JP2013008862A - 光半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上に形成され、圧縮歪みを有する複数の量子ドット層が互いに電子的に結合されるようにバリア層を介して積層されたコラムナ量子ドット層を有する。複数の量子ドット層間に形成されたそれぞれのバリア層は、引張り歪みを有する第1バリア層と、第1バリア層上に形成され、引張り歪みを有する第2バリア層と、第2バリア層上に形成され、引張り歪みを有する第3バリア層とを有する。第1バリア層及び前記第3バリア層の引張り歪量は、第2バリア層の引張り歪量よりも小さくなっている。
【選択図】図4
Description
第1実施形態による光半導体素子及びその製造方法について図1乃至図9を用いて説明する。
第1バリア層36a及び第3バリア層36cの歪量及び厚さは、必ずしも同じである必要はない。
第2実施形態による光半導体素子及びその製造方法について図10を用いて説明する。図1乃至図9に示す第1実施形態による光半導体素子及びその製造方法と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し又は簡潔にする。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12…n−InPバッファ層
14…活性層
16…p−InPクラッド層
18…p−InP埋め込み層
20…n−InPブロック層
22…p−InP層
24…p−InGaAsコンタクト層
26…N側電極
28…P側電極
30…反射防止膜
32,44…SCH層
34…InAs量子ドット層
36…InGaAsPバリア層
36a…第1バリア層
36b…第2バリア層
36c…第3バリア層
38…コラムナ量子ドット
40,40A,40B,40C…コラムナ量子ドット層
42,42A,42B…InGaAsP中間層
46…シリコン酸化膜
Claims (8)
- 半導体基板上に形成され、圧縮歪みを有する第1量子ドット層と、
前記第1量子ドット層上に形成され、引張り歪みを有する第1バリア層と、
前記第1バリア層上に形成され、引張り歪みを有する第2バリア層と、
前記第2バリア層上に形成され、引張り歪みを有する第3バリア層と、
前記第3バリア層上に形成され、圧縮歪みを有し、前記第1量子ドット層と電子的に結合された第2量子ドット層とを有し、
前記第1バリア層及び前記第3バリア層の引張り歪量は、前記第2バリア層の引張り歪量よりも小さい
ことを特徴とする光半導体素子。 - 半導体基板上に形成され、圧縮歪みを有する複数の量子ドット層が互いに電子的に結合されるようにバリア層を介して積層されたコラムナ量子ドット層を有し、
複数の前記量子ドット層間に形成されたそれぞれの前記バリア層は、引張り歪みを有する第1バリア層と、前記第1バリア層上に形成され、引張り歪みを有する第2バリア層と、前記第2バリア層上に形成され、引張り歪みを有する第3バリア層とを有し、
前記第1バリア層及び前記第3バリア層の引張り歪量は、前記第2バリア層の引張り歪量よりも小さい
ことを特徴とする光半導体素子。 - 請求項2記載の光半導体素子において、
中間層を介して積層された複数の前記コラムナ量子ドット層を有する
ことを特徴とする光半導体素子。 - 請求項2又は3記載の光半導体素子において、
前記コラムナ量子ドット層を含む活性層を有する
ことを特徴とする光半導体素子。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光半導体素子において、
前記第1バリア層の引張り歪量と前記第3バリア層の引張り歪量が等しい
ことを特徴とする光半導体素子。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光半導体素子において、
前記半導体基板は、InPにより形成され、
前記量子ドット層は、InAsにより形成され、
前記第1バリア層、前記第2バリア層、及び前記第3バリア層は、InGaAsPにより形成されている
ことを特徴とする光半導体素子。 - 請求項6記載の光半導体素子において、
前記第1バリア層及び前記第3バリア層を形成するInGaAsPと、前記第2バリア層を形成するInGaAsPとは、組成比が異なっている
ことを特徴とする光半導体素子。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光半導体素子において、
前記第1バリア層及び前記第3バリア層は、前記量子ドット層に接している
ことを特徴とする光半導体素子。
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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JPN6014027624; X.B.ZHANG, et.al.: 'Effect of Thin Strain-Compensated Al0.6Ga0.4P Layers on the Growth of Multiple-Stacked InP/In0.5Al0.' Journal of ELECTRONIC MATERIALS Vol.35, No.4, 200604, pp.701-704 * |
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