JP2013018591A - 部品供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】次の工程への部品供給を円滑かつ適切に行うことができる部品供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】多数の部品を貯留する部品貯留部から所定の推進量を受けて列をなすように部品供給路２１０を所定の進行方向に進行して行く部品３１０のうち、その時点における先頭部品３１１を部品取り出し位置Ｐ１で取り出して次の工程に供給する部品供給装置１０であって、先頭部品３１１が部品取り出し位置Ｐ１に存在することを検出すると、先頭部品検出信号を出力する先頭部品検出部２２０と、先頭部品検出部２２０から先頭部品検出信号が出力されると先頭部品３１１の後に続いて進行する後続部品３１２を吸着して当該後続部品３１２の進行を停止させる後続部品進行制御部と、部品供給路２１０を進行する部品の量を検出して、その検出結果に基づいて部品供給路２１０を進行する部品の量を規制する部品量規制部とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、列をなして進行してくる部品を次の工程に供給する部品供給装置に関する。

部品送り出し部から列をなすように部品供給路を進行してくる部品のうち、その時点における先頭部品を取り出して次の工程に供給する部品供給装置が知られている。このような部品供給装置において、部品供給路に存在する部品に対して、部品を進行させるための押圧力が必要以上の大きさで加わると、次の工程への部品供給が円滑かつ適切に行えない場合がある。

例えば、先頭部品と当該先頭部品のすぐ後ろ（直後という。）に存在する後続部品との関係で考えると、先頭部品の取り出し位置で当該先頭部品が停止した状態となっているときに、後続部品の先頭部品に対する押圧力が必要以上に大きくなった場合、後続部品が先頭部品の上に乗り上げたり、後続部品が先行部品に下に潜り込んだりして、後続部品と先頭部品とが重なり合ってしまう場合がある。このような状態となると、先頭部品の取り出しを、例えば吸着によって行う場合、先頭部品を正常に吸着できなかったり、先頭部品とともに後続部品も同時に吸着してしまったりというようなトラブルが発生し易くなるため、次の工程への部品供給が円滑かつ適切に行えなくなる。

図５は、先頭部品を取り出す際に発生するトラブルを説明するために示す図である。図５に示されている部品９１０はダイオードチップなどの半導体チップであり、両面に半田層９０１が存在している半導体チップであるとする。このような各半導体チップは、ダイシング面９０２が垂線に対して傾斜した状態となっている場合もある。このような半導体チップの場合には、矢印Ａ方向に進行してくる部品９１０のうち、その時点における先頭部品（先頭部品９１１とする。）の吸着時においてトラブルがより発生し易くなる。

すなわち、部品９１０が部品送り出し部（図示せず。）から部品同士が接触した状態で列をなすように部品供給路９２０上を矢印Ａ方向に進行してくると（図５（ａ）参照。）、先頭部品９１１の直後に存在する後続部品９１２が先頭部品９１１の上に乗り上げたり（図５（ｂ）参照。）、図示は省略するが後続部品９１２が先頭部品９１１の下に潜り込んだりして、２つ以上の部品が重なり合ってしまう場合がある。

このように２つ以上の部品が重なり合ってしまうと、先頭部品９１１を真空吸着部９５０によって吸着する際にトラブルが発生し易くなる。例えば、後続部品９１２が先頭部品９１１の上に乗り上げた場合には、図５（ｃ）に示すように、先頭部品９１１を吸着して引き上げる際に、後続部品９１２も先頭部品９１１と一緒に引き上がられてしまう場合もあり、この場合、後続部品９１２は途中で落下して飛散してしまうこととなる。また、後続部品９１２が先頭部品９１１の下に潜り込んだ場合には、図示は省略するが、先頭部品９１１が斜めに大きく傾いてしまう場合もあり、この場合、先頭部品９１１を正常に吸着できないとい場合もある。なお、先頭部品９１１の吸着時におけるトラブルは、上記したような形状の半導体チップを供給する部品供給装置に限られるものではなく、部品同士が列をなすように進行してくるような部品供給装置に共通するものである。

