JP5205806B2 - Ledチップ固定用基板およびその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、LEDチップを光源とする発光装置に用いるためのLEDチップ固定用基板と、その製造方法に関する。
金属板をベースとしたLEDチップ固定用基板が公知である。非特許文献1には、金属板(銅板)をエッチング加工して、その一方の面にLEDチップを載置するための凸部を設けてなるLEDチップ固定用基板と、該LEDチップ固定用基板を用いた発光装置が開示されている。特許文献1および特許文献2には、金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成してなるLEDチップ固定用基板が開示されている。例えば、ベースとなる金属板上に電気絶縁層を介して回路形成用の導体層を積層してなる3層構造の絶縁金属基板を素材とし、プレス機などを用いた絞り加工によって、LEDチップ収納用の窪みを形成したものである。これらの、金属板をベースとしたLEDチップ固定用基板は、放熱性に優れているために、青色〜紫外の光を放出するAlGaInN系LEDチップを光源とする発光装置、とりわけ、照明用や自動車のヘッドライト用の発光装置に好適に使用することができる。なぜなら、AlGaInN系LEDは発光波長が短いことから消費電力が大きく、動作時に大量の熱を放出するからである。また、照明用や自動車のヘッドライト用の発光装置ではLEDが大電流で駆動されることから、放熱性の良いLEDチップ固定用基板の使用が必須だからである。
「工業材料(日刊工業新聞社)」,2007年4月号(Vol.55、No.4),p.49 特開平2−78102号公報 特開2007−27433号公報
金属板をベースとするLEDチップ固定用基板は、平板状の金属板を素材として、板金加工によりLEDチップ収納用凹部やLEDチップ載置用凸部を形成する方法により、安価かつ大量に製造することができる。この方法では、より薄い金属板を用いることにより、LEDチップ収納用凹部をより深く形成したり、あるいは、より複雑な形状に形成することが可能となり、加えて、製造時の不良品の発生率も低く抑えることができる。なぜなら、薄い金属板ほど加工性が良いからである。しかしながら、金属板は薄くすると熱伝導能力が低くなるので、金属板をベースとするLED固定用基板では、薄い金属板を用いることにより、上記の利点が得られる反面、その最大の特長である放熱性が損なわれるという問題が生じる。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その主な目的は、板金加工に適した薄い金属板を用いながらも、放熱性に優れた、LEDチップ固定用基板を提供することである。
上記目的を達成するための好適な手段として、次の発明を開示する。
(1)金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成して得られる、LEDチップ固定用基板。
(2)金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成して得られる、LEDチップ固定用基板。
(3)前記金属板の厚さが2mm以下である、前記(1)または(2)に記載のLEDチップ固定用基板。
(4)前記メッキ金属層の厚さが、前記金属板の厚さの0.5倍以上である、前記(1)〜(3)のいずれかに記載のLEDチップ固定用基板。
(5)前記メッキ金属層の表面が平坦である、前記(1)〜(4)のいずれかに記載のLEDチップ固定用基板。
(6)前記金属板がアルミニウムまたは銅を用いて形成されている、前記(1)〜(5)のいずれかに記載のLEDチップ固定用基板。
(7)前記メッキ金属層が銅、ニッケルまたは銀を用いて形成されている、前記(1)〜(6)のいずれかに記載のLEDチップ固定用基板。
(8)金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
(9)金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
(10)前記メッキ金属層の形成に湿式メッキを用いる、前記(8)または(9)に記載の製造方法。
(11)前記メッキ金属層を形成する工程の後に、前記メッキ金属層の表面を平坦化する工程または前記メッキ金属層の表面の平坦性を改善する工程を有する、前記(8)〜(10)のいずれかに記載の製造方法。
