JP2013046997A - 積層シート製造装置および積層シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 所望の積層シートを得ることができる積層シート製造装置、および積層シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱装置３０Ｂは、繊維基材２と、繊維基材２の片面または両面に供給された、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）とを備える積層シート（加熱装置３０Ｂで加熱する前の積層シート４０（４０Ａ）を加熱して、加熱された積層シート４０（４０Ａ）を製造する積層シート製造装置である。この加熱装置３０Ｂは、積層シート４０（４０Ａ）が通過するチャンバ９１と、チャンバ９１内を加熱して、積層シート４０（４０Ａ）を加熱する加熱手段９２と、積層シート４０（４０Ａ）のチャンバ９１内の通過経路の長さを可変にする経路長可変手段とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、積層シート製造装置および積層シートの製造方法に関する。

近年、電子部品・電子機器等を小型化・薄膜化すべく、これに用いられる回路基板等を小型化・薄膜化することが要求されている。この要求に答えるために、多層構造の回路基板を用い、その各層を薄くすることが行なわれている。

多層構造の回路基板には、例えば、繊維基材の両面に、樹脂組成物シート（樹脂層）を配置してラミネート接着させたシートが使用されている（たとえば特許文献１参照）。
このシートは、繊維基材の両面に、Ｂステージ樹脂組成物シートを重ね合わせ、この積層体を加圧することで、製造される。

特開２００３−３４０９５２号公報

このようなシートを製造する際に、Ｂステージ樹脂組成物シートを加熱することがある。たとえば、Ｂステージ樹脂組成物シートを加熱して、Ｂステージ樹脂組成物シートの硬化の程度を調整することがある。この場合、Ｂステージ樹脂組成物シートの樹脂組成物の組成や、Ｂステージ樹脂組成物シートの樹脂層の厚みによっては、樹脂層が所望の硬化の程度となるまでにかかる加熱時間が異なることがある。加熱炉内に、Ｂステージ樹脂組成物シートを通過させるだけでは、所望のＢステージ樹脂組成物シートを得ることが困難であることがわかった。

本発明によれば、
可撓性を有する帯状の基材と、該基材の片面または両面に供給された、樹脂組成物とを備える積層シートを加熱して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
前記積層シートが通過するチャンバと、
前記チャンバ内を加熱して、前記積層シートを加熱する加熱手段と、
前記積層シートが前記チャンバ内を通過する際の通過経路の長さを可変にする経路長可変手段とを備えることを特徴とする積層シート製造装置が提供される。

本発明の積層シートの製造装置は、積層シートのチャンバ内の通過経路の長さを可変とする経路長可変手段を備えている。経路長可変手段で積層シートのチャンバ内の通過経路の長さを変更することで、積層シートのチャンバ内を通過する時間を調整でき、積層シートの加熱時間を調整できるため、所望の積層シートを得ることができる。

また、本発明によれば、
積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、
可撓性を有する帯状の無機織布または有機繊維基材である基材と、該基材の片面または両面に供給された樹脂組成物とを備える第一の積層シートを第一の通過経路の長さでチャンバ内を通過させながら加熱を行なう第一の加熱工程と、
可撓性を有する帯状の無機織布または有機繊維基材である基材と、該基材の片面または両面に供給された樹脂組成物とを備える第二の積層シートを前記第一の通過経路の長さと異なる第二の通過経路の長さで前記チャンバ内を通過させながら加熱を行なう第二の加熱工程とを含む積層シートの製造方法が提供される。

以上のように、本発明によれば、所望の積層シートを得ることができる積層シート製造装置、および積層シートの製造方法を提供することができる。

上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。

本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図（本発明の積層シートを製造する際の製造過程を順に示す図）である。 本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図（本発明の積層シートを製造する際の製造過程を順に示す図）である。 本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図（本発明の積層シートを製造する際の製造過程を順に示す図）である。 図１中のＡ−Ａ線断面図である。 図１中のＢ−Ｂ線断面図である。 図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図である。 図２および図３に示す積層シート製造装置での硬化炉の分解斜視図である。 本発明の積層シートを示す断面図である。 図８に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図である。 図９に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）は、チャンバ内でのローラの移動状態を示す平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、チャンバ側面側から見た図であり、ローラの移動に伴い遮蔽部材が移動する様子を示す図である。 （ａ）、（ｂ）は、本願発明の変形例を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、その詳細な説明は重複しないように適宜省略される。

以下、本発明の積層シート製造装置および積層シートを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

図１〜１２を参照して、本実施形態について説明する。
図１〜図３は、それぞれ、本発明の積層シート製造装置の実施形態を示す概略断面側面図（本発明の積層シートを製造する際の製造過程を順に示す図）、図４は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図５は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図６は、図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｃ］の拡大図、図７は、図２および図３に示す積層シート製造装置での硬化炉の分解斜視図、図８は、本発明の積層シートを示す断面図、図９は、図８に示す積層シートを用いて製造された基板を示す断面図、図１０は、図９に示す基板を用いて製造された半導体装置を示す断面図である。なお、以下の説明では、図１〜図１０中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」として説明する。また、図８〜図１０は、厚さ方向（図中の上下方向）に大きく誇張して示してある。また、図２、図３、図７中の左右方向をｘ軸方向、ｘ軸方向に対し垂直な方向をｙ軸方向と言うことがある。
図１１は、チャンバ内でのローラの移動状態を示す平面図である。図１２は、チャンバ側面側から見た図であり、ローラの移動に伴い遮蔽部材が移動する様子を示す図である。

図１〜図３に示す積層シート製造装置３０は、図８に示す構成の積層シート４０（４０Ａ）を製造する装置である。

<積層シート>
まず、積層シート４０（４０Ａ）について、図８を参照しつつ説明する。なお、積層シート４０（４０Ａ）をその長手方向の途中で所定の寸法に切断すると、プリプレグ１が得られる。

図８に示す積層シート（第一の積層シート）４０は、可撓性を有する薄板状（帯状）の繊維基材（基材）２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、固形または半固形の第１の樹脂組成物で構成される第１の樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成される第２の樹脂層（樹脂層）４とを有する。この積層シート４０は、所定の寸法に切断されて使用される。各樹脂層３，４は、Ｂ−ステージ状態である。
図８に示す積層シート（第二の積層シート）４０Ａは、積層シート４０と同様の繊維基材（基材）２で構成されているが、樹脂層３Ａ，４Ａの組成が樹脂層３，４とは異なっているが他の点は樹脂層３，４と同様である。
なお、図８では図示していないが、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）の表面には、支持基材５２（図１参照）が設けられていてもよい。ただし、支持基材５２が樹脂フィルム等で構成される場合には、後述する基板１０の製造の際に、支持基材５２を樹脂層から剥離する。

繊維基材２は、積層シート４０（４０Ａ）の機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、
ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、
ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等を含むアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、フッ素樹脂繊維等のいずれかを主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、
クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等のいずれかを主成分とする紙繊維基材等のいずれかの繊維基材等が挙げられる。
なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか１種を使用してもよいし、２種以上を使用したものであってもよい。なかでも、繊維基材２としては、無機織布基材または有機繊維基材のいずれかであることが好ましい。

これらの中でも、繊維基材２は、無機織布基材であるガラス織布基材であるのが好ましい。かかるガラス織布基材を用いることにより、積層シート４０（４０Ａ）を切断して得られたプリプレグ１の機械的強度をより向上することができる。また、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。

ガラス繊維を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス、石英ガラス等のいずれかが挙げられる。これらの中でも、ガラスは、石英ガラス、Ｓガラス、または、Ｔガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート４０をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。

繊維基材２の平均厚さは、特に限定されないが、１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜２０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、プリプレグ１（積層シート４０（４０Ａ））の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、プリプレグ１の加工性を向上することもできる。

この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３（３Ａ）が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４（４Ａ）が設けられている。また、第１の樹脂層３（３Ａ）と、第２の樹脂層４（４Ａ）は、同じ樹脂組成物で構成されていてもよく、異なる樹脂組成物で構成されていてもよい。本実施形態では同じ組成物とする。

図８に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３（３Ａ））が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４（４Ａ））が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３（３Ａ）の一部である第１の含浸部３１と第２の樹脂層４（４Ａ）の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。
本実施形態では、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは等しい。
さらに、第１の樹脂層３（３Ａ）の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の厚みと、第２の樹脂層４（４Ａ）の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の厚みとは等しい。第１の非含浸部３２の厚み、第２の非含浸部４２の厚みは、たとえば、２〜２０μｍである。なお、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは異なっていてもよく、また、第１の非含浸部３２の厚みと、第２の非含浸部４２の厚みとが異なっていてもよい。なお、符号２０は、含浸部３１，４１間の境界を模式的に示す。

図１に示すように、第１の樹脂層３（３Ａ）は、薄板状の第１のシート５ａとして、積層シート製造装置３０に供給される。このシート５ａは、第１の樹脂層３（３Ａ）と、この樹脂層３（３Ａ）を支持する支持基材５２と、第１の樹脂層３を保護する保護シート５１とを備える。支持基材５２は、第１の樹脂層３（３Ａ）を挟んで保護シート５１とは反対側に設けられている。したがって、図１では、第２のローラ７２ａには、支持基材５２を介して第１の樹脂層３（３Ａ）が接触している。
同様に、第２の樹脂層４（４Ａ）は、薄板状の第２のシート５ｂとして、積層シート製造装置３０に供給される。このシート５ｂは、第２の樹脂層４（４Ａ）と、この樹脂層４（４Ａ）を支持する支持基材５２と、第２の樹脂層４を保護する保護シート５１とを備える。支持基材は、第２の樹脂層４（４Ａ）を挟んで保護シート５１とは反対側に設けられている。したがって、図１では、第２のローラ７２ｂには、支持基材５２を介して第２の樹脂層４（４Ａ）が接触している。

