JP2013031856A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、該レーザビーム照射手段は、レーザビーム発生手段と、加工ヘッドとを含み、該加工ヘッドは、該レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して、該集光レンズで集光されたレーザビームが導光される液柱を形成する液体噴射手段とを有し、該レーザ加工装置は、該加工ヘッドと被加工物との間で該液柱の流れを阻害して該液柱が被加工物に衝突する衝撃を緩衝する緩衝部材と、該液柱の流れを阻害する作用位置と退避位置とに該緩衝部材を所定のタイミングで位置付ける位置付け手段と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図5
Description
T ダイシングテープ
F 環状フレーム
28 チャックテーブル
35 レーザビーム発生ユニット
36 加工ヘッド
38 撮像ユニット
69 レーザビーム
70 エアシリンダ(位置付け手段)
72 ピン(緩衝部材)
80 プレート(緩衝部材)
82 穴
84 緩衝部材
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、
該レーザビーム照射手段は、レーザビーム発生手段と、加工ヘッドとを含み、
該加工ヘッドは、該レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、
被加工物に液体を噴射して、該集光レンズで集光されたレーザビームが導光される液柱を形成する液体噴射手段とを有し、
該レーザ加工装置は、
該加工ヘッドと被加工物との間で該液柱の流れを阻害して該液柱が被加工物に衝突する衝撃を緩衝する緩衝部材と、
該液柱の流れを阻害する作用位置と退避位置とに該緩衝部材を所定のタイミングで位置付ける位置付け手段と、
を具備したことを特徴とするレーザ加工装置。
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