JP2011092966A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】噴射ノズルから噴射される液柱に沿って照射されるレーザー光線が飛散した水滴によって屈折することを抑制すること。
【解決手段】加工ヘッド7は、集光レンズ73によって集光されたレーザー光線LBの光軸に沿って液体を噴射する噴射ノズル748を備えた液柱形成機構74と、液柱形成機構74の下側に配設され、噴射ノズル748から噴射される液柱70が通過する貫通孔752aを有するポーラス部材752と、を有し、ポーラス部材752に連通した水滴吸引機構78によってポーラス部材752の下面に付着した水滴79をポーラス部材752内に吸引する。
【選択図】図2
【解決手段】加工ヘッド7は、集光レンズ73によって集光されたレーザー光線LBの光軸に沿って液体を噴射する噴射ノズル748を備えた液柱形成機構74と、液柱形成機構74の下側に配設され、噴射ノズル748から噴射される液柱70が通過する貫通孔752aを有するポーラス部材752と、を有し、ポーラス部材752に連通した水滴吸引機構78によってポーラス部材752の下面に付着した水滴79をポーラス部材752内に吸引する。
【選択図】図2
Description
本発明は、噴射ノズルから噴射された液柱に沿ってレーザー光線を照射して被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工装置に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状の半導体ウェーハは、その表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって、複数の領域に区画され、このストリートによって区画された領域にIC,LSI等のデバイスが形成される。そして、ストリートに沿って半導体ウェーハを切断することによってデバイスが形成された領域を分割することにより、個々の半導体デバイスが製造される。
ところで、近年、半導体ウェーハ等の板状の被加工物を分割する方法の一つとして、被加工物の表面に形成されたストリートに沿ってレーザー光線を照射することによってレーザー加工溝を形成し、レーザー加工溝に沿ってメカニカルブレーキング装置を当接させることによって、板状の被加工物を割断する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
ところが、半導体ウェーハの表面にレーザー加工溝を形成する場合、加工屑であるデブリが発生し、デブリがデバイスの表面に付着することによって、デバイスの品質が低下することがある。従って、半導体ウェーハの表面にレーザー加工溝を形成する場合には、半導体ウェーハの表面に予め保護被膜を被覆し、この保護被膜を通してレーザー光線を照射する必要がある。
しかしながら、保護被膜を被覆することによってデブリの発生を抑制する場合、半導体ウェーハの表面に保護被膜を被覆する工程を追加しなければならないために、デバイスの生産性が低下する。また、半導体ウェーハにレーザー光線を照射するとデバイスが加熱されるために、熱によってデバイスの品質が低下するという問題もある。
このような背景から、デバイスの生産性を低下させることなく、デブリの影響を解消すると共に半導体ウェーハの加熱を防ぐレーザー加工方法として、噴射ノズルから糸状の液柱を噴射し、この液柱に沿ってレーザー光線を照射するようにしたレーザー加工方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
このレーザー加工方法によれば、噴射ノズルから噴射された液体によってデブリが洗い流されるので、デブリがデバイスの表面に付着することによってデバイスの品質が低下することを防止できる。また、デブリの発生を抑制するために半導体ウェーハの表面に保護被膜を被覆する必要がないので、デバイスの生産性が低下することを抑制できる。また、レーザー加工時に発生する熱が噴射ノズルから噴射された液体によって冷却されるので、熱によってデバイスの品質が低下することを防止できる。
しかしながら、噴射ノズルから糸状の液柱を噴射し、この液柱に沿ってレーザー光線を照射する場合、液柱が半導体ウェーハの表面に衝突して飛散し、飛散した水滴が噴射ノズルの下面に付着し、付着した水滴が液柱の近傍で成長することによって、水滴が液柱に接触することがある。そして、水滴が液柱に接触した場合には、液柱が乱れることによって、レーザー光線が屈折し、半導体ウェーハの所定位置にレーザー光線を正確に照射することができなくなる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、噴射ノズルから噴射される液柱に沿って照射されるレーザー光線が飛散した水滴によって屈折することを抑制可能なレーザー加工装置を提供することにある。
