JP2013012408A5 - - Google Patents

Description

ここで、各第１コネクタ１２０Ａは、第１基板１１０に対して直交する方向に延びるように配置された第２基板１２１と、第２基板１２１の幅方向（図５において紙面に対して直交する方向）に沿って所定ピッチで配列された複数のコンタクト１２３とを備えている。第２基板１２１の表面（図５における上面）には、第２基板１２１の幅方向に沿って所定ピッチで複数の導電パターン１２４が設けられている。各コンタクト１２３は、導電パターン１２４の一端に接続される接続部１２３ａと、接続部１２３ａの先端から湾曲する湾曲部１２３ｂと、湾曲部１２３ｂの先端から第１基板１１０に向かって延びる弾性接触部１２３ｃとを備えている。弾性接触部１２３ｃは、第２基板１２１の前端縁から突出し、第１基板１１０の内表面に設けられた導電パッド１１３ａに弾性的に接触する。弾性接触部１２３ｃの弾性力は、主に湾曲部１２３ｂによって付与される。また、第１コネクタ１２０Ａは、第２基板１２１の幅方向に沿って所定ピッチで配列された複数の信号線１２２を備えている。各信号線１２２の芯線１２２ａは、導電パターン１２４の他端側に接続される。

従って、本発明はこれら従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、低背構造で、気密チャンバの内部と外部とを確実に電気的に接続できるとともに、気密チャンバ内部の気密性を保持することができる電気接続構造を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、チャンバの内部と外部との電気的接続において、幅方向及び長手方向に延びる基板の幅方向及び長手方向の２方向に沿って多数の電気的接続を実現するために少ないコネクタ数で行える電気接続構造を提供することにある。

また、第２コンタクト３２は、図１に示す第２コンタクト３２と同様に、接続される導電パッド１６に弾性的に接触する弾性接触片３２ｃを有する。このため、第２コネクタ３０の電気接続の際あるいは電気接続の後に、第２コネクタ３０が基板１０に対して水平方向（平行方向）に動いた場合、水平方向に作用する力が弾性接触片３２ｃによって吸収される。これにより、弾性接触片３２ｃに接触しているバイア１４の導電パッド１６に過大な負荷がかからない。このため、バイア１４によるチャンバの内部Ａの気密性保持に悪影響を与えることはない。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、図１に示す電気接続構造１においては、調整ねじ２６により板状の支持部材２４を基板１０に対して接離し、また、調整ねじ３３により回路基板３１を基板１０に対して接離している。しかし、これら調整ねじを用いる代わりに、フックを用いて連結したり、あるいはスペーサを用いて、支持部材２４と基板１０との間に溶接したり、回路基板３１と基板１０との間に溶接してもよい。