保護シート５１としては、例えば、樹脂フィルムが好ましい。樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレン等のいずれかが挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの樹脂層側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後述するように保護シート５１と樹脂層とを容易に分離することができる。
支持基材５２としては、保護シート５１と同様のものを使用することができる。また、支持基材５２は、銅箔等の金属層であってもよい。

保護シート５１や支持基材５２の平均厚さは、特に限定されないが、８〜７０μｍ程度であるのが好ましく、１２〜４０μｍ程度であるのがより好ましい。

樹脂層３、３Ａ，４、４Ａは、次のような樹脂組成物で構成される。

各樹脂層３、３Ａ，４、４Ａは、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。

硬化性樹脂としては、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂などのいずれかが挙げられる。これらの中でも、硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチローラ型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂のいずれかを用いるのが好ましい。

前記硬化性樹脂の中でも、熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板１０（図９参照）を作製した後において、硬化後の樹脂層３、３Ａ，４、４Ａ中において架橋密度が増加するので、硬化後の樹脂層３、３Ａ，４、４Ａ（得られる基板）の耐熱性の向上を図ることができる。

前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、プリプレグ１の電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等のいずれかが挙げられる。

これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂のいずれかであることが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ−４７００、ＨＰ−４７７０、ＨＰ−４０３２Ｄ、ＨＰ−５０００、ＨＰ-６０００、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｌ、ＮＣ−３０００−ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せを一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。

前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。

前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等のいずれかを挙げることができる。

また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（−Ｏ−ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２'−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１'−ビス（４−シアナトフェニル）エタン、ビス（４−シアナト−３，５−ジメチルフェニル）メタン、１，３−ビス（４−シアナトフェニル−１−（１−メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４−シアナトフェニル）チオエーテル、ジシクロペンタジエン型シアネートエステル、フェノールノボラック型シアネートエステル、ビス（４−シアナトフェニル）エーテル、１，１，１−トリス（４−シアナトフェニル）エタン、トリス（４−シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４−シアナトフェニル）スルホン、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン、１，３−、１，４−、１，６−、１，８−、２，６−又は２，７−ジシアナトナフタレン、１，３，６−トリシアナトナフタレン、４，４−ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等のいずれかの多価フェノール類とハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類とハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂のいずれか１種以上が挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。

前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。

これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させることができる。

また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。

硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の５〜７０質量％であるのが好ましく、１０〜５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、プリプレグ１を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、プリプレグ１の機械的強度が低下する場合がある。

また、樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグ１を薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）しても、機械的強度に優れる基板１０を得ることができる。さらに、基板１０の低熱膨張化を向上することもできる。

無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。

また、樹脂層３、３Ａ，４、４Ａは、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。

<積層シート製造装置（積層シートの製造方法）>
次に、積層シート４０、４０Ａの製造に用いる積層シート製造装置３０について、図１〜図７、図１１，１２を参照しつつ説明する。

図１〜図３に示すように、積層シート製造装置３０は、図１に示す圧着装置３０Ａと、この圧着装置３０Ａよりも、積層シート搬送方向下流側に配置される加熱装置３０Ｂ（図２参照）とを備える。
圧着装置３０Ａは、ハウジング６と、ハウジング６内に収納された第１のローラ７１ａ、７１ｂ、第２のローラ（供給用ローラ）７２ａ、７２ｂおよび第３のローラ７３ａ、７３ｂと、ハウジング６内を減圧する減圧手段８とを備える。
加熱装置３０Ｂは、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）を加熱して、各樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）の硬化を進める硬化炉９を備えている。以下、各部の構成について説明する。

はじめに、圧着装置３０Ａについて説明する。この圧着装置３０Ａは、樹脂層３（３Ａ）を繊維基材２の一方の面側に圧着させるとともに、樹脂層４（４Ａ）を繊維基材２の他方の面側に圧着させる装置である。より具体的には、圧着装置３０Ａは、繊維基材２の表裏面に、樹脂層３（３Ａ）、樹脂層４（４Ａ）を圧着し、かつ、樹脂層３（３Ａ）、樹脂層４（４Ａ）を繊維基材２に含浸させる。
図４に示すように、ハウジング６は、間隔をおいて互いに対向配置された一対の壁部６１を有する、例えば箱状をなすものである。壁部６１の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。

ハウジング６の２つの壁部６１間には、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとがそれぞれ架設されている。これらのローラは互いに平行配置されている。これらのローラは、例えば、多数の歯車が配置された歯車機構（図示せず）を介してモータ（図示せず）と連結されている。そして、このモータが作動すると、その動力が歯車機構を介して伝達され、各ローラがそれぞれ回転することとなる。なお、これらのローラは、太さが異なること以外は同一の構成であり、同様の構造で壁部６１に支持されている。以下、第１のローラ７１ａの構成について代表的に説明する。

図４に示すように、第１のローラ７１ａは、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の中間部に位置する本体部７４と、本体部７４の両端側にそれぞれ位置する軸７５とで構成されている。各軸７５は、それぞれ、その外径が本体部７４の外径よりも縮径している。

この第１のローラ７１ａは、各軸７５がそれぞれ壁部６１に設置された軸受け（ベアリング）７６に挿入されており、当該軸受け７６により回転可能に支持されている。

なお、第１のローラ７１ａは、図１、図４に示す構成では中実体のものであるが、これに限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。

また、第１のローラ７１ａの構成材料としては、特に限定されず、例えば、壁部６１の構成材料で挙げたような材料を用いることができる。この場合、第１のローラ７１ａの本体部７４の外周面７４１には、外周面７４１が摩耗するのを防止する処理が施されていてもよい。この処理としては、例えば、外周面７４１にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）の被膜を形成する方法が挙げられる。

第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７４の外周面７４１同士が互いに当接し（圧接し）合っている（図４参照）。そして、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらの間で繊維基材２を図１中の左側から右側へ搬送することができる。

第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、第１のローラ７１ａ、７１ｂと異なる位置、すなわち、第１のローラ７１ａ、７１ｂに対し繊維基材２の搬送方向前方（下流側）に配置されている。また、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとは、水平方向に互いに平行に配置され、本体部７４の外周面７４１同士が互いに当接し（圧接し）合っている。そして、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとが回転すると、これらの間を繊維基材２と、未硬化あるいは半硬化（いずれもの状態においても、半固形状態または液状状態）の樹脂組成物からなる第１の樹脂層３（３Ａ）と、未硬化あるいは半硬化（いずれの状態においても、半固形状態または液状状態）の樹脂組成物からなる第２の樹脂層４（４Ａ）とが挟まれた状態で一括して通過することとなる。その際に繊維基材２に第１の樹脂層３（３Ａ）と第２の樹脂層４（４Ａ）とがそれぞれ圧着する（接合する）（図１参照）。そして、この接合体、すなわち、未硬化あるいは半硬化の積層シート４０が硬化炉９（チャンバ９１）に向かって送り出される。

第３のローラ７３ａは、第１のローラ７１ａと、第２のローラ７２ａとの間に配置され、第３のローラ７３ｂは、第１のローラ７１ｂと、第２のローラ７２ｂとの間に配置されている。また、第３のローラ７３ａと第３のローラ７３ｂとは、互いに上下方向（鉛直方向）に離間し、水平方向には平行に対向配置されている。そして、第３のローラ７３ａが回転すると、第１のシート５ａの第１の樹脂層３から保護シート５１を剥離する（巻き取る）ことができる（図１参照）。これと同様に、第３のローラ７３ｂが回転すると、第２のシート５ｂの第２の樹脂層４から保護シート５１を剥離することができる（図１参照）。

さらに、第３のローラ７３ａは、その本体部７４の外周面７４１が、第１のローラ７１ａの本体部７４の外周面７４１と、第２のローラ７２ａの本体部７４の外周面７４１とにそれぞれ当接している。一方、第３のローラ７３ｂは、その本体部７４の外周面７４１が、第１のローラ７１ｂの本体部７４の外周面７４１と、第２のローラ７２ｂの本体部７４の外周面７４１とにそれぞれ当接している。このような配置により、積層シート製造装置３０では、ハウジング６の各壁部６１と、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間７０が形成される。空間７０は、減圧手段８の作動により減圧される（図５参照）。

図４に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂ（第２のローラ７２ａおよび７２ｂ、第３のローラ７３ａおよび７３ｂについても同様）のそれぞれの本体部７４の両端と、各壁部６１との間には、シール材６２が介在している。各シール材６２は、それぞれ、リング状の弾性体で構成され、壁部６１に形成されたリング状の凹部６１２に圧縮状態で挿入されている。これにより、空間７０の気密性が確実に維持され、よって、減圧手段８で空間７０を減圧した際、その減圧が迅速かつ確実に行なわれる。

シール材６２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、ヒドリンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。

図１に示すように、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとは、互いに本体部７４の外径（大きさ）が異なっている。本実施形態では、その大小関係は、（第３のローラ）<（第１のローラ）<（第２のローラ）となっている。また、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとの各ローラの大きさは任意であるが、例えばローラに可撓性を有するシート材を沿わせたときに当該シート材に皺が生じない程度に、できる限り小さいのが好ましい。具体的には、直径が７５〜３００ｍｍであるのが好ましく、１００〜２００ｍｍであるのがより好ましい。

