JP2013025296A - 電極構造体、電極構造体の製造方法ならびに電気光学素子 - Google Patents
電極構造体、電極構造体の製造方法ならびに電気光学素子 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明に係る電極構造体は、第1の電極層と、有機物層と、第2の電極層とを具備する。有機物層は、第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、第1の電極層からの高さが第1の高さより小さい第2の高さである第2の樹脂領域とを有し、第1の電極層上に形成される。第2の電極層は、有機物層の第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、有機物層の第2の樹脂領域上に、第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する。
【選択図】図1
Description
上記有機物層は、上記第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、上記第1の電極層からの高さが上記第1の高さより小さい第2の高さである第2の樹脂領域とを有し、上記第1の電極層上に形成される。
上記第2の電極層は、上記有機物層の上記第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、上記有機物層の上記第2の樹脂領域上に、上記第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する。
上記有機物層上に第2の電極層が形成される。
凹凸部を有する金型面を上記第2の電極層および上記有機物層に転写することで、上記第2の電極層が第1の電極領域と第2の電極領域とに分離しつつ、上記有機物層に、上記第1の電極領域によって被覆され上記第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、上記第2の電極領域によって被覆され上記第1の電極層からの高さが上記第1の高さよりも小さい第2の高さである第2の樹脂領域とが形成される。
上記有機物層は、光入射面と、光出射面と、上記第1の電極層からの高さが第1の高さを有する第1の樹脂領域と、上記第1の電極層からの高さが上記第1の高さより小さい第2の高さを有する第2の樹脂領域とを有し、上記第1の樹脂領域と上記第2の樹脂領域とが上記光入射面から上記光出射面に向かって交互に配置される。
上記第2の電極層は、上記有機物層の上記複数の第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、上記有機物層の上記複数の第2の樹脂領域上に、上記第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する。
上記有機物層は、上記第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、上記第1の電極層からの高さが上記第1の高さより小さい第2の高さである第2の樹脂領域とを有し、上記第1の電極層上に形成される。
上記第2の電極層は、上記有機物層の上記第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、上記有機物層の上記第2の樹脂領域上に、上記第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する。
上記有機物層上に第2の電極層が形成される。
凹凸部を有する金型面を上記第2の電極層および上記有機物層に転写することで、上記第2の電極層が第1の電極領域と第2の電極領域とに分離しつつ、上記有機物層に、上記第1の電極領域によって被覆され上記第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、上記第2の電極領域によって被覆され上記第1の電極層からの高さが上記第1の高さよりも小さい第2の高さである第2の樹脂領域とが形成される。
上記有機物層は、光入射面と、光出射面と、上記第1の電極層からの高さが第1の高さを有する第1の樹脂領域と、上記第1の電極層からの高さが上記第1の高さより小さい第2の高さを有する第2の樹脂領域とを有し、上記第1の樹脂領域と上記第2の樹脂領域とが上記光入射面から上記光出射面に向かって交互に配置される。
上記第2の電極層は、上記有機物層の上記複数の第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、上記有機物層の上記複数の第2の樹脂領域上に、上記第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する。
[電極構造体の構成]
図1は、本発明の一実施形態に係る電極構造体1の要部の構成を示す図であり、図1(A)は断面図、図1(B)は斜視図である。電極構造体1は、下部基板2と、下部電極層(第1の電極層)3と、有機物層4と、上部電極層(第2の電極層)5とを有する。なお、図中のX軸方向およびY軸方向は平面方向を示し、Z軸方向はこれらに垂直な方向を示す。
図2および図3は、電極構造体1の製造方法を示す要部断面図である。以下、図2および図3を参照して説明する。
まず、下部基板2の上に下部電極層3を形成する(図2(A))。形成方法は特に制限されず、例えば蒸着やスパッタ法で形成することができる。なお、厚みも特に制限されず、例えば0.1μmである。
次に、下部電極層3の上に有機物層4を形成する(図2(B))。形成方法は特に制限されず、例えば蒸着やスピンコート法で形成することができる。なお、この工程において形成される有機物層4の厚みは、例えば1.4μmである。
続いて、有機物層4の上に上部電極層5を形成する(図2(C))。形成方法は特に制限されず、例えば蒸着やスパッタ法で形成することができる。なお、厚みも特に制限されず、例えば0.1μmである。
次に、インプリント法(あるいはナノインプリント法)を用いて、有機物層4および上部電極層5に対するパターン加工を行う。
以上のような電極構造体1は、例えば電気光学素子10に用いることができる。なお本実施形態では、第1の実施形態と重複する部分は説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。
図6は、電気光学素子10の構成を示す断面図である。電気光学素子10は、電極構造体1を構成する下部基板2と、下部電極層(第1の電極層)3と、有機物層4と、上部電極層(第2の電極層)5とに加えて、さらに最上部電極層6、上部基板7とを有する。
2・・・下部基板
3・・・下部電極層
4・・・有機物層
5・・・上部電極層
6・・・最上部電極層
7・・・上部基板
10・・・電気光学素子
20・・・金型
21・・・金型面
P・・・柱状部
C・・・光入射面
E・・・光出射面
L・・・光軸方向
Claims (6)
- 第1の電極層と、
前記第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、前記第1の電極層からの高さが前記第1の高さより小さい第2の高さである第2の樹脂領域とを有し、前記第1の電極層上に形成された有機物層と、
前記有機物層の前記第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、前記有機物層の前記第2の樹脂領域上に、前記第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する第2の電極層と
を具備する電極構造体。 - 請求項1に記載の電極構造体であって、
前記有機物層は熱可塑性樹脂からなる
電極構造体。 - 請求項1または2に記載の電極構造体であって、
前記有機物層は強誘電体からなる
電極構造体。 - 請求項3に記載の電極構造体であって、
前記有機物層はフッ化ビニリデン/三フッ化エチレン(VDF/TrFE)共重合体からなる
電極構造体。 - 第1の電極層上に有機物層を形成し、
前記有機物層上に第2の電極層を形成し、
凹凸部を有する金型面を前記第2の電極層および前記有機物層に転写することで、前記第2の電極層を第1の電極領域と第2の電極領域とに分離させつつ、前記有機物層に、前記第1の電極領域によって被覆され前記第1の電極層からの高さが第1の高さである第1の樹脂領域と、前記第2の電極領域によって被覆され前記第1の電極層からの高さが前記第1の高さよりも小さい第2の高さである第2の樹脂領域とを形成する
電極構造体の製造方法。 - 第1の電極層と、
光入射面と、光出射面と、前記第1の電極層からの高さが第1の高さを有する第1の樹脂領域と、前記第1の電極層からの高さが前記第1の高さより小さい第2の高さを有する第2の樹脂領域とを有し、前記第1の樹脂領域と前記第2の樹脂領域とが前記光入射面から前記光出射面に向かって交互に配置された有機物層と、
前記有機物層の前記第1の樹脂領域上に形成された第1の電極領域と、前記有機物層の前記第2の樹脂領域上に、前記第1の電極領域と分離して形成された第2の電極領域とを有する第2の電極層と
を具備する電気光学素子。
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JPS6380232A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-11 | Kuraray Co Ltd | 薄膜型高分子音響光学光偏向素子 |
JPH06291377A (ja) * | 1993-03-30 | 1994-10-18 | Casio Comput Co Ltd | 圧電素子およびその製造方法 |
JP2004205767A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 光学素子、光偏向器、光分波器、光波長変換器、光変調器、光伝送装置、および光学素子の製造方法。 |
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- 2011-07-26 JP JP2011163206A patent/JP5807224B2/ja active Active
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