このような問題を解決するために、先頭部品を後続部品から切り離した状態で先頭部品を吸着するようにした部品供給装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

図６は、特許文献１に開示されている部品供給装置９００を説明するために示す図である。図６（ａ）は平面図であり、図６（ｂ）は側面図である。

特許文献１に開示されている部品供給装置９００は、図６に示すように、空気の噴射によって部品９１０を部品供給路９２０上で列をなすように進行させるとともに、真空吸着部９３０によって先頭部品９１１に続く複数個（３個とする。）の後続部品（後続部品９１２，９１３，９１４とする。）を吸着保持した状態で、空気噴射口９４０から噴射された空気によりエアーカーテンを形成して、先頭部品９１１を後続部品９１２，９１３，９１４，・・・から切り離すようにしている。このように、先頭部品９１１を後続部品から切り離した状態として、先頭部品９１１を先頭部品吸着部９５０によって吸着するようにしている。

特開２００６−２９８５７８号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている部品供給装置９００は、部品の進行及び先頭部品の後続部品に対する切り離しを、ともに空気の噴射によって行うようにしているため、空気の噴射によって部品が吹き飛ばされて飛散してしまうおそれがある。

特に、先頭部品の後続部品に対する切り離しは、空気の噴射によるエアーカーテンを形成して行うようにしているので、当該エアーカーテンにより部品が吹き飛ばされる可能性があり、また、吹き飛ばされない場合であっても、停止状態にある先頭部品がエアーカーテンに触れると先頭部品の停止状態が不安定になりがちであり、先頭部品を適切に吸着できない場合もあり得る。このため、特許文献１に開示されている部品供給装置９００は、次の工程への部品供給を円滑かつ適切に行うことができない場合もあるといった課題がある。

そこで、本発明は、次の工程への部品供給を円滑かつ適切に行うことができる部品供給装置を提供することを目的とする。

［１］本発明の部品供給装置は、多数の部品を貯留する部品貯留部から列をなすように部品供給路を所定の進行方向に進行して行く部品のうち、その時点における先頭部品を部品取り出し位置で取り出して次の工程に供給する部品供給装置であって、前記先頭部品が前記部品取り出し位置に存在することを検出すると、前記部品取り出し位置に前記先頭部品が存在することを示す先頭部品検出信号を出力する先頭部品検出部と、前記先頭部品検出部から前記先頭部品検出信号が出力されると前記先頭部品の後に続いて進行する後続部品を吸着して当該後続部品の進行を停止させる後続部品進行制御部と、前記部品供給路を進行する部品の量を検出して、その検出結果に基づいて前記部品供給路を進行する部品の量を規制する部品量規制部とを備えることを特徴とする。

［２］本発明の部品供給装置においては、前記先頭部品の後に続いて進行する後続部品は、前記先頭部品の直後に存在する後続部品であることが好ましい。

［３］本発明の部品供給装置においては、部品量規制部は、前記部品供給路において前記後続部品を吸着する吸着位置よりも前記進行方向の後方の所定位置に設定された部品検出位置において、設定した時間、継続して部品が存在することを検出すると、部品検出信号を出力する部品検出部と、前記部品検出部から前記部品検出信号が出力されている間、前記部品検出位置よりも前記進行方向の後方に存在する部品のうちの所定の部品を前記部品供給路から払い落して前記部品貯留部に戻す部品払い落し部とを有することが好ましい。

［４］本発明の部品供給装置においては、前記部品払い落し部は、前記進行方向の後方に存在する部品のうちの所定の部品に向けて空気を噴射することによって当該所定の部品を前記部品供給路から払い落すことが好ましい。

本発明の部品供給装置によれば、先頭部品が部品取り出し位置に存在するか否かを検出する先頭部品検出部を備えるとともに、先頭部品が部品取り出し位置に存在している場合に、後続部品を吸着制御する後続部品吸着制御部を備えている。このため、先頭部品が部品取り出し位置に存在する場合においては、後続部品を吸着して当該後続部品の進行を停止させることができる。これにより、後続部品が先頭部品に対して押圧力を与えないようにすることができるため、先頭部品を安定した状態で取り出すことができる。