図５に示すように、減圧手段８は、ポンプ８１と、ポンプ８１と各壁部６１にそれぞれ形成された開口部６１１とを接続する接続管８２とを有している。
ポンプ８１は、ハウジング６の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。

各接続管８２は、それぞれ、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された硬質管である。

各開口部６１１は、それぞれ、空間７０に向かって開口している。なお、図５に示す構成では双方の壁部６１にそれぞれ開口部６１１が形成されているが、これに限定されず、例えば、一方の壁部６１にのみ開口部６１１が形成されていてもよい。

そして、ポンプ８１を作動させることにより、各開口部６１１から空間７０内の空気Ｇを吸引することができ、よって、空間７０を減圧することができる。また、これにより、隣接するローラ同士が互いに近づこうとする力が生じてさらに圧接し合い、よって、空間７０の気密性がより確実に維持される。

第２のローラ７２ａ、７２ｂに対し積層シート４０の搬送方向前方（搬送方向下流側）には、図２に示すように、加熱装置３０Ｂの硬化炉９が配置されている。硬化炉９は、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）の硬化を進める装置である。
ここで加熱装置３０Ｂについて説明する。
はじめに加熱装置３０Ｂの概要について説明する。
加熱装置３０Ｂは、可撓性を有する帯状の無機織布または有機繊維基材である基材（繊維基材２）と、該基材（繊維基材２）の片面または両面に供給された、樹脂組成物（樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ））とを備える積層シート（加熱装置３０Ｂで加熱する前の積層シート４０（４０Ａ））を加熱して、加熱された積層シート４０（４０Ａ）を製造する積層シート製造装置である。
この加熱装置３０Ｂは、前記積層シートが通過するチャンバ９１と、チャンバ９１内を加熱して、前記積層シートを加熱する加熱手段９２と、前記積層シートの前記チャンバ９１内の通過経路の長さを可変にする経路長可変手段とを備える。

加熱装置３０Ｂは、長尺の積層シート４０（４０Ａ）を加熱するものであり、加熱装置３０Ｂには連続的に積層シート４０（４０Ａ）が搬送される。
図２、図３に示すように、硬化炉９は、チャンバ（炉本体）９１と、チャンバ９１内を加熱する加熱手段としてのヒータ９２と、チャンバ９１内に位置する第１のローラ９３ａ、９３ｂ、第２のローラ９４ａ、９４ｂ、第３のローラ９５とを有している。ローラ９３ａ、９４ａ、９４ｂ、９５は、積層シート４０（４０Ａ）をチャンバ９１内で搬送するための搬送手段である。

チャンバ９１は、長方形あるいは正方形の箱状をなし、その内部空間９６を、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）が供給された繊維基材２、すなわち、積層シート４０（４０Ａ）が通過することができる。

チャンバ９１の互いに対向する一対の壁部９１１、９１２には、積層シート４０（繊維基材２）が入る入口９１３と、積層シート４０（４０Ａ）が出る出口９１４とがそれぞれ１つずつ形成されている。入口９１３と出口９１４とが内部空間９６を介して互いに反対側に位置していることにより、例えば積層シート４０（４０Ａ）からプリプレグ１を得る際に積層シート４０（４０Ａ）を切断する切断装置（図示せず）をする場合、積層シート４０（４０Ａ）の搬送方向前方、すなわち、積層シート４０（４０Ａ）の流れの下流側に切断装置を設置することができ、装置のレイアウトを容易に行なうことができる。

チャンバ９１の入口９１３の高さ位置（ｙ軸方向の位置）は、出口９１４の高さ位置（ｙ軸方向の位置）と異なっており、本実施形態では、入口９１３は、出口９１４よりもｙ軸正方向位置している。
チャンバ９１の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。

チャンバ９１の内部には、複数のヒータ９２が配置されている。ヒータ９２は、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）を加熱する加熱手段（熱板）であり、本実施形態では、この加熱により、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）がそれぞれ硬化する。
図２において、各ヒータ９２は、積層シート４０の搬送方向に沿って延在している。
なお、図２には、ヒータ９２を示したが、図３では見易さを考慮して、ヒータ９２を省略している。

なお、ヒータ９２は、例えばニクロム線等のような電熱線で構成されたものである。
また、ヒータ９２によるチャンバ９１内の加熱温度は、例えば、１００〜３５０℃であることが好ましく、１５０〜３００℃であるのがより好ましい。

図２、図３に示すように、加熱装置３０Ｂは、チャンバ９１内に配置された第１のローラ９３ａ、９３ｂ、第２のローラ９４ａ、９４ｂ、第３のローラ９５を備える。これらのローラは、回転可能に設置されており、これらのローラは回転することで、チャンバ９１内で積層シート４０（４０Ａ）を搬送する。これらのローラは、積層シート４０（４０Ａ）に当接する送りローラである。各ローラは、それぞれ、その長手方向が積層シート４０（４０Ａ）の搬送方向に対して直交するように、配置されている。

第１のローラ９３ａ、９３ｂ、第２のローラ９４ａ、９４ｂ、第３のローラ９５とは、ｙ軸方向の互いの位置（互いの高さ位置）が異なっている。硬化炉９では、第１のローラ９３ａ、９３ｂが最もｙ軸正側に（最も高い位置に）配置され、第３のローラ９５が最もｙ軸負側に（最も低い）位置に配置され、第２のローラ９４ａ、９４ｂが第１のローラ９３ａ、９３ｂと第３のローラ９５との間に配置されている。また、第１のローラ９３ａと第１のローラ９３ｂとでも、ｙ軸方向の互いの位置が異なるように配置されており、第１のローラ９３ａが第１のローラ９３ｂよりもｙ軸正側にある。これと同様に、第２のローラ９４ａと第２のローラ９４ｂとでも、ｙ軸方向の互いの位置が異なるように配置されており、第２のローラ９４ａが第２のローラ９４ｂよりもｙ軸正側にある。

そして、積層シート４０（４０Ａ）は、第１のローラ９３ａ、９３ｂ、第２のローラ９４ａ、９４ｂ、第３のローラ９５の順に架け渡され、各ローラが回転することにより搬送される。
ローラ９３ａ、９４ａ、９５は、積層シート４０（４０Ａ）の一方の面側に当接し、ローラ９３ｂ、９４ｂは、積層シート４０（４０Ａ）の他方の面側に当接する。

なお、これらのローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５は、同一の構成であるため、以下、第１のローラ９３ａの構成を代表として説明する。

図７に示すように、第１のローラ９３ａは、外形形状が円柱状をなし、その長手方向の中間部に位置する本体部９７と、本体部９７の両端側にそれぞれ位置する軸部９８とで構成されている。各軸部９８は、それぞれ、その外径が本体部９７の外径よりも縮径している。

なお、第１のローラ９３ａの本体部９７は、図２、図３に示す構成では中実体のものであるが、これに限定されず、例えば、中空体のものであってもよい。

また、本体部９７は、積層シート４０（４０Ａ）に当接する部分である。本体部９７の構成材料としては、特に限定されず、例えば、チャンバ９１の構成材料で挙げたような材料を用いることができる。この場合、第１のローラ９３ａの本体部９７の外周面９７１には、積層シート４０（４０Ａ）との摩擦を低減する摩擦低減処理が施されている。これにより、外周面９７１が摩耗するのが防止される。この摩擦低減処理としては、例えば、外周面９７１にフッ素、ＤＬＣ（Diamond Like Carbon）等の被膜を形成する方法が挙げられる。
各ローラ９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５も、ローラ９３ａと同様の本体部９７と、軸部９８とを備える。

ここで、前述したローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５のうち、ローラ９３ａ、９４ａは、チャンバ９１内を移動可能となっている。一方で、ローラ９３ｂ、９４ｂ、９５はチャンバ９１内を移動することなく、チャンバ９１に対する位置が固定されている。
ローラ９３ａは、ローラ９３ｂへ向けて積層シート４０（４０Ａ）を鉛直方向（ｙ軸方向）に搬送する。そして、図２、図３、図１１に示すように、第１のローラ９３ａは、チャンバ９１の壁部９１７，９１８に形成された一文字状のカム溝（案内溝）９１５により当該チャンバ９１に対しｘ軸方向（水平方向）に移動可能に支持されている。第１のローラ９３ｂは、そのチャンバ９１に対する位置が固定されている。そして、第１のローラ９３ａが移動することにより、第１のローラ９３ａと第１のローラ９３ｂとがｘ軸に沿って互いに接近・離間し、軸間距離を変更することができる。
本実施形態では、積層シート４０の搬送方向下流側の端部に積層シート４０Ａの搬送方向上流側の端部が接続された一連の長尺な積層シートを加熱処理するが、ローラ９３ａをローラ９３ａ上における長尺な前記積層シートの搬送方向（ここでは、ローラ９３ａによる積層シートの搬送方向、すなわち、ｙ軸方向）と交差（直交）し、かつ、長尺な前記積層シートの幅方向と直交する方向であるｘ軸方向に移動させることで、ローラ９３ａおよびローラ９３ｂ間の長尺な前記積層シートのｘ軸方向（ローラ９３ａの移動方向）における搬送距離が変更される。
なお、第１のローラ９３ａの各軸部９８は、それぞれ、チャンバ９１の壁部９１７，９１８に形成された各カム溝９１５に挿入されている。各カム溝９１５は、チャンバ９１の各壁部９１７，９１８を貫通した貫通孔である。

