JP2012529768A - 長波長放射を検出することができる光検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
長波長放射を検出することができる光検出器であって、絶縁層の近位端上に配置されたソースと、絶縁層の遠位端上に配置されたドレインと、近位端と遠位端との間でソース及びドレインを結合する少なくとも1つのナノアセンブリと、ソースとドレインとの間に配置され、少なくとも1つのナノアセンブリの長手方向に少なくとも1つのナノアセンブリと並置された少なくとも2つの表面プラズモン導波路とを備え、少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの一方は、少なくとも1つのナノアセンブリの第1の側に沿って配置され、少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの他方は、第1の側に対向する少なくとも1つのナノアセンブリの第2の側に沿って配置される長波長放射を検出することができる光検出器を実現する。
【選択図】図1
Description
[式3]
Eg=3.723−1.241x
x=0.7である場合、CdZnSのバンドギャップエネルギーEgは2.853eVであり、これは、約435nmの波長を有する光子(青色スペクトル光)のエネルギーに対応する。一実施形態では、ナノアセンブリ130が、CdxZn1-xS(0≦x≦0.5)を含む場合、光検出器500は、青色スペクトルを検出するのに適しうる。
[式4]
Eg=2.482−0.75x
x=0.15である場合、CdSSeのバンドギャップエネルギーEgは2.37eVであり、これは、約520nmの波長を有する光子(緑色スペクトル光)のエネルギーに対応し、x=0.7である場合、CdSSeのバンドギャップエネルギーEgは1.957eVであり、これは、約633nmの波長を有する光子(赤色スペクトル光)のエネルギーに対応する。つまり、CdSSeを含むナノアセンブリ130は、緑色と赤色の両方のスペクトルの光を検出するのに適しうる。一実施形態では、ナノアセンブリ130が、CdSexS1-x(0≦x≦0.4)を含む場合、光検出器500は、緑色スペクトルを検出するのに適しうる。一実施形態では、ナノアセンブリ130が、CdSexS1-x(0.6≦x≦1.0)を含む場合、光検出器500は、赤色スペクトルを検出するのに適しうる。他の適切な(複数可)ナノ材料も、所望のスペクトル範囲を検出するために光検出器500に使用することができる。
Claims (36)
- 長波長放射を検出することができる光検出器であって、
絶縁層の近位端上に配置されたソースと、
前記絶縁層の遠位端上に配置されたドレインと、
前記近位端と遠位端との間で前記ソース及び前記ドレインを結合する少なくとも1つのナノアセンブリと、
前記ソースと前記ドレインとの間に配置され、前記少なくとも1つのナノアセンブリの長手方向に前記少なくとも1つのナノアセンブリと並置された少なくとも2つの表面プラズモン導波路とを備え、
前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの一方は、前記少なくとも1つのナノアセンブリの第1の側に沿って配置され、前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの他方は、前記第1の側に対向する前記少なくとも1つのナノアセンブリの第2の側に沿って配置される、光検出器。 - 前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの少なくとも一方が、前記少なくとも1つのナノアセンブリと接触している、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの少なくとも一方が、前記少なくとも1つのナノアセンブリから数ナノメートルから数千ナノメートルまでの範囲の距離だけ離れている、請求項1に記載の光検出器。
- 前記ナノアセンブリが、少なくとも1つのインターサブバンドを有するように構成され、当該少なくとも1つのインターサブバンドにおける電子の少なくとも1つの遷移が、光子の検出に対応する、請求項1に記載の光検出器。
- 前記光子が、約数meVから数百meVまでの範囲のエネルギーを有する、請求項4に記載の光検出器。
- 複数の導波路及びナノアセンブリが配置され、前記導波路の少なくともいくつかが前記ナノアセンブリの間に置かれて前記導波路と前記ナノアセンブリの交互配置を構成する、請求項1に記載の光検出器。
- 前記ソース及び前記ドレインが互いに離れている、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、ナノワイヤ、ナノベルト、又はナノロッドのうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、ナノワイヤ、ナノベルト、又はナノロッドのうちの少なくとも1つのアレイを備える、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、ZnO、Si、及びInAsからなる群から選択される、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリのそれぞれが、互いに同じ材料から製造される、請求項10に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリのそれぞれが、異なる種類の材料から製造される、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの少なくとも一方が、金属材料から製造される、請求項1に記載の光検出器。
- 前記金属材料がAgである、請求項13に記載の光検出器。
- 前記長波長放射が少なくとも1μmの波長を有する、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、約10nmから約500nmまでの範囲の幅を有する、請求項1に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、約0.5μmから約5μmまでの範囲の長さを有する、請求項1に記載の光検出器。
- 前記光検出器が、可視光スペクトルを検出することができ、前記光検出器が、前記少なくとも1つのナノアセンブリ及び前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路に近接する位置に置かれ、また前記ソース及び前記ドレインのうちの少なくとも一方に実質的に平行に延在するように配置されている透明ゲートをさらに備える、請求項1に記載の光検出器。
- 前記透明ゲートが、前記ソースと前記ドレインとの間に配置される、請求項18に記載の光検出器。
- 前記透明ゲートが、前記少なくとも1つのナノアセンブリに関して実質的に垂直に配置される、請求項18に記載の光検出器。
- 前記ナノアセンブリが、価電子帯及び伝導帯を有するよう構成され、前記価電子帯から前記伝導帯への電子の少なくとも1つの遷移が、光子の検出に対応する、請求項18に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、II−VI族の半導体化合物及びIII−V族の半導体化合物からなる群から選択される、請求項18に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、CdxZn1-xSからなり、xの値は、約0.5から約1.0までの範囲である、請求項18に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、CdSexS1-xからなり、xの値は、約0から約0.4までの範囲である、請求項18に記載の光検出器。