また、部品供給路を進行する部品の量を検出して、その検出結果に基づいて部品供給路を進行する部品の量を規制する部品量規制部を備えることにより、部品供給路は、常に適正な量の部品が存在している状態となるため、部品検出位置と先頭部品検出位置との間においては、部品同士が重なり合ったりすることなくなる。これにより、後続部品の進行停止状態を確実に保持することができ、後続部品が先頭部品を押圧するといったことを確実に防止することができる。

このように本発明の部品供給装置によれば、列をなして進行してくる部品の中から部品を安定して取り出すことができ、それによって、次の工程への部品供給を円滑かつ適切に行うことができる。

実施形態１に係る部品供給装置１０を模式的に示す平面図である。 実施形態１に係る部品供給装置１０における部品供給部２００を詳細に説明するために示す図である。 先頭部品検出部２２０及び後続部品吸着制御部２３０の動作を説明するためのタイミングチャートである。 部品量規制部２４０の動作を説明するためのタイミングチャートである。 先頭部品を取り出す際に発生するトラブルを説明するために示す図である。 特許文献１に開示されている部品供給装置９００を説明するために示す図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。

［実施形態１］

図１は、実施形態に係る部品供給装置１０を模式的に示す平面図である。図２は、実施形態１に係る部品供給装置１０における部品供給部２００を詳細に説明するために示す図である。なお、図２（ａ）は平面図であり、図２（ｂ）は一部を断面とした側面図である。図３は、先頭部品検出部２２０及び後続部品吸着制御部２３０の動作を説明するためのタイミングチャートある。図４は、部品量規制部２４０の動作を説明するためのタイミングチャートである。

実施形態１に係る部品供給装置１０は、図１に示すように、半導体チップなどの部品３１０を多数貯留するとともに、貯留している部品３１０を部品供給部２００に送り出す部品送り出し部１００と、部品送り出し部１００から送り出された部品３１０を次の工程（検査工程とする。）に順次供給する部品供給部２００とを有している。なお、検査工程を行うための検査装置の図示は省略する。

なお、実施形態１に係る部品供給装置１０においては、部品３１０は、図４において説明したような半導体チップであるとする。すなわち、両面に半田層３０１（図２参照。）が存在し、また、各半導体チップのダイシング面３０２（図２参照。）が垂線に対して傾斜した状態となっている場合もある半導体チップであるとする。

部品送り出し部１００は、図１に示すように、投入された多数の部品３１０を貯留する「すり鉢状」の部品貯留部１１０を有している。部品貯留部１１０の内側面には、部品貯留部１１０に貯留されている部品３１０を矢印Ａ方向に送り出すための部品送り出し路１２０が渦巻き状に形成されている。なお、部品送り出し路１２０は、部品３１０の進行をガイド可能とするために浅い凹状溝（図示せず。）となっており、部品３１０は凹状溝に沿って進行するため、列を乱さずに進行可能となっている。

このように構成された部品送り出し部１００は、部品貯留部１１０が振動することによって当該部品貯留部１１０に投入されている部品３１０に推進力を与えるようになっており、それによって、当該部品貯留部１１０に投入されている部品３１０は部品送り出し路１２０に沿って部品供給部２００に順次進行して行く。

部品供給部２００は、図１及び図２に示すように、部品貯留部１１０の部品送り出し路１２０に続く直線的な部品供給路２１０と、部品供給路２１０を矢印Ａ方向に進行してくる部品３１０のうち、その時点において先頭となる先頭部品（先頭部品３１１とする。）が部品取り出し位置Ｐ１に存在するか否かを検出し、先頭部品３１１が部品取り出し位置Ｐ１に存在する場合には、先頭部品検出信号を出力する先頭部品検出部２２０と、先頭部品検出部２２０から先頭部品検出信号が出力されると、先頭部品３１１の後に続く後続部品のうちの先頭部品３１１の直後に存在する後続部品（第１後続部品ともいう。）３１２を吸着して、当該第１後続部品３１２の進行を停止させる後続部品吸着制御部２３０（図１においては図示が省略されているため図２参照。）と、部品供給路２１０上に存在する部品の量（個数とする。）を規制する部品量規制部２４０（図１においては図示が省略されているため図２参照。）とを有している。

