JP2013030812A - Ledチップ固定用基板およびその製造方法 - Google Patents

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Hidenori Mine
英規 峯
Shinichi Sano
真一 佐野
Keiji Miyashita
啓二 宮下
Koichi Taniguchi
浩一 谷口
Susumu Hiraoka
晋 平岡
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
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    • H01L2224/48091Arched

Abstract

【課題】平板状の金属板を素材に用いて、板金加工によりLEDチップ収納用凹部やLE
Dチップ載置用凸部を形成する方法を用いて製造されるLEDチップ固定用基板を改良し
、LEDチップから放出される光(または、この光によって励起された波長変換物質が放
出するルミネッセンス光)が高効率で外部に取り出される発光装置の製造を可能とするL
EDチップ固定用基板を提供すること。
【解決手段】LEDチップ固定用基板10は、金属板11の一方の面にLEDチップ20
を収納するための凹部14を板金加工により形成した後、少なくとも該凹部の表面を含む
金属板11の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コーティング12を形成して得られ
る。
【選択図】図1

Description

本発明は、LEDチップを光源とする発光装置に用いるためのLEDチップ固定用基板と
、その製造方法に関する。
金属板をベースとしたLEDチップ固定用基板が公知である。非特許文献1には、金属板
(銅板)をエッチング加工して、その一方の面にLEDチップを載置するための凸部を設
けてなるLEDチップ固定用基板を用いた、発光装置が開示されている。この非特許文献
1に記載の発光装置では、凹凸面とされた銅板の表面の凹部に回路基板が圧着されており
、凸部上に固定されたLEDチップはボンディングワイヤによりこの回路基板と接続され
ている。特許文献1には、金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金
加工により形成してなるLEDチップ固定用基板が開示されている。この特許文献1に記
載のLEDチップ固定用基板では、ベースとなる金属板上に電気絶縁層を介して回路形成
用の導体層を積層してなる3層構造の絶縁金属基板を素材とし、プレス機などを用いた絞
り加工によって、LEDチップ収納用の窪みを形成している。これらの、金属板をベース
としたLEDチップ固定用基板は、放熱性に優れているために、青色〜紫外の光を放出す
るAlGaInN系LEDチップを光源とする発光装置、とりわけ、照明用や自動車のヘ
ッドライト用の発光装置に好適に使用することができる。なぜなら、AlGaInN系L
EDは発光波長が短いことから消費電力が大きく、動作時に大量の熱を放出するからであ
る。また、照明用や自動車のヘッドライト用の発光装置ではLEDが大電流で駆動される
ことから、放熱性の良いLEDチップ固定用基板の使用が必須だからである。
特開平2−78102号公報 特開2007−35748号公報 特開2007−42745号公報 特開2007−67116号公報 特開2006−351808号公報
「工業材料(日刊工業新聞社)」,2007年4月号(Vol.55、No.4),p.49
金属板をベースとするLEDチップ固定用基板は、平板状の金属板を素材に用いて、板金
加工によりLEDチップ収納用凹部やLEDチップ載置用凸部を形成する方法により、安
価かつ大量に製造することができる。本発明は、このような方法を用いて製造されるLE
Dチップ固定用基板を改良し、LEDチップから放出される光(または、この光によって
励起された波長変換物質が放出するルミネッセンス光)が高効率で外部に取り出される発
光装置の製造を可能とするLEDチップ固定用基板を提供することを、その主な目的とす
る。
上記目的を達成するための好適な手段として、次の発明を開示する。
(1)金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した
後、少なくとも該凹部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コ
ーティングを形成して得られる、LEDチップ固定用基板。
(2)金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した
後、少なくとも該凸部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コ
ーティングを形成して得られる、LEDチップ固定用基板。
(3)前記金属板がアルミニウムまたは銅を用いて形成されている、前記(1)または(
2)に記載のLEDチップ固定用基板。
(4)前記メタル反射層が銀を用いて形成されている、前記(1)〜(3)のいずれかに
記載のLEDチップ固定用基板。
(5)前記メタル反射層の表面を覆う透明な保護層を有している、前記(1)〜(4)の
いずれかに記載のLEDチップ固定用基板。
(6)前記凹部の外側に導体層を備えた回路基板を有し、前記凹部の底から見たとき、前
記導体層の表面の高さが、前記凹部の側壁面の高さと同じかまたはより高い、前記(1)
