en) 2009-08-07 2014-02-25 Faro Technologies, Inc. Absolute distance meter with optical switch
DE102009040837A1 (de) * 2009-09-10 2011-03-17 Carl Zeiss Ag Vorrichtungen und Verfahren zur Positionsbestimmung und Oberflächenvermessung
US9210288B2 (en) 2009-11-20 2015-12-08 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with dichroic beam splitters to capture a variety of signals
US9113023B2 (en) 2009-11-20 2015-08-18 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with spectroscopic energy detector
DE102009057101A1 (de) 2009-11-20 2011-05-26 Faro Technologies, Inc., Lake Mary Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9529083B2 (en) 2009-11-20 2016-12-27 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional scanner with enhanced spectroscopic energy detector
US8630314B2 (en) 2010-01-11 2014-01-14 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for synchronizing measurements taken by multiple metrology devices
GB2489345B (en) * 2010-01-18 2015-07-08 Faro Tech Inc Retroreflector probe adaptor for tracking hidden points
US9628775B2 (en) 2010-01-20 2017-04-18 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
US8875409B2 (en) 2010-01-20 2014-11-04 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US8898919B2 (en) 2010-01-20 2014-12-02 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter used to establish frame of reference
GB2490631B (en) 2010-01-20 2016-11-02 Faro Tech Inc Portable articulated arm coordinate measuring machine with multi-bus arm technology
US9607239B2 (en) 2010-01-20 2017-03-28 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine having a 2D camera and method of obtaining 3D representations
JP5192614B1 (ja) * 2010-01-20 2013-05-08 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド 座標測定デバイス
US9163922B2 (en) 2010-01-20 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machine with distance meter and camera to determine dimensions within camera images
US8615893B2 (en) 2010-01-20 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine having integrated software controls
US8284407B2 (en) 2010-01-20 2012-10-09 Faro Technologies, Inc. Coordinate measuring machine having an illuminated probe end and method of operation
US9879976B2 (en) 2010-01-20 2018-01-30 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measurement machine that uses a 2D camera to determine 3D coordinates of smoothly continuous edge features
US8677643B2 (en) 2010-01-20 2014-03-25 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US8832954B2 (en) 2010-01-20 2014-09-16 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement machines with removable accessories
US8537371B2 (en) 2010-04-21 2013-09-17 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for using gestures to control a laser tracker
US8422034B2 (en) 2010-04-21 2013-04-16 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for using gestures to control a laser tracker
US9400170B2 (en) 2010-04-21 2016-07-26 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker
US9377885B2 (en) 2010-04-21 2016-06-28 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker
US8724119B2 (en) 2010-04-21 2014-05-13 Faro Technologies, Inc. Method for using a handheld appliance to select, lock onto, and track a retroreflector with a laser tracker
US8619265B2 (en) 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
DE102010020925B4 (de) 2010-05-10 2014-02-27 Faro Technologies, Inc. Verfahren zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