また、第２のローラ９４ａは、ローラ９４ｂへ向けて積層シート４０（４０Ａ）を鉛直方向に搬送するものである。そして、ローラ９４ａは、チャンバ９１の壁部９１７，９１８に形成された一文字状のカム溝９１６によりチャンバ９１に対しｘ軸方向に移動可能に支持され、第２のローラ９４ｂは、そのチャンバ９１に対する位置が固定されている。そして、第２のローラ９４ａが移動することにより、第２のローラ９４ａと第２のローラ９４ｂとが互いに接近・離間、軸間距離を変更することができる。換言すると、ローラ９４ａ上における長尺な前記積層シートの搬送方向（ローラ９４ａによる積層シートの搬送方向、ここでは、ｙ軸方向）と交差（直交）し、かつ、長尺な前記積層シートの幅方向と直交する方向であるｘ軸方向にローラ９４ａを移動させることで、ローラ９４ａおよびローラ９４ｂ間の長尺な前記積層シートのｘ軸方向（ローラ９４ａの移動方向）における搬送距離が変更される。
なお、第２のローラ９４ａの各軸部９８は、それぞれ、チャンバ９１の壁部９１７，９１８に形成された各カム溝９１６に挿入されている。各カム溝９１６は、チャンバ９１の各壁部９１７，９１８を貫通した貫通孔である。

第３のローラ９５は、第１のローラ９３ｂや第２のローラ９４ｂと同様に、チャンバ９１に対する位置が固定されている。ただし、ローラ９３ｂ、９４ｂ、９５はその軸部９８に図示しないモータが接続されており、モータにより回転駆動可能に構成されている。このモータは、後述するモータ９０と同様、チャンバ９１の外部に配置されていてもよく、また、チャンバ９１内部に配置されていてもよい。チャンバ９１外部に配置される場合には、ローラ９３ｂ、９４ｂ、９５の軸部９８は、チャンバ９１の壁部９１７，９１８を貫通する。

また、図７、図１１に示すように、第１のローラ９３ａは、ローラ９３ａを移動させるための移動手段であるリニアガイド９９によりカム溝９１５に沿って円滑に移動することができる。この構成は、第２のローラ９４ａについても同様である。

リニアガイド９９は、ローラ９３ａの各端部側にそれぞれ配置されている。具体的には、ローラ９３ａの一方の軸部９８側、他方の軸部９８側にそれぞれ配置され、チャンバ９１の対向する一対の壁部９１７，９１８の外側にそれぞれ配置されている。
リニアガイド９９は、長尺な一対のガイドレール９９１と、ガイドレール９９１上を移動するスライダ（移動体）９９２とで構成されている。ガイドレール９９１は、チャンバ９１に対し固定されている。一対のガイドレール９９１間には、ネジ軸９９３が配置されている。このネジ軸９９３の端部には、ネジ軸９９３を回転駆動するためのモータ９９４が接続されている。また、ネジ軸９９３には、スライダ９９２に設けられたナット９９５が螺合している。ネジ軸９９３とナット９９５とでボールネジ構造を構成しており、ネジ軸９９３を回転させることで、ナット９９５およびスライダ９９２がネジ軸９９３を直線移動することとなる。

また、ローラ９３ａを移動させるための１対のリニアガイド９９のうち、一方のリニアガイド９９のスライダ９９２上には、第１のローラ９３ａが回転する際の駆動源としてのモータ９０が固定されている。モータ９０は、スライダ９９２が移動することで、第１のローラ９３ａとともに移動する。このモータ９０は、第１のローラ９３ａの一方の軸部９８と連結されている。そして、モータ９０が作動することにより、第１のローラ９３ａが確実に回転する。
なお、他方のリニアガイド９９のスライダ９９２上には、第１のローラ９３ａの軸部を回転可能に支持する軸受け（図示略）が配置されている。軸受けも、スライダ９９２が移動することで、第１のローラ９３ａとともに移動する。

ガイドレール９９１およびネジ軸９９３は、カム溝９１５と平行に延在している。モータ９９４を駆動することで、ネジ軸９９３が回転し、ナット９９５およびスライダ９９２がネジ軸９９３上を移動する。これに伴い、ローラ９３ａの軸部９８がカム溝９１５内を移動し、ローラ９３ａがチャンバ９１内で移動することとなる。

第２のローラ９４ａも、移動手段であるリニアガイド９９によりカム溝９１６に沿って円滑に移動することができる。
第２のローラ９４ａの一方の軸部９８は、リニアガイド９９上のモータ９０に連結されている。また、第２のローラ９４ａの他方の軸部９８は、他方のリニアガイド９９上の軸受け（図示略）に挿入されている。そして、リニアガイド９９のガイドレール９９１およびネジ軸９９３は、カム溝９１６と平行に延在している。モータ９９４を駆動することで、ネジ軸９９３が回転し、ナット９９５およびスライダ９９２がネジ軸９９３上を移動する。これに伴い、ローラ９４ａの軸部９８がカム溝９１６内を移動し、ローラ９４ａがチャンバ内で移動することとなる。

ここで、本実施形態では、カム溝９１５、９１６は、チャンバ９１の壁部９１７，９１８に形成されており、壁部９１７，９１８を貫通している。チャンバ９１内部の温度変化を防止するために、図１１，１２に示すように、チャンバ９１の壁部９１７，９１８外側には、カム溝９１５，９１６をそれぞれ閉鎖する被覆部材９００が配置されている。図１１は、チャンバ９１の内部を上面側から見た図であり、図１２はチャンバ９１を側面側から見た図である。

この被覆部材９００は、カム溝９１５（９１６）の長手方向に沿って延在し、カム溝９１５（９１６）を完全に被覆している。被覆部材９００には、ローラ９３ａ（９４ａ）の軸部９８を通す貫通孔が形成されており、ローラ９３ｂ（９４ｂ）の軸部９８は、カム溝９１５（９１６）、被覆部材９００の貫通孔を介して、モータ９０あるいは軸受けに接続されることとなる。被覆部材９００の軸部９８を通す貫通孔は、チャンバ９１の壁部９１７（９１８）側からの側面視において、カム溝９１５（９１６）と重なるように形成される（図１２参照）。

被覆部材９００は、その長手方向に沿った端部が、チャンバの壁部９１７（９１８）外側に設けられたレールＲにはめ込まれている。このレールＲは、カム溝９１５（９１６）の長手方向に沿って延在しており、被覆部材９００は、レールＲ上を摺動する。

このような被覆部材９００を設けることで、カム溝９１５（９１６）が遮蔽されて、カム溝９１５（９１６）を介してチャンバ９１の空気が外部に流出したり、外部の空気がチャンバ９１内部に流入したりしてしまうことを防止できる。これにより、チャンバ９１内部の温度を安定的に維持することができる。

はじめに図１１（ａ）、図１２（ａ）に示すように、ローラ９３ａ（９４ａ）の軸部９８は、カム溝９１５（９１６）の一方の端部側に位置している。
次に、モータ９９４を駆動すると、前述したように、ローラ９３ａ（９４ａ）の軸部９８がカム溝９１５（９１６）内を移動する。これに伴って、図１２（ｂ）に示すように、被覆部材９００がレールＲ上を摺動する。被覆部材９００の長手方向の長さ（ｘ軸方向の長さ）は、カム溝９１５（９１６）の長手方向の長さ（ｘ軸方向の長さ）よりも長いため、ローラ９３ａ（９４ａ）が移動した場合であっても、カム溝９１５（９１６）を被覆することができる。

そして、図１１（ｂ）、図１２（ｃ）に示すように、ローラ９３ａ（９４ａ）の軸部９８がカム溝９１５（９１６）の他方の端部まで移動する。この状態においても、被覆部材９００によりカム溝９１５（９１６）全体を被覆することができる。

ここで、被覆部材９００の材料としては特に限定されないが、被覆部材９００は、チャンバ９１と同様の金属等の材料で構成することができる。
なお、本実施形態では、被覆部材９００は、チャンバ９１の壁部９１７，９１８の外側に設けられ、外側からカム溝９１５（９１６）を被覆していたが、これに限らず、チャンバ９１の壁部９１７，９１８の内側に被覆部材を設け、チャンバ９１の内側からカム溝９１５（９１６）を被覆してもよい。
ただし、本実施形態のように、チャンバ９１の外側に被覆部材９００を設けた場合には、被覆部材９００の壁部への取り付けが容易となる。

以上のような構成の硬化炉９は、前述した移動手段により、ローラ９３ａ、９４ａの少なくともいずれか一方を積層シート４０（４０Ａ）の厚さ方向に移動させることで積層シートの通過経路の長さが可変となるように構成されている。
より詳細に説明すると、本実施形態では、第１のローラ９３ａと第１のローラ９３ｂとの軸間距離と、第２のローラ９４ａと第２のローラ９４ｂとの軸間距離と双方または片方を変更することにより、積層シート４０がチャンバ９１内を通過する際の通過経路の長さ（以下「経路長」と言う）、すなわち、チャンバ９１内での積層シートの入口９１３から出口９１４までの全長が可変となる。
図２に示すように、第１のローラ９３ａおよび第２のローラ９４ａがそれぞれ図中の最も右側に位置する状態（この位置を「第１の位置」と言う）では、第１のローラ９３ａと第１のローラ９３ｂとの軸間距離と、第２のローラ９４ａと第２のローラ９４ｂとの軸間距離とがそれぞれ最大となり、経路長が最長となる。図３に示すように、第１のローラ９３ａおよび第２のローラ９４ａがそれぞれ図中の最も左側に位置する状態（この位置を「第２の位置」と言う）では、第１のローラ９３ａと第１のローラ９３ｂとの軸間距離と、第２のローラ９４ａと第２のローラ９４ｂとの軸間距離とがそれぞれ最小となり、経路長が最短となる。また、第１のローラ９３ａ、第２のローラ９４ａは、それぞれ、第１の位置と第２の位置との間にも位置することができ、この場合、経路長は、最長と最短との中間の大きさとなる。