に記載のLEDチップ固定用基板。
(7)金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した
後、少なくとも該凹部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コ
ーティングを形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
(8)金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した
後、少なくとも該凸部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コ
ーティングを形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
金属板の一方の面に、LEDチップを収納するための凹部またはLEDチップを載置する
ための凸部を板金加工により形成した後、少なくとも該凹部の表面または該凸部の表面を
含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コーティングを形成して得られる
LEDチップ固定用基板は、板金加工の後で金属板上に高反射コーティングを形成するこ
とから、高反射コーティングが板金加工に起因する亀裂、しわ等を有さない高品質なもの
となる。従って、このLEDチップ固定用基板を用いることにより、LEDチップから放
出される光(または、この光によって励起された波長変換物質が放出するルミネッセンス
光)が高効率で外部に取り出される発光装置の製造が可能となる。
本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板を用いて構成した発光装 置の断面図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板の断面図である。 本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板の断面図である。
図1に、本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板を用いて構成した発光装置の
断面図を示す。図1に示す発光装置1は、LEDチップ収納用凹部14を有するLEDチ
ップ固定用基板10と、該LEDチップ収納用凹部14内に固定されたLEDチップ20
と、ボンディングワイヤ30と、LEDチップ20およびボンディングワイヤ30を覆う
保護コーティング40とを有している。以下の説明では、便宜上、LEDチップ固定用基
板の主たる構成要素である金属板の、LEDチップが固定される側の面を「おもて面」と
呼び、その反対側の面を「裏面」と呼ぶことにする。
LEDチップ固定用基板10は、金属板11と、金属板11のおもて面側に形成された高
反射コーティング12と、高反射コーティング12上の一部に形成された回路基板13と
を有している。回路基板13は、絶縁体層131とその上に形成された導体層132とか
ら構成されており、LEDチップ収納用凹部14の外側の高反射コーティング12上に設
けられている。LEDチップ20は凹部14内に固定され、その電極(図示せず)はボン
ディングワイヤ30により回路基板13の導体層132に接続されている。
発光装置1は、次のようにして製造することができる。
まず、図2に示すように、裸の金属板11を準備する。「裸」とは、金属板11が実質的
に金属材料のみから構成されていることを意味している。金属板11の材料に特に限定は
なく、各種の金属の単体や合金で形成されたものを用いることができる。アルミニウム(
Al)や銅(Cu)は、熱伝導性が良好で、加工性も良く、また材料コストも低いことか
ら、特に好ましい材料である。金属板11は、コーティング、表面処理、圧着などにより
形成された多層構造を有していてもよい。金属板11の厚さは、例えば、0.2mm〜5
mmであるが、板金加工による凹部の形成が容易となるように、好ましくは2mm以下、
より好ましくは1.5mm以下、更に好ましくは1mm以下である。
次に、図3に示すように、裸の金属板11のおもて面11aに、板金加工により凹部14
aを形成する。具体的な板金加工の方法としては、プレス機を用いた絞り加工が好ましく
例示される。この工程では、好ましくは1枚の金属板に多数の凹部を形成するが、便宜上
、図面にはひとつの凹部のみを示している。凹部14aの形状とサイズは、最終的に形成
しようとするLEDチップ収納用凹部14の形状とサイズに応じて(後工程で形成する高
反射コーティング12の膜厚等を考慮して)定める。形状は、半球状、円錐台状、角錐台
状などとすることができる他、溝状とすることも可能である。凹部14aの底は、後工程
で形成する高反射コーティング12を介してその上に載置するLEDチップ20を、安定
した姿勢にて固定し得るよう、平坦面とすることが好ましい。凹部14aの幅、深さ、側
壁面の傾斜角などは、発光装置の用途に応じて設計すればよい。最終的に形成しようとす
るLEDチップ収納用凹部14は、形状を円錐台状とする場合であれば、例えば、底面の
直径を0.4mm〜20mm、深さを0.1mm〜2mm、側壁面の傾斜角を10度〜8
0度とすることができる。なお、この例では、凹部14aを形成するにあたり、凹部の側
壁部分を形成すべき部分のみ、金属板11を裏面11b側からおもて面11a側に向かっ