上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るレーザー加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、チャックテーブルとレーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備し、レーザー光線照射手段は、レーザー光線発振器と、レーザー光線発振器から発振されたレーザー光線を集光する集光レンズを備えた加工ヘッドと、を具備するレーザー加工装置において、加工ヘッドは、集光レンズによって集光されたレーザー光線の光軸に沿って液体を噴射する噴射ノズルを備えた液柱形成機構と、液柱形成機構の下側に配設され、噴射ノズルから噴射される液柱が通過する貫通孔を有するポーラス部材と、を有し、ポーラス部材に連通した水滴吸引機構からの吸引によってポーラス部材の下面に付着した水滴をポーラス部材内に吸引することを特徴とする。
本発明に係るレーザー加工装置によれば、ポーラス部材の下面に付着した水滴はポーラス部材に連通した水滴吸引機構によってポーラス部材内に吸引されるので、噴射ノズルから噴射される液柱に沿って照射されるレーザー光線が飛散した水滴によって屈折することを抑制できる。
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態であるレーザー加工装置の構成について説明する。
〔レーザー加工装置の全体構成〕
始めに、図1を参照して、本発明の一実施形態であるレーザー加工装置の全体構成について説明する。
始めに、図1を参照して、本発明の一実施形態であるレーザー加工装置の全体構成について説明する。
図1は、本発明の一実施形態であるレーザー加工装置の全体構成を示す斜視図である。図1に示すように、本発明の一実施形態であるレーザー加工装置1は、静止基台2と、矢印Xで示す加工送り方向(X軸方向)に移動可能に静止基台2に配設され被加工物Wを保持するチャックテーブル機構3と、X軸方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に移動可能に静止基台2に配設されたレーザー光線照射ユニット支持機構4と、矢印Zで示す集光点位置調整方向(Z軸方向)に移動可能にレーザー光線照射ユニット支持機構4に配設されたレーザー光線照射ユニット5と、を具備する。
被加工物Wは、特に限定されないが、例えばシリコンウェーハやGaAsウェーハ等の半導体ウェーハ、チップ実装用として半導体ウェーハの裏面に設けられるDAF(Die Attach Film)等の粘着部材、半導体製品のパッケージ部材、セラミックス,ガラス,サファイア(Al2O3)等の無機材料基板、LCDドライバー等の各種電子部品、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料等を例示することができる。
チャックテーブル機構3は、X軸方向に沿って平行に静止基台2上に配設された一対の案内レール31,31と、X軸方向に移動可能に一対の案内レール31,31上に配設された第1の滑動ブロック32と、Y軸方向に移動可能に第1の滑動ブロック32上に配設された第2の滑動ブロック33と、円筒部材34によって第2の滑動ブロック33上に支持されたカバーテーブル35と、被加工物Wを保持するチャックテーブル36と、を具備する。
チャックテーブル36は、多孔性材料によって形成された吸着チャック361を具備し、図示しない吸引手段によって被加工物Wを吸着チャック361上に保持するようになっている。このように構成されたチャックテーブル36は、円筒部材34内に配設された図示しないパルスモータによって回転される。チャックテーブル36には、保護テープを介してウェーハを支持する環状のフレームを固定するためのクランプ362が配設されている。
第1の滑動ブロック32の下面には、一対の案内レール31,31と嵌合する一対の被案内溝321,321が設けられている。また、第1の滑動ブロック32の上面には、Y軸方向に沿って平行に形成された一対の案内レール322,322が設けられている。このように構成された第1の滑動ブロック32は、被案内溝321,321が一対の案内レール31,31に嵌合することによって、一対の案内レール31,31に沿ってX軸方向に移動可能に構成されている。
チャックテーブル機構3は、第1の滑動ブロック32を一対の案内レール31,31に沿ってX軸方向に移動させるための加工送り手段37を具備する。加工送り手段37は、一対の案内レール31,31間に平行に配設された雄ネジロッド371と、雄ネジロッド371を回転駆動するためのパルスモータ372等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド371の一端は、静止基台2に固定された軸受ブロック373に回転自在に支持されている。雄ネジロッド371の他端は、パルスモータ372の出力軸に伝動連結されている。
雄ネジロッド371は、第1の滑動ブロック32の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。これにより、第1の滑動ブロック32は、パルスモータ372によって雄ネジロッド371を正転及び逆転駆動することによって、一対の案内レール31,31に沿ってX軸方向に移動する。
第2の滑動ブロック33の下面には、第1の滑動ブロック32の上面に設けられた一対の案内レール322,322と嵌合する一対の被案内溝331,331が設けられている。第2の滑動ブロック33は、一対の被案内溝331,331を一対の案内レール322,322に嵌合させることにより、Y軸方向に移動可能に構成されている。