このように、本実施形態では、移動不能なローラ９３ｂ、９４ｂと、移動可能な第１のローラ９３ａおよび第２のローラ９４ａと、これらのローラを案内するカム溝９１５、９１６と、リニアガイド９９とにより、経路長を可変にする経路長可変手段が構成されているということができる。本実施形態では、経路長可変手段は経路長を変更する変更手段である。

ところで、樹脂層の組成によっては、硬化するまでの加熱時間が異なる場合がある。この場合、積層シートの搬送速度が一定であり、経路長も一定に規制されているのであれば、チャンバ９１内での各樹脂層に対する加熱時間が変わらず、結果、硬化が不十分であったり、過剰に硬化したりする。たとえば、本実施形態のように、樹脂層の組成が異なる積層シート４０、４０Ａを連続して形成し、加熱処理する場合、樹脂層の硬化に過不足が生じる。

チャンバ９１内での積層シートの搬送速度を変える、例えば、遅くしてしまうと、チャンバ９１より上流側にある積層シートが滞ってしまい、当該滞った積層シートのための待機場所が必要となる。この場合、待機場所にある積層シート４０では、各樹脂組成物の硬化が不本意に始まってしまうことがあり、チャンバ９１に搬送される際の硬化度にばらつきが生じ、得られる積層シート４０の品質が一定とならない。

そこで、経路長を可変にすることにより、積層シートの搬送速度を一定にしたままで、チャンバ９１内での各樹脂組成物に対する加熱時間を容易かつ確実に変更することができる。これにより、各樹脂層の組成に応じて適度に加熱することができ、よって、各樹脂層を過不足なく硬化することができる。

例えば、硬化条件（加熱時間）の異なる樹脂組成物が積層された積層シート４０、４０Ａを連続的に製造したい場合、積層シート４０、４０Ａとが一連となった長尺な積層シートの搬送速度を一定に維持するように、チャンバ９１内の各ローラの回転を制御しながら、経路長を可変して、その製造を容易に行なうこともできる。
この場合には、加熱装置３０Ｂは、ローラ９３ａ、９４ａを回転するためのモータ９０および、ローラ９３ａ、９４ａを移動させるためのモータ９９４の駆動を制御する制御部（図示略）を有する。作業者がローラ９３ａ、９４ａを移動させるための信号を加熱装置３０Ｂに入力すると、制御部がモータ９０の駆動を停止せずに、ローラ９３ａ、９４ａを移動させるためのモータ９９４を駆動させる。そして、図示しない検出手段でローラ９３ａ、９４ａの位置を検出し、検出手段が検出した位置が所定の位置であるか否かを制御部が判断する。所定の位置であると判断した場合には、制御部は、モータ９９４の駆動を停止し、ローラ９３ａ、９４ａの移動を停止する。所定の位置でないと判断した場合には、制御部は、モータ９９４の駆動を維持する。ただし、いずれの場合にも、制御部はローラ９３ａ、９４ａを回転するモータ９０の駆動は停止しない。

図２、図３に示すように、カム溝９１５は、ｘ軸方向において、第１のローラ９３ｂに対し、ｘ軸負側から正側に向かって延在している。すなわち、カム溝９１５は、図２、図３中の右側から第１のローラ９３ｂを越えて、左側まで延在している。これにより、第１のローラ９３ａは、第１のローラ９３ｂをまたぐように移動することができ、第１のローラ９３ａの可動範囲をできる限り大きく確保することができる。
ただし、ローラ９３ａは、ローラ９３ｂよりも積層シート４０Ａの厚さ分だけ、ｘ軸負側に移動可能となっており、チャンバ９１内に供給される積層シート４０（４０Ａ）は、ローラ９３ａ、９３ｂのいずれにも接触するようになっている。

また、カム溝９１６も、ｘ軸方向において、第２のローラ９４ｂに対し、ｘ軸負側から正側に向かって延在している。すなわち、カム溝９１６も、図中の右側から第２のローラ９４ｂを越えて、左側まで延在している。これにより、第２のローラ９４ａは、第２のローラ９４ｂをまたぐように移動することができ、第２のローラ９４ａの可動範囲をできる限り大きく確保することができる。
ただし、ローラ９４ａは、ローラ９４ｂよりも積層シート４０Ａの厚さ分のみ、ｘ軸負側に移動可能となっており、チャンバ９１内に供給される積層シートは、ローラ９４ａ、９４ｂのいずれにも接触するようになっている。

従って、経路長の可変量も大となり、多種の樹脂組成物に応じて、その加熱時間を最適な時間に調整することができる。また、チャンバ９１を小型化、低コスト化できるという利点もある。

また、前述したように、リニアガイド９９を用いて第１のローラ９３ａや第２のローラ９４ａを移動させている。たとえば、あらかじめ、モータ９９４の駆動量を複数設定しておき（すなわち、ローラ９３ａ、９４ａの配置位置を複数設定しておき）、モータ９９４の駆動量を適宜選択することで、ローラ９３ａ、９４ａの移動距離を設定することができる。
また、あらかじめモータ９９４の駆動量を設定せずに、作業者がモータ９９４を駆動させて所望の位置に第１のローラ９３ａや第２のローラ９４ａを移動させることもできる。

また、第１のローラ９３ａと第１のローラ９３ｂとは、互いに大きさが同じものであり、第２のローラ９４ａと第２のローラ９４ｂも互いに大きさが同じものである。本実施形態では、第１のローラ９３ａ、９３ｂ、第２のローラ９４ａ、９４ｂ、第３のローラ９５は、互いに大きさが同じものである。これにより、経路長の長さがどの程度であるのかを容易に把握することができる。

次に、積層シート製造装置３０により積層シート４０、４０Ａが製造される状態（製造過程）について、図１〜図３、図６を参照しつつ説明する。

積層シート製造装置３０の圧着装置３０Ａでは、第１のローラ７１ａ、７１ｂと、第２のローラ７２ａ、７２ｂと、第３のローラ７３ａ、７３ｂとが回転するのに先立ち、減圧手段８を作動させ、空間７０内を減圧しておく。また、加熱装置３０Ｂにおいては、ヒータ９２を作動させてチャンバ９１内を所定温度、すなわち、積層シート４０、４０Ａの樹脂層３、３Ａ、４、４Ａが硬化する温度にまで加熱しておく。また、チャンバ９１内での経路長を所定量、すなわち、積層シート４０の樹脂層３，４が硬化するのに適した量に調整しておく。例えば、硬化炉９を図２に示す状態、図３に示す状態、または、図２と図３に示す状態との中間の状態のいずれかの状態にする。
本実施形態では、モータ９９４を駆動して、ネジ軸９９３を回転させ、スライダ９９２をガイドレール９９１上で摺動させる。スライダ９９２上に設置されたモータ９０や軸受けに第一ローラ９３ａの軸部９８が接続されているため、スライダ９９２の摺動に伴い、ローラ９３ａの軸部９８が溝９１５内を移動する。そして、本実施形態では、図２に示すように、ローラ９３ａを溝９１５の一方の端部側に配置する。
同様に、モータ９９４を駆動して、ネジ軸９９３を回転させ、スライダ９９２をガイドレール９９１上で摺動させる。スライダ９９２上に設置されたモータ９０や軸受けに第二ローラ９４ａの軸部９８が接続されているため、スライダ９９２の摺動に伴い、ローラ９４ａの軸部が溝９１６内を移動する。そして、本実施形態では、図２に示すように、ローラ９４ａを溝９１６の一方の端部側に配置する。

図１に示すように、第１のローラ７１ａと第１のローラ７１ｂとが回転すると、これらのローラ間から繊維基材２が空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。繊維基材２は供給ローラに巻回されており、この供給ローラから連続的にローラ７１ａ、７１ｂ間に供給される。

また、第２のローラ７２ａと第３のローラ７３ａとが回転すると、これらのローラ間から第１のシート５ａが空間７０内に送り出される（連続的に供給される）。この第１のシート５ａは、保護シート５１が第３のローラ７３ａに巻き取られ（引張られ）、これにより、第１の樹脂層３から保護シート５１が剥離される。保護シート５１が剥離した第１の樹脂層３は、第２のローラ７２ａに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された保護シート５１は、第１のローラ７１ａと第３のローラ７３ａとの間から外側（空間７０外）に向かって送り出される。

また、第２のローラ７２ｂと第３のローラ７３ｂとが回転すると、これらのローラ間から第２のシート５ｂが空間７０内に送り出される。この第２のシート５ｂは、保護シート５１が第３のローラ７３ｂに巻き取られ、これにより、第２の樹脂層４から保護シート５１が剥離される。保護シート５１が剥離した第２の樹脂層４は、第２のローラ７２ｂに沿って徐々に繊維基材２に接近していく。また、剥離された保護シート５１は、第１のローラ７１ｂと第３のローラ７３ｂとの間から外側に向かって送り出される。

