JP2013012962A - 放射線検出器、放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システムおよび配線容量調整方法 - Google Patents
放射線検出器、放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システムおよび配線容量調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013012962A JP2013012962A JP2011144931A JP2011144931A JP2013012962A JP 2013012962 A JP2013012962 A JP 2013012962A JP 2011144931 A JP2011144931 A JP 2011144931A JP 2011144931 A JP2011144931 A JP 2011144931A JP 2013012962 A JP2013012962 A JP 2013012962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- signal
- pixel
- wiring
- detection pixel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 210
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 98
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 47
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 29
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 42
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 14
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,4-dione;diazide Chemical compound [N-]=[N+]=[N-].[N-]=[N+]=[N-].C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2018—Scintillation-photodiode combinations
- G01T1/20184—Detector read-out circuitry, e.g. for clearing of traps, compensating for traps or compensating for direct hits
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/24—Measuring radiation intensity with semiconductor detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/142—Energy conversion devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】複数の信号配線3の少なくとも1つに接続された調整素子(コンデンサ5)により、当該複数の信号配線3の各々の配線容量の差が小さくなるように調整する。
【選択図】図2
Description
まず、図1を参照して、本実施の形態に係る放射線画像撮影システム200の構成について説明する。
上記第1の実施の形態では、放射線検出器10に本発明の調整素子を設けた場合の形態例について説明したが、本第2の実施の形態では、上記調整素子を放射線検出器10には設けず、放射線画像撮影装置100の他の部分に設ける場合の形態例について説明する。
4 TFTスイッチ
5,5’ コンデンサ(調整素子)
6 コンデンサ(調整素子)
7 コンデンサ(調整素子)
10 放射線検出器
20 画素
20A 画素(画像検出用画素)
20B 画素(放射線検出用画素)
20C 画素(調整素子)
56 コンデンサ(調整素子)
100 放射線画像撮影装置
101 走査配線
103 センサ部
104 スキャン信号制御回路
105 信号検出回路
106 制御部
110 電源
200 放射線画像撮影システム
202 制御装置
204 放射線照射装置
206 被検体
Claims (14)
- 放射線の照射状態を検出する放射線検出用画素と、
被写体を透過した放射線により示される放射線画像を検出する画像検出用画素と、
前記放射線検出用画素および前記画像検出用画素の少なくとも一方が接続され、接続された画素による検出状態を示す電気信号が流れる複数の信号配線と、
前記複数の信号配線の少なくとも1つに接続され、当該複数の信号配線の各々の配線容量の差が小さくなるように調整する調整素子と、
を備えた放射線検出器。 - 前記調整素子は、前記複数の信号配線における最大の配線容量との差分が予め定められた値以上となる前記信号配線に接続される
請求項1記載の放射線検出器。 - 前記調整素子は、容量が前記差分以下である
請求項2記載の放射線検出器。 - 前記調整素子は、前記複数の信号配線の全てに接続されている
請求項1記載の放射線検出器。 - 前記調整素子は、容量性素子である
請求項1から請求項4の何れか1項記載の放射線検出器。 - 前記画像検出用画素は、照射された放射線に応じて発生した電荷を蓄積するセンサ部、および前記センサ部によって蓄積された電荷を読み出すためのスイッチング素子を有し、
前記放射線検出用画素は、前記センサ部、およびスイッチ端子が短絡された前記スイッチング素子を有する
請求項1から請求項5の何れか1項記載の放射線検出器。 - 前記調整素子は、前記放射線検出用画素と同様の構成とされている
請求項6記載の放射線検出器。 - 前記調整素子は、接続対象とする前記信号配線における前記放射線検出用画素および前記画像検出用画素の少なくとも一方が接続されている領域より外側の一端部側、当該外側の他端部側、および前記放射線検出用画素および前記画像検出用画素の少なくとも一方の接続数が複数である場合の接続領域の内部の少なくとも1箇所に接続されている
請求項1から請求項7の何れか1項記載の放射線検出器。 - 請求項1から請求項8の何れか1項記載の放射線検出器と、
前記放射線検出器における前記放射線検出用画素が接続された前記信号配線から得られた電気信号に基づいて放射線の照射状態を特定する特定手段と、
を備えた放射線画像撮影装置。 - 前記放射線の照射状態は、放射線の照射開始、放射線の照射量、および放射線の照射停止の少なくとも1つである
請求項9記載の放射線画像撮影装置。 - 放射線の照射状態を検出する放射線検出用画素、被写体を透過した放射線により示される放射線画像を検出する画像検出用画素、および前記放射線検出用画素および前記画像検出用画素の少なくとも一方が接続され、接続された画素による検出状態を示す電気信号が流れる複数の信号配線を備えた放射線検出器と、
前記放射線検出用画素が接続された前記信号配線から得られた電気信号に基づいて放射線の照射状態を特定する特定手段と、
前記複数の信号配線の少なくとも1つに接続され、当該複数の信号配線の各々の配線容量の差が小さくなるように調整する調整素子と、
を備えた放射線画像撮影装置。 - 前記複数の信号配線を流れた電気信号を増幅する増幅回路をさらに備え、
前記調整素子は、前記増幅回路に接続されている
請求項11記載の放射線画像撮影装置。 - 請求項9から請求項12の何れか1項記載の放射線画像撮影装置と、
前記放射線画像撮影装置による放射線画像の撮影用の放射線を照射する放射線照射装置と、
を有する放射線画像撮影システム。 - 放射線の照射状態を検出する放射線検出用画素、および被写体を透過した放射線により示される放射線画像を検出する画像検出用画素の少なくとも一方が接続され、接続された画素による検出状態を示す電気信号が流れる複数の信号配線の少なくとも1つに、当該複数の信号配線の各々の配線容量の差が小さくなるように調整する調整素子を接続する
配線容量調整方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011144931A JP5661570B2 (ja) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システムおよび配線容量調整方法 |
US13/485,114 US9316749B2 (en) | 2011-06-29 | 2012-05-31 | Radiation detector, radiographic imaging device, radiographic imaging system and line capacitance adjusting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011144931A JP5661570B2 (ja) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システムおよび配線容量調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013012962A true JP2013012962A (ja) | 2013-01-17 |