DE112011102995B4 (de) 2010-09-08 2016-05-19 Faro Technologies Inc. Laserscanner oder Lasernachführungsgerät mit einem Projektor
US9168654B2 (en) 2010-11-16 2015-10-27 Faro Technologies, Inc. Coordinate measuring machines with dual layer arm
US8902408B2 (en) 2011-02-14 2014-12-02 Faro Technologies Inc. Laser tracker used with six degree-of-freedom probe having separable spherical retroreflector
GB2518769A (en) 2011-03-03 2015-04-01 Faro Tech Inc Target apparatus and method
US9164173B2 (en) 2011-04-15 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
USD688577S1 (en) 2012-02-21 2013-08-27 Faro Technologies, Inc. Laser tracker
JP2014516409A (ja) 2011-04-15 2014-07-10 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド レーザトラッカの改良位置検出器
JP5610443B2 (ja) * 2011-08-01 2014-10-22 三菱日立パワーシステムズ株式会社 ３次元寸法測定方法
US8892252B1 (en) 2011-08-16 2014-11-18 The Boeing Company Motion capture tracking for nondestructive inspection
US9222771B2 (en) 2011-10-17 2015-12-29 Kla-Tencor Corp. Acquisition of information for a construction site
DE102012100609A1 (de) 2012-01-25 2013-07-25 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
GB2515922A (en) * 2012-01-27 2015-01-07 Faro Tech Inc Inspection method with barcode identification
US8997362B2 (en) 2012-07-17 2015-04-07 Faro Technologies, Inc. Portable articulated arm coordinate measuring machine with optical communications bus
US10067231B2 (en) 2012-10-05 2018-09-04 Faro Technologies, Inc. Registration calculation of three-dimensional scanner data performed between scans based on measurements by two-dimensional scanner
DE102012109481A1 (de) 2012-10-05 2014-04-10 Faro Technologies, Inc. Vorrichtung zum optischen Abtasten und Vermessen einer Umgebung
US9513107B2 (en) 2012-10-05 2016-12-06 Faro Technologies, Inc. Registration calculation between three-dimensional (3D) scans based on two-dimensional (2D) scan data from a 3D scanner
JP2014106212A (ja) * 2012-11-29 2014-06-09 Honda Motor Co Ltd 目標物位置姿勢算出装置
JP6144050B2 (ja) * 2013-01-08 2017-06-07 株式会社ミツトヨ 三次元測定装置、入力方法及びプログラム
CZ308920B6 (cs) * 2013-03-11 2021-09-01 České vysoké učení technické v Praze Způsob a zařízení pro redundantní optické měření a/nebo kalibraci polohy tělesa v prostoru
US9188430B2 (en) * 2013-03-14 2015-11-17 Faro Technologies, Inc. Compensation of a structured light scanner that is tracked in six degrees-of-freedom
US9041914B2 (en) 2013-03-15 2015-05-26 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9234742B2 (en) 2013-05-01 2016-01-12 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for using gestures to control a laser tracker
EP2881704B1 (en) * 2013-12-04 2018-05-09 Hexagon Technology Center GmbH Systems and methods for automated measurement of an object and corresponding computer programme product
US9329028B2 (en) 2013-12-11 2016-05-03 Faro Technologies, Inc. Spherically mounted retroreflector having an embedded temperature sensor and socket
US9239238B2 (en) 2013-12-11 2016-01-19 Faro Technologies, Inc. Method for correcting a 3D measurement of a spherically mounted retroreflector on a nest
US9423492B2 (en) 2013-12-11 2016-08-23 Faro Technologies, Inc. Method for finding a home reference distance using a spherically mounted retroreflector
US8947678B2 (en) * 2013-12-11 2015-02-03 Faro Technologies, Inc. Method for correcting three-dimensional measurements of a spherically mounted retroreflector
US9347767B2 (en) 2013-12-11 2016-05-24 Faro Technologies, Inc. Spherically mounted retroreflector and method to minimize measurement error