て膨出するように変形させており、該変形させた部分を除き、金属板11の裏面11bは
平坦面となっている。そのために、この金属板11の裏面11bは、ヒートシンクなどの
外部の放熱構造体の平坦な表面に、密着させることができる。
次に、図4に示すように、金属板11のおもて面11a上に高反射コーティング12を形
成する。高反射コーティング12は、金属板11を加工した後に形成することによって、
亀裂、しわ等を有さない高品質なものとすることができる。高反射コーティング12の膜
厚に特に限定はない。
高反射コーティング12はメタル反射層を含む。メタル反射層は、金属板11を構成する
材料よりも、光反射性の高い金属で形成することが望ましい。光反射性の高い金属は、一
般的には銀白色の外観を有することが多く、具体的には銀(Ag)、アルミニウム(Al
)、ニッケル(Ni)などが好ましく例示される。これらの金属は単体または合金として
用いられる。特に好ましいのは銀である。メタル反射層の形成方法に限定はなく、蒸着、
スパッタリング、CVDなどの乾式メッキであってもよいし、メッキ液を用いて行う湿式
メッキ(電解メッキまたは無電解メッキ)であってもよく、また、乾式メッキと湿式メッ
キとを併用してもよい。
メタル反射層を銀で形成する場合、銀は変色劣化し易いことから、メタル反射層の最表面
に、チタン(Ti)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、ジルコニウム(Zr)
、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、クロム
(Cr)、亜鉛(Zn)、銅(Cu)などの遷移金属元素の単体あるいはこれらを合金化
させたものを、保護膜として形成してもよい。この保護膜の膜厚は、光吸収を最小限に抑
えるために、0.1nm〜100nmとすることが好ましい。銀に対するかかる保護膜の
技術は特許文献2(特開2007−35748)に開示されており、保護膜の形成方法そ
の他の詳細については特許文献2を参照されたい。その他、メタル反射層の表面保護につ
いては、特許文献3(特開2007−42745)、特許文献4(特開2007−671
16)、特許文献5(特開2006−351808)などに開示された技術を用いること
もできる。
好ましい実施形態では、高反射コーティング12が、メタル反射層の表面に形成された、
絶縁体材料からなる透明な絶縁保護層を含む。絶縁体材料は、一般に、可視波長域におけ
る光吸収が小さいことから、メタル反射層の保護膜の材料として好適である。この絶縁保
護層を低屈折率材料を用いて形成すると、高反射コーティング12の光反射性を向上させ
ることができる。低屈折率材料としては、2未満の屈折率を有する金属酸化物(酸化ケイ
素など)、ガラス、樹脂が、好ましく例示される。酸化ケイ素膜の場合は、プラズマCV
D法、真空蒸着法、ゾル−ゲル法などにより形成することができる。PSG(Phospho S
ilicate Glass)、BPSG(Boro-Phospho Silicate Glass)などからなるガラス膜
は、プラズマCVD法により形成することができる。樹脂としては、シリコーン樹脂、ア
クリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、およびこれらの変性樹脂から選択される透明
樹脂が好ましく例示される。樹脂膜は、印刷、スプレーなどの方法により形成することが
できる。高反射コーティングに最外層として絶縁保護層を設けることにより得られる他の
効果として、ボンディングワイヤ30と金属板11との短絡が防止されることが挙げられ
る。特に、高反射コーティング12を金属板11の加工後に形成することから、絶縁保護
層も亀裂などの欠陥を有さないものとなるので、良好な短絡防止効果が得られる。
次に、図5に示すように、高反射コーティング12上の一部に回路基板13を形成する。
回路基板13は一般的なものであってよく、例えば、ガラスエポキシ基板上に銅(Cu)
配線パターンを形成したものを使用できる。この場合、ガラスエポキシ基板が絶縁体層1
31にあたり、銅配線パターンが導体層132にあたる。このような回路基板は、接着剤
を用いて高反射コーティング12の表面に取り付けることができる。ここで、絶縁体層1
31の厚さ、導体層132の厚さなどを調節することによって、LEDチップ収納用凹部
14の底から見たときに、導体層132の表面の高さH132が、該凹部14の側壁面の
高さH14と同じかまたはより高くなるようにすると(H132−H14≧0)、ボンデ
ィングワイヤ30が凹部14の側壁面の頂部に接触し難くなるので、ボンディングワイヤ
30と金属板11との短絡を好ましく防止することができる。この効果をより確実に得る
ためには、H132−H14≧0.15(mm)とすることが好ましく、H132−H1
4≧0.3(mm)とすることがより好ましい。H132−H14>0.5(mm)とす
ると、LEDチップから放出される光が回路基板13の側面により受ける吸収が強くなる
ので、好ましくない。
次に、図6に示すように金属板11を切断して、個々に独立したLEDチップ固定用基板
10を得る。なお、工程の順序を変えて、この切断工程を、後述する、LEDチップ20
を実装する工程の後や、あるいは、保護コーティング40を形成する工程の後に行うこと
もできる。この切断工程は、前述の、高反射コーティング12を形成する工程の前や、回
路基板13を取り付ける工程の前に行っても構わない。