なお、部品供給路２１０には部品送り出し路１２０と同様に浅い凹状溝（図示せず。）が形成されており、部品３１０は当該凹状溝に沿って進行する。また、部品供給路２１０における凹状溝の外側（部品貯留部１１０の外周面に沿う側）には側壁２１０ａ（図２参照。）が凹状溝に沿って形成されている。図２においては、側壁２１０ａは灰色で示している。また、部品供給路２１０における凹状溝の内側（部品貯留部１１０の内面側）は開放されており、部品３１０が部品供給路２１０から脱落した場合には部品貯留部１１０に戻ることができるようになっている。
このように構成された部品供給路２１０においても、部品３１０は部品貯留部１１０が振動することにより生じる推進力によって進行して行くものとする。

後続部品吸着制御部２３０は、図２（ｂ）に示すように、位置Ｐ２（以下、吸着位置Ｐ２という。）に設けられた吸着口２３１と、真空生成部２３２と、当該吸着口２３１と真空生成部２３２とを接続するパイプ２３３とを有しており、先頭部品検出部２２０からの先頭部品検出信号に基づいて吸着位置Ｐ２に存在する後続部品３１２の吸着及び吸着解除を行う。すなわち、先頭部品検出部２２０から先頭部品検出信号が出力されると、真空生成部２３２が動作して、吸着位置Ｐ２に存在する後続部品３１２を吸着口２３１で吸着し、先頭部品検出信号が出力されなくなると、後続部品３１２の吸着を解除する。
このように、後続部品吸着制御部２３０は、先頭部品３１１が部品取り出し位置Ｐ１に存在している場合のみに第１後続部品３１２を吸着位置Ｐ２において吸着するものであり、これにより、第１後続部品３１２の進行が一時的に停止し、第１後続部品３１２が先頭部品３１１を押圧することがなくなる。

部品量規制部２４０は、部品供給路２１０を進行する部品の量を検出して、その検出結果に基づいて部品供給路２１０を進行する部品の量を規制するものである。部品量規制部２４０は、部品供給路２１０に設定された所定位置（部品検出位置Ｐ３という。）において部品３１０が存在するか否かを検出する部品検出部２４１と、部品検出部２４１から部品検出信号が出力されている間、部品検出位置Ｐ３よりも進行方向（矢印Ａ方向）の後方側（矢印Ａ方向とは反対方向の側）に存在する部品３１０のうちの所定の部品を部品供給路２１０から払い落すための部品払い落し部２４２とを有している。

部品検出部２４１は、部品検出位置Ｐ３において、予め設定した時間（Δｔ１とする。）、継続して部品３１０を検出した場合に部品検出信号を出力する。そして、当該部品検出信号は、部品検出部２４１が部品検出位置Ｐ３において部品３１０を検出している間は出力状態が保持される。

部品検出部２４１がこのような動作を行うことにより、部品検出位置Ｐ３を単に通過するだけの部品に対しては、部品検出部２４１からは部品検出信号は出力されず、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間に部品が隙間なく連なって存在する状態となっている場合のみに、部品検出部２４１からは部品検出信号が出力されることとなる。

なお、「部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間に部品が隙間なく連なって存在する状態」というのは、先頭部品検出位置Ｐ１と部品検出位置Ｐ３との間において、部品同士が重なり合ったりすることなく一列に隙間なく整然と並んでいる状態であるとする。また、予め設定した時間Δｔ１（以下、設定時間Δｔ１という。）は、部品が単に通過しただけであるか、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間に部品が隙間なく連なって存在する状態かを判断可能となるような時間であればよく、例えば、１〜２秒程度でよい。