US9121689B2 (en) 2013-12-11 2015-09-01 Faro Technologies, Inc. Method for correcting a spherically mounted retroreflector when resetting a distance meter
US9074869B2 (en) 2013-12-11 2015-07-07 Faro Technologies, Inc. Method for measuring 3D coordinates of a spherically mounted retroreflector from multiple stations
US9163921B2 (en) * 2013-12-18 2015-10-20 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable articulated arm coordinate measurement machine
FR3018358B1 (fr) * 2014-03-10 2018-05-25 Noviloire Methode d'initialisation et de controle d'une installation robotisee
US20150355310A1 (en) 2014-06-06 2015-12-10 Faro Technologies, Inc. Metrology instrument system and method of operating
US9395174B2 (en) 2014-06-27 2016-07-19 Faro Technologies, Inc. Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit
US9291447B2 (en) * 2014-07-09 2016-03-22 Mitutoyo Corporation Method for controlling motion of a coordinate measuring machine
EP3167517B1 (en) 2014-07-10 2021-11-10 Brunson Instrument Company Laser tracker calibration system and methods
US11879995B2 (en) 2014-07-10 2024-01-23 Brunson Instrument Company Laser tracker calibration system and methods
CN104316007B (zh) * 2014-09-15 2017-08-25 东莞新吉凯氏测量技术有限公司 基于测量参考点阵的大尺寸精密几何尺寸测量系统
US10176625B2 (en) 2014-09-25 2019-01-08 Faro Technologies, Inc. Augmented reality camera for use with 3D metrology equipment in forming 3D images from 2D camera images
WO2016073208A1 (en) 2014-11-03 2016-05-12 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker
US9506744B2 (en) 2014-12-16 2016-11-29 Faro Technologies, Inc. Triangulation scanner and camera for augmented reality
DE102014119654A1 (de) * 2014-12-29 2016-06-30 Brötje-Automation GmbH Verfahren zur Kompensation einer Abweichung eines Arbeitspunkts
US9964402B2 (en) * 2015-04-24 2018-05-08 Faro Technologies, Inc. Two-camera triangulation scanner with detachable coupling mechanism
JP2017019072A (ja) * 2015-07-14 2017-01-26 トヨタ自動車株式会社 位置計測システム
CN105446014B (zh) * 2015-12-24 2019-05-14 昆山龙腾光电有限公司 可实现视角切换的液晶显示装置
DE102015122844A1 (de) 2015-12-27 2017-06-29 Faro Technologies, Inc. 3D-Messvorrichtung mit Batteriepack
CN105666490B (zh) * 2016-01-12 2018-06-15 昆明理工大学 一种机器人的标定系统及方法
BR112019000728B1 (pt) 2016-07-15 2023-03-28 Fastbrick Ip Pty Ltd Veículo que incorpora máquina de assentamento de tijolos
BR112019000722B1 (pt) 2016-07-15 2023-03-28 Fastbrick Ip Pty Ltd Lança extensível telescópica para transportar item e lança dobrável
US20180088202A1 (en) * 2016-09-23 2018-03-29 Faro Technologies, Inc. Apparatus and method for relocating an articulating-arm coordinate measuring machine
DE102017201387A1 (de) 2017-01-30 2018-03-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Markierungseinrichtung und Verfahren zur Markierung
CN111095355B (zh) 2017-07-05 2023-10-20 快砖知识产权私人有限公司 实时定位和定向跟踪器
CN111226090B (zh) 2017-08-17 2023-05-23 快砖知识产权私人有限公司 具有改进的横滚角测量的激光跟踪器
AU2018317937B2 (en) 2017-08-17 2023-11-23 Fastbrick Ip Pty Ltd Communication system for an interaction system
JP6622772B2 (ja) 2017-09-26 2019-12-18 ファナック株式会社 計測システム
EP3694793B1 (en) 2017-10-11 2023-11-08 Fastbrick IP Pty Ltd Machine for conveying objects
EP3721256B1 (en) 2017-12-08 2023-07-26 Brunson Instrument Company Laser tracker calibration system and methods
US10655946B2 (en) 2018-02-12 2020-05-19 Faro Technologies, Inc. Automated rotation mechanism for spherically mounted retroreflector
JP6403298B1 (ja) * 2018-03-30 2018-10-10 旭精機工業株式会社 Ｎｃ加工装置及び加工部品の製造方法
