JP2013050272A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】レイアウト設計の自由度が高く、天井高さが低い場合でも設置可能で、かつ、天井面に塵埃が堆積するのを防止して、コストを低減できるクリーンルームを提供すること。
【解決手段】クリーンルーム２は、室内下方の空気を吸い込んで清浄化し、室内上方に吹き出す上向き空気清浄化装置１１〜１４と、室内上方の空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出す下向き空気清浄化装置２１〜２４と、を備える。上向き空気清浄化装置１１〜１４は、空気清浄化装置４０を吹出口４２を上向きにして配置したものであり、下向き空気清浄化装置２１〜２４は、空気清浄化装置４０を吹出口４２を下向きにして配置したものである。上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４により、室内で空気が上下に循環する循環路Ａ〜Ｅを形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルームに関する。詳しくは、室内の空気を効率的に清浄化するクリーンルームに関する。

従来より、工業製品や医薬品に塵埃が混入するのを防ぐため、空気中の塵埃を大幅に低減したクリーンルームが設けられる。具体的には、クリーンルームの内部に製品の製造装置を配置して、塵埃の少ない環境で製造装置を稼働させる。
例えば、このクリーンルームは、二重床、二重壁、二重天井となっており、床面にはスリットが形成され、天井面には全面に亘って空気清浄装置が設けられている。各空気清浄装置は、天井裏空間の空気を吸い込んで清浄化し、下方に吹き出す。この吹き出した空気は、クリーンルーム内を通って、スリットから二重床の床下空間に流入し、二重壁の内部を通って、再び天井裏空間に至る。
このクリーンルームによれば、室内全体を高い清浄度に維持することができる。

ところで、以上のようなクリーンルームでは、クリーンルーム全体に亘って高い空気の清浄度を維持するため、天井面に多くの空気清浄装置を設置する必要があり、空気清浄装置の設置費用や運転費用が高くなる。
また、二重天井、二重壁、二重床を構築するので、クリーンルーム以外の空間が必要となり、施工コストも高くなる、という問題があった。

以上の問題を解決するため、局所クリーン化方式のクリーンルームが提案されている（特許文献１参照）。局所クリーン化方式とは、クリーンルーム全体の空気清浄度をある程度のレベルに抑えておき、製造装置が設置される一部の空間についてのみ高い空気清浄度とするものである。

具体的には、クリーンルームを二重床、二重壁、二重天井とせず、天井付近には、室内の空気を吸い込んで冷暖房負荷を処理し、室内に吹き出す熱交換装置と、この熱交換装置の吹き出した空気を吸い込んで清浄化処理し、室内の局所に向けて吹き出す空気清浄装置と、が設けられる。
ここで、熱交換装置は、下面の吸込口から空気を吸い込んで、側面の吹出口から吹き出す構造である。空気清浄装置は、上面の吸込口から空気を吸い込んで、下面の吹出口から吹き出す構造である。そのため、空気清浄装置は、熱交換装置の側面かつ下方に配置されている。

この特許文献１に示されたクリーンルームによれば、熱交換装置により冷暖房負荷を処理した空気が側方に吹き出されると、この空気は、空気清浄装置に吸い込まれて清浄化処理がなされ、下方に吹き出される。この吹き出された空気は、室の床や装置に当たって、その後再び上昇し、熱交換装置に回収される。よって、二重床、二重壁、二重天井を設けないので、室内空間を有効利用でき、さらに、クリーンルームの施工コストを低減できる。
また、熱交換装置および空気清浄装置を、局所的に空気清浄度を高めたい空間の天井面付近に配置することにより、局所クリーン化を実現でき、空気清浄装置の設置費用や運転費用が高くなる。

特開２００４−２７８８８７号公報

しかしながら、以上の特許文献１のクリーンルームでは、熱交換装置および空気清浄装置の構造上、空気清浄装置の高さを熱交換装置の高さよりもある程度下にする必要があるため、上下方向の配置に制約がある。また、熱交換装置から吹き出された空気を空気清浄装置で受け渡すために、熱交換装置と空気清浄装置とをある程度接近させて配置する必要があり、水平方向の配置も制約がある。よって、レイアウト設計の自由度が低くなる、という問題があった。
その結果、クリーンルーム内に設置する製造装置の細かいレイアウトに対応して空気の流れを形成することができず、所々で空気の流れが分断されてしまい、クリーン化の効率が低下する場合があった。

また、熱交換装置の下方に空気清浄装置を配置するため、これらの機器を設置するためにある程度の天井のふところ寸法が必要となる。よって、天井高さが低い場合には、空気清浄装置を設置できないので、設置可能な空間が限定されてしまう。

