JP2013057564A5 - - Google Patents

Description

本発明は、輪帯面と前記輪帯面に交差する壁面とが交互に連続して形成された被測定面の形状を測定することにより得られた複数の点データから、前記被測定面の形状を評価する演算部を備えた形状評価装置を用いた形状評価方法において、前記演算部が、前記形状評価装置のプローブを前記被測定面を倣い走査するとともに前記プローブの３次元位置を測定することで前記複数の点データを取得する工程と、前記演算部が、前記複数の点データを前記輪帯面及び前記壁面に跨って延びる列毎にグループ化して複数の点列データを生成する点列データ生成工程と、前記演算部が、前記点列データごとに、その点列データを関数近似して該点列データの配列方向を示す第１の面関数をそれぞれ求める第１の面関数計算工程と、前記演算部が、前記複数の点データの中から前記各輪帯面のデータと見做せる点データを前記各輪帯面に対応して抽出し、得られた抽出データ毎に、その抽出データを関数近似して前記輪帯面を示す第２の面関数をそれぞれ求める第２の面関数計算工程と、前記演算部が、前記被測定面の設計データ上における各壁面を示す第３の面関数をそれぞれ求める第３の面関数計算工程と、前記演算部が、前記各第２及び各第３の面関数が交差して形成された各山部及び各谷部のうちの少なくとも一方と、前記各第１の面関数とが交差する各々の交点データを求める交点計算工程と、前記演算部が、前記設計データ上における前記交点データの対応点を示す参照データと、前記交点データとをフィッティングさせる座標変換パラメータを求める座標変換パラメータ計算工程と、前記演算部が、前記座標変換パラメータで各点データを座標変換するフィッティング工程と、前記演算部が、座標変換した点データと前記被測定面の設計データとの差分を求める形状評価工程と、を備えたことを特徴とする。

Claims (6)

1. 輪帯面と前記輪帯面に交差する壁面とが交互に連続して形成された被測定面の形状を測定することにより得られた複数の点データから、前記被測定面の形状を評価する演算部を備えた形状評価装置を用いた形状評価方法において、
   前記演算部が、前記形状評価装置のプローブを前記被測定面を倣い走査するとともに前記プローブの３次元位置を測定することで前記複数の点データを取得する工程と、
   前記演算部が、前記複数の点データを前記輪帯面及び前記壁面に跨って延びる列毎にグループ化して複数の点列データを生成する点列データ生成工程と、
   前記演算部が、前記点列データごとに、その点列データを関数近似して該点列データの配列方向を示す第１の面関数をそれぞれ求める第１の面関数計算工程と、
   前記演算部が、前記複数の点データの中から前記各輪帯面のデータと見做せる点データを前記各輪帯面に対応して抽出し、得られた抽出データ毎に、その抽出データを関数近似して前記輪帯面を示す第２の面関数をそれぞれ求める第２の面関数計算工程と、
   前記演算部が、前記被測定面の設計データ上における各壁面を示す第３の面関数をそれぞれ求める第３の面関数計算工程と、
   前記演算部が、前記各第２及び各第３の面関数が交差して形成された各山部及び各谷部のうちの少なくとも一方と、前記各第１の面関数とが交差する各々の交点データを求める交点計算工程と、
   前記演算部が、前記設計データ上における前記交点データの対応点を示す参照データと、前記交点データとをフィッティングさせる座標変換パラメータを求める座標変換パラメータ計算工程と、
   前記演算部が、前記座標変換パラメータで各点データを座標変換するフィッティング工程と、
   前記演算部が、座標変換した点データと前記被測定面の設計データとの差分を求める形状評価工程と、
   を備えたことを特徴とする形状評価方法。
2. 前記演算部が、前記第１及び第２の面関数を求める前に、前記被測定面の設計データ上の各輪帯面に含まれる曲面成分を、前記点データから差し引く点データ変換工程と、
   前記演算部が、前記交点データにより前記座標変換パラメータを求める前に、前記交点データに前記曲面成分を加える交点データ復元工程と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の形状評価方法。
3. 前記演算部が、前記第１及び第２の面関数を求める前に、前記点列データの中から少なくとも２つの区分端点データを選択して、隣接する２つの区分端点データを端辺に有する区分平面を定義し、前記点列データの各点データを空間座標から前記区分平面の平面座標に投影ベクトルに沿って投影する点列データ投影工程と、
   前記演算部が、前記交点データにより前記座標変換パラメータを求める前に、前記投影ベクトルの逆ベクトルを用いて前記交点データを前記区分平面の平面座標から前記空間座標に展開する展開ベクトルを求め、前記交点データを前記展開ベクトルによって展開する交点データ展開工程と、を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の形状評価方法。
4. ３軸並進方向に移動可能なステージに設けられたプローブと、輪帯面と前記輪帯面に交差する壁面とが交互に連続して形成された被測定面の形状を前記プローブにて測定することにより得られた複数の点データから、前記被測定面の形状を評価する演算部と、を備えた形状評価装置において、
   前記演算部は、
   前記複数の点データを前記輪帯面及び前記壁面に跨って延びる列毎にグループ化して複数の点列データを生成し、
   前記点列データごとに、その点列データを関数近似して該点列データの配列方向を示す第１の面関数をそれぞれ求め、
   前記複数の点データの中から前記各輪帯面のデータと見做せる点データを前記各輪帯面に対応して抽出し、得られた抽出データ毎に、その抽出データを関数近似して前記輪帯面を示す第２の面関数をそれぞれ求め、
   前記被測定面の設計データ上における各壁面を示す第３の面関数をそれぞれ求め、
   前記各第２及び各第３の面関数が交差して形成された各山部及び各谷部のうちの少なくとも一方と、前記各第１の面関数とが交差する各々の交点データを求め、
   前記設計データ上における前記交点データの対応点を示す参照データと、前記交点データとをフィッティングさせる座標変換パラメータを求め、
   前記座標変換パラメータで各点データを座標変換し、
   座標変換した点データと前記被測定面の設計データとの差分を求める、ことを特徴とする形状評価装置。
5. コンピュータに請求項１乃至３のいずれか１項に記載の形状評価方法の各工程を実行させるためのプログラム。
6. 請求項５に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。