チャックテーブル機構3は、第1の滑動ブロック32に設けられた一対の案内レール322,322に沿って第2の滑動ブロック33をY軸方向に移動させるための第1の割り出し送り手段38を具備する。第1の割り出し送り手段38は、一対の案内レール322,322間に平行に配設された雄ネジロッド381と、雄ネジロッド381を回転駆動するためのパルスモータ382等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド381の一端は、第1の滑動ブロック32の上面に固定された軸受ブロック383に回転自在に支持されている。雄ネジロッド381の他端は、パルスモータ382の出力軸に伝動連結されている。
雄ネジロッド381は、第2の滑動ブロック33の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。これにより、第2の滑動ブロック33は、パルスモータ382によって雄ネジロッド381を正転及び逆転駆動することによって、一対の案内レール322,322に沿ってY軸方向に移動する。
レーザー光線照射ユニット支持機構4は、Y軸方向に沿って平行に静止基台2上に配設された一対の案内レール41,41と、Y軸方向に移動可能に一対の案内レール41,41上に配設された可動支持基台42と、を具備する。可動支持基台42は、一対の案内レール41,41上を移動可能に配設された移動支持部421と、移動支持部421に取り付けられた装着部422と、を具備する。装着部422の一側面には、Z軸方向に延びる一対の案内レール423,423が平行に設けられている。
レーザー光線照射ユニット支持機構4は、一対の案内レール41,41に沿って可動支持基台42をY軸方向に移動させるための第2の割り出し送り手段43を具備する。第2の割り出し送り手段43は、一対の案内レール41,41間に平行に配設された雄ネジロッド431と、雄ネジロッド431を回転駆動するためのパルスモータ432等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド431の一端は、静止基台2に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されている。雄ネジロッド431の他端は、パルスモータ432の出力軸に伝動連結されている。
雄ネジロッド431は、図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。図示しない雌ネジブロックは、可動支持基台42を構成する移動支持部421の中央部下面に突出して設けられている。これにより、可動支持基台42は、パルスモータ432によって雄ネジロッド431を正転及び逆転駆動することによって、一対の案内レール41,41に沿ってY軸方向に移動する。
レーザー光線照射ユニット5は、ユニットホルダ51と、ユニットホルダ51に取り付けられたレーザー光線照射手段52と、を具備する。ユニットホルダ51は、装着部422に設けられた一対の案内レール423,423に摺動可能に嵌合する一対の被案内溝511,511を具備する。ユニットホルダ51は、被案内溝511,511を一対の案内レール423,423に嵌合することにより、Z軸方向に移動可能に支持される。
レーザー光線照射ユニット5は、一対の案内レール423,423に沿ってユニットホルダ51をZ軸方向に移動させるための移動手段53を具備する。移動手段53は、一対の案内レール423,423間に配設された図示しない雄ネジロッドと、図示しない雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ532等の駆動源を有する。ユニットホルダ51とレーザー光線照射手段52とは、パルスモータ532によって図示しない雄ネジロッドを正転及び逆転駆動することにより、一対の案内レール423,423に沿ってZ軸方向に移動される。
本実施形態では、レーザー光線照射手段52は、パルスモータ532を正転駆動した場合、上方に移動し、パルスモータ532を逆転駆動した場合には、下方に移動するようになっている。
レーザー光線照射手段52は、ユニットホルダ51に固定された実質上水平に延出する円筒形状のケーシング521と、ケーシング521内に配設されたパルスレーザー光線発振手段6と、ケーシング521の先端に装着されたパルスレーザー光線発振手段6から発振されたレーザー光線を集光する加工ヘッド7と、を備える。パルスレーザー光線発振手段6は、YAGレーザー発信器又はYVO4レーザー発振器により構成されるパルスレーザー光線発振器61と、パルスレーザー光線発振器61に付設された繰り返し周波数設定手段62と、を備える。このように構成されたパルスレーザー光線発振手段6は、例えば波長532nm,繰り返し周波数40kHz,平均出力10Wのパルスレーザー光線を発振する。
このような構成を有するレーザー加工装置1では、被加工物Wは、環状のフレームFに装着されたダイジングテープTの表面に貼着された状態でチャックテーブル36の吸着チャック361上に搬送され、吸着チャック361に吸引保持される。このようにして被加工物Wを吸引保持したチャックテーブル36は、加工送り手段37の作動によって一対の案内レール31,31に沿って移動し、撮像手段11の直下に位置付けられる。