また、既存の部屋をクリーンルーム化する場合、床に設置された既存の空調機器を撤去する必要があるため、施工コストが高くなる。
また、熱負荷がほとんど生じないため空気の清浄度のみが要求される空間に対しても、熱交換装置で熱交換された空気を供給することになるため、無駄なコストが発生する。
また、天井付近では、フィルタを介さない塵埃を含んだ空気も循環するため、天井付近の配管などに塵埃が堆積する、という問題がある。

本発明は、レイアウト設計の自由度が高く、天井高さが低い場合でも設置可能で、かつ、天井付近に塵埃が堆積するのを防止して、コストを削減できるクリーンルームを提供することを目的とする。

請求項１に記載のクリーンルームは、室内の空気を清浄化するクリーンルームであって、室内下方の空気を吸い込んで清浄化し、室内上方に吹き出す上向き空気清浄化装置と、室内上方の空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出す下向き空気清浄化装置と、を備え、吸込口から空気を吸い込んで清浄化し、前記吸込口の反対側の吹出口から吹き出す空気清浄化装置を用いて、前記上向き空気清浄化装置は、前記空気清浄化装置を吹出口を上向きにして配置したものであり、前記下向き空気清浄化装置は、前記空気清浄化装置を吹出口を下向きにして配置したものであり、前記上向き空気清浄化装置および前記下向き空気清浄化装置により、室内で空気が上下に循環する循環路を形成することを特徴とする。

請求項２に記載のクリーンルームは、前記上向き空気清浄化装置および前記下向き空気清浄化装置は、略同じ高さ位置であり、前記下向き空気清浄化装置は、前記上向き空気清浄化装置により天井面に吹き付けられて前記天井面に沿って流れる空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出すことを特徴とする。

なお、「上向き」とは、水平方向より上方を意味し、斜め上方に吹き出す場合も含まれる。また、「下向き」とは、水平方向より下方を意味し、斜め下方に吹き出す場合も含まれる。

この発明によれば、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置により、室内で空気が上下に循環する循環路を形成する。このとき、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置を、空気の循環路上であれば任意の位置に配置できるので、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置の高さ方向や水平方向の配置を自在に設定でき、レイアウト設計の自由度が高くなる。よって、室内に設置する装置の細かい要求に対応した空気の流れを形成できることから、クリーン化の効率を向上できる。

また、既存の部屋をクリーンルーム化する場合、既存の空調機を利用できるので、施工コストを低減できる。

また、空気清浄化装置を吹出口を上向きに配置して上向き空気清浄化装置とし、空気清浄化装置を吹出口を下向きに配置して下向き空気清浄化装置とした。つまり、単一種類の空気清浄化装置を用いて、この空気清浄化装置の向きを調整して上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置を構成した。よって、施工コストを低減できるうえに、レイアウト変更も容易となる。

また、上向き空気清浄化装置と下向き空気清浄化装置とを略同じ高さに配置したので、天井高さが低い場合でも、クリーンルームを設置できる。
また、上向き空気清浄化装置により空気を天井面に向かって吹き付けるため、天井付近の配管などに塵埃が堆積するのを防止できる。
また、二重天井、二重壁、二重床とする必要がないので、天井仕上材、壁仕上材、床仕上材を省略して室内空間を有効利用でき、さらに、クリーンルームの施工コストを大幅に低減できる。

なお、確実に空気の循環路を形成するために、上向き空気清浄化装置の高さを、下向き空気清浄化装置の高さより低くしてもよい。この場合、上向き空気清浄化装置を、床面より２ｍ以内でかつ室内の動線に支障をきたさない程度の高さに設置することが好ましい。

請求項３に記載のクリーンルームは、側方から空気を吸い込んで清浄化し、反対側の側方に吹き出す横向き空気清浄化装置をさらに備えることを特徴とする。

この発明によれば、横向き空気清浄化装置を設けたので、清浄度の高い空気を水平方向に搬送できるから、レイアウト設計の自由度がさらに高くなる。

請求項４に記載のクリーンルームは、前記空気清浄化装置には、熱交換により吹出し空気を空調する熱交換器が組み込まれることを特徴とする。

この発明によれば、上向き空気清浄化装置、下向き空気清浄化装置、および横向き空気清浄化装置に少なくとも１つに、吹出し空気を空調する熱交換器を組み込んだ。よって、この熱交換器を組み込んだ空気清浄化装置を適宜配置することにより、空気の清浄化のみを行う空気清浄化ゾーンと、空気の清浄化に加えて室温の調節も行う温度調節ゾーンと、を自在に設けて、局所的に効率よく装置の排熱を除去できる。また、空気の清浄度のみが要求される空間に対しては、空調した空気を供給しないため、無駄なコストを削減できる。

