JP2012533187A - 太陽電池フロントコンタクトのドーピング - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
本願は、2009年7月13日に出願した米国仮特許出願第61/224,941号の優先権を主張する。この米国仮特許出願の開示内容全体を参照により本明細書に援用するものとする。
Claims (112)
- 光起電デバイスであり、
基板と、
前記基板に隣接する、ドーパントがドープされたフロントコンタクト層と、
前記ドープドフロントコンタクト層に隣接する、テルル化カドミウムを含む半導体吸収層とを備えることを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記フロントコンタクト層は、前記基板に隣接する透明導電性酸化物層と、
前記透明導電性酸化物層に隣接するバッファ層とを有することを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記フロントコンタクト層は、前記バッファ層に隣接する半導体窓層を有することを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項2に記載の光起電デバイスであり、
前記透明導電性酸化物層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項2に記載の光起電デバイスであり、
前記透明導電性酸化物層は酸化スズを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはN型ドーパントを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはアルミニウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはインジウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはホウ素を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントは銅を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントは塩素を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはガリウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはフッ素を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記ドーパントはマグネシウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項1に記載の光起電デバイスであり、
前記基板はガラスを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項2に記載の光起電デバイスであり、
前記バッファ層はテルル化亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項2に記載の光起電デバイスであり、
前記バッファ層はテルル化カドミウム亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項2に記載の光起電デバイスであり、
前記バッファ層は硫化カドミウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は硫化カドミウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層はテルル化亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は硫化カドミウム亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は硫化亜鉛を含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は酸化亜鉛マグネシウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は硫化カドミウムマグネシウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 請求項3に記載の光起電デバイスであり、
前記窓層は酸化カドミウムを含むことを特徴とする光起電デバイス。 - 光起電デバイスの製造方法であり、
基板に隣接する透明導電性酸化物層を堆積させ、堆積後に該透明導電性酸化物層の表面が形成されるようにするステップと、
前記透明導電性酸化物層の表面をドーパントに晒し、該表面上にドーパント層が残存できるようにするステップと、
前記ドーパント層に隣接する窓層を堆積させるステップと、
前記窓層に前記ドーパントを注入するステップと、
前記窓層に隣接するテルル化カドミウムを含む吸収層を堆積させるステップとを備えることを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層を堆積させるステップはスパッタリングプロセスを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層の表面を晒す前記ステップは、該表面を前記ドーパントの塩で洗浄するステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項29に記載の方法であり、
前記塩はホウ酸塩を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはN型ドーパントを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはアルミニウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはインジウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはホウ素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントは銅を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントは塩素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはガリウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはフッ素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記ドーパントはマグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記基板はガラスを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層は酸化スズを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は硫化カドミウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層はテルル化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は硫化カドミウム亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は硫化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は酸化亜鉛マグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は硫化カドミウムマグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層は酸化カドミウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層はM1−xGxOy半導体であって、Mは亜鉛およびスズからなる群から選択され、Gはアルミニウム、シリコンおよびジルコニウムからなる群から選択される、M1−xGxOy半導体を含むことを特徴とする方法。 - 請求項51に記載の方法であり、
前記窓層は酸化亜鉛アルミニウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項52に記載の方法であり、
前記酸化亜鉛アルミニウムはZn1−xAlxOyで表される式であって、式中xは0.05〜0.30である式を有することを特徴とする方法。 - 請求項51に記載の方法であり、
前記窓層は酸化亜鉛シリコンを含むことを特徴とする方法。 - 請求項54に記載の方法であり、
前記酸化亜鉛シリコンはZn1−xSixOy表される式であって、式中xは0.10〜0.25である、式を有することを特徴とする方法。 - 請求項51に記載の方法であり、前記窓層は酸化亜鉛ジルコニウムを含むことを特徴とする方法。
- 請求項56に記載の方法であり、