次に、図7に示すように、LEDチップ固定用基板10のLEDチップ収納用凹部14内
にLEDチップ20を固定する(チップ・ボンディング)とともに、ワイヤボンディング
を行う。LEDチップ20は、従来公知のものを用いてよく、AlGaAs系半導体を用
いた赤色LEDチップ、AlGaInP系半導体を用いた黄色LEDチップ、GaP系半
導体を用いた緑色LEDチップ、ZnSe系半導体を用いた緑〜青色LEDチップ、Al
GaInN系半導体を用いた緑色〜紫外LEDチップなどが例示される。LEDチップの
サイズに限定はなく、例えば、0.3mm角のものから、1mm角を越えるものまで使用
できる。
LEDチップの固定方法自体は、従来技術を用いてよい。図7は、正負の電極がチップの
一方の面上に設けられた水平電極構造のLEDチップを用いた場合を示しており、LED
チップ20には2本のボンディングワイヤ30が接続されている。LEDチップ20は、
接着剤を用いて高反射コーティング12の表面に固着されている。LEDチップ収納用凹
部14内には、LEDチップをサブマウント上に固定したアセンブリーを固定することも
できる。この場合、サブマウントに設けた電極と、回路基板13とをボンディングワイヤ
により接続する。ひとつのLEDチップ収納用凹部内に固定するLEDチップの個数は、
ひとつであってもよいし、複数であってもよい。複数とする場合、複数のLEDチップの
発光波長は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
最後に、LEDチップ20とボンディングワイヤ30を被覆する保護コーティング40を
形成する。保護コーティング40は、従来より知られているLEDチップ被覆用の透明な
樹脂またはガラスを用いて形成することができる。保護コーティング40は多層構造とし
てもよい。例えば、LEDチップ20とボンディングワイヤ30を軟質樹脂で埋め込んだ
うえで、その上から硬質樹脂を被覆して、保護コーティング40を2層構造とすると、ボ
ンディングワイヤ30の断線を防止することができる。軟質樹脂としては、シリコーン樹
脂、ポリ−4−メチルペンテン、ウレタン樹脂、アクリル系樹脂、ポリオレフィン、ゴム
系ポリマーなどが例示される。硬質樹脂としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリ
カーボネート、環状オレフィン系重合体などが例示される。LEDチップ20の発光波長
が青色〜紫外の場合には、脂環式エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、環状オレフィン重合体
などの、劣化による黄変が生じ難い樹脂、あるいは、ガラス材料を用いて保護コーティン
グ40を形成することが好ましい。保護コーティング40内には、LEDチップ20から
放出される光を散乱または乱反射させる粒子状物を分散したり、LEDチップ20から放
出される光で励起されて、この光とは異なる波長のルミネッセンス光を放出する波長変換
物質を分散することができる。保護コーティング40はレンズ機能を有する形状など、種
々の形状に成形することができる。
以上、実施例を用いて本発明を説明したが、本発明は上記実施例の構成に限定されるもの
ではない。
図1に示すLED固定用基板10では、高反射コーティング12が金属板11のおもて面
全体を覆うように形成されているが、必須ではない。高反射コーティングはLEDチップ
収納用凹部の表面のみに設けてもよく、その場合、該凹部内の一部(例えば、凹部の側壁
面)のみを覆うように形成してもよい。
前記の例では、予め組み立てられた回路基板(ガラスエポキシ基板を用いたもの)を金属
板上に接着固定しているが、本発明のLED固定用基板に設ける回路基板は、金属板のお
もて面上に絶縁体層と導体層とを順次形成することにより構成することもできる。絶縁体
層はエポキシ樹脂、(架橋)ポリオレフィン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポ
リカーボネート、アクリル系樹脂などで形成することができ、好ましくは、熱伝導性を高
めるために、アルミナ粉末やガラス繊維などの無機フィラーを充填する。絶縁体層の形成
は塗布、印刷、スプレーなどの方法を用いて行うことができる。導体層のパターンに応じ
て、絶縁体層のパターニングを行うこともできる。一実施形態では、高反射コーティング
に設ける絶縁保護層に、回路基板の絶縁体層を兼用させることもできる。回路基板の導体
層は、金属箔の貼り合わせ、メッキ(湿式メッキ、乾式メッキ)、印刷により塗布した金
属微粒子層を焼結させる方法、などの方法を用いて、絶縁体層上に形成することができる
。導体層の材料は、例えば、銅(Cu)、アルミニウム(Al)などの単体や合金である
。導体層は多層構造を有していてもよく、例えば、銅層の表面にニッケル(Ni)メッキ
を施したものや、その上に更に金(Au)メッキを施したものであってよい。導体層のパ
ターニングは公知の方法(サブトラクティブ法、アディティブ法)を用いて行うことがで
きる。
図8に断面図を示すLEDチップ固定用基板は、本発明の他の実施形態に係るLEDチッ
プ固定用基板である。この図8に示すLEDチップ固定用基板はLEDチップ載置用凸部
15を有するものであり、金属板11と、金属板11のおもて面側に形成された高反射コ
ーティング12と、高反射コーティング12の一部上に形成された回路基板13とから構
