JP2013029405A5 - 位置計測装置、光学部品の製造方法、型の製造方法および成形品 - Google Patents

Description

本発明に係る位置計測装置は、光源と前記光源から出射された光の一部を反射する第１反射面、該第１反射面を透過した光を反射する第２反射面、を有し、前記第１反射面によって反射される反射光と前記第２反射面によって反射される反射光とによって干渉光を形成すると共に、これら第１反射面及び第２反射面との相対距離を周期的に変化させる目盛部と、前記干渉光の光強度を検出する受光センサと、前記光源と前記目盛部とが平行に相対移動することにより変化する、前記干渉光の光強度の周期変化を、位置情報へと演算する演算部と、を備えたことを特徴とする。

本発明に係る光学部品の製造方法は、被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、光学部品を製造する光学部品の製造方法であって、前記位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工することを特徴とする。
本発明に係る型の製造方法は、被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、型を製造する型の製造方法であって、前記位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工することを特徴とする。

本発明の成形品は、前記型の製造方法によって製造された型を用いて成形されることを特徴とする。

Claims (8)

1. 光源と、
   前記光源から出射された光の一部を反射する第１反射面、該第１反射面を透過した光を反射する第２反射面、を有し、前記第１反射面によって反射される反射光と前記第２反射面によって反射される反射光とによって干渉光を形成すると共に、これら第１反射面及び第２反射面との相対距離を周期的に変化させる目盛部と、
   前記干渉光の光強度を検出する受光センサと、
   前記光源と前記目盛部とが平行に相対移動することにより変化する、前記干渉光の光強度の周期変化を、位置情報へと演算する演算部と、を備えた、
   ことを特徴とする位置計測装置。
2. 前記受光センサを、複数有すると共に、
   前記第１反射面もしくは、前記第２反射面の少なくとも一方は、同一平面上の異なる２方向に高さが周期的に増減する形状パターンが形成され、
   複数の前記受光センサを、いずれかの前記受光センサが前記形状パターンの各方向の高さの増減に基づく光強度の周期変化を常に検出可能な位置関係となるように配設した、
   請求項１記載の位置計測装置。
3. 前記第１反射面もしくは、前記第２反射面の少なくとも一方は、一方向に向けて切った際に、三角波形状の断面を有する、
   請求項１記載の位置計測装置。
4. 前記光源及び前記目盛部の間に配設された回折格子と、
   前記回折格子及び前記目盛部の間に配設され、該回折格子を通過した回折光を平行光にする光学レンズと、を有する、
   請求項１乃至３のいずれか１項記載の位置計測装置。
5. 前記光源及び前記目盛部の間に配設された第１回折格子と、
   前記第１回折格子及び前記目盛部の間に配設され、該第１回折格子を通過した回折光を平行光にする第２回折格子と、を有する、
   請求項１乃至３のいずれか１項記載の位置計測装置。
6. 被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、光学部品を製造する光学部品の製造方法であって、
   請求項１乃至５のいずれか１項記載の位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工する、
   ことを特徴とする光学部品の製造方法。
7. 被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、型を製造する型の製造方法であって、
   請求項１乃至５のいずれか１項記載の位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工する、
   ことを特徴とする型の製造方法。
8. 請求項７記載の型の製造方法によって製造された型を用いて成形された、
   ことを特徴とする成形品。