部品払い落し部２４２は、部品を払い払い落すための空気を送出する空気送出部２４２ａと、空気送出部２４２ａによって送出された空気を進行方向（矢印Ａ方向）と交差する方向に噴射する空気噴射口２４２ｂと、空気送出部２４２ａと空気噴射口２４２ｂとを接続するパイプ２４２ｃと有している。空気噴射口２４２ｂは側壁２１０ａに設けられており、部品供給路２１０を進行する部品のうち所定の位置Ｐ４（払い落し位置Ｐ４という。）に存在する部品に対して空気を噴射するようになっている。なお、実施形態に係る部品供給装置１０においては、払い落し位置Ｐ４において払い落し対象となる部品は、払い落し位置Ｐ４に存在する１個の部品であるとする。ただし、２個以上同時払い落される場合もあり得るが、それは特に問題とはならない。

このように構成された部品払い落し部２４２は、部品検出部２４１から部品検出信号が出力されている間においては、空気噴射口２４２ｂから空気を噴射し続ける動作を行う。これにより、部品検出部２４１から部品検出信号が出力されている間は、払い落し位置Ｐ４に存在する部品は、部品払い落し部２４２によって部品供給路２１０から払い落される。このため、たとえ、部品貯留部１１０から次々と部品が送られてきても、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間においては、一定量を超える部品は存在しないこととなる。これにより、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間においては、部品同士が重なり合ったりすることなく一列に隙間なく整然と並んでいる状態となる。
なお、部品供給路２１０から払い落された部品は部品貯留部１１０に戻り、やがては、部品送り出し路１２０を経て部品供給路２１０を進行するという動作を繰り返す。

ところで、部品検出部２４１が部品３１０を検出する部品検出位置Ｐ３は、先頭部品３１１を検出する先頭部品検出位置Ｐ１から十分な距離を置いた位置に設けることが好ましく、また、部品を払い落す払い落し位置Ｐ４は、部品検出位置Ｐ３よりも少し後方の位置に設定することが好ましい。部品検出位置Ｐ３及び払い落し位置Ｐ４をこのような位置に設定するのは、実施形態に係る部品供給装置１０から、例えば、図示しない検査装置に部品を供給する際の毎分当たりの部品供給量（例えば、毎分１５０個）に十分対応可能とするためである。

このように構成された実施形態に係る部品供給装置１０の動作について、図１〜図４を参照して説明する。まず、部品貯留部１１０に貯留されている多数の部品３１０は、部品貯留部１１０が振動することによる推進力を受けて部品送り出し路１２０を一列となって矢印Ａ方向に順次進行したのち、部品供給部２００の部品供給路２１０に入って当該部品供給路２１０を進行して行く。なお、部品供給路２１０においても、各部品は部品貯留部１１０が振動することによる推進力を受けて進行して行く。

そして、部品供給路２１０を進行して行く部品のうち、その時点における先頭部品３１１が、先頭部品検出位置Ｐ１に達すると、当該先頭部品３１１が先頭部品検出部２２０によって検出される（図３（ａ）のタイミングｔ１）。先頭部品３１１が先頭部品検出部２２０によって検出されたタイミングｔ１において、後続部品吸着制御部２３０が動作し、先頭部品３１１の直後に存在する第１後続部品３１２を吸着して（図３（ｂ）のタイミングｔ１）、当該第１後続部品３１２の進行を停止させる。これにより、先頭部品３１１は第１後続部品３１２から押圧力を受けない状態となる。この状態で、先頭部品３１１は、図示しない取り出し機構（例えば、先頭部品３１１を吸着して取り出す機構）によって取り出されて、図示しない検査装置に送られる。

そして、先頭部品３１１が検査装置に送られることにより、先頭部品検出位置Ｐ１に先頭部品３１１が存在しなくなると（図３（ａ）のタイミングｔ２）、後続部品吸着制御部２３０が後続部品３１２の吸着動作を解除する（図３（ｂ）のタイミングｔ２）。これにより、部品３１０は再び進行を開始し、その時点における先頭部品３１１が、先頭部品検出位置Ｐ１に達すると、当該先頭部品３１１が先頭部品検出部２２０によって検出され（図３（ａ）のタイミングｔ３）、後続部品吸着制御部２３０が第１後続部品３１２を吸着して（図３（ｂ）のタイミングｔ３）、第１後続部品３１２の進行を停止させる。これにより、先頭部品３１１は第１後続部品３１２から押圧力を受けない状態となり、先頭部品３１１は検査装置に送られる。このような動作が繰り返し行われる。このような動作は、毎分１５０個程度の速さで検査装置に対して部品の供給可能となるように行われる。