請求項５に記載のクリーンルームは、前記空気清浄化装置は、吹出口の吹き出し速度を調整可能であることを特徴とする。

吹出口の吹き出し速度が低いと、吹出し空気が所定の流路を通らずに、隣接する空気清浄化装置に直ちに吸い込まれるショートパスが発生したり、塵埃が吹出口に侵入したりする場合がある。
そこで、この発明によれば、空気清浄化装置の吹出口の吹き出し速度を調整可能とした。よって、吹出し空気を所定の流路に確実に流すことができるので、吹出し空気のショートパスを防止できるうえに、塵埃の吹出口への侵入も防止できる。

請求項６に記載のクリーンルームは、前記上向き空気清浄化装置と前記下向き空気清浄化装置とは、水平方向に所定距離以上離れていることを特徴とする。

上向き空気清浄化装置と下向き空気清浄化装置とが水平方向に接近していると、吹出し空気が所定の流路に流れずに、隣接する空気清浄化装置に直ちに吸い込まれるショートパスが発生するおそれがある。
そこで、この発明によれば、上向き空気清浄化装置と下向き空気清浄化装置とを水平方向に所定距離以上離したので、吹出し空気のショートパスの発生を防止できる。
例えば、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置の吹出し速度が０．３５ｍ／ｓである場合、上向き空気清浄化装置の中心と下向き空気清浄化装置の中心とを１ｍ以上離すことが好ましい。

請求項７に記載のクリーンルームは、前記下向き空気清浄化装置には、吹出し空気の供給対象となる空間を仕切る仕切部が設けられることを特徴とする。

仕切部としては、ビニールカーテン、エアカーテン、仕切板などが挙げられる。
この発明によれば、下向き空気清浄化装置に仕切部を設けて、吹出し空気を供給するクリーン化の対象となる空間を仕切った。これにより、吹出し空気よりも清浄度の低い周囲の空気がクリーン化の対象空間に流入するのを防止して、高い空気清浄度を確保できる。
ここで、仕切部がエアカーテンである場合、エアカーテンの風速は、３ｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓ程度が好ましい。

請求項８に記載のクリーンルームは、前記上向き空気清浄化装置には、空気の吸込み対象となる空間を仕切る仕切部が設けられることを特徴とする。

仕切部としては、ビニールカーテン、エアカーテン、風捕集板などが挙げられる。
この発明によれば、上向き空気清浄化装置に空気の吸込み対象となる空間を仕切る仕切部を設けた。これにより、クリーンエアのショートパスを防いで、空気の吸込み対象となる空間の塵埃を含む空気や高温の空気を上向き空気清浄化装置で効率よく吸い込むことができる。

請求項９に記載のクリーンルームは、一部の空気清浄化装置は、送風装置であることを特徴とする。

この発明によれば、一部の空気清浄化装置を送風装置としたので、この送風装置により空気を水平方向に搬送できるから、レイアウト設計の自由度がさらに高くなる。

本発明によれば、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置により、室内で空気が上下に循環する循環路を形成する。このとき、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置を、空気の循環路上であれば任意の位置に配置できるので、上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置の高さ方向や水平方向の配置を自在に設定でき、レイアウト設計の自由度が高くなる。よって、室内に設置する装置の細かい要求に対応した空気の流れを形成できるから、クリーン化の効率を向上できる。また、既存の部屋をクリーンルーム化する場合、既存の空調機を利用できるので、施工コストを低減できる。また、空気清浄化装置を吹出口を上向きに配置して上向き空気清浄化装置とし、空気清浄化装置を吹出口を下向きに配置して下向き空気清浄化装置とした。つまり、単一種類の空気清浄化装置を用いて、この空気清浄化装置の向きを調整して上向き空気清浄化装置および下向き空気清浄化装置を構成した。よって、施工コストを低減できるうえに、レイアウト変更も容易となる。また、上向き空気清浄化装置と下向き空気清浄化装置とを略同じ高さに配置したので、天井高さが低い場合でも、クリーンルームを設置できる。また、上向き空気清浄化装置により空気を天井面に向かって吹き付けるため、天井付近の配管などに塵埃が堆積するのを防止できる。また、二重天井、二重壁、二重床とする必要がないので、天井仕上材、壁仕上材、床仕上材を省略して室内空間を有効利用でき、さらに、クリーンルームの施工コストを大幅に低減できる。

