JP2013042105A - ボンディングワイヤ - Google Patents
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Abstract
【課題】キャピラリの損傷を抑制する。
【解決手段】集積回路素子電極aと回路配線基板導体配線cとをボールボンディング法によって接続するための線径L50.8μm以下のボンディングワイヤWである。銅および不可避不純物の芯材1に、ワイヤの断面積の総計に対して断面積が0.4〜1.0%のPdによる被覆層2を形成する。この断面積比であると、図に示すように、FAB・ワイヤの境界付近に銅が過大な表面被覆層成分と反応する前に凝固がはじまることがない。このため、その境界付近が硬くなることがなく、キャピラリで1st接合を行う際にキャピラリに加わる衝撃が小さく、キャピラリ寿命を長くすることができる。芯材1に50質量ppm以下のPを添加すれば、芯材の酸素含有量が減少し、FABが安定的に真球状になる。
【選択図】図2a
【解決手段】集積回路素子電極aと回路配線基板導体配線cとをボールボンディング法によって接続するための線径L50.8μm以下のボンディングワイヤWである。銅および不可避不純物の芯材1に、ワイヤの断面積の総計に対して断面積が0.4〜1.0%のPdによる被覆層2を形成する。この断面積比であると、図に示すように、FAB・ワイヤの境界付近に銅が過大な表面被覆層成分と反応する前に凝固がはじまることがない。このため、その境界付近が硬くなることがなく、キャピラリで1st接合を行う際にキャピラリに加わる衝撃が小さく、キャピラリ寿命を長くすることができる。芯材1に50質量ppm以下のPを添加すれば、芯材の酸素含有量が減少し、FABが安定的に真球状になる。
【選択図】図2a
Description
この発明は、IC、LSI、トランジスタ等の集積回路素子上の電極と、リードフレーム、セラミック基板、プリント基板等の回路配線基板の導体配線とをボールボンディング法によって接続するためのボンディングワイヤに関するものである。
この種のボンディングワイヤによるボールボンディング法による接続方法は、図3(a)〜(h)に示す態様が一般的であり、同図(a)に示す、ワイヤWがキャピラリ10aに挿通されてその先端にボール(FAB:Free Air Ball)bが形成された状態から、クランプ10bが開いて、キャピラリ10aが集積回路素子上の電極aに向かって降下する。このとき、ボール(FAB)bはキャピラリ10a内に捕捉され、電極aにボンディングされる。
ターゲットである電極aにボールbが接触すると(キャピラリ10aが電極aに至ると)、キャピラリ10aがボールbをグリップし、ボールbに熱・荷重・超音波を与え、それによってボールbが圧着されて(圧着ボールb’となって)と電極aと固相接合され、1stボンドが形成されて電極aと接着する(同図(b))。
1stボンドが形成されれば、キャピラリ10aは、一定高さまで上昇した後(同図(c))、導体配線cの真上まで移動する(同図(d)〜(e))。このとき、安定したループを形成するため、キャピラリ10aに特殊な動きをさせてワイヤWに「くせ」を付ける動作をする場合がある(同図(d)の鎖線から実線参照)。
1stボンドが形成されれば、キャピラリ10aは、一定高さまで上昇した後(同図(c))、導体配線cの真上まで移動する(同図(d)〜(e))。このとき、安定したループを形成するため、キャピラリ10aに特殊な動きをさせてワイヤWに「くせ」を付ける動作をする場合がある(同図(d)の鎖線から実線参照)。
導体配線cの真上に至ったキャピラリ10aは、導体配線cに向かって降下し、ワイヤWを導体配線(2ndターゲット)cに押し付ける(同図(e)〜(f))。これと同時に、その押付け部位に熱・荷重・超音波を与え、それによってワイヤWを変形させ、ワイヤWを導体配線c上に接合させるためのステッチボンドと、次のステップでテイルを確保するテイルボンドを形成する(同図(f))。
その両ボンドを形成した後、キャピラリ10aはワイヤWを残したまま上昇し、キャピラリ10aの先端に一定の長さのテイルを確保した後、クランプ10bを閉じて(ワイヤWをつかんで)、テイルボンドの部分からワイヤWを引きちぎる(同図(g))。