上記にいう、金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成して得られる、LEDチップ固定用基板は、〔金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成する工程〕と、〔前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成する工程〕とを、この順序で含む製造方法を実際に用いて得られるものに限定される。また、上記にいう、金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成して得られる、LEDチップ固定用基板は、〔金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成する工程〕と、〔前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成する工程〕とを、この順序で含む製造方法を実際に用いて得られるものに限定される。
金属板の一方の面に、LEDチップを収納するための凹部や、LEDチップを載置するための凸部などを板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成して得られるLEDチップ固定用基板は、板金加工に適した薄い金属板を用いた場合であっても、メッキ金属層が伝熱媒体として働き、金属板の熱伝導性の低下を補うために、全体として放熱性の低下が抑えられたものとなる。
以下の説明では、便宜上、LEDチップ固定用基板の、LEDチップが固定される側の面を「おもて面」と呼び、その反対側の面を「裏面」と呼ぶことにする。
図1に、本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板を用いて構成した発光装置の断面図を示す。図1に示す発光装置1は、LEDチップ固定用基板10と、該基板10上に固定されたLEDチップ20と、LEDチップ20およびボンディングワイヤ40を保護するためのコーティング30とを有している。
LEDチップ固定用基板10は、裏面側からおもて面側に向かって、メッキ金属層11、金属板12、電気絶縁層13、導体層14を、この順に有している。LEDチップ固定用基板10は、そのおもて面側に、板金加工によって形成された、LEDチップ収納用の凹部15を有している。メッキ金属層11は、この凹部15を形成した後に形成されたものであり、その表面(すなわち、LEDチップ固定用基板10の裏面)は平坦面となっている。LEDチップ20は凹部15内に固定され、その一方の電極(図示せず)が、ボンディングワイヤ40により導体層14に接続されている。
発光装置1は、次のようにして製造することができる。
まず、図2に示すように、平板状の金属板12の上に電気絶縁層13と導体層14とがこの順に形成されてなる、絶縁金属基板を準備する。金属板12の材料に特に限定はなく、各種の金属の単体や合金で形成されたものを用いることができる。アルミニウム(Al)や銅(Cu)は、熱伝導性が良好で、加工性も良く、また材料コストも低いことから、特に好ましい材料である。これらは、単体として用いてもよいし、合金として用いてもよい。金属板12は、コーティング、表面処理、貼り合わせなどにより形成された多層構造を有していてもよい。金属板12の厚さは、例えば、0.1mm〜5mmであるが、板金加工による凹部15の形成が容易となるように、好ましくは1.5mm以下、より好ましくは1mm以下、更に好ましくは0.5mm以下とする。電気絶縁層13は、例えば、エポキシ樹脂、(架橋)ポリオレフィン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート、アクリル系樹脂などで形成され、好ましくは、熱伝導性を高めるために、アルミナ粉末やガラス繊維などの無機フィラーが充填される。導体層14の材料は、導電性の良好な金属材料であればよく、好ましくは、銅、アルミニウムなどの単体や合金である。導体層14は多層構造を有していてもよく、例えば、銅層の表面にニッケル(Ni)メッキを施したものや、その上に更に金(Au)メッキを施したものであってもよい。好ましい絶縁金属基板の具体例としては、アルミニウム板の上に、絶縁性樹脂組成物からなる絶縁層と、銅箔からなる導体層が順に形成された、いわゆるアルミベース基板が挙げられる。