本発明の第１実施形態に係るクリーンルームの断面図である。 本発明の第２実施形態に係るクリーンルームの断面図である。 本発明の第３実施形態に係るクリーンルームの断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の実施形態の説明にあたって、同一構成要件については同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係るクリーンルーム２の断面図である。

クリーンルーム２は、天井高が高く（例えば天井高が６ｍ〜８ｍ程度）、大スパン（例えばスパン長が２４ｍ程度）の大空間である。このクリーンルーム２の天井面を天井面３とする。

このクリーンルーム２には、クリーンルーム２内の空気を局所的に清浄化する空気清浄化システム１が設けられている。
この空気清浄化システム１は、天井面３から吊り下げ支持された４台の上向き空気清浄化装置１１、１２、１３、１４と、天井面３から吊り下げ支持された４台の下向き空気清浄化装置２１、２２、２３、２４と、天井面３から吊り下げ支持された２台の横向き空気清浄化装置３１、３２と、を備える。

これら上向き空気清浄化装置１１〜１４、下向き空気清浄化装置２１〜２４、および横向き空気清浄化装置３１、３２により、クリーンルーム２の室内で空気が上下に循環する循環路Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅを形成する。

クリーンルーム２の室内には、２台の大型装置４、５が設置されている。
このうち、大型装置４は、高い空気清浄度が必要とされる装置であるため、循環路Ａ、Ｂにより、この大型装置４に高清浄度の空気を供給する。つまり、循環路Ａ、Ｂは、空気の清浄化のみを行う空気清浄化ゾーンとなる。
また、大型装置５は、発熱量が大きいため、循環路Ｄ、Ｅにより、この大型装置５の排熱を含む高温の空気を空調する。つまり、循環路Ｄ、Ｅは、空気の清浄化に加えて室温の調節も行う温度調節ゾーンとなる。

上向き空気清浄化装置１１〜１４は、室内下方の空気を吸い込んで清浄化し、室内上方に吹き出して、天井面３に吹き付けるものである。
下向き空気清浄化装置２１〜２４は、上向き空気清浄化装置１１〜１４により天井面３に吹き付けられて天井面３に沿って流れる室内上方の空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出すものである。

以上の上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４は、空気清浄化装置４０を用いて構成される。
空気清浄化装置４０は、吸込口４１から空気を吸い込んで清浄化し、吸込口４１の反対側の吹出口４２から吹き出すものであり、空気の流れを作り出すファン４３と、吹出し空気中の塵埃を除去するフィルタ４４と、を備える。この空気清浄化装置４０は、ファン４３の回転速度を調整することにより、吹出口４２の吹き出し速度を調整可能となっている。
具体的には、空気清浄化装置４０を吹出口４２を上向きに配置したものが上向き空気清浄化装置１１〜１４であり、空気清浄化装置４０を吹出口４２を下向きに配置したものが下向き空気清浄化装置２１〜２４である。

横向き空気清浄化装置３１、３２は、側方から空気を吸い込んで空調して清浄化し、反対側の側方に吹き出すものである。横向き空気清浄化装置３１、３２は、空気の流れを作り出すファン５１と、熱交換により吹出し空気を空調する熱交換器５２と、吹出し空気中の塵埃を除去するフィルタ５３と、を備える。

循環路Ａは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置４の図１中左側の側面の直上には、下向き空気清浄化装置２１が設置され、この下向き空気清浄化装置２１の図１中左側には、上向き空気清浄化装置１１が設置されている。
ここで、上向き空気清浄化装置１１と下向き空気清浄化装置２１とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１１、下向き空気清浄化装置２１の順に、図１中時計回りに空気が流れて、大型装置４に高清浄度の空気が供給される。

循環路Ｂは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置４の図１中右側の側面の直上には、下向き空気清浄化装置２２が設置され、この下向き空気清浄化装置２２の図１中右側には、上向き空気清浄化装置１２が設置されている。
上向き空気清浄化装置１２と下向き空気清浄化装置２２とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１２、下向き空気清浄化装置２２の順に、図１中反時計回りに空気が流れて、大型装置４に高清浄度の空気が供給される。

循環路Ｄは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置５の図１中左側の側面の直上には、上向き空気清浄化装置１３が設置され、この上向き空気清浄化装置１３の図１中左側上方には、図１中左向きに空気を吹き出す横向き空気清浄化装置３１が設置され、この横向き空気清浄化装置３１の図１中左側下方には、下向き空気清浄化装置２３が設置されている。
上向き空気清浄化装置１３の図１中左側の端縁には、エアカーテン吹出装置６１が設けられている。このエアカーテン吹出装置６１は、側方から空気を吸い込んで、下方に向かうに従って大型装置５から離れる方向に空気を吹き出すことにより、空気の吸込み対象となる大型装置５と周囲の空間とを仕切る仕切部としてのエアカーテン６１１を形成するものである。