キャピラリ10aは、所要の高さまで上昇すると停止し、そのキャピラリ10aの先端に確保されたワイヤWの先端部分に、放電棒gでもって高電圧を掛けて火花を飛ばし(放電し)、その熱でワイヤWを溶かし、この溶けたワイヤ素材は表面張力によって球状に近いボールbになって固まる(同図(h))。
以上の作用で一サイクルが終了し、以後、同様な作用によって、電極aと配線導体cのボールボンディング法による接続がなされる。
このボールボンディング法による接続において、ボンディングワイヤWには、金線が主に使用されるが、金は高価であるため、近年、銅純度99.99質量%以上の安価な銅線を使用することが行われている。そのとき、銅は裸のままでは、表面の酸化が起こり易いことから、図1に示すように、銅線からなる芯線1に耐酸化金属2を被覆したものが使用されている。
その被覆金属(被覆層)2としては、金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、銀(Ag)、ニッケル(Ni)等が採用されている(特許文献1〜5)。
その被覆金属(被覆層)2としては、金(Au)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、銀(Ag)、ニッケル(Ni)等が採用されている(特許文献1〜5)。
この金属被覆の銅線からなるボンディングワイヤWにおいて、近年の電子部品の小型化等による集積回路素子間の極小化に伴い、上記ボールbをより小さくする必要から、ボンディングワイヤWにも小径のものが望まれ、そのためには、その径Lを50μm以下とするのが好ましいとされている(特許文献1段落0009)。
また、集積回路素子の電極aへの接続において、ボールbが下向き槍状(逆円錐状)になっていると、上記ボールbの電極aへの押し付け時、そのボールbの尖鋭端によって電極aを損傷させる恐れがあるため、ボールbはできるだけ、真球であることが好ましい。そのボールbの真球度を高めるために、上記被覆層2の厚みtを芯線(芯材1)径の0.001以下としたり(特許文献1請求項1)、同じく被覆層2の厚みtを0.001〜0.02μmとしたり(特許文献3請求項1)、同じく被覆層2の厚みtを0.021〜0.12μmとしたり(特許文献4請求項1)、芯材1の銅よりも高融点の耐酸化金属で被覆層2を形成したりしている(特許文献2段落0014)。また、被覆層2のPdまたはPtの周りにさらにAuの表皮層を設けることで真球度を高めることも提案されている。(特許文献5段落0011)
さらに、有機基板をベースにしたBGA(Ball Grid Array)などでは加熱温度(ステージ温度)を高くすると、有機基板の反りが発生して基板を正常にクランプできなくなり、ボンディング対象物が不安定な状態になるため、ボンディング性が著しく悪化する。このため、上記ワイヤWと電極a又は導体配線cとの接合時の加熱温度(ステージ温度)を低く、例えば、150℃程度にしても、十分な接合強度を担保するための種々の工夫、例えば、熱処理後に伸線する加工等もされている(特許文献3段落0020、同0054等)。
以上のように、耐酸化金属で銅線を被覆したボンディングワイヤWは、従来から、種々の工夫がなされてそれなりに好評を得ている。しかし、近年は作業の高速化が求められており、1st接合・2nd接合時の荷重・超音波発振の時間を短くしたり、ボンディング不良発生によるマシンストップをなくしたりするため、ボンディングワイヤWのボンド接合性をこれまで以上に向上させる必要がある。
また、最近、集積回路素子寸法の微細化とともに素子の高速化が進んでいるが、隣接する配線間のコンデンサ構造に蓄積される電荷の影響で信号伝達時間の遅延が起こっている。この電荷の影響を低減するためには絶縁膜の比誘電率を下げることが不可欠であるが、比誘電率を下げるために、例えば空孔率を上げれば、それに伴って絶縁膜は機械強度が低下し、非常に脆弱になる。このため、ボンディング工程においても、1st接合時にできるだけ低荷重で接合可能であることが求められ、ボールb(FAB)の低硬度化が必要である。