チャックテーブル36が撮像手段11の直下に位置付けられると、撮像手段11及び図示しない制御手段によって被加工物Wの所定方向に形成されているストリートと、加工ヘッド7との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、加工領域のアライメントを実行する。また、被加工物Wに形成されている所定方向に対して直交する方向に延びるストリートに対しても、同様に加工領域のアライメントが実行される。
以上のようにして、チャックテーブル36上に保持されている被加工物Wに形成されているストリートを検出し、加工領域のアライメントが実行されると、被加工物Wを保持したチャックテーブル36をレーザー光線照射手段52の加工領域に移動する。そして、被加工物Wに形成された所定のストリートを加工ヘッド7の直下に位置付ける。そして、レーザー光線照射手段52と加工送り手段37を作動させることにより、チャックテーブル36に保持された被加工物Wを所定のストリートに沿ってレーザー加工する。
〔加工ヘッドの構成〕
次に、図2及び図3を参照して、加工ヘッド7の構成について説明する。
次に、図2及び図3を参照して、加工ヘッド7の構成について説明する。
図2は、加工ヘッド7の構成を示す断面図である。図2に示すように、加工ヘッド7は、ヘッドハウジング71と、ヘッドハウジング71内に配設され、パルスレーザー光線発振手段6から発振されたレーザー光線を下方に向けて方向変換する方向変換ミラー72と、方向変換ミラー72によって方向変換されたレーザー光線を集光する集光レンズ73と、を備える。また、ヘッドハウジング71の下側には液柱形成機構74が配設され、液柱形成機構74の下側には水滴吸引部75が配設されている。
液柱形成機構74は、液体室741と外気導入室742とを形成する液体室形成ハウジング740を備える。液体室形成ハウジング740は、円筒状の側壁743と、側壁743の上面及び下面をそれぞれ閉塞する上壁744及び下壁745と、液体室741と外気導入室742とを区画する仕切壁746と、を備える。上壁744には、透明板747が配設されている。仕切壁746の中心部には、液体を噴出する噴射ノズル748が形成されている。なお、噴射ノズル748の噴射口748aは、レーザー光線の光軸上に形成されている。
液体室形成ハウジング740を構成する側壁743には、液体室741に開口する液体導入口741aが形成され、液体導入口741aは液体供給手段76に接続されている。液体供給手段76は、水等の液体供給源761と、液体供給源761と液体室形成ハウジング740を構成する側壁743に設けられた液体導入口741aとを接続する配管762と、配管762中に配設された電磁開閉弁763とを備える。電磁開閉弁763は、オフされている状態では液体供給源761と液体導入口741aとの連通を遮断し、オンされている状態では液体供給源761と液体導入口741aとを連通するように構成されている。
このように構成された液体供給手段76は、例えば13Mpaの圧力を有する液体を液体室741に供給する。液体供給手段76によって液体室741に供給された液体は、噴射ノズル748の噴射口748aから液柱となって外気導入室742を介して被加工物Wに向けて噴射される。なお、本実施形態では、液柱70の直径は、φ0.05mmに設定されている。
外気導入室742は、噴射ノズル748から噴射される液柱70が通過する挿通路749を備える。液体室形成ハウジング740を構成する側壁743には、外気導入室742に外気を導入する外気導入口742aが形成されている。液体室741と水滴吸引部75との間に外気導入室742を形成することによって、液体室741と水滴吸引部75との間に負圧が発生することにより生じる液柱70への悪影響を防止することができる。
図3は、水滴吸引部75の構成を示す上面図である。図3に示すように、水滴吸引部75は、円筒形状の筒部751と、筒部751によって支持された円板形状のポーラス部材752と、筒部751の上面に形成された吸引通路753と、を具備する。ポーラス部材752は、その中心部に貫通孔752aを備える。吸引通路753は、互いに等角度の位置に設けられ、水滴吸引機構78に連通している。水滴吸引部75は、図2に示すように、ポーラス部材752の挿通路749を貫通孔752aに挿通した状態で液体室形成ハウジング740の下壁745に装着される。
水滴吸引機構78は、図2に示すように、吸引源781と、吸引源781と吸引通路753とを接続する配管782と、配管782中に配設された電磁開閉弁783と、を備える。電磁開閉弁783は、オフされている状態では吸引源781と吸引通路753との連通を遮断し、オンされている状態では吸引源781と吸引通路753とを連通するように構成されている。従って、電磁開閉弁783がオンされ、吸引源781と吸引通路753が連通すると、ポーラス部材752の下面と上面との間に負圧が作用する。
〔加工ヘッドの作用〕
次に、図2を参照して、加工ヘッド7の作用について説明する。
次に、図2を参照して、加工ヘッド7の作用について説明する。
この加工ヘッド7では、液体供給手段76の電磁開閉弁763がオンされると、液体供給源761から配管762を介して液体室741に高圧液体が供給される。液体室741に供給された高圧液体は、噴射ノズル748の噴射口748aから液柱70となって噴出される。液柱70は、外気導入室742と挿通路749を通ってチャックテーブル36に保持される被加工物Wに向けて噴射される。一方、レーザー光発振手段6から発振されたレーザー光線LBは、方向変換ミラー72によって集光レンズ73に導かれ、集光レンズ73によって集光されつつ透明板747を通して液柱70に沿って照射される。従って、レーザー光線LBのスポットは液柱70の直径となる。