- 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、CdSexS1-xからなり、xの値は、約0.6から約1.0までの範囲である、請求項18に記載の光検出器。
- 前記透明ゲートが金属材料から製造される、請求項18に記載の光検出器。
- 前記可視光スペクトルが、約300nmから数800nmまでの範囲の波長を有する、請求項18に記載の光検出器。
- 前記透明ゲートが、逆電圧が印加されると、前記少なくとも1つのナノアセンブリの内部場が減少するように構成される、請求項1に記載の光検出器。
- 可視光スペクトルを検出することができる光検出器であって、
第1のスペクトル検出を実行するように構成された第1のナノアセンブリと、
第2のスペクトル検出を実行するように構成された第2のナノアセンブリと、
第3のスペクトル検出を実行するように構成された第3のナノアセンブリと、
前記第1のナノアセンブリ、前記第2のナノアセンブリ、及び前記第3のナノアセンブリによってドレインに結合されたソースと、
前記ソースと前記ドレインとの間に配置され、前記少なくとも1つのナノアセンブリの長手方向に前記少なくとも1つのナノアセンブリと並置された少なくとも2つの表面プラズモン導波路と、
前記少なくとも1つのナノアセンブリ及び前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路に近接する位置に置かれ、また前記ソース及び前記ドレインのうちの少なくとも一方に実質的に平行に延在するように配置されている透明ゲートと、
を備え、
前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの一方は、前記少なくとも1つのナノアセンブリの第1の側に沿って配置され、前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの他方は、前記第1の側に対向する前記少なくとも1つのナノアセンブリの第2の側に沿って配置される、光検出器。 - 前記第1のナノアセンブリによって検出される色が青色である、請求項29に記載の光検出器。
- 前記第2のナノアセンブリによって検出される色が緑色である、請求項29に記載の光検出器。
- 前記第3のナノアセンブリによって検出される色が赤色である、請求項29に記載の光検出器。
- 長波長放射を検出することができる光検出器を組み立てるための方法であって、
ソースとドレインとを設けるステップと、
前記ソース及び前記ドレインを少なくとも1つのナノアセンブリと結合するステップと、
少なくとも2つの表面プラズモン導波路を、前記ソースと前記ドレインとの間に配置し、前記少なくとも1つのナノアセンブリの長手方向に前記少なくとも1つのナノアセンブリと並置するステップとを含み、
前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの一方は、前記少なくとも1つのナノアセンブリの第1の側に沿って配置され、前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路のうちの他方は、前記第1の側に対向する前記少なくとも1つのナノアセンブリの第2の側に沿って配置される、方法。 - 前記少なくとも1つのナノアセンブリが、エピタキシャル成長技術によって作製される、請求項33に記載の方法。
- 基材を作製するステップと、前記基材上に絶縁層を作製するステップとを含み、前記ソース及び前記ドレインが前記絶縁層上に配置される、請求項33に記載の方法。
- 前記光検出器が、可視光スペクトルを検出することができ、前記方法が、前記少なくとも1つのナノアセンブリ及び前記少なくとも2つの表面プラズモン導波路に近接する位置に透明ゲートを置くことをさらに含む、請求項33に記載の方法。
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Cited By (3)
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US8373153B2 (en) | 2009-05-26 | 2013-02-12 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Photodetectors |
US8367925B2 (en) | 2009-06-29 | 2013-02-05 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Light-electricity conversion device |
US8809834B2 (en) | 2009-07-06 | 2014-08-19 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Photodetector capable of detecting long wavelength radiation |
US8748862B2 (en) | 2009-07-06 | 2014-06-10 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Compound semiconductors |
US8395141B2 (en) | 2009-07-06 | 2013-03-12 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Compound semiconductors |
US8227793B2 (en) | 2009-07-06 | 2012-07-24 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Photodetector capable of detecting the visible light spectrum |
US8368990B2 (en) | 2009-08-21 | 2013-02-05 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Polariton mode optical switch with composite structure |
US8368047B2 (en) | 2009-10-27 | 2013-02-05 | University Of Seoul Industry Cooperation Foundation | Semiconductor device |
US8058641B2 (en) | 2009-11-18 | 2011-11-15 | University of Seoul Industry Corporation Foundation | Copper blend I-VII compound semiconductor light-emitting devices |