前記酸化亜鉛ジルコニウムはZn1−xZrxOy表される式であって、式中xは0.30〜0.50である、式を有することを特徴とする方法。 - 請求項51に記載の方法であり、
前記窓層は酸化スズアルミニウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項58に記載の方法であり、
前記酸化スズアルミニウムはSn1−xAlxOy表される式であって、式中xは0.10〜0.30である、式を有することを特徴とする方法。 - 請求項51に記載の方法であり、
前記窓層は酸化スズシリコンを含むことを特徴とする方法。 - 請求項60に記載の方法であり、
前記酸化スズシリコンはSn1−xSixOyで表される式であって、式中xは0.05〜0.25である、式を有することを特徴とする方法。 - 請求項61に記載の方法であり、
前記窓層は酸化スズジルコニウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項62に記載の方法であり、
前記酸化スズジルコニウムはSn1−xZrxOyで表される式であって、式中xは0.30〜0.60である、式を有することを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層を堆積させるステップは蒸気輸送蒸着プロセスを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
前記窓層を堆積させるステップは、前記ドーパント層に隣接する硫化カドミウム窓層を堆積させるステップと、前記硫化カドミウム窓層上に亜鉛含有層を堆積させるステップとを含むことを特徴とする方法。 - 請求項28に記載の方法であり、
前記スパッタリングプロセスは、不活性雰囲気中でセラミックターゲットからスパッタリングを行うステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項28に記載の方法であり、
前記スパッタリングプロセスは、金属ターゲットから反応性スパッタリングを行うステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項27に記載の方法であり、
アニールステップを更に備えることを特徴とする方法。 - 光起電デバイスの製造方法であり、
基板に隣接する透明導電性酸化物層を堆積させるステップと、
ドーパントがドープされたドープドターゲットからのスパッタリングにより、前記透明導電性酸化物層に隣接する窓層を堆積させるステップと、
前記窓層に隣接するテルル化カドミウムを含む吸収層を堆積させるステップとを備えることを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはN型ドーパントを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはアルミニウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはインジウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはホウ素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントは銅を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントは塩素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはガリウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはフッ素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記ドーパントはマグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記基板はガラスを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層は酸化スズを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は硫化カドミウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層はテルル化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は硫化カドミウム亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は硫化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は酸化亜鉛マグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は硫化カドミウムマグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層は酸化カドミウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層を堆積させるステップは、不活性雰囲気中でセラミックターゲットからスパッタリングを行うステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
前記窓層を堆積させるステップは、金属ターゲットから反応性スパッタリングを行うステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項69に記載の方法であり、
アニールステップを更に備えることを特徴とする方法。 - 光起電デバイスの製造方法であり、
基板に隣接する透明導電性酸化物層を堆積させるステップと、
ドーパントがドープされたドープドターゲットからのスパッタリングにより、前記透明導電性酸化物層に隣接する前駆体層を堆積させるステップと、
前記前駆体層に隣接するバッファ層を堆積させるステップと、
前記前駆体層および前記バッファ層をアニールしてドープドバッファ層を形成するステップと、
前記ドープドバッファ層に隣接するテルル化カドミウムを含む吸収層を堆積させるステップとを備えることを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはN型ドーパントを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはアルミニウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはインジウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはホウ素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントは銅を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントは塩素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはガリウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはフッ素を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記ドーパントはマグネシウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記基板はガラスを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層は酸化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記透明導電性酸化物層は酸化スズを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記前駆体層は硫化カドミウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記前駆体層は酸化カドミウムを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記バッファ層はテルル化亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記バッファ層はテルル化カドミウム亜鉛を含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記前駆体層を堆積させるステップは、不活性雰囲気中でセラミックターゲットからスパッタリングを行うステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
前記前駆体層を堆積させるステップは、金属ターゲットから反応性スパッタリングを行うステップを含むことを特徴とする方法。 - 請求項93に記載の方法であり、
アニールステップを更に備えることを特徴とする方法。
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