CN109631762B (zh) * 2019-01-29 2021-01-19 合肥中控智科机器人有限公司 一种激光自标定实现零点标定的方法
US11293748B2 (en) 2019-03-07 2022-04-05 Faro Technologies, Inc. System and method for measuring three-dimensional coordinates
CN109883381A (zh) * 2019-04-15 2019-06-14 合肥工业大学 一种关节式坐标测量机的三维空间大尺寸测量方法
CN110174051B (zh) * 2019-05-30 2020-04-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种虎克铰在线精度检测装置
CN111189391B (zh) * 2020-01-10 2021-04-20 天津大学 一种基于测量碳纤维杆轴线中点的坐标统一化方法
CN111879281B (zh) * 2020-07-30 2021-02-26 成都经纬时空科技有限公司 一种长程转角精密距离测量装置及测量方法
CN112683164B (zh) * 2020-12-03 2022-07-29 中国科学院光电技术研究所 一种适用于视觉-激光测量系统的相对位姿测量精度评估方法
WO2022259536A1 (ja) 2021-06-11 2022-12-15 株式会社ニコン 位置測定装置、及び位置測定方法
CN117836588A (zh) 2021-06-11 2024-04-05 株式会社尼康 位置测定装置、位置测定系统以及测定装置
USD975247S1 (en) * 2022-09-05 2023-01-10 Guangdong Heshan Shanshui Sanitary Ware Co., Ltd. Extension shower arm
USD974534S1 (en) * 2022-09-05 2023-01-03 Guangdong Heshan Shanshui Sanitary Ware Co., Ltd. Extension shower arm

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6279306A (ja) * 1985-09-05 1987-04-11 フエランテイ・ピ−エルシ− 自由プロ−ブを備えた検査機
US4714339A (en) * 1986-02-28 1987-12-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Three and five axis laser tracking systems
JPH1183452A (ja) * 1997-07-31 1999-03-26 Boeing Co:The 高精度表面走査を行なうための携帯デジタル化用システムおよび方法
JP2000511827A (ja) * 1996-06-06 2000-09-12 ザ・ボーイング・カンパニー 機械の精度を高めるための方法
JP2003530561A (ja) * 2000-04-06 2003-10-14 ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− 測定装置及び方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4790651A (en) * 1987-09-30 1988-12-13 Chesapeake Laser Systems, Inc. Tracking laser interferometer
GB8923948D0 (en) * 1989-10-24 1989-12-13 Lk Ltd Calibration of measuring apparatus
US5402582A (en) * 1993-02-23 1995-04-04 Faro Technologies Inc. Three dimensional coordinate measuring apparatus
US6420694B1 (en) * 1999-09-21 2002-07-16 The Boeing Company Steerable retroreflective system and method
JP2004527751A (ja) * 2001-04-10 2004-09-09 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド チョッパ安定化絶対距離計
US6965843B2 (en) * 2002-02-14 2005-11-15 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
WO2003096063A1 (en) 2002-05-06 2003-11-20 Automated Precision, Inc. Nine dimensional laser tracking system and method
DE10321749B4 (de) * 2003-05-09 2018-05-30 Trimble Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Bestimmung der räumlichen Lage und Position eines Reflektorstabes in Bezug zu einem Aufhaltepunkt
US6901673B1 (en) * 2004-05-20 2005-06-07 The Boeing Company Tie-in device for the correlation of coordinate systems

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6279306A (ja) * 1985-09-05 1987-04-11 フエランテイ・ピ−エルシ− 自由プロ−ブを備えた検査機
US4714339A (en) * 1986-02-28 1987-12-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Three and five axis laser tracking systems
US4714339B1 (en) * 1986-02-28 1997-03-18 Us Army Three and five axis laser tracking systems
US4714339B2 (en) * 1986-02-28 2000-05-23 Us Commerce Three and five axis laser tracking systems
JP2000511827A (ja) * 1996-06-06 2000-09-12 ザ・ボーイング・カンパニー 機械の精度を高めるための方法
JPH1183452A (ja) * 1997-07-31 1999-03-26 Boeing Co:The 高精度表面走査を行なうための携帯デジタル化用システムおよび方法
JP2003530561A (ja) * 2000-04-06 2003-10-14 ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− 測定装置及び方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101797122B1 (ko) * 2015-11-13 2017-11-13 인제대학교 산학협력단 이동형 3차원 좌표 측정기(cmm)의 에러 측정 및 보상 방법

Also Published As

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