導体層14は、凹部15を形成する前に、所定の配線パターンにパターニングしておく。導体層14のパターニングの方法は、サブトラクティブな方法(絶縁層の全面に形成された導体層から不要な部分を取り除いて配線パターンを残す方法)であっても、アディティブな方法(導体層が形成されていない絶縁層の上に、導体層を最初からパターニングされた状態に形成する方法)であってもよい。配線パターン自体は、従来公知の配線パターンを適宜採用することができる。
凹部15の形成予定領域には、凹部15を形成したときに、凹部15の内面が導体層14によって覆われた状態(但し、導体層からなる電極の正負の部分を分けるために、導体層の無い部分が存在する)となるように、導体層14をパターニングしておくことが好ましい。これは、金属膜である導体層14を反射層として利用するためである。反射層として利用する導体層14の表面には、LEDチップ20の発光波長に応じて、当該発光波長での反射率が良好な金属を用いた光沢メッキを施すことが好ましい。導体層14を反射層として利用する代わりに、凹部15内に、導体膜とは別個に反射膜を形成することも可能である。その場合の反射膜は、例えば、無機フィラーを充填した白色の樹脂層や、金属蒸着層などとすることができる。導体膜とは別個に設ける反射膜の形成は、後述の凹部15を形成する工程の後に行ってもよい。
次に、図3に示すように、絶縁金属基板の導体層14側の面に、板金加工により凹部15を形成する。具体的な板金加工の方法としては、プレス機を用いた絞り加工が好ましく例示される。好ましい実施形態では、この工程において、プレス金型を用いて1枚の絶縁金属基板に多数の凹部15を同時に形成するが、便宜上、図面にはひとつの凹部のみを示している。凹部15の形状は、半球状、円錐台状、角錐台状、円柱状、角柱状などとすることができる他、溝状とすることも可能である。凹部15の底は、LEDチップ20を安定した姿勢にて固定し得るよう、平坦面とすることが好ましい。凹部15の幅、深さ、側壁面の傾斜角などは、発光装置の用途に応じて設計すればよい。凹部15を円錐台状とする場合であれば、例えば、凹部の底部の直径を0.4mm〜20mm、深さを0.1mm〜2mm、側壁面の傾斜角を10度〜80度とすることができる。
次に、図4に示すように、金属板12の、凹部15を形成した面とは反対側の面に、メッキ金属層11を形成する。メッキ金属層11は、この例のように、金属板12の片面全部を覆うように形成することが好ましいが、限定されるものではなく、金属板の片面を部分的に覆うように形成してもよい。メッキ金属層11の形成方法は、好ましくは、メッキ液を用いて行う湿式メッキ(電解メッキまたは無電解メッキ)であるが、蒸着、スパッタリング、CVDなどの乾式メッキを用いてもよく、また、湿式メッキと乾式メッキとを併用してもよい。メッキ金属層11の材料としては、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、金(Au)、銀(Ag)などが好ましく例示される。これらは、単体として用いてもよいし、合金として用いてもよい。メッキ金属層11を湿式メッキで形成する場合の材料としては、ニッケルまたは銅が特に好ましい。放熱性向上の観点からは、メッキ金属層11を、金属板12の材料よりも熱伝導性の高い材料を用いて形成することが好ましいが、限定されるものではない。放熱性向上の観点から好ましいメッキ金属層11の材料は、銀、金、銅、アルミニウムである。メッキ金属層11の厚さは、例えば、0.1mm〜5mmであり、好ましくは0.3mm以上、より好ましくは0.5mm以上、更に好ましくは1mm以上である。メッキ金属層11の形成による放熱性の改善効果を十分なものとするためには、メッキ金属層11の厚さt11(厚さ最大である部分の厚さ)の、金属板12の厚さ(凹部15を形成する前の、平板状態のときの厚さ)t12に対する比率(t11/t12)を、0.5以上とすることが好ましく、1以上とすることがより好ましく、1.5以上とすることが更に好ましい。この比率t11/t12は10以上であってもよい。
メッキ金属層11は、厚く形成すると、その形成の過程で表面が自動的に平坦化してくる。メッキ金属層11の形成を完了した後、研磨によって、その表面を平坦化したり、または、その表面の平坦性を改善してもよい。メッキ金属層11の表面の平坦性を高くすると、この表面をヒートシンクなどの外部の放熱構造体の表面に密着させることができる。よって、発光装置の構造として、このLEDチップ固定用基板に流れ込んだ熱を外部の放熱構造体を通して逃がす構造を、好ましく採用することができる。なお、メッキ金属層11の表面の平坦化処理は、後述する、凹部15内にLEDチップ20を固定する工程の後や、あるいは、コーティング30を形成する工程の後に行うこともできる。