ここで、上向き空気清浄化装置１３と下向き空気清浄化装置２３とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１３、横向き空気清浄化装置３１、下向き空気清浄化装置２３の順に、図１中反時計回りに空気が流れて、大型装置５の排熱を含む高温の空気が空調される。このとき、エアカーテン６１１により大型装置５と周囲の空間とが仕切られているので、大型装置５の排熱を含む高温の空気が上向き空気清浄化装置１３に効率よく吸引される。

循環路Ｅは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置５の図１中右側の側面の直上には、上向き空気清浄化装置１４が設置され、この上向き空気清浄化装置１４の図１中右側上方には、図１中右向きに空気を吹き出す横向き空気清浄化装置３２が設置され、この横向き空気清浄化装置３２の図１中右側下方には、下向き空気清浄化装置２４が設置されている。
上向き空気清浄化装置１４の図１中右側の端縁には、エアカーテン吹出装置６２が設けられている。このエアカーテン吹出装置６２は、側方から空気を吸い込んで、下方に向かうに従って大型装置５から離れる方向に空気を吹き出すことにより、空気の吸込み対象となる大型装置５と周囲の空間とを仕切る仕切部としてのエアカーテン６２１を形成するものである。

ここで、上向き空気清浄化装置１４と下向き空気清浄化装置２４とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１４、横向き空気清浄化装置３２、下向き空気清浄化装置２４の順に、図１中時計回りに空気が流れて、大型装置５の排熱を含む高温の空気が空調される。このとき、エアカーテン６２１により大型装置５と周囲の空間とが仕切られているので、大型装置５の排熱を含む高温の空気が上向き空気清浄化装置１３に効率よく吸引される。

また、循環路Ｃは、以下のようにして形成される。
すなわち、上述の上向き空気清浄化装置１２の図１中右側には、上述の下向き空気清浄化装置２３が位置している。
ここで、上向き空気清浄化装置１２と下向き空気清浄化装置２３とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１２、下向き空気清浄化装置２３の順に、図１中時計回りに空気が流れる。

本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４により、クリーンルーム２の室内で空気が上下に循環する循環路Ａ〜Ｅを形成する。このとき、上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４を、空気の循環路Ａ〜Ｅ上であれば任意の位置に配置できるので、上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４の高さ方向や水平方向の配置を自在に設定でき、レイアウト設計の自由度が高くなる。よって、クリーンルーム２内に設置する大型装置４、５の細かい要求に対応した空気の流れを形成して、クリーン化の効率を向上できる。

また、空気清浄化装置４０を吹出口４２を上向きに配置して上向き空気清浄化装置１１〜１４とし、空気清浄化装置４０を吹出口４２を下向きに配置して下向き空気清浄化装置２１〜２４とした。つまり、単一種類の空気清浄化装置４０を用いて、この空気清浄化装置４０の向きを調整して上向き空気清浄化装置１１〜１４および下向き空気清浄化装置２１〜２４を構成した。よって、施工コストを低減できるうえに、レイアウト変更も容易となる。
また、上向き空気清浄化装置１１〜１４によりクリーンルーム２の天井面３に空気を吹き付けたので、天井付近の配管などに塵埃が堆積するのを防止できる。
また、二重天井、二重壁、二重床とする必要がないので、天井仕上材、壁仕上材、床仕上材を省略して室内空間を有効利用でき、さらに、クリーンルーム２の施工コストを大幅に低減できる。

（２）横向き空気清浄化装置３１、３２を設けたので、清浄度の高い空気を水平方向に搬送できるから、レイアウト設計の自由度がさらに高くなる。

（３）横向き空気清浄化装置３１、３２に吹出し空気を空調する熱交換器５２を組み込んだ。よって、この熱交換器５２を組み込んだ横向き空気清浄化装置３１、３２を適宜配置することにより、空気の清浄化のみを行う空気清浄化ゾーンと、空気の清浄化に加えて室温の調節も行う温度調節ゾーンと、を自在に設けて、局所的に効率よく大型装置５の排熱を除去できる。また、空気の清浄度のみが要求される空間に対しては、空調した空気を供給しないため、無駄なコストを削減できる。

（４）空気清浄化装置４０の吹出口４２の吹き出し速度を調整可能とした。よって、吹出し空気を所定の流路に確実に流すことができるので、吹出し空気のショートパスを防止できるうえに、塵埃の吹出口４２への侵入も防止できる。