特許文献4には純銅からなる芯材1にP、B、Ir、Zr、Bi、Ti、Au、及び、希土類元素から選ばれる1種以上の元素を含有させ、その外周全面にPd等を被覆したボンディングワイヤが開示されているが、芯材1に銅以外の元素を必要以上に含有させると、ボールbの硬度が上がるため、脆弱な絶縁膜に対しては配線の破壊の恐れがあった。それらに加えて、特許文献4のボンディングワイヤWは裸の銅線と比べて硬くなるため、キャピラリ10aの寿命が短くなる不具合があった。キャピラリ10aの寿命を長くするには接合時の荷重や超音波発振のエネルギーを低くする必要があるが、その場合はステッチボンド接合性が悪くなる問題があった。
さらに、特許文献4、5には、純銅からなる芯材1にPを含有するものとするとともに、その外周全面にPd等を被覆したボンディングワイヤが開示されているが、芯材1にPを含有させた場合、放電棒gでもって放電してワイヤWの先端を溶融させてボールbを作製する際に、下記の化学式に示す通り、Pが酸素(O2)と反応してP2O5として飛散する。
4Cu3P + 5O2→ 12Cu + 2P2O5↑
このようにP2O5が飛散した場合、ボールb表面に小さな孔(ピット)が生じる。ボールbに生じたピットは1st接合後にも残るため、耐食性に悪影響を及ぼす問題があった。
以上のように、芯材にPを添加すると良好な形状のボールbを得やすくなるが、その添加量を多くしすぎるとボールbの高硬度化、表面の小さな孔発生による耐食性の劣化といった問題があった。
4Cu3P + 5O2→ 12Cu + 2P2O5↑
このようにP2O5が飛散した場合、ボールb表面に小さな孔(ピット)が生じる。ボールbに生じたピットは1st接合後にも残るため、耐食性に悪影響を及ぼす問題があった。
以上のように、芯材にPを添加すると良好な形状のボールbを得やすくなるが、その添加量を多くしすぎるとボールbの高硬度化、表面の小さな孔発生による耐食性の劣化といった問題があった。
また、ボンディング不良発生を防ぐために、過度にPd等を厚く被覆すると、ボールbとワイヤの境界付近の表面被覆層成分が高くなり、一種の偏析状態となることを確認した。すなわち、放電棒gでもって高電圧を掛けて火花を飛ばし(放電し)、その熱でボールbを作製する際に、過度な被覆層厚tであると、溶融した銅が過大な表面被覆層成分と反応する前に凝固がはじまり、表面被覆成分であるPdの濃度が高い部分が生成される(図2c、同d参照)。ボールbとワイヤ境界付近にこのような偏析が生じると、他の部分に比べてその偏析部分の硬度が高くなる。この偏析部分はキャピラリで1st接合を行う際にキャピラリに直接に接触するところであり、この部分の硬度が高くなると、キャピラリに加わる衝撃が大きくなり、キャピラリ寿命が短くなる問題があった。
さらに、ボールbとワイヤ境界付近にPd濃度の高い部分が生じると、相対的に他の部分のPd濃度、特にボールb先端付近のPd濃度が低くなる。その結果、1st接合部近傍のPd濃度が低くなるため、耐食性が劣化する問題があった。
さらに、ボールbとワイヤ境界付近にPd濃度の高い部分が生じると、相対的に他の部分のPd濃度、特にボールb先端付近のPd濃度が低くなる。その結果、1st接合部近傍のPd濃度が低くなるため、耐食性が劣化する問題があった。
この発明は、そのような実状の下、上記要求、特に、耐食性の向上とキャピラリの長寿命化の要求に応えることを課題とする。
上記課題を達成するために、この発明は、ボンディングワイヤWの線径Lを、50.8μm以下とし、Pdによる被覆層2を形成したのである。ここで、Pd被覆層2の断面積は、ワイヤの断面積の総計に対して0.1〜1.0%、より好ましくは0.4〜1.0%としたのである。
ボンディングワイヤWの線径Lを、50.8μm以下としたのは、上述の特許文献1ではその径Lを50μm以下としているが、50.8μm以下であれば、50μm以下と変わらない程度でもって、上記ボールbをより小さくできるからである(実施例8参照)。
また、線径Lの下限は特に規定しないが、12μm未満ではボンディング前にオペレータがワイヤWをキャピラリ10aに通すのが困難になり、作業性が悪くなる。
また、線径Lの下限は特に規定しないが、12μm未満ではボンディング前にオペレータがワイヤWをキャピラリ10aに通すのが困難になり、作業性が悪くなる。