成されている。金属板11の成形は板金加工により行われており、高反射コーティング1
2は、該板金加工がなされた後に、金属板11の表面に形成されたものである。LEDチ
ップ載置用凸部15の高さは、例えば、0.3mm〜5mmである。LEDチップ載置用
凸部15の上面は好ましくは平坦面であり、該上面の形状は、例えば、円形、楕円形また
は多角形(三角形、正方形、長方形、正六角形など)である。LEDチップ載置用凸部1
5はリッジ状に形成することも可能である。LEDチップ載置用凸部15の上面を正方形
とする場合、その一辺の長さは、例えば、0.4mm〜5mmである。LEDチップ載置
用凸部15上に固定するLEDチップのサイズに限定はなく、0.3mm角のものから1
mm角以上のものであり得る。ひとつのLEDチップ載置用凸部15上に固定することの
できるLEDチップの数は、例えば、1個〜5個である。高反射コーティング12は、金
属板11のおもて面の全体を覆うように形成する代わりに、LEDチップ載置用凸部の上
面のみを覆うように形成してもよい。図示していないが、LEDチップ載置用凸部15上
に固定されるLEDチップから放出される光を反射させるためのリフレクタを、LEDチ
ップ載置用凸部15を取り囲むように設けることもできる。
図9に断面図を示すLEDチップ固定用基板は、本発明の他の実施形態に係るLEDチッ
プ固定用基板である。この図9に示すLEDチップ固定用基板は、LEDチップ収納用凹
部14を有するとともに、該凹部14内に設けられたLEDチップ載置用凸部15を有す
るものであり、金属板11と、金属板11のおもて面側に形成された高反射コーティング
12と、図示しない回路基板とから構成されている。金属板11の成形は板金加工により
行われており、高反射コーティング12は、該板金加工がなされた後に、金属板11の表
面に形成されたものである。ひとつのLEDチップ収納用凹部内に設けられるLEDチッ
プ載置用凸部の数は、1個であってもよいし、複数であってもよい。LEDチップ収納用
凹部が溝であり、その内側に、LEDチップ載置用凸部を該溝に平行なリッジ状に形成す
ることもできる。
本発明のLEDチップ固定用基板において、基板ひとつ当りに設けられるLEDチップ収
納用凹部またはLEDチップ載置用凸部の個数に限定はなく、1個であってもよいし、数
個であってもよく、数十個を超える数であってもよい。本発明のLEDチップ固定用基板
に1個ないし複数個のLEDチップを固定してなる発光装置は、SMD型LEDパッケー
ジ(「チップLED」と呼ばれるものを含む)であり得るし、チップ・オン・ボード型の
発光ユニットであり得る。
本発明により提供されるLEDチップ固定用基板は、高出力が要求される照明用や自動車
のヘッドライト用の発光装置に、好適に使用することができる。
1 発光装置
10 LEDチップ固定用基板
11 金属板
12 高反射コーティング
13 回路基板
131 絶縁体層
132 導体層
14 LEDチップ収納用凹部
15 LEDチップ載置用凸部
20 LEDチップ
30 ボンディングワイヤ
40 保護コーティング

Claims (8)

  1. 金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した後、少
    なくとも該凹部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コーティ
    ングを形成して得られる、LEDチップ固定用基板。
  2. 金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した後、少
    なくとも該凸部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コーティ
    ングを形成して得られる、LEDチップ固定用基板。
  3. 前記金属板がアルミニウムまたは銅を用いて形成されている、請求項1または2に記載の
    LEDチップ固定用基板。
  4. 前記メタル反射層が銀を用いて形成されている、請求項1〜3のいずれかに記載のLED
    チップ固定用基板。
  5. 前記メタル反射層の表面を覆う透明な保護層を有している、請求項1〜4のいずれかに記
    載のLEDチップ固定用基板。
  6. 前記凹部の外側に導体層を備えた回路基板を有し、前記凹部の底から見たとき、前記導体
    層の表面の高さが、前記凹部の側壁面の高さと同じかまたはより高い、請求項1に記載の
    LEDチップ固定用基板。
  7. 金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した後、少
    なくとも該凹部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コーティ
    ングを形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
  8. 金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した後、少
    なくとも該凸部の表面を含む該金属板の一方の面上にメタル反射層を含む高反射コーティ
    ングを形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
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