（５）上向き空気清浄化装置１１〜１４と下向き空気清浄化装置２１〜２４とを水平方向に１ｍ以上離したので、吹出し空気のショートパスの発生を防止できる。

（６）上向き空気清浄化装置１３、１４にエアカーテン吹出装置６１、６２を設けて、空気の吸込み対象となる大型装置５と周囲の空間とを仕切るエアカーテン６１１、６２１を形成した。これにより、大型装置５の排熱を含む高温の空気を上向き空気清浄化装置１３、１４で効率よく吸い込むことができる。

〔第２実施形態〕
図２は、本発明の第２実施形態に係るクリーンルーム２Ａの断面図である。
本実施形態では、既存の室に空気清浄化システム１Ａが設けられている。
すなわち、クリーンルーム２Ａは、既存の室をリフォームしたものであり、天井高が低くなっている。このクリーンルーム２Ａの天井面を天井面３Ａとする。
また、室内の図２中右端には、既存の大型空調機６が設置されている。この大型空調機６は、室内下層の空気を吸い込んで空調して清浄化し、上方に向かって吹き出すものである。

空気清浄化システム１Ａは、２台の上向き空気清浄化装置１５、１６と、２台の下向き空気清浄化装置２５、２６と、既存の大型空調機６と、を備える。
上向き空気清浄化装置１５、１６は、第１実施形態の上向き空気清浄化装置１１〜１４と同様の構成である。下向き空気清浄化装置２５、２６は、第１実施形態の下向き空気清浄化装置２１〜２４と同様の構成である。

クリーンルーム２Ａの室内には、高い空気清浄度が必要とされる大型装置７が設置されている。そこで、上向き空気清浄化装置１５、１６および下向き空気清浄化装置２５、２６により、循環路Ｆ、Ｇを形成して、この大型装置７に高清浄度の空気を供給する。

循環路Ｆは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置７の図２中左側の直上には、下向き空気清浄化装置２５が設置され、この下向き空気清浄化装置２５の図２中左側には、上向き空気清浄化装置１５が設置されている。
上向き空気清浄化装置１５と下向き空気清浄化装置２５とは、天井面３Ａ付近の略同じ高さに設置されるが、上向き空気清浄化装置１５は、下向き空気清浄化装置２５よりも僅かに低い位置にある。
また、上向き空気清浄化装置１５と下向き空気清浄化装置２５とは、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１５、下向き空気清浄化装置２５の順に、図２中時計回りに空気が流れて、大型装置７に高清浄度の空気が供給される。

循環路Ｇは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置７の図２中右側の直上には、下向き空気清浄化装置２６が設置され、この下向き空気清浄化装置２６の図２中右側には、上向き空気清浄化装置１６が設置されている。
上向き空気清浄化装置１６と下向き空気清浄化装置２６とは、天井面３Ａ付近の略同じ高さに設置されるが、上向き空気清浄化装置１６は、下向き空気清浄化装置２６よりも僅かに低い位置にある。
また、上向き空気清浄化装置１６と下向き空気清浄化装置２６とは、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１６、下向き空気清浄化装置２６の順に、図１中反時計回りに空気が流れて、大型装置７に高清浄度の空気が供給される。

また、既存の大型空調機６により、室内下層の空気は空調されて室内上層に供給される。これにより、循環路Ｆ、Ｇを流れる空気は、適宜空調されることになる。

本実施形態によれば、上述の（１）、（４）、（５）に加えて、以下のような効果がある。
（７）上向き空気清浄化装置１５、１６と下向き空気清浄化装置２５、２６とを略同じ高さに配置したので、既存の室のように天井高さが低い場合でも、空気清浄化システム１Ａを設置できる。
ここで、上向き空気清浄化装置１５、１６の高さを下向き空気清浄化装置２５、２６の高さよりも僅かに低くしたので、より確実に空気の循環路Ｆ、Ｇを形成できる。
既存の室をクリーンルーム化してクリーンルーム２として、床に設置された既存の大型空調機６と組み合わせて空気清浄化システム１Ａを構築したので、施工コストを低減できる。

〔第３実施形態〕
図３は、本発明の第３実施形態に係るクリーンルーム２Ｂの断面図である。
本実施形態では、下向き空気清浄化装置にエアカーテン吹出装置６３、６４、６５が設けられている。
すなわち、クリーンルーム２Ｂは、天井高が高い空間である。このクリーンルーム２Ｂの天井面を天井面３Ｂとする。

空気清浄化システム１Ｂは、２台の上向き空気清浄化装置１７、１８と、５台の下向き空気清浄化装置７１、７２、７３、７４、７５と、３台の横向き空気清浄化装置３３、３４、３５と、を備える。