JP5661570B2 JP5661570B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=47389608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011144931A Active JP5661570B2 (ja) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システムおよび配線容量調整方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9316749B2 (ja) |
JP (1) | JP5661570B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7443642B2 (ja) | 2021-09-14 | 2024-03-06 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 光電変換パネル、及びx線パネル |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6257916B2 (ja) * | 2013-04-26 | 2018-01-10 | 東芝メディカルシステムズ株式会社 | 光検出装置、放射線検出装置、放射線分析装置及び光検出方法 |
US9348035B2 (en) * | 2013-10-22 | 2016-05-24 | General Electric Company | Systems and methods for selectable detector configurations |
EP3418776B1 (de) * | 2017-06-21 | 2022-01-05 | Siemens Healthcare GmbH | Strahlendetektor sowie verfahren zum betrieb eines strahlendetektors |
KR102608581B1 (ko) * | 2018-10-18 | 2023-11-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 고해상도 디지털 엑스레이 검출기용 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 이를 포함하는 고해상도 디지털 엑스레이 검출기 |
JP2022167161A (ja) * | 2021-04-22 | 2022-11-04 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | X線撮像パネル及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003057350A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-26 | Canon Inc | 信号転送装置、光電変換装置、放射線検出装置及びシステム |
JP2004170216A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Canon Inc | 放射線検出装置 |
JP2005129558A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 超解像画素電極の配置構造及び信号処理方法 |
JP2008132216A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線撮像装置、放射線撮像システム及びその制御方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005147958A (ja) | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Canon Inc | 放射線検出装置及び放射線検出システム |
-
2011
- 2011-06-29 JP JP2011144931A patent/JP5661570B2/ja active Active
-
2012
- 2012-05-31 US US13/485,114 patent/US9316749B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003057350A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-26 | Canon Inc | 信号転送装置、光電変換装置、放射線検出装置及びシステム |
JP2004170216A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Canon Inc | 放射線検出装置 |
JP2005129558A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 超解像画素電極の配置構造及び信号処理方法 |
JP2008132216A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 放射線撮像装置、放射線撮像システム及びその制御方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7443642B2 (ja) | 2021-09-14 | 2024-03-06 | シャープディスプレイテクノロジー株式会社 | 光電変換パネル、及びx線パネル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9316749B2 (en) | 2016-04-19 |
US20130001427A1 (en) | 2013-01-03 |
JP5661570B2 (ja) | 2015-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5475574B2 (ja) | 放射線検出素子、及び放射線画像撮影装置 | |
JP5554313B2 (ja) | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、及び放射線画像撮影システム | |
JP5731444B2 (ja) | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、及び放射線画像撮影システム | |
JP5657491B2 (ja) | 放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システム、放射線画像撮影プログラム、及び放射線画像撮影方法 | |
JP5661570B2 (ja) | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、放射線画像撮影システムおよび配線容量調整方法 | |
US8669531B2 (en) | Radiographic imaging device, radiographic imaging method, and computer readable medium storing radiographic imaging program | |
US9952335B2 (en) | Radiation detector, radiographic imaging device and radiographic imaging system | |
JP2012052896A (ja) | 放射線画像撮影装置 | |
JP2012075077A (ja) | 放射線検出素子、及び放射線画像撮影装置 | |
JP2013089869A (ja) | 検出装置及び検出システム | |
JP5628103B2 (ja) | 放射線検出器、放射線画像撮影システム、断線検出プログラム、及び断線検出方法 | |
JP2013258315A (ja) | 撮像装置および撮像表示システム | |
JP2010245078A (ja) | 光電変換装置、エックス線撮像装置 | |
JP2011159782A (ja) | 光電変換装置、エックス線撮像装置及び光電変換装置の製造方法 | |
JP2011242261A (ja) | 放射線検出器 | |
JP2011176274A (ja) | 放射線検出素子 | |
US20120187303A1 (en) | Radiographic imaging device, computer readable medium storing radiographic imaging program, and radiographic imaging method | |
JP2012147393A (ja) | 放射線画像撮影装置、放射線画像撮影プログラム、及び放射線画像撮影方法 | |
JP5235466B2 (ja) | 放射線画像撮影装置 | |
US20120025190A1 (en) | Radiation detector | |
JP2013078020A (ja) | 放射線検出器、放射線画像撮影装置、及び放射線画像撮影システム | |
JP6088628B2 (ja) | 放射線検出素子、放射線画像撮影装置、及び放射線画像撮影システム | |
JP6088686B2 (ja) | 放射線画像撮影装置 | |
JP2017126758A (ja) | 検出装置及び検出システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5661570 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |