JP2013019053A5 - - Google Patents
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Claims (20)
- 基板に薄膜を蒸着するための気相蒸着装置であって、
排気口を具備するチャンバと、
前記チャンバ内に配置され、前記基板を装着するように装着面を具備するステージと、
前記基板の薄膜が形成される平面方向と平行にガスを注入する少なくとも一つ以上の注入ホールを具備する注入部と、
前記基板と対向し、前記基板と離隔するように配置されるプラズマ発生部と、を含む気相蒸着装置。 - 前記プラズマ発生部は、反応ガスを注入する供給部、第１プラズマ電極、第２プラズマ電極及び取出口を具備することを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記第１プラズマ電極と第２プラズマ電極との間でプラズマが発生し、前記プラズマは、前記取出口を介して、前記基板に向かって進むことを特徴とする請求項２に記載の気相蒸着装置。
- 前記プラズマ発生部は、複数のモジュールを具備し、
前記各モジュールは、前記反応ガスを注入する供給部、第１プラズマ電極、第２プラズマ電極及び取出口を具備することを特徴とする請求項２に記載の気相蒸着装置。 - 前記プラズマ発生部は、前記基板と平行に配置されたことを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記プラズマ発生部は、前記基板に対応するように、前記基板と同サイズであるか、あるいは前記基板より大きく形成されたことを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記基板上に所望のパターンで蒸着するための開口部を具備するマスクをさらに含み、前記マスクは、基板上に配置されることを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記ステージは、複数の基板を装着するように、複数の装着面を具備することを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記複数の装着面は、互いに平行に配置されることを特徴とする請求項８に記載の気相蒸着装置。
- 前記複数の装着面は、前記ステージの一面及びその反対面に形成されたことを特徴とする請求項８に記載の気相蒸着装置。
- 前記複数の装着面に配置される基板に対応するように、複数のプラズマ発生部が配置されることを特徴とする請求項８に記載の気相蒸着装置。
- 前記チャンバ内で、前記基板が前記ステージに装着された状態で、前記基板及び前記プラズマ発生部を移動させるように、前記ステージ及び前記プラズマ発生部を駆動する駆動部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記駆動部は、前記基板が前記ステージに装着された状態で、前記基板の薄膜が形成される平面方向と垂直方向に移動するように、前記ステージ及び前記プラズマ発生部を移動させることを特徴とする請求項１２に記載の気相蒸着装置。
- 前記駆動部は、往復動することを特徴とする請求項１２に記載の気相蒸着装置。
- 前記駆動部は、前記ステージ及び前記プラズマ発生部を同時に移動することを特徴とする請求項１２に記載の気相蒸着装置。
- 前記駆動部は、前記ステージを移動させる第１駆動部、及び前記プラズマ発生部を移動させる第２駆動部を具備することを特徴とする請求項１２に記載の気相蒸着装置。
- 前記装着面は、重力が作用する方向と平行に配置されることを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 前記注入部は、地面から前記ステージより遠く離れるように配置されたことを特徴とする請求項１に記載の気相蒸着装置。
- 基板に薄膜を蒸着するための気相蒸着方法であって、
チャンバ内に配置されるステージの装着面に、基板を装着する段階と、
前記基板と対向するように配置されたプラズマ発生部と前記基板との間の空間に、注入部を介して、前記基板の薄膜が形成される平面方向と平行にソースガスを注入する段階と、
前記チャンバの排気口を介して、排気工程を遂行する段階と、
前記プラズマ発生部を介して、前記基板に向かうようにプラズマを発生する段階と、
前記チャンバの排気口を介して、排気工程を遂行する段階と、を含む気相蒸着方法。 - 基板上に少なくとも第１電極、有機発光層を具備する中間層、第２電極を具備する薄膜を含む有機発光表示装置を製造する方法であって、
前記薄膜を形成する段階は、
チャンバ内に配置されるステージの装着面に、基板を装着する段階と、
前記基板と対向するように配置されたプラズマ発生部と前記基板との間の空間に、注入部を介して、前記基板の薄膜が形成される平面方向と平行にソースガスを注入する段階と、
前記チャンバの排気口を介して、排気工程を遂行する段階と、
前記プラズマ発生部を介して、前記基板に向かうようにプラズマを発生する段階と、
前記チャンバの排気口を介して、排気工程を遂行する段階と、を含む有機発光表示装置の製造方法。
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