このように第１の樹脂層３および第２の樹脂層４がそれぞれ繊維基材２と圧着される直前（以前）に空間７０内で保護シート５１が剥離することができることにより、当該保護シート５１が各樹脂層の圧着の邪魔になるのを防止することができるとともに、圧着直前まで保護シート５１で各樹脂層を保護することができる。

そして、繊維基材２と第１の樹脂層３と第２の樹脂層４とは、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間を一括して通過することとなる。このとき、図６に示すように、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂとの間の圧接力（当接力）Ｆ１により、第１の樹脂層３が上側から繊維基材２と圧着されるとともに、第２の樹脂層４が下側から繊維基材２と圧着される。

また、前述したように、空間７０は、減圧手段８の作動により減圧されている。これにより、図６に示すように、空間７０内に生じた減圧力Ｆ２が、繊維基材２と第１の樹脂層３との圧着と、繊維基材２と第２の樹脂層４との圧着とを補助することができる。

このような圧接力Ｆ１による圧着と減圧力Ｆ２による圧着とが相まって、繊維基材２と第１の樹脂層３との接合と、繊維基材２と第２の樹脂層４との接合とが強化される。これにより、繊維基材２内部に樹脂層３,４を含浸させることができる。そして、例えば第１の樹脂層３や第２の樹脂層４の厚さや組成によらず、当該各樹脂層が繊維基材２に確実かつ強固に接合された積層シート４０を製造することができる。
さらに、第２のローラ７２ａと第２のローラ７２ｂを加熱ローラとすることで、樹脂層３，４を繊維基材２内部に確実に含浸させることができる。

また、積層シート製造装置３０では、減圧すべき空間を、第１のローラ７１ａおよび７１ｂと、第２のローラ７２ａおよび７２ｂと、第３のローラ７３ａおよび７３ｂとで囲まれた空間７０として、できる限り小さくすることができる。これにより、減圧手段８を作動させた際、その減圧を迅速に行なうことができる。また、高真空化も可能である。

また、繊維基材２と第１の樹脂層３とが接合する際、これらの間に空気が溜まっていたとしても圧接力Ｆ１によりその空気を押し出すことができ、よって、空気が溜まったまま接合がなされてしまうのを確実に防止することができる（繊維基材２と第２の樹脂層４との接合時についても同様）。

一対のローラ７２ａ、７２ｂから送り出された積層シート４０は、図２に示すように、チャンバ９１の入口９１３からチャンバ９１内部に連続的に送り込まれることとなる。チャンバ内部のローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５がモータにより回転することで、積層シート４０はチャンバ９１内部を移動する。そして、チャンバ９１の出口９１４からチャンバ９１外部に連続的に送り出される。
より具体的には、入口９１３から送り込まれた積層シート４０は、ローラ９３ａにより、チャンバ９１内での搬送方向が折り返され、ローラ９３ｂに到達する。そしてローラ９３ｂにより、チャンバ９１内での搬送方向が折り返され、ローラ９４ａに到達する。次に、ローラ９４ａにより、チャンバ９１内での搬送方向が折り返され、ローラ９４ｂに到達する。さらにローラ９４ｂにより、チャンバ９１内での搬送方向が折り返され、ローラ９５に到達し、出口９１４からチャンバ９１外部に排出されることとなる。
積層シート４０は、チャンバ９１内で停止することなく、チャンバ９１内を通過しながら、加熱され、樹脂層３，４の硬化が促進される。チャンバ９１内での積層シート４０の経路長が各樹脂層３，４の硬化に適した大きさとなっているため、当該硬化が過不足なく行なわれる。そして、チャンバ９１から出た積層シート４０は、各樹脂層３、４が適度に硬化したものとなる。

次に、チャンバ９１へ向けて積層シート４０が搬送されている間に、圧着装置３０Ａに供給される樹脂層の種類を樹脂層３，４から樹脂層３Ａ、４Ａに変更する。これにより、圧着装置３０Ａのローラ７２ａ、７２ｂ間からは積層シート４０Ａが送りされることとなる。なお、積層シート４０Ａは、積層シート４０と、樹脂層の組成物が異なるが、その他の点は、積層シート４０と同様である。この積層シート４０Ａは、積層シート４０に連続して設けられる。たとえば、積層シート４０の端部と、積層シート４０Ａの端部との間には、繊維基材２が露出した領域があり、この領域を介して、積層シート４０と積層シート４０Ａとが接続されていてもよい。また、積層シート４０の端部と積層シート４０Ａの端部とが接していてもよい。
積層シート４０と積層シート４０Ａとは一連の連続した長尺な積層シートを構成することとなる。
一方で、前述した移動手段を駆動して、チャンバ９１内のローラ９３ａ、９４ａの配置を変更する。積層シート４０および積層シート４０Ａを含んで構成される前述した一連の長尺な積層シートをローラ９３ｂ、９４ｂに当接させた状態で、長尺な前記積層シートに当接しているローラ９３ａ、９４ａの配置を変更する。
たとえば、積層シート４０の搬送方向後端側の端部と積層シート４０Ａの端部との境界部分がチャンバ９１の入口９１３に到達した段階、すなわち、積層シート４０がチャンバ９１内部に位置する状態で、積層シート４０，４０Ａを搬送しながら、チャンバ９１内のローラ９３ａ、９４ａの配置を変更する。具体的には積層シート４０とローラ９３ｂ、９４ｂとを当接させた状態で、積層シート４０に当接しているローラ９３ａ、９４ａの配置を変更する。
なお、ローラ９３ａ、９４ａの配置の変更のタイミングはこれに限らず、積層シート４０Ａがチャンバ９１内部に入り、積層シート４０Ａとローラ９３ｂ、９４ｂとを当接させた状態で、積層シート４０Ａに当接するローラ９３ａ、９４ａの配置を変更してもよい。
さらには、積層シート４０，４０Ａ間に、一定長さの繊維基材２のみの領域を形成し、この繊維基材２のみの領域をチャンバ９１内に送り込み、チャンバ９１内部に繊維基材２のみが存在する状態で、積層シート４０，４０Ａを搬送しながら、ローラ９３ａ、９４ａの配置変更を行なってもよい。
なお、積層シート４０，４０Ａを含む一連の長尺な積層シートの搬送を停止させて、チャンバ内に長尺な前記積層シートの一部が位置する状態で、ローラ９３ａ、９４ａの配置を変更してもよい。

本実施形態では、図３に示すようなローラ９３ａ、９４ａの配置とする。モータ９９４を駆動して、ネジ軸９９３を回転させ、スライダ９９２をガイドレール９９１上で摺動させる。スライダ９９２上に設置されたモータ９０や軸受けに第一ローラ９３ａの軸部９８それぞれが接続されているため、スライダ９９２の摺動に伴い、ローラ９３ａの軸部９８が溝９１５内を移動する。これにより、ローラ９３ａは、チャンバ９１内に位置しており、ローラ９３ａに当接している積層シート４０の厚さ方向（本実施形態ではｘ軸方向）に沿って移動する。そして、図３に示すように、ローラ９３ａを溝９１５の他方の端部側に配置する。
なお、ローラ９３ａは、溝９１５の他方の端部側に移動するものの、ローラ９３ａが搬送する積層シート４０Ａがローラ９３ｂに接触するようにローラ９３ａは移動する。これにより、積層シート４０Ａを確実に搬送することができる。

同様に、モータ９９４を駆動して、ネジ軸９９３を回転させ、スライダ９９２をガイドレール９９１上で摺動させる。スライダ９９２上に設置されたモータ９０や軸うけに第二ローラ９４ａの軸部９８がそれぞれ接続されているため、スライダ９９２の摺動に伴い、ローラ９４ａの軸部が溝９１６内を移動する。これにより、ローラ９４ａは、チャンバ９１内に位置し、ローラ９４ａに接触している積層シート４０の厚さ方向（本実施形態ではｘ軸方向）に沿って移動する。そして、本実施形態では、図３に示すように、ローラ９４ａを溝９１６の他方の端部側に配置する。

なお、ローラ９４ａは、溝９１６の他方の端部側に移動するものの、ローラ９４ａが搬送する積層シート４０Ａがローラ９４ｂに接触できるようにローラ９４ａは移動する。これにより、積層シートを確実に搬送することができる。

以上のようなローラ９３ａ、９４ａの配置調整を行なう工程においては、チャンバ９１を開くことなく、チャンバ９１を閉じた状態で、ローラ９３ａ、９４ａの位置を変更する。
各ローラが回転することで、入口９１３から積層シート４０Ａがチャンバ９１内に連続的に送り込まれる。積層シート４０Ａは、ローラ９３ａにより搬送方向がｘ軸方向からｙ軸方向に変更され、ローラ９３ｂ、ローラ９４ａの順に当接する。そして、ローラ９４ｂにより搬送方向がｙ軸方向からｘ軸方向に変更され、ローラ９５により、出口９１４から連続的に排出されることとなる。

積層シート４０Ａは、チャンバ９１内で停止することなく、チャンバ９１内を通過しながら加熱され、樹脂層３Ａ，４Ａの硬化が促進される。チャンバ９１内での積層シート４０Ａの経路長が各樹脂層３Ａ，４Ａの硬化に適した大きさとなっているため、当該硬化が過不足なく行なわれる。そして、チャンバ９１から出た積層シート４０Ａは、各樹脂層３Ａ、４Ａが適度に硬化したものとなる。

本実施形態では、モータ９９４が外部に設けられているので、たとえ、モータ９９４を手動で駆動させる必要があったとしても、モータ９９４を駆動させてローラ９３ａ、９４ａの位置を変更する際に、チャンバ９１を開く必要がない。
そのため、チャンバ９１内部の温度が変化してしまうことを防止でき、積層シート４０に引き続き、迅速に積層シート４０Ａを加熱処理することができる。