次に、図5に示すように、メッキ金属層11を形成した絶縁金属基板を切断して、個々に独立したLEDチップ固定用基板10を得る。なお、工程の順序を変えて、この切断工程を、後述する、凹部15内にLEDチップ20を固定する工程の後や、あるいは、コーティング30を形成する工程の後に行うこともできる。
次に、図6に示すように、LEDチップ固定用基板10の凹部15内にLEDチップ20を固定する(チップ・ボンディング)とともに、ワイヤボンディングを行う。LEDチップ20は、従来公知のものを用いてよく、AlGaAs系半導体を用いた赤色LEDチップ、AlGaInP系半導体を用いた黄色LEDチップ、GaP系半導体を用いた緑色LEDチップ、ZnSe系半導体を用いた緑〜青色LEDチップ、AlGaInN系半導体を用いた緑色〜紫外LEDチップなどが例示される。LEDチップのサイズに限定はなく、例えば、0.3mm角のものから、1mm角を越えるものまで使用できる。
LEDチップの固定方法自体は、従来技術を用いてよい。図6は、正負の電極がチップの対向する2つの面上にそれぞれ設けられる垂直電極構造のLEDチップを用いた場合を示しており、一方の電極はハンダや導電ペーストなどの導電性接合材料によって、導体層14のパターニングにより形成されたリード電極の一方に接続し(それによりチップ・ボンディングも完了する)、他方の電極は、ボンディングワイヤ40によって他方のリード電極に接続している。チップの一方の面上に正負両方の電極を設けた水平電極構造のLEDチップを用いる場合には、2本のボンディングワイヤを用いてLEDチップ側の電極とLEDチップ固定用基板側の電極を接続してもよいし、あるいは、ワイヤレスボンディング(フリップチップボンディング)を採用することもできる。上記の他に、LEDチップをサブマウント上に固定したアセンブリーを、LEDチップ固定用基板の凹部内に固定することもできる。ひとつの凹部内に固定するLEDチップの個数はひとつであってもよいし、複数であってもよく、複数とする場合には、複数のLEDチップの発光波長は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
サファイア基板などの絶縁性基板上に形成された半導体層を有する水平電極構造のLEDチップを固定する場合には、凹部15内の電気絶縁層13および導体層14を部分的に除去し、それによって露出する金属板12上に直接LEDチップを固定することも可能である。金属板12上に直接LEDチップを固定すると、LEDチップから生じる熱を極めて効果的に放散させることができる。絶縁性材料からなるサブマウント(裏面に電極を設けていないもの)の上にLEDチップを固定したアセンブリーの場合も、同様に、露出した金属板上に直接固定することができる。
最後に、LEDチップ20とボンディングワイヤ40を被覆するコーティング30を形成する。コーティング30は、従来より知られているLEDチップ被覆用の透明な樹脂またはガラスを用いて形成することができる。コーティング30は多層構造としてもよい。例えば、LEDチップ20とボンディングワイヤ40を軟質樹脂で埋め込んだうえで、その上から硬質樹脂を被覆して、コーティング30を2層構造とすると、ボンディングワイヤ40の断線を防止することができる。軟質樹脂としては、シリコーン樹脂、ポリ−4−メチルペンテン、ウレタン樹脂、アクリル系樹脂、ポリオレフィン、ゴム系ポリマーなどが例示される。硬質樹脂としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート、環状オレフィン系重合体などが例示される。LEDチップ20の発光波長が青色〜紫外の場合には、脂環式エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、環状オレフィン重合体などの、劣化による黄変が生じ難い樹脂、あるいは、ガラス材料を用いてコーティング30を形成することが好ましい。コーティング30内には、LEDチップ20から放出される光を散乱または乱反射させる粒子状物を分散したり、LEDチップ20から放出される光で励起されて、この光とは異なる波長のルミネッセンス光を放出する波長変換物質を分散することができる。コーティング30はレンズ状に形成することができるが、限定されるものではない。
以上、一実施例を用いて本発明を説明したが、本発明は上記実施例の構成に限定されるものではない。