上向き空気清浄化装置１７、１８は、第１実施形態の上向き空気清浄化装置１１〜１４と同様の構成である。下向き空気清浄化装置７１〜７５は、第１実施形態の下向き空気清浄化装置２１〜２４と同様の構成である。横向き空気清浄化装置３３は、第１実施形態の横向き空気清浄化装置３１、３２と同様の構成である。
また、横向き空気清浄化装置３４、３５は、空気清浄化装置４０を用いて構成される。つまり、空気清浄化装置４０を横向きに配置したものが横向き空気清浄化装置３４、３５である。

クリーンルーム２の室内には、２台の大型装置８、９が設置されている。これら大型装置８、９は、高い空気清浄度が必要とされる装置である。このうち、大型装置８の全体と大型装置７の図３中左側の部分とは、特に高い空気清浄度が必要となっている。そこで、循環路Ｈ、Ｉ、Ｊ、Ｋにより、大型装置８、９に高清浄度の空気を供給する。

循環路Ｈは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置８の直上には、下向き空気清浄化装置７１〜７３が水平方向に並んで設置され、これら下向き空気清浄化装置７１〜７３の両端縁には、エアカーテン吹出装置６３、６４が設けられている。このエアカーテン吹出装置６３、６４は、側方から空気を吸い込んで、下方に向かって空気を吹き出すことにより、吹出し空気の供給対象となる大型装置８と周囲の空間とを仕切る仕切部としてのエアカーテン６３１、６４１を形成するものである。

これにより、下向き空気清浄化装置７１〜７３から吹き出した空気は、エアカーテン６３１と大型装置８との間を通って床面付近に到達し、その後上昇して再び下向き空気清浄化装置７１〜７３に吸い込まれる。このようにして、図３中時計回りに空気が流れて、大型装置７に高清浄度の空気が供給される。このとき、エアカーテン６３１により大型装置８と周囲の空間とが仕切られているので、清浄度の高い空気が大型装置８に効率よく供給される。

循環路Ｉは、以下のようにして形成される。
上述の下向き空気清浄化装置７１〜７３の図３中右側上方には、図３中左向きに空気を吹き出す横向き空気清浄化装置３３が設置され、この横向き空気清浄化装置３３の図３中右側下方には、上向き空気清浄化装置１７が設置されている。
上向き空気清浄化装置１７と下向き空気清浄化装置７１〜７３とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。

これにより、下向き空気清浄化装置７１〜７３から吹き出した空気は、エアカーテン６４１と大型装置８との間を通って床面付近に到達し、その後上昇して上向き空気清浄化装置１７に吸い込まれる。そして、上向き空気清浄化装置１７、横向き空気清浄化装置３３、下向き空気清浄化装置７１〜７３の順に、図３中反時計回りに空気が流れて、大型装置８に高清浄度の空気が供給される。このとき、エアカーテン６４１により大型装置８と周囲の空間とが仕切られているので、清浄度の高い空気が大型装置８に効率よく供給される。

循環路Ｊは、以下のようにして形成される。
大型装置９の図３中左側の側面には、下向き空気清浄化装置７４が設置され、この下向き空気清浄化装置７４の図３中左側上方には、図３中右向きに空気を吹き出す横向き空気清浄化装置３４が設置され、この横向き空気清浄化装置３４の図３中左側下方には、上述の上向き空気清浄化装置１７が位置している。
下向き空気清浄化装置７４の図３中左側端縁には、エアカーテン吹出装置６５が設けられている。このエアカーテン吹出装置６５は、側方から空気を吸い込んで、下方に向かって空気を吹き出すことにより、吹出し空気の供給対象となる大型装置９の図３中左側の部分と周囲の空間とを仕切る仕切部としてのエアカーテン６５１を形成するものである。
上向き空気清浄化装置１７と下向き空気清浄化装置７４とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。

これにより、下向き空気清浄化装置７４から吹き出した空気は、エアカーテン６５１と大型装置９との間を通って床面付近に到達し、その後上昇して上向き空気清浄化装置１７に吸い込まれる。そして、上向き空気清浄化装置１７、横向き空気清浄化装置３４、下向き空気清浄化装置７４の順に、図３中時計回りに空気が流れて、大型装置９に高清浄度の空気が供給される。このとき、エアカーテン６５１により大型装置９の図３中左側の部分と周囲の空間とが仕切られているので、清浄度の高い空気が効率よく供給される。