本実施形態では、リニアガイド９９で構成される移動手段をチャンバ９１外部に配置しているので、チャンバ９１を小さくすることができる。これにより、チャンバ９１内の温度を安定的に保つことが容易となる。

また、本実施形態では、複数のローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５のうち、積層シートの搬送方向下流側に配置される２つのローラ９４ｂ、９５を、チャンバ９１に対する位置が固定された固定ローラとしている。このようにすることで、チャンバ９１からの積層シート４０（４０Ａ）の排出位置を固定することができ、チャンバ９１に形成する積層シート４０（４０Ａ）の出口を一つとすることができる。これにより、チャンバ９１内の温度安定性を高めることができる。

さらに、本実施形態では、加熱装置３０Ｂは、チャンバ９１内を移動可能なローラを複数備えている。具体的には、チャンバ９１内には、ローラ９３ａ、９４ａが配置されている。このように、チャンバ９１内を移動可能なローラを複数設けることで、チャンバ９１内の積層シートの経路長を様々な距離に設定することができる。

なお、加熱装置３０Ｂにおいて、積層シート４０、４０Ａが加熱されることで、樹脂層３，４（３Ａ，４Ａ）の繊維基材への含浸が進行してもよい。

<基板>
次に、積層シート４０を切断して構成されるプリプレグ１を用いた基板１０について、図９を参照しつつ説明する。この図９に示す基板１０は、積層体１１と、この積層体１１の両面に設けられた金属層１２とを有している。
なお、ここでは、積層シート４０を切断して構成されるプリプレグ１を用いた基板１０について、説明するが、積層シート４０Ａを切断して同様の基板１０を構成することもできる。

積層体１１は、第２の樹脂層４同士を内側にして配置された２つのプリプレグ１と、第２の樹脂層４同士間で挟持された内層回路基板１３とを備える。

内層回路基板１３は、電気回路（図示せず）を備えた基板である。また、本実施形態では、第２の樹脂層４は、前述したような特性（可撓性）を有するため、内層回路基板１３の少なくとも一部は、第２の樹脂層４に確実に埋め込まれる（埋設される）。

金属層１２は、配線部に加工される部分であり、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔を積層体１１に接合すること、銅、アルミニウムを積層体１１の表面にメッキすること等により形成される。

金属層１２と第１の樹脂層３とのピール強度は、０．５ｋＮ／ｍ以上であるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、得られる半導体装置１００（図１０参照）における接続信頼性をより向上させることができる。

このような基板１０は、第１の樹脂層３上に金属層１２を形成したプリプレグ１を２つ用意し、これらのプリプレグ１で内層回路基板１３を挟持した状態で、例えば、真空プレス、常圧ラミネータおよび真空下で加熱加圧するラミネータを用いて積層する方法が挙げられる。真空プレスは、平板に挟んで通常のホットプレス機等で実施できる。このような装置としては、例えば、名機製作所社製の真空プレス、北川精機社製の真空プレス、ミカドテクノス社製の真空プレス等が挙げられる。また、ラミネータ装置としては、ニチゴー・モートン社製のバキュームアップリケーター、名機製作所社製の真空加圧式ラミネータ、日立テクノエンジニアリング社製の真空ロール式ドライコータ等のような市販の真空積層機、またはベルトプレス等が挙げられ、これらを用いて製造することができる。

なお、基板１０は、内層回路基板１３が省略され、２つのプリプレグ１が第２の樹脂層４同士を直接接合してなる積層体を含むものであってもよく、金属層１２が省略されたものであってもよい。

<半導体装置>
次に、基板１０を用いた半導体装置１００について、図１０を参照しつつ説明する。なお、図１０中では、繊維基材２、内層回路基板１３を省略して示し、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４を一体として示してある。

図１０に示す半導体装置１００は、多層基板２００と、多層基板２００の上面に設けられたパッド部３００と、多層基板２００の下面に設けられた配線部４００と、パッド部３００にバンプ５０１を接続することにより、多層基板２００上に搭載された半導体素子５００とを有している。

多層基板２００は、コア基板として設けられた基板１０と、この基板１０の上側に設けられた３つのプリプレグ１ａ、１ｂ、１ｃと、基板１０の下側に設けられた３つのプリプレグ１ｄ、１ｅ、１ｆとを備えている。プリプレグ１ａ〜１ｃをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番と、プリプレグ１ｄ〜１ｆをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番とは、同じとなっている。すなわち、プリプレグ１ａ〜１ｃとプリプレグ１ｄ〜１ｆとは、互いに上下反転したもの同士となっている。

また、多層基板２００は、プリプレグ１ａとプリプレグ１ｂとの間に設けられた回路部２０１ａと、プリプレグ１ｂとプリプレグ１ｃとの間に設けられた回路部２０１ｂと、プリプレグ１ｄとプリプレグ１ｅとの間に設けられた回路部２０１ｄと、プリプレグ１ｅとプリプレグ１ｆとの間に設けられた回路部２０１ｅとを有している。

さらに、多層基板２００は、各プリプレグ１ａ〜１ｆをそれぞれ貫通して設けられ、隣接する回路部同士や、回路部とパッド部とを電気的に接続する導体部２０２とを備えている。

基板１０の各金属層１２は、それぞれ、所定のパターンに加工され、当該加工された金属層１２同士は、基板１０を貫通して設けられた導体部２０３により電気的に接続されている。

なお、半導体装置１００（多層基板２００）は、基板１０の片面側に、４つ以上のプリプレグ１を設けるようにしてもよい。さらに、半導体装置１００は、本発明のプリプレグ１以外のプリプレグを含んでいてもよい。

以上、本発明の積層シート製造装置および積層シートを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、積層シート製造装置および積層シートを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。

また、積層シート製造装置は、図１に示す構成では一対の第３のローラが１組設置されているが、これに限定されず、例えば、２組以上設置されていてもよい。

また、各第１のローラと各第２のローラと各第３のローラとは、図１に示す構成では互いに本体部の外径が異なっているが、これに限定されず、例えば、互いに本体部の外径が同一であってもよい。

また、図２、図３では、移動するローラと、移動が規制されたローラとが２組図示されているが、組数はこれに限定されず、例えば、１組または３組以上であってもよい。

また、積層シートは、図８に示す構成では繊維基材の両面にそれぞれ樹脂層が接合されたものであるが、これに限定されず、繊維基材の片面にのみ樹脂層が接合されたものであってもよい。このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。

また、前記実施形態では、被覆部材９００は、ローラの移動に伴って、レールＲ上を移動するとしたが、これに限られるものではない。たとえば、カム溝と略同じ長さの被覆部材を用意してもよい。この場合には、ローラの位置が確定した後、被覆部材をチャンバの壁部に取り付ける。ローラを移動させる際には、被覆部材をチャンバの壁部から取り外す。

さらに、前記実施形態では、ローラ９３ａ、９４ａはチャンバ９１内を移動可能とされていたが、これに限られるものではない。図１３に示すように、チャンバ９１に複数の出口を設けることで、積層シートの経路長を変更可能な加熱装置としてもよい。図１３（ａ）に示すように、ローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５の順に積層シートを架け渡す。その後、積層シート４０を搬送しながら加熱する。このときには、出口９１４から積層シート４０を排出する。
次に、チャンバ９１を開き、ローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａに積層シート４０Ａを架け渡し、積層シートの経路長を変更する。その後、図１３（ｂ）に示すように、積層シート４０Ａを搬送しながら加熱する。このときには、出口９１４Ａから積層シート４０Ａを排出する。
この変形例においては、ローラ９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４ｂ、９５と、複数の出口９１４，９１４Ａとで経路長可変手段が構成されることとなる。
また、この変形例においては積層シート４０、４０Ａは一連の連続したシートでなくてもよい。
さらに、前記実施形態においても、積層シート４０，４０Ａを一連の連続したシートとしなくてもよい。

さらに、前記実施形態では、加熱装置３０Ｂにおいて、樹脂層の硬化を行なったが、これに限らず、加熱装置は樹脂層の乾燥を行なう乾燥であってもよい。

また、前記実施形態では、積層シート４０と、この積層シート４０とは樹脂層の組成が異なる積層シート４０Ａとを加熱装置３０Ｂで処理したが、これに限らず、積層シート４０のみを加熱装置で処理してもよい。たとえば、図２に示すローラの配置で積層シート４０のうち搬送方向上流側部分（第一の積層シート）を加熱処理した後、図３に示すローラの配置で積層シート４０のうち搬送方向下流側部分（第二の積層シート）を加熱処理してもよい。このようにすることで、樹脂層の硬化度の異なる複数の領域を有する積層シートを連続的に製造することができる。

また、前記実施形態では、チャンバ９１内で積層シートが水平方向に搬送されていたが、これに限らず、チャンバ９１内で垂直方向（鉛直方向）に沿って積層シートを搬送してもよい。たとえば、図２の壁部９１１をチャンバの底面側、壁部９１２をチャンバ９１の上面側としてもよい。この場合には、ローラ９３ａ、９４ａは鉛直方向に移動することとなる。
さらに、前記実施形態では、ローラ９３ａ、９４ａはモータ９０により回転駆動する搬送ローラであったが、これに限らず、積層シートの搬送に追従して回転する補助ローラ（従動ローラ）としてもよい。