一方、部品量規制部２４０の部品検出部２４１は、常時、部品検出位置Ｐ３に部品が存在するか否かを検出している。そして、例えば、部品検出部２４１が部品検出位置Ｐ３において、設定時間Δｔ１、継続して部品３１０を検出すると（図４（ａ）参照。）、部品検出部２４１からは、部品検出信号が出力され（図４（ｂ）参照。）、当該部品検出信号は、部品検出部２４１が部品３１０を検出している間は出力状態が保持される。部品払い落し部２４２は、部品検出部２４１からの部品検出信号が出力されている間は空気噴射を行い（図４（ｃ）参照。）、払い落し位置Ｐ４に存在する部品は空気噴射口から噴射される空気により払い落されて部品貯留部１１０に戻される。

このように、部品検出部２４１から部品検出信号が出力されている間は、部品払い落し部２４２によって、払い落し位置Ｐ４に存在する部品は払い落されるので、たとえ、部品貯留部１１０から次々と部品が送られてきても、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間においては、一定量を超えた部品は存在しないこととなる。これにより、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間においては、部品同士が重なり合ったりすることなく一列に隙間なく整然と並んでいる状態となる。

なお、部品量規制部２４０の部品検出部２４１は、部品検出位置Ｐ３において、設定時間Δｔ１よりも短い時間Δｔ２だけ部品を検出した場合においては（図４（ａ）参照。）、部品検出信号を出力しない。この場合は、部品戻し部２４２は、空気噴射動作を行わない。このように、部品検出位置Ｐ３において、設定時間Δｔ１よりも短い時間Δｔ２だけ部品を検出する状況としては、部品が部品検出位置Ｐ３を単に通過して行くような状況であり、図４（ａ）においては、３つの部品がそれぞれ間を置いて順次通過した状況が例示されている。

部品量規制部２４０がこのような動作を行うことにより、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間に、一定量を超える部品が存在しないようにすることができるとともに、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間に存在する部品の量が少なくなった場合には、部品を順次補給することができる。これによって、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間は、常時、一定量すなわち適正な量の部品が存在している状態となる。

このように、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間は、常時、適正な量の部品が存在している状態となるため、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間においては、部品同士が重なり合ったりすることなくなる。これにより、第１後続部品３１２の進行停止状態を確実に保持することができ、第１後続部品３１２が先頭部品３１１を押圧するといったことを確実に防止することができる。

以上説明したように、実施形態に係る部品供給装置１０によれば、先頭部品３１１が部品取り出し位置Ｐ１に存在するか否かを検出する先頭部品検出部２２０を備えるとともに、先頭部品３１１が部品取り出し位置Ｐ１に存在している場合に、第１後続部品３１２を吸着制御する後続部品吸着制御部２３０を備えている。このため、先頭部品３１１が部品取り出し位置Ｐ１に存在する場合においては、第１後続部品３１２を吸着して当該第１後続部品３１２の進行を停止させることがでる。これにより、第１後続部品３１２が先頭部品に対して押圧力を与えないようにすることができるため、先頭部品３１１を安定した状態で取り出すことができる。

また、部品供給路２１０を進行する部品の量を検出して、その検出結果に基づいて部品供給路２１０を進行する部品の量を規制する部品量規制部２４０を備えることにより、部品供給路２１０は、常に適正な量の部品が存在している状態となるため、部品検出位置Ｐ３と先頭部品検出位置Ｐ１との間においては、部品同士が重なり合ったりすることなくなる。これにより、第１後続部品３１２の進行停止状態を確実に保持することができ、第１後続部品３１２が先頭部品３１１を押圧するといったことを確実に防止することができる。

このように実施形態に係る部品供給装置１０によれば、列をなして進行してくる部品の中から部品を安定して取り出すことができ、それによって、次の工程への部品供給を円滑かつ適切に行うことができる。