芯材1は、純度99.99質量%以上の銅とし、必要に応じてPを50質量ppm以下添加する。FABを形成する際に、被覆層2の表面が酸化すれば、FABが真球状にならないため、放電棒gでもって放電する際に通常は窒素ガスまたは窒素に微量の水素を混合させたガスをワイヤWの先端付近に吹き付ける。これらのガスが完全にワイヤWの先端を覆い、酸素が完全に除外されていれば問題はないが、高速での作業の必要から放電棒gでの放電が次のボンディングポジションへの移動中に行われることがあることや、ボンディング装置の構成上、ガスの吹き付け方法に制約があり、酸素を完全に除外することが難しいことなどから、混入した酸素の影響を取り除く必要がある。その酸素を取り除く手段として、ワイヤWの芯材1にPを50質量ppm以下の適宜量を添加する。
すなわち、芯材1にPを添加すれば、図3(h)で示す、放電棒gでもって放電してワイヤWの先端を溶融させると、上記の化学式に示す通り、Pが酸素(O2)と反応してP2O5として飛散するため、結果として酸素を除去することができ、被覆層2や芯材1が酸化することなく、FABが安定的に真球状になる。
このとき、Pの添加量が50質量ppmを超えると、P2O5が大量に生成し、大気中に飛散するため、微細な空孔がFAB表面に大量に発生し、この空孔が1stボンドの信頼性劣化の原因となる。また、多量のPを添加することによってFAB硬度が上がり、Siチップ(電極a)の損傷による不良の可能性が高くなる。
このとき、Pの添加量が50質量ppmを超えると、P2O5が大量に生成し、大気中に飛散するため、微細な空孔がFAB表面に大量に発生し、この空孔が1stボンドの信頼性劣化の原因となる。また、多量のPを添加することによってFAB硬度が上がり、Siチップ(電極a)の損傷による不良の可能性が高くなる。
被覆金属をPdとしたのは、Pdが電子材料の被覆材として一般的であり、入手が比較的容易であるからである。さらに、Pdの融点は1554℃と、銅の融点(1083℃)よりも高いのでボールbを作製するための放電棒gでの放電時にPdが先に溶けず、銅が溶融して表面張力によって真上にワイヤを這い上がっていき、良好な真球状のボールbを得ることができる。Pdの純度については、芯材1の純銅と同様に99.99質量%以上(残部が不可避不純物)とすることが好ましい。
被覆層2はその厚みtが薄いほど、ボールbの硬度が低くなり、Siチップ(電極a)の損傷の可能性が低くなるが、薄すぎると、ステッチボンド接合の際に芯材1の銅が露出する度合いが大きくなり、被覆層2を有さない銅ワイヤ程度のステッチボンド接合性しか発現できない。例えば、比較例1〜3、7の実験結果から理解できるように、2回以上のマシンストップが生じる恐れがある。このため、その実施例と比較例の実験結果から、被覆層2はその断面積がワイヤの断面積の総計に対して0.1%以上となる厚みとする。また、0.4%以上であれば、ステッチボンド接合性がより高くなり、良好な結果を示す。
一方、被覆層2が厚いと、ボールbとワイヤの境界付近にPd濃度の高い偏析部分が生じる(図2c、同d参照)。その偏析部分は硬度が高く1st接合時に直接にキャピラリに接触するため、1st接合時の衝撃でキャピラリ寿命が短くなる。このため、例えば、実施例及び比較例1〜3、7の実験結果から理解できるように、被覆層2の断面積がワイヤの断面積の総計に対して1.0%以下であれば、その偏析部分が生じ難く、キャピラリ寿命が十分に長くなる。また、Pdがボールbに均一に広がるため、1st接合部の耐食性が高くなる。
一方、被覆層2が厚いと、ボールbとワイヤの境界付近にPd濃度の高い偏析部分が生じる(図2c、同d参照)。その偏析部分は硬度が高く1st接合時に直接にキャピラリに接触するため、1st接合時の衝撃でキャピラリ寿命が短くなる。このため、例えば、実施例及び比較例1〜3、7の実験結果から理解できるように、被覆層2の断面積がワイヤの断面積の総計に対して1.0%以下であれば、その偏析部分が生じ難く、キャピラリ寿命が十分に長くなる。また、Pdがボールbに均一に広がるため、1st接合部の耐食性が高くなる。
