JP5501100B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Images
Description
28 チャックテーブル
36 レーザビーム照射機構
38 レーザビーム発生ユニット
42 加工ヘッド
58 集光レンズ
60 水柱生成手段
62 垂直筒
70 水柱生成口
71 水柱
72 透過窓
74 流入口
76 貯水室
78 流出口
80 水源
82 ポンプ
84 絞り弁
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、
該レーザビーム照射手段は、レーザビーム発生手段と、加工ヘッドとを含み、
該加工ヘッドは、該レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、該集光レンズによって集光されたレーザビームを被加工物に導く糸状の水の柱を生成する水柱生成手段とを含み、
該水柱生成手段は、水源と、該水源に接続され水を送出するポンプと、該ポンプによって送り出された水を受け入れる流入口が天上部近傍に形成され底部に向かう垂直な水の流れを生成する垂直筒と、該垂直筒の底部に形成され糸状の水の柱を生成して被加工物に噴射する水柱生成口と、該垂直筒の該底部近傍に形成され該水柱生成口を中心として外側に向う水の流れを生成する複数の流出口と、該垂直筒の天上部に形成され該集光レンズによって集光されるレーザビームを受け入れる透過窓と、
を含むことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記複数の流出口は絞り弁に接続され、該絞り弁の単位時間当たりの流量と該水柱生成口の単位時間当たりの流量とは実質的に同一であることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
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