また、循環路Ｋは、以下のようにして形成される。
すなわち、大型装置９の図３中右側には、下向き空気清浄化装置７５が設置され、この下向き空気清浄化装置７５の図３中右側上方には、図３中左向きに空気を吹き出す横向き空気清浄化装置３５が設置され、この横向き空気清浄化装置３５の図３中右側下方には、上向き空気清浄化装置１８が設置されている。
ここで、上向き空気清浄化装置１８と下向き空気清浄化装置７５とは、略同じ高さに設置され、水平方向に１ｍ以上離れている。
これにより、上向き空気清浄化装置１８、横向き空気清浄化装置３５、下向き空気清浄化装置７５の順に、図３中反時計回りに空気が流れて、大型装置４に高清浄度の空気が供給される。

本実施形態によれば、上述の（１）〜（５）に加えて、以下のような効果がある。
（８）下向き空気清浄化装置７１、７３、７４にエアカーテン吹出装置６３〜６５を設けて、吹出し空気を供給するクリーン化の対象となる大型装置８や大型装置９の一部を仕切るエアカーテン６３１、６４１、６５１を形成した。これにより、吹出し空気よりも清浄度の低い周囲の空気が局所クリーン化の対象空間に流入するのを防止して、高い空気清浄度を確保できる。

なお、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、上述の各実施形態では、横向き空気清浄化装置３１〜３３にのみ熱交換器５２を組み込んだが、これに限らず、熱交換器を、上向き空気清浄化装置１１〜１８、および下向き空気清浄化装置２１〜２６、７１〜７５、横向き空気清浄化装置３４、３５に組み込んでもよい、
また、上述の各実施形態では、横向き空気清浄化装置３１〜３５を設けたが、これに限らず、横向き空気清浄化装置３１〜３５の代わりに、送風装置としてのブースターファンを適宜設けてもよい。ブースターファンを用いれば、横向き空気清浄化装置３１〜３５のように空気を清浄化できないが、空気を水平方向に搬送できる。

１、１Ａ、１Ｂ…空気清浄化システム
２、２Ａ、２Ｂ…クリーンルーム
３、３Ａ、３Ｂ…天井面
４、５、７、８、９…大型装置
６…既存の大型空調機
１１〜１８…上向き空気清浄化装置
２１〜２６、７１〜７５…下向き空気清浄化装置
３１〜３５…横向き空気清浄化装置
４０…空気清浄化装置
４１…吸込口
４２…吹出口
４３…ファン
４４…フィルタ
５１…ファン
５２…熱交換器
５３…フィルタ
６１〜６５…エアカーテン吹出装置
６１１、６２１、６３１、６４１、６５１…エアカーテン（仕切部）
Ａ〜Ｋ 循環路

Claims (9)

1. 室内の空気を清浄化するクリーンルームであって、
   室内下方の空気を吸い込んで清浄化し、室内上方に吹き出す上向き空気清浄化装置と、
   室内上方の空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出す下向き空気清浄化装置と、を備え、
   吸込口から空気を吸い込んで清浄化し、前記吸込口の反対側の吹出口から吹き出す空気清浄化装置を用いて、
   前記上向き空気清浄化装置は、前記空気清浄化装置を吹出口を上向きにして配置したものであり、
   前記下向き空気清浄化装置は、前記空気清浄化装置を吹出口を下向きにして配置したものであり、
   前記上向き空気清浄化装置および前記下向き空気清浄化装置により、室内で空気が上下に循環する循環路を形成することを特徴とするクリーンルーム。
2. 前記上向き空気清浄化装置および前記下向き空気清浄化装置は、略同じ高さ位置であり、
   前記下向き空気清浄化装置は、前記上向き空気清浄化装置により天井面に吹き付けられて前記天井面に沿って流れる空気を吸い込んで清浄化し、室内下方に吹き出すことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
3. 側方から空気を吸い込んで清浄化し、反対側の側方から吹き出す横向き空気清浄化装置をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルーム。
4. 前記空気清浄化装置には、熱交換により吹出し空気を空調する熱交換器が組み込まれることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のクリーンルーム。
5. 前記空気清浄化装置は、吹出口の吹き出し速度を調整可能であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のクリーンルーム。
6. 前記上向き空気清浄化装置と前記下向き空気清浄化装置とは、水平方向に所定距離以上離れていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のクリーンルーム。
7. 前記下向き空気清浄化装置には、吹出し空気の供給対象となる空間を仕切る仕切部が設けられることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のクリーンルーム。
8. 前記上向き空気清浄化装置には、空気の吸込み対象となる空間を仕切る仕切部が設けられることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のクリーンルーム。
9. 一部の空気清浄化装置は、送風装置であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のクリーンルーム。

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