なお、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。

（１）上記実施形態においては、図５で説明したような形状の半導体チップを例にとって説明したが、このような形状の半導体チップに限られるものではない。また、半導体チップに限られるものではなく、パッケージングされた状態のものにも適用可能であり、また、半導体以外の部品にも適用可能である。

（２）部品送り出し部１００は、部品貯留部１１０に貯留されている部品を振動により送り出すような構成のものを例にとって説明したが、このような構成に限られるものではなく、部品同士が列をなすように順次送り出すことができるものであればよい。

（３）上記実施形態においては、先頭部品に続く後続部品を吸着する際、先頭部品３１１の直後の１個の後続部品（第１後続部品３１２）を吸着するようにしたが、これに限られるものではなく、例えば、先頭部品３１１の直後の第１後続部品３１２と当該第１後続部品３１２に続く第２後続部品３１３とを同時に吸着するというように、複数の後続部品を同時に吸着するようにしてもよい。

（４）上記実施形態においては、部品払い落し部２４２によって部品を払い落す際の払い落し対象部品は１個としたが、これに限られるものではなく、例えば、２個の部品を払い落し対象部品として当該２個の部品に向けて空気を噴射することによって２個の部品を同時に払い落すというように、複数の部品を払い落し対象部品とするようにしてもよい。

１０・・・部品供給装置、１００・・・部品送り出し部、１１０・・・部品貯留部、１２０・・・部品送り出し路、１３０・・・部品戻し用傾斜部、２００・・・部品供給部、２１０・・・部品供給路、２２０・・・先頭部品検出部、２３０・・・後続部品吸着制御部、２３１・・・吸引口、２３２・・・真空生成部、２４０・・・部品量規制部、２４１・・・部品検出部、２４２・・・部品払い落し部、２４２ａ・・・空気送出部、２４２ｂ・・・空気噴射口、３０１，９０１…半田層、３０２，９０２・・・ダイシング面、３１０・・・部品、３１１・・・先頭部品、３１２・・・後続部品（第１後続部品）、Ｐ１・・・部品取り出し位置、Ｐ２・・・吸着位置、Ｐ３・・・部品検出位置、Ｐ４・・・払い落し位置

Claims (4)

1. 多数の部品を貯留する部品貯留部から列をなすように部品供給路を所定の進行方向に進行して行く部品のうち、その時点における先頭部品を部品取り出し位置で取り出して次の工程に供給する部品供給装置であって、
   前記先頭部品が前記部品取り出し位置に存在することを検出すると、前記部品取り出し位置に前記先頭部品が存在することを示す先頭部品検出信号を出力する先頭部品検出部と、
   前記先頭部品検出部から前記先頭部品検出信号が出力されると前記先頭部品の後に続いて進行する後続部品を吸着して当該後続部品の進行を停止させる後続部品進行制御部と、
   前記部品供給路を進行する部品の量を検出して、その検出結果に基づいて前記部品供給路を進行する部品の量を規制する部品量規制部と、
   を備えることを特徴とする部品供給装置。
2. 請求項１に記載の部品供給装置において、
   前記先頭部品の後に続いて進行する後続部品は、前記先頭部品の直後に存在する後続部品であることを特徴とする部品供給装置。
3. 請求項１又は２に記載の部品供給装置において、
   部品量規制部は、
   前記部品供給路において前記後続部品を吸着する吸着位置よりも前記進行方向の後方の所定位置に設定された部品検出位置において、設定した時間、継続して部品が存在することを検出すると、部品検出信号を出力する部品検出部と、
   前記部品検出部から前記部品検出信号が出力されている間、前記部品検出位置よりも前記進行方向の後方に存在する部品のうちの所定の部品を前記部品供給路から払い落して前記部品貯留部に戻す部品払い落し部と、
   を有することを特徴とする部品供給装置。
4. 請求項３に記載の部品供給装置において、
   前記部品払い落し部は、前記進行方向の後方に存在する部品のうちの所定の部品に向けて空気を噴射することによって当該所定の部品を前記部品供給路から払い落すことを特徴とする部品供給装置。