本発明のLEDチップ固定用基板は、いわゆる絶縁金属基板を出発材料に用いて製造されるものに限定されない。本発明のLEDチップ固定用基板は、裸の金属板に板金加工によってLEDチップ収納用凹部を形成した後に、おもて面側への導体回路(電気絶縁層上に形成された導体層からなる回路)の形成と、裏面側へのメッキ金属層の形成とを行ったものであってもよい。このようなLEDチップ固定用基板を製造する際、導体回路を形成する工程と、メッキ金属層を形成する工程の順序に特に限定はない。この実施形態において、導体回路の形成は、裸の金属板上に電気絶縁層と導体層を順次形成することにより行うことができる。電気絶縁層は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート、アクリル系樹脂など。好ましくは、アルミナ粉末やガラス繊維などの無機フィラーが充填される)、セラミックなどの材料を用いて、金属板上に、塗布、印刷、スプレーなどの方法により形成することができる。後の工程で形成する導体層のパターンに応じて、電気絶縁層のパターニングを行うこともできる。導体層は、金属箔の貼り合わせ、メッキ(湿式メッキ、乾式メッキ)、印刷により塗布した金属微粒子層を焼結させる方法、などの方法を用いて、電気絶縁層上に形成する。導体層のパターニングは、サブトラクティブ法で行ってもよいし、アディティブ法で行ってもよい。裸の金属板上に導体回路を形成する他の方法として、自立した電気絶縁層(例えば、ガラスエポキシ基板)の上に導体層からなる配線パターンを形成したアセンブリーを形成しておいて、そのアセンブリーを裸の金属板に貼り付ける方法も採用し得る。
本発明のLEDチップ固定用基板は、図7に断面図を示すLEDチップ固定用基板のように構成したものを含む。図7に示すLEDチップ固定用基板の特徴は、LEDチップ収納用凹部15の底15aの位置が、当該凹部15を取り囲んでいる、金属板12が平面状である部分の表面12aから見て、基板のおもて面側に向かって突き出した位置にあるところである。なお、図7では、電気絶縁層および導体層の図示を省略している。
本発明のLEDチップ固定用基板は、図8に断面図を示すLEDチップ固定用基板のように構成したものを含む。図8に示すLEDチップ固定用基板の特徴は、LEDチップ収納用凹部15内に、LEDチップを載置するための突出部16が形成されているところである。このような突出部は、ひとつのLEDチップ収納用凹部内に、ひとつだけでなく、複数個設けてもよい。なお、図8では、電気絶縁層および導体層の図示を省略している。
本発明のLEDチップ固定用基板は、図9に断面図を示すLEDチップ固定用基板のように構成したものを含む。図9に示すLEDチップ固定用基板の特徴は、LEDチップ収納用凹部15内に、LEDチップを載置するための窪み17が更に設けられているところである。このような窪みは、ひとつのLEDチップ収納用凹部内に、ひとつだけでなく、複数個設けてもよい。なお、図9では、電気絶縁層および導体層の図示を省略している。
本発明が提供する製造方法によれば、薄い金属板に板金加工を施すことによって、図8や図9に示すような、LEDチップ収納用凹部が複雑な形状に形成されたLEDチップ固定用基板を、簡便に大量生産することができる。前述の通り、薄い金属板を用いることにより生じるLEDチップ固定用基板の放熱性の低下は、メッキ金属層を設けることによって補われる。
本発明のLEDチップ固定用基板は、図10に断面図を示すLEDチップ固定用基板のように構成したものを含む。図10に示すLEDチップ固定用基板は、金属板12と、金属板12から見て裏面側に形成されたメッキ金属層11と、おもて面側に接着されたプリント基板(Printed Circuit Board)Cとを有しており、かつ、金属板12が板金加工されることによって、そのおもて面側にLEDチップ載置用凸部18が形成されている。メッキ金属層11はこの凸部18を形成するための板金加工が行われた後に、金属板12上に形成されたものである。プリント基板Cは、ガラスエポキシ基板である電気絶縁層13と、その上に形成され、パターニングされた、銅箔からなる導体層14とから構成されている。LEDチップ載置用凸部18の高さは、例えば、0.3mm〜5mmである。LEDチップ載置用凸部18の上面は好ましくは平坦面であり、その平面形状は、例えば、円形、楕円形、多角形(三角形、正方形、長方形、正六角形など)である。凸部18をリッジ状に形成することも可能である。LEDチップ載置用凸部18の上面を正方形とする場合、その一辺の長さは、例えば、0.4mm〜5mmである。LEDチップ載置用凸部18上に固定するLEDチップのサイズに限定はなく、0.3mm角のものから、1mm角以上のものであり得る。ひとつのLEDチップ載置用凸部18上に固定することのできるLEDチップの数は、例えば、1個〜5個である。図示していないが、LEDチップ載置用凸部18上に固定されるLEDチップから放出される光を反射させるためのリフレクタを、LEDチップ載置用凸部18を取り囲むように設けることもできる。