これらの構成のボンディングワイヤWの製造方法には種々のものが採用できるが、例えば、まず、純度99.99質量%以上の銅からなる芯材1の外周全面にPdによる被覆層2を形成する。その被覆層2は、電解メッキ、無電解メッキ、蒸着法等の周知の手段によって形成し、一般に、ワイヤWは大きな線径の銅ロッドをダイスに順次貫通させていくことにより、所定の線径に仕上げられるため、この工程途中の適宜な線径で被覆層2を前記手段により形成する。このとき、被覆する際の芯材1の線径は作業性・コストにより決定されるが、製造装置の制限から0.2〜0.8mmが一般的である。外周全面にPdを被覆された被覆線は、200〜500℃の炉(炉長300〜600mm)の中で走行速度10〜60m/分で拡散熱処理を施して芯材1と被覆層2の密着性を高めた後、線径50.8μm以下まで伸線し、その伸線したワイヤWに調質熱処理を施す。
その調質熱処理は、所定の線径まで伸線を行いリールに巻き取られたワイヤWを、巻き戻して管状の熱処理炉中に走行させ、再び巻き取りリールで巻き取ることによって連続熱処理を行う。管状の熱処理炉中には窒素ガスもしくは窒素に微量の水素を混合させたガスを流す。また、例えば、その炉温は400℃以上800℃以下として、走行速度は30〜90m/分で熱処理を行う。
完成したワイヤWは所定のスプールに小分けされて巻き上げられ、このスプールをボンディング装置に取り付けてワイヤWを繰り出すことによってボンディングに使用する。
この発明は、以上のようにしたので、安定した接合強度を有するとともにキャピラリの損傷を招き難い銅ボンディングワイヤを得ることができる。
純度99.99質量%以上の銅からなる0.2〜0.8mm径の銅線を用意し、その銅線にPdを電解メッキ法によってPd被覆し、その被覆線に拡散熱処理を施して銅線(芯材)1と被覆層2の密着性を高めた後、線径12〜50.8μmまで伸線し、窒素ガス中で調質熱処理を行い、被覆層2の厚みt:0.010〜0.160μmのボンディングワイヤW(表1に示す実施例1〜22及び比較例1〜12)を得た。
その各ボンディングワイヤWの連続ボンディング性、1st接合部のSiチップ(電極a)の損傷度合、耐食性、FAB・ワイヤの境界付近の観察、キャピラリ寿命の各試験を、下記の評価で行った。その評価結果を表2に示す。
「被覆層2の厚みt」
Arイオンで深さ方向に単位時間のスパッタを行い、その都度Pd濃度を測定していき、最外層のPd濃度の1/2の濃度になったところまでを被覆層2の厚みtとするオージェ分光分析法(AES)で測定した。厚さの換算には一般的なSiO2換算を用いた。
Arイオンで深さ方向に単位時間のスパッタを行い、その都度Pd濃度を測定していき、最外層のPd濃度の1/2の濃度になったところまでを被覆層2の厚みtとするオージェ分光分析法(AES)で測定した。厚さの換算には一般的なSiO2換算を用いた。
「芯材1のP濃度」
グロー放電質量分析(GDMS)法を用いて分析した。
グロー放電質量分析(GDMS)法を用いて分析した。
ワイヤ断面積と被覆層との断面積比:
100×[(L/2)2×π−{(L−2t)/2}2×π]/{(L/2)2×π}
=100×{(L2−(L−2t)2)}/L2
ここで、LはワイヤWの直径、tは被覆層2の厚みである。
100×[(L/2)2×π−{(L−2t)/2}2×π]/{(L/2)2×π}
=100×{(L2−(L−2t)2)}/L2
ここで、LはワイヤWの直径、tは被覆層2の厚みである。
「連続ボンディング性」
ボンディングマシンで10,000回の連続ボンディングを行った。この連続ボンディング試験は一般的なAgめっきリードフレームに対して行った。このとき、ステージ温度が低ければ、連続ボンディングが困難になる。ステージ温度150℃(±5℃)でマシンストップが発生しなければ「A」、ステージ温度150℃(±5℃)ではマシンストップが発生するがステージ温度200℃(±5℃)ではマシンストップが発生しなければ「B」、ステージ温度200℃(±5℃)でマシンストップが起これば「D」とした。
ボンディングマシンで10,000回の連続ボンディングを行った。この連続ボンディング試験は一般的なAgめっきリードフレームに対して行った。このとき、ステージ温度が低ければ、連続ボンディングが困難になる。ステージ温度150℃(±5℃)でマシンストップが発生しなければ「A」、ステージ温度150℃(±5℃)ではマシンストップが発生するがステージ温度200℃(±5℃)ではマシンストップが発生しなければ「B」、ステージ温度200℃(±5℃)でマシンストップが起これば「D」とした。