上述したレーザー光線照射時には、水滴吸引機構78の電磁開閉弁783がオンされる。この結果、吸引源781と吸引通路753が連通し、ポーラス部材752の下面と上面との間に負圧が作用する。上述したレーザー光線照射時には、液柱70は、チャックテーブル36に保持された被加工物Wの表面に衝突して飛散し、飛散した水滴79がポーラス部材752の下面に付着し、付着して水滴79が液柱70の近傍で成長することによって液柱70に水滴79が接触すると、液柱70が乱れてレーザー光線LBが屈折し、所定位置にレーザー光線LBを照射することができない。
ところが、本実施形態のレーザー加工装置1では、上述の通り、ポーラス部材752の下面と上面との間に負圧を作用させることができる。この結果、ポーラス部材752の下面に付着した水滴79はポーラス部材752内に吸引され、ポーラス部材752の下面に付着した水滴79が除去されるので、液柱70に水滴79が接触することにより、液柱70が乱れてレーザー光線LBが屈折し、所定位置にレーザー光線LBを照射することができなくなることを防止できる。
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、上記実施形態による本発明の開示の一部をなす記述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち上記実施形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施形態、実施例、及び運用技術等は、全て本発明の範疇に含まれる。
1 レーザー加工装置
7 加工ヘッド
36 チャックテーブル
37 加工送り手段
53 レーザー光線照射手段
61 パルスレーザー光線発振器
73 集光レンズ
70 液柱
74 液柱形成機構
75 水滴吸引部
78 水滴吸引機構
79 水滴
748 噴射ノズル
752 ポーラス部材
752a 貫通孔
LB レーザー光線
W 被加工物
7 加工ヘッド
36 チャックテーブル
37 加工送り手段
53 レーザー光線照射手段
61 パルスレーザー光線発振器
73 集光レンズ
70 液柱
74 液柱形成機構
75 水滴吸引部
78 水滴吸引機構
79 水滴
748 噴射ノズル
752 ポーラス部材
752a 貫通孔
LB レーザー光線
W 被加工物
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備し、
該レーザー光線照射手段は、レーザー光線発振器と、該レーザー光線発振器から発振されたレーザー光線を集光する集光レンズを備えた加工ヘッドと、を具備するレーザー加工装置において、
該加工ヘッドは、
該集光レンズによって集光されたレーザー光線の光軸に沿って液体を噴射する噴射ノズルを備えた液柱形成機構と、
該液柱形成機構の下側に配設され、該噴射ノズルから噴射される液柱が通過する貫通孔を有するポーラス部材と、を有し、
該ポーラス部材に連通した水滴吸引機構によって該ポーラス部材の下面に付着した水滴を該ポーラス部材内に吸引すること
を特徴とするレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009248175A JP2011092966A (ja) | 2009-10-28 | 2009-10-28 | レーザー加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009248175A JP2011092966A (ja) | 2009-10-28 | 2009-10-28 | レーザー加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011092966A true JP2011092966A (ja) | 2011-05-12 |
Family
ID=44110475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009248175A Pending JP2011092966A (ja) | 2009-10-28 | 2009-10-28 | レーザー加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2011092966A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2009
- 2009-10-28 JP JP2009248175A patent/JP2011092966A/ja active Pending
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CN111212702A (zh) * | 2017-10-13 | 2020-05-29 | 辛诺瓦有限公司 | 利用流体射流引导的激光束加工工件的设备及其组装 |
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