LEDチップ固定用基板ひとつ当りに設けられるLEDチップ収納用凹部やLEDチップ載置用凸部の個数に限定はなく、1個であってもよいし、数個であってもよく、数十個を超える数であってもよい。本発明のLEDチップ固定用基板に1個ないし複数個のLEDチップを固定してなる発光装置は、チップ・オン・ボード型の発光ユニットであり得る。
本発明により提供される、良好な放熱性を有するLEDチップ固定用基板を用いることによって、LEDチップから放出される光(または、この光によって励起された波長変換物質が放出するルミネッセンス光)が高効率で外部に取り出される発光装置を製造することができる。本発明により提供されるLEDチップ固定用基板は、青色〜紫外の光を放出するAlGaInN系LEDチップを光源とする発光装置、とりわけ、照明用や自動車のヘッドライト用の発光装置に、好適に使用することができる。
本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板を用いて構成した発光装 置の断面図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 図1に示す発光装置の製造方法を説明するための図である。 本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板の断面図である。 本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板の断面図である。 本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板の断面図である。 本発明の一実施形態に係るLEDチップ固定用基板の断面図である。
符号の説明
1 発光装置
10 LEDチップ固定用基板
11 メッキ金属層
12 金属板
13 電気絶縁層
14 導体層
15 LEDチップ収納用凹部
16 突出部
17 窪み
18 LEDチップ載置用凸部
20 LEDチップ
30 コーティング
40 ボンディングワイヤ

Claims (11)

  1. 金属板の一方の面にLEDチップを収納するための凹部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
  2. 金属板の一方の面にLEDチップを載置するための凸部を板金加工により形成した後、前記金属板の他方の面上にメッキ金属層を形成する、LEDチップ固定用基板の製造方法。
  3. 前記メッキ金属層の形成に湿式メッキを用いる、請求項またはに記載の製造方法。
  4. 前記メッキ金属層を形成する工程の後に、前記メッキ金属層の表面を平坦化する工程または前記メッキ金属層の表面の平坦性を改善する工程を有する、請求項1〜3のいずれかに記載の製造方法。
  5. 前記板金加工を行う前の前記金属板の前記一方の面上に、絶縁層を介して配線パターンが設けられている、請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法。
  6. 前記板金加工を行った後に、前記金属板の前記一方の面上に絶縁層を介して配線パターンを配置する工程を有する、請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法。
  7. 前記メッキ金属層の形成に乾式メッキを用いる、請求項1または2に記載の製造方法。
  8. 前記金属板の厚さが1.5mm以下である、請求項1または2に記載の製造方法。
  9. 前記メッキ金属層の厚さを、前記金属板の厚さの0.5倍以上とする、請求項1または2に記載の製造方法。
  10. 前記金属板がアルミニウムまたは銅を用いて形成されている、請求項1または2に記載の製造方法。
  11. 前記メッキ金属層をニッケル、銅、アルミニウム、金または銀を用いて形成する、請求項1または2に記載の製造方法。
JP2007131087A 2007-05-09 2007-05-16 Ledチップ固定用基板およびその製造方法 Expired - Fee Related JP5205806B2 (ja)

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