「1st接合部のSiチップ損傷」
ボンディング後、1stボール接合部直下のSiチップ損傷を評価するために、ボール接合部および電極膜を王水で溶解し、Siチップのクラックを光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した。このとき、100個の接合部を観察して5μm以下の微小なピットが1個もしくはまったく見られない場合は「A」、5μm以上のクラックが認められた場合は「D」とした。
ボンディング後、1stボール接合部直下のSiチップ損傷を評価するために、ボール接合部および電極膜を王水で溶解し、Siチップのクラックを光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した。このとき、100個の接合部を観察して5μm以下の微小なピットが1個もしくはまったく見られない場合は「A」、5μm以上のクラックが認められた場合は「D」とした。
「耐食性評価(HAST)」
ボンディング後、1stボール接合部の耐食性を評価するために、130℃/85%RH雰囲気中に168時間放置するHAST(Highly Accelerated Stress Test)を行った。ここで、HAST前後のシア強度を測定し、HAST前のシア強度(SSbとする)とHAST後のシア強度(SSaとする)の比(SSa/SSb×100)が70%を上回れば、耐食性があると考えて「A」、50%以上70%未満で、シア強度の低下の原因が1st接合部の微細な空孔からの腐食であったものについては「D1」、70%未満で1st接合部のPd濃度が低かったことがシア強度低下の原因であれば「D2」とした。
ボンディング後、1stボール接合部の耐食性を評価するために、130℃/85%RH雰囲気中に168時間放置するHAST(Highly Accelerated Stress Test)を行った。ここで、HAST前後のシア強度を測定し、HAST前のシア強度(SSbとする)とHAST後のシア強度(SSaとする)の比(SSa/SSb×100)が70%を上回れば、耐食性があると考えて「A」、50%以上70%未満で、シア強度の低下の原因が1st接合部の微細な空孔からの腐食であったものについては「D1」、70%未満で1st接合部のPd濃度が低かったことがシア強度低下の原因であれば「D2」とした。
「FAB・ワイヤの境界付近の観察」
市販のボンディングマシンで50個のFAB(ボールb)を作製し、そのFABとワイヤの境界付近の状態を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した。すべてが、図2a又は図2bの状態であれば「A」、ひとつでも図2c又は図2dの状態のものがあれば「D」とした。なお、FAB作製の際には放電棒gでワイヤ先端に放電させたが、そのときに窒素ガスを流して非酸化雰囲気とした。また、FABの直径をワイヤ径の1.9〜2.0倍としてボール形状の安定を図った。
市販のボンディングマシンで50個のFAB(ボールb)を作製し、そのFABとワイヤの境界付近の状態を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した。すべてが、図2a又は図2bの状態であれば「A」、ひとつでも図2c又は図2dの状態のものがあれば「D」とした。なお、FAB作製の際には放電棒gでワイヤ先端に放電させたが、そのときに窒素ガスを流して非酸化雰囲気とした。また、FABの直径をワイヤ径の1.9〜2.0倍としてボール形状の安定を図った。
「FAB・ワイヤ部のPd集積状況」
市販のボンディングマシンで10個のFAB(ボールb)を作製し、そのFABとワイヤの境界付近のPd濃度をエネルギー分散型X線分析装置(EDX)で分析した。ここで、Pdの集積状況を表すEDXによるカラーマッピングの結果(図2a(c)、図2c(c))の見方を示す。カラーマッピング横にあるカラーバー(下から、黒、青、緑、黄、赤)の上の色ほどPd濃度の濃い部分、下の色ほど薄い部分を表す。すなわち、図2a(c)において、白色の部分が最もPd濃度の濃い部分、続いて赤色、緑色、青色とPd濃度が薄くなり、黒色の部分はPdが最も薄いもしくは検出されなかった部分であることを表す。図2a(c)ではFAB(ボールb)の全体にわたりPd(黒い点)が広がっているのに対して、図2c(c)ではFAB(ボールb)のワイヤWに近い部分にPd(黒い点)の集積している部分が見られ、FAB(ボールb)の先端部分はPd濃度が低くなっている。全てが図2a(c)の状態であれば「A」、ひとつでも図2c(c)の状態のものがあれば耐食性に問題が出るため「D」とした。