US8154063B2 (en) * | 2010-03-02 | 2012-04-10 | Massachusetts Institute Of Technology | Ultrafast and ultrasensitive novel photodetectors |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003520438A (ja) * | 2000-01-14 | 2003-07-02 | セントレ・ナショナル・デ・ラ・レシェルシェ・サイエンティフィーク | 垂直型金属半導体マイクロ共振器による光検出装置およびその製造方法 |
JP2006344673A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 検出器 |
WO2008072688A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Nec Corporation | フォトダイオード |
US7420225B1 (en) * | 2005-11-30 | 2008-09-02 | Sandia Corporation | Direct detector for terahertz radiation |
JP2012528481A (ja) * | 2009-05-26 | 2012-11-12 | ユニバーシティ オブ ソウル インダストリー コーポレーション ファウンデーション | 光検出器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6069380A (en) * | 1997-07-25 | 2000-05-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Single-electron floating-gate MOS memory |
JP4029420B2 (ja) * | 1999-07-15 | 2008-01-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ミリ波・遠赤外光検出器 |
US7135728B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-11-14 | Nanosys, Inc. | Large-area nanoenabled macroelectronic substrates and uses therefor |
US7095058B2 (en) * | 2003-03-21 | 2006-08-22 | Intel Corporation | System and method for an improved light-emitting device |
EP1814713A4 (en) * | 2004-11-09 | 2017-07-26 | Board of Regents, The University of Texas System | The fabrication and application of nanofiber ribbons and sheets and twisted and non-twisted nanofiber yarns |
US20070298551A1 (en) * | 2006-02-10 | 2007-12-27 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Fabrication of silicon nano wires and gate-all-around MOS devices |
-
2010
- 2010-07-05 JP JP2012514896A patent/JP5374643B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-05 WO PCT/KR2010/004350 patent/WO2011004990A1/en active Application Filing
- 2010-07-05 EP EP10797264.8A patent/EP2452364A4/en not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003520438A (ja) * | 2000-01-14 | 2003-07-02 | セントレ・ナショナル・デ・ラ・レシェルシェ・サイエンティフィーク | 垂直型金属半導体マイクロ共振器による光検出装置およびその製造方法 |
JP2006344673A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 検出器 |
US7420225B1 (en) * | 2005-11-30 | 2008-09-02 | Sandia Corporation | Direct detector for terahertz radiation |
WO2008072688A1 (ja) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Nec Corporation | フォトダイオード |
JP2012528481A (ja) * | 2009-05-26 | 2012-11-12 | ユニバーシティ オブ ソウル インダストリー コーポレーション ファウンデーション | 光検出器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6013026134; J.Fujikata: '"Waveguide-Integrated Si Nano-Photodiode with Surface-Plasmon Antenna and its Application to On-chip' Applied Physics Express Vol.1 (2008), 022001 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150057486A (ko) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 삼성전자주식회사 | 위상 절연체를 이용한 표면 플라즈몬 및 편광 검출소자와 그 제조방법 및 표면 플라즈몬과 편광 검출방법 |
KR102176582B1 (ko) * | 2013-11-19 | 2020-11-09 | 삼성전자주식회사 | 위상 절연체를 이용한 표면 플라즈몬 및 편광 검출소자와 그 제조방법 및 표면 플라즈몬과 편광 검출방법 |
JP2019002852A (ja) * | 2017-06-16 | 2019-01-10 | 株式会社豊田中央研究所 | 電磁波検出器およびその製造方法 |
JP2021192015A (ja) * | 2020-06-05 | 2021-12-16 | 富士通株式会社 | 光センサ |
JP7540204B2 (ja) | 2020-06-05 | 2024-08-27 | 富士通株式会社 | 光センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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JP5374643B2 (ja) | 2013-12-25 |
EP2452364A4 (en) | 2017-12-06 |
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