本発明は、以下の形態を含む。
（１）可撓性を有する帯状の基材と、該基材の片面または両面に供給された、液状または半固形状の樹脂組成物を加熱して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記樹脂組成物が供給された状態の前記基材が通過するチャンバと、前記チャンバ内を加熱して、前記樹脂組成物の硬化を進める加熱手段と、前記基材が前記チャンバ内を通過する際、その通過経路の長さを可変にする経路長可変手段とを備えることを特徴とする積層シート製造装置。
（２）前記経路長可変手段は、前記チャンバ内に設置され、前記基材が架け渡され、搬送される少なくとも一対のローラを有し、前記一対のローラは、互いに接近・離間可能であり、その軸間距離を変更することにより、前記通過経路の長さが可変となるよう構成されている（１）に記載の積層シート製造装置。
（３）前記一対のローラのうちの一方のローラは、その前記チャンバに対する位置が固定され、他方のローラは、前記チャンバに対し移動可能に支持され、前記経路長可変手段は、前記他方のローラが移動する際に該他方のローラを案内するカム溝を有する（２）に記載の積層シート製造装置。
（４）前記軸間距離は、多段階または無段階に変更可能である（２）または（３）に記載の積層シート製造装置。
（５）前記一対のローラは、互いに大きさが同じものである（２）ないし（４）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（６）前記加熱手段は、前記チャンバの壁部に内蔵されたヒータを有する（２）ないし（５）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（７）前記樹脂組成物は、液状または半固形状態で前記基材に供給されるものであり、前記基材と前記樹脂組成物とを挟んで圧着させつつ、前記チャンバに向かって送り出す一対の供給用ローラをさらに備える（１）ないし（６）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
この出願は、２０１１年７月２２日に出願された日本特許出願２０１１−１６１０２０を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。

１ プリプレグ
１ａ プリプレグ
１ｄ プリプレグ
１ａ プリプレグ
１ｂ プリプレグ
１ｃ プリプレグ
１ｄ プリプレグ
１ｅ プリプレグ
１ｆ プリプレグ
２ 繊維基材
３Ａ，４Ａ 樹脂層
３，４ 樹脂層
５ａ シート
５ｂ シート
６ ハウジング
８ 減圧手段
９ 硬化炉
１０ 基板
１１ 積層体
１２ 金属層
１３ 内層回路基板
２０ 境界
３０Ａ 圧着装置
３０Ｂ 加熱装置
３０ 積層シート製造装置
３１，４１ 含浸部
３２ 非含浸部
４０ 積層シート
４０Ａ 積層シート
４２ 非含浸部
５１ 保護シート
５２ 支持基材
６１ 壁部
６２ シール材
７０ 空間
７１ａ ローラ
７１ｂ ローラ
７２ａ ローラ
７２ｂ ローラ
７３ａ ローラ
７３ｂ ローラ
７４ 本体部
７５ 軸
８１ ポンプ
８２ 接続管
９０ モータ
９１ チャンバ
９２ ヒータ
９３ａ ローラ
９３ｂ ローラ
９４ａ ローラ
９４ｂ ローラ
９５ ローラ
９６ 内部空間
９７ 本体部
９８ 軸部
９９ リニアガイド
１００ 半導体装置
２００ 多層基板
２０１ａ 回路部
２０１ｂ 回路部
２０１ｄ 回路部
２０１ｅ 回路部
２０２ 導体部
２０３ 導体部
３００ パッド部
４００ 配線部
５００ 半導体素子
５０１ バンプ
６１１ 開口部
６１２ 凹部
７４１ 外周面
９００ 被覆部材
９１１ 壁部
９１２ 壁部
９１３ 入口
９１４ 出口
９１４Ａ 出口
９１５ カム溝
９１６ カム溝
９１７，９１８ 壁部
９７１ 外周面
９９１ ガイドレール
９９２ スライダ
９９３ ネジ軸
９９４ モータ
９９５ ナット
Ｆ１ 圧接力
Ｆ２ 減圧力
Ｒ レール

Claims (15)

1. 可撓性を有する帯状の基材と、該基材の片面または両面に供給された、樹脂組成物とを備える積層シートを加熱して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
   前記積層シートが通過するチャンバと、
   前記チャンバ内を加熱して、前記積層シートを加熱する加熱手段と、
   前記積層シートが前記チャンバ内を通過する際の通過経路の長さを可変にする経路長可変手段とを備えることを特徴とする積層シート製造装置。
2. 請求項１に記載の積層シート製造装置において、
   前記樹脂組成物は、熱硬化性であり、
   前記加熱手段は前記積層シートの前記樹脂組成物を加熱して硬化を進める積層シート製造装置。
3. 請求項１または２に記載の積層シート製造装置において、
   前記基材は、無機織布または有機繊維基材である積層シート製造装置。
4. 請求項１乃至３のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
   前記経路長可変手段は、前記チャンバ内に配置された第一ローラと、
   前記第一ローラを前記チャンバ内で移動させる移動手段とを備え、
   当該積層シート製造装置は、前記積層シートが前記第一ローラに向けて搬送されるように構成されており、
   前記経路長可変手段は、前記第一ローラ上における前記積層シートの前記搬送方向と交差する方向に、前記移動手段により前記第一ローラを移動させることで、前記積層シートの通過経路の長さを可変とする積層シート製造装置。
5. 請求項１乃至４のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
   前記経路長可変手段は、前記チャンバ内に配置され、前記積層シートに当接する第一ローラと、
   前記第一ローラを前記チャンバ内で移動させる移動手段とを備え、
   前記移動手段は、前記チャンバ内に搬送された前記積層シートの前記第一ローラに当接している部分の厚さ方向に沿って、前記第一ローラを移動させ、
   前記経路長可変手段は、前記移動手段により、前記第一ローラを前記積層シートの厚さ方向に移動させることで前記積層シートの通過経路の長さを可変とする積層シート製造装置。
6. 請求項４または５に記載の積層シート製造装置において、
   前記経路長可変手段は、前記積層シートの一方の面に当接する前記第一ローラと、前記積層シートの他方の面に当接する第二ローラとを備え、
   前記移動手段により、前記第一ローラを移動させることで、前記積層シートの一方の面に当接する前記第一ローラおよび前記積層シートの他方の面に当接する前記第二ローラ間の軸間距離が変更され、前記通過経路の長さが可変となるよう構成されている積層シート製造装置。
7. 請求項６に記載の積層シート製造装置において、
   前記第二ローラは、前記第一ローラよりも、前記積層シートの搬送方向下流側に配置されており、
   前記第二ローラは、前記チャンバに対する位置が固定されている積層シート製造装置。
8. 請求項４乃至７のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
   前記チャンバの壁部には、前記第一ローラの移動を案内するとともに、前記壁部を貫通した案内溝が形成されており、
   前記経路長可変手段の前記移動手段は、前記チャンバの外部に配置されている積層シート製造装置。
9. 請求項８に記載の積層シート製造装置において、
   前記移動手段は、
   レールと、
   このレール上に配置され、前記第一ローラに接続されたスライダと、
   このスライダを前記レール上で移動させるためのモータとを備え、
   前記モータにより、前記スライダを前記レール上で移動させることで、前記第一ローラが移動するように構成されている積層シート製造装置。
10. 請求項８または９に記載の積層シート製造装置において、
    前記第一ローラは、積層シートに接する本体部と、この本体部に設けられた軸部とを有し、
    前記軸部は前記案内溝を介して前記移動手段に接続され、
    前記軸部が貫通するとともに、前記案内溝を前記壁部の外側あるいは内側から被覆する被覆部材を備える積層シート製造装置。
11. 請求項４乃至１０のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
    当該積層シート製造装置は、前記チャンバ内で前記積層シートを搬送しながら、前記積層シートに当接した前記第一ローラを前記移動手段により移動するように構成されている積層シート製造装置。
12. 請求項１乃至１１のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
    前記加熱手段は、前記積層シートを加熱して前記基材に前記樹脂組成物を含浸させるものである積層シート製造装置。
13. 前記樹脂組成物は、液状または半固形状態で前記基材に供給されるものであり、
    前記基材と前記樹脂組成物とを挟んで圧着させつつ、前記チャンバに向かって送り出す一対の供給用ローラをさらに備える請求項１ないし１２のいずれかに記載の積層シート製造装置。
14. 第一の積層シートと第二の積層シートとを備える積層シートの製造方法であって、
    可撓性を有する帯状の無機織布または有機繊維基材である基材と、該基材の片面または両面に供給された樹脂組成物とを備える第一の積層シートを第一の通過経路の長さでチャンバ内を通過させながら加熱を行なう第一の加熱工程と、
    可撓性を有する帯状の無機織布または有機繊維基材である基材と、該基材の片面または両面に供給された樹脂組成物とを備える第二の積層シートを前記第一の通過経路の長さと異なる第二の通過経路の長さで前記チャンバ内を通過させながら加熱を行なう第二の加熱工程とを含む積層シートの製造方法。
15. 請求項１４に記載の積層シートの製造方法であって、
    前記第二の積層シートは、前記第一の積層シートに連続して設けられており、
    前記第一の加熱工程と前記第二の加熱工程との間で、
    前記チャンバを開かずに、前記チャンバ内に配置され、前記第一の積層シートあるいは前記第二の積層シートに当接している第一のローラを前記第一の積層シートあるいは前記第二の積層シートの厚さ方向に移動させて、通過経路の長さを前記第一の通過経路の長さから、第二の通過経路の長さに変更する工程を実施する積層シートの製造方法。

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