なお、EDXによるカラーマッピングの結果でワイヤWとFAB(ボールb)境界近辺に黒色の部分があってPdが検出されていないが、これは、この部分から放出された特性X線がFAB(ボールb)によってはじかれて検出器に到達しなかったためである。
市販のボンディングマシンで10個のFAB(ボールb)を作製し、そのFABとワイヤの境界付近のPd濃度をエネルギー分散型X線分析装置(EDX)で分析した。ここで、Pdの集積状況を表すEDXによるカラーマッピングの結果(図2a(c)、図2c(c))の見方を示す。カラーマッピング横にあるカラーバー(下から、黒、青、緑、黄、赤)の上の色ほどPd濃度の濃い部分、下の色ほど薄い部分を表す。すなわち、図2a(c)において、白色の部分が最もPd濃度の濃い部分、続いて赤色、緑色、青色とPd濃度が薄くなり、黒色の部分はPdが最も薄いもしくは検出されなかった部分であることを表す。図2a(c)ではFAB(ボールb)の全体にわたりPd(黒い点)が広がっているのに対して、図2c(c)ではFAB(ボールb)のワイヤWに近い部分にPd(黒い点)の集積している部分が見られ、FAB(ボールb)の先端部分はPd濃度が低くなっている。全てが図2a(c)の状態であれば「A」、ひとつでも図2c(c)の状態のものがあれば耐食性に問題が出るため「D」とした。
なお、EDXによるカラーマッピングの結果でワイヤWとFAB(ボールb)境界近辺に黒色の部分があってPdが検出されていないが、これは、この部分から放出された特性X線がFAB(ボールb)によってはじかれて検出器に到達しなかったためである。
「キャピラリ寿命」
キャピラリ先端が割れたり、マシンストップが多発したりするまでのボンディング数をカウントした。実施例1〜20、比較例1〜12のボンディングワイヤWのボンディング数をCLW、裸の銅ワイヤ(純度:99.99%以上)のボンディング数をCLCuとし、CLW/CLCuが0.8以上であれば、実施例及び比較例のボンディングワイヤWに付き、裸の銅ワイヤと遜色ないと考えて「A」、0.8未満であればキャピラリを頻繁に取り換える必要があるため「D」とした。なお、キャピラリは一般的に銅ワイヤ用に用いられているジルコニア入りセラミックス製を用いた。
キャピラリ先端が割れたり、マシンストップが多発したりするまでのボンディング数をカウントした。実施例1〜20、比較例1〜12のボンディングワイヤWのボンディング数をCLW、裸の銅ワイヤ(純度:99.99%以上)のボンディング数をCLCuとし、CLW/CLCuが0.8以上であれば、実施例及び比較例のボンディングワイヤWに付き、裸の銅ワイヤと遜色ないと考えて「A」、0.8未満であればキャピラリを頻繁に取り換える必要があるため「D」とした。なお、キャピラリは一般的に銅ワイヤ用に用いられているジルコニア入りセラミックス製を用いた。
「総合評価」
評価がすべて「A」のものを「A」、ひとつでもBのあるものを「B」とした。また、評価のひとつでも「D」のあるものについては実用上問題であるので「D」とし、さらに、耐食性評価(HAST)が「D2」であるものについても「D」としたが、「D1」であるものについては、他の評価に「D」がなければ用途によっては使用することができると考えて「C」とした。
評価がすべて「A」のものを「A」、ひとつでもBのあるものを「B」とした。また、評価のひとつでも「D」のあるものについては実用上問題であるので「D」とし、さらに、耐食性評価(HAST)が「D2」であるものについても「D」としたが、「D1」であるものについては、他の評価に「D」がなければ用途によっては使用することができると考えて「C」とした。
この試験結果から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.1%未満であると、比較例1〜3、7から、連続ボンディング性が低下し、1.0%以上であると、比較例4〜6、8〜12から、FAB・ワイヤの境界付近の観察において、図2c、又は図2dで示されるように、その境界部分にPd濃度が高くて硬さの高い表面被覆成分Pdの偏析が生じて、キャピラリ寿命に問題が生じる(評価が「D」)。
一方、各実施例1〜20から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.1〜1.0%
であると、総合評価において「A」又は「B」を得て、実用上問題ない評価を得ており、さらに、各実施例1、2、5、6、8、10、11、14、15、17〜20から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.4〜1.0%であると、全ての評価が「A」となって総合評価において「A」を得ている。
また、実施例21、22、比較例2〜5、12から芯材1へのPの含有量が50質量ppmを超えると、耐食性の問題が生じており(評価が「D1」となり)、P添加の効果を得るのであれば、その添加量を50質量ppm以下とすることが好ましいことが分かる。しかし、実施例21、22から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.1〜1.0%であると、FAB・ワイヤ部のPd集積が認められずに耐食性に「D1」を得て、それ以外は、全て「A」となって、総合評価で「C」を得ており、用途によっては使用し得ることが理解できる。
一方、各実施例1〜20から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.1〜1.0%
であると、総合評価において「A」又は「B」を得て、実用上問題ない評価を得ており、さらに、各実施例1、2、5、6、8、10、11、14、15、17〜20から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.4〜1.0%であると、全ての評価が「A」となって総合評価において「A」を得ている。
また、実施例21、22、比較例2〜5、12から芯材1へのPの含有量が50質量ppmを超えると、耐食性の問題が生じており(評価が「D1」となり)、P添加の効果を得るのであれば、その添加量を50質量ppm以下とすることが好ましいことが分かる。しかし、実施例21、22から、ワイヤ断面積と被覆層との断面積比が0.1〜1.0%であると、FAB・ワイヤ部のPd集積が認められずに耐食性に「D1」を得て、それ以外は、全て「A」となって、総合評価で「C」を得ており、用途によっては使用し得ることが理解できる。
W ボンディングワイヤ
1 芯材
2 被覆層
a 集積回路素子の電極
b ボンディングボール
c 回路配線基板の導体配線
t 被覆層厚
L ボンディングワイヤ径
1 芯材
2 被覆層
a 集積回路素子の電極
b ボンディングボール
c 回路配線基板の導体配線
t 被覆層厚
L ボンディングワイヤ径
Claims (3)
- 集積回路素子の電極(a)と回路配線基板の導体配線(c)をボールボンディング法によって接続するための線径(L)50.8μm以下のボンディングワイヤ(W)であって、銅および不可避不純物の芯材(1)に、ワイヤの断面積の総計に対して断面積が0.1〜1.0%のPdによる被覆層(2)を形成したことを特徴とするボンディングワイヤ。
- 上記被覆層(2)の断面積がワイヤの断面積に対して0.4〜1.0%であることを特徴とする請求項1に記載のボンディングワイヤ。
- 上記芯材(1)に50質量ppm以下のPを添加したことを特徴とする請求項1又は2に記載のボンディングワイヤ。
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Cited By (2)
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-
2012
- 2012-01-26 JP JP2012014024A patent/JP2013042105A/ja active Pending
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