JP2012516553A - フラッシュ・メモリ・デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フラッシュ・メモリ・デバイスは、ウェハと、このウェハの上に配置されたゲート酸化物層と、このゲート酸化物層、ウェハ、またはそれらの組み合わせの上に配置された浮動ゲートであって、平坦な浮動ゲート部およびこの平坦な浮動ゲート部の選択された領域の上に配置された概ね矩形の浮動ゲート部を含む浮動ゲートと、浮動ゲートの上に配置された高K誘電材料と、高K誘電材料の上に配置された制御ゲートとを含み、高K誘電材料が浮動ゲートを制御ゲートに結合するジグザグ・パターンを形成する。
【選択図】 図2
Description
Claims (19)
- ウェハと、
前記ウェハの上に配置されたゲート酸化物層と、
前記ゲート酸化物層、前記ウェハ、またはそれらの組み合わせの上に配置された浮動ゲートであって、
平坦な浮動ゲート部および前記平坦な浮動ゲート部の選択された領域の上に配置された概ね矩形の浮動ゲート部を含む前記浮動ゲートと、
前記浮動ゲートの上に配置された高K誘電材料と、
前記高K誘電材料の上に配置された制御ゲートと、
を含み、前記高K誘電材料が前記浮動ゲートを前記制御ゲートに結合するジグザグ・パターンを形成する、フラッシュ・メモリ・デバイス。 - 前記フラッシュ・メモリ・デバイスが窒化物スペーサを更に含む、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記ウェハがベース半導体構造である、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記ベース半導体構造が、バルク・シリコン基板構造、シリコン・オン・サファイヤ(SOS)構造、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)構造、シリコン・オン・ナッシング(SON)構造、薄膜トランジスタ(TFT)構造、ドーピングもしくは非ドーピング半導体、またはベース半導体によって支持されたシリコンのエピタキシャル層を含む構造、または前記の構造の少なくとも1つの組み合わせである、請求項3に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記ベース半導体構造がシリコン・オン・インシュレータ(SOI)構造である、請求項4に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記ウェハが、シリコン・オン・インシュレータ(SOI)層、埋め込み酸化物(BOX)層、および基板層を含む、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記基板層が、ゲルマニウム、シリコン、またはシリコン−ゲルマニウムのようなゲルマニウムおよびシリコンの組み合わせを含む、請求項6に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記概ね矩形の浮動ゲート部が、ポリシリコンゲルマニウム(ポリSiGe)、タングステンおよびモリブデンのような導電性金属、窒化チタン、窒化タンタル、および窒化タングステンのような導電性金属窒化物、または前記の材料の少なくとも1つを含む組み合わせを含み、前記平坦な浮動ゲート部がポリシリコン(ポリSi)を含む、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記概ね矩形の浮動ゲート部がポリシリコンゲルマニウムを含み、前記平坦な浮動ゲート部がポリシリコンを含む、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記高K誘電材料が酸化ハフニウムを含む、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- 前記制御ゲートがポリシリコンを含む、請求項1に記載のフラッシュ・メモリ・デバイス。
- ウェハ上にゲート酸化物を形成することと、
前記ウェハ上に第1の浮動ゲート層を配置することと、
前記第1の浮動ゲート層上に第2の浮動ゲート層を配置することと、
前記第2の浮動ゲート層の上にレジスト・マスクをパターニングすることと、
エッチングを行って、前記第2の浮動ゲート層の保護されていない部分の少なくとも一部を除去することであって、前記第1の浮動ゲート層が実質的に損傷されないままであり、 前記エッチングが、前記第1の浮動ゲート層上に配置された複数の概ね矩形の形状を有する第2の浮動ゲート層を画定し、前記第1の浮動ゲート層が実質的に平坦であることと、
前記レジスト・マスクを除去することと、
前記第2の浮動ゲート層および前記第1の浮動ゲート層の上に高K誘電材料を配置することと、
前記高K誘電材料の上に制御ゲート層を配置することと、
を含み、前記高K誘電材料が前記第2の浮動ゲート層および前記第1の浮動ゲート層を前記制御ゲート層に結合するジグザグ・パターンを形成する、フラッシュ・メモリ・デバイスを製造する方法。 - 第2のエッチングを行って、前記第1の浮動ゲート層、前記高誘電材料層、前記第2の浮動ゲート層、および前記制御ゲート層を除去することを更に含む、請求項12に記載の方法。
- ハロおよび拡張部注入、スペーサ形成、およびドーパントを活性化させるためのSD注入およびSDアニーリングを行うことを更に含む、請求項12に記載の方法。
- 前記第1の浮動ゲート層がポリシリコン(ポリSi)を含み、前記第2の浮動ゲート層が、ポリシリコンゲルマニウム(ポリSiGe)、タングステンおよびモリブデンのような導電性金属、窒化チタン、窒化タンタル、および窒化タングステンのような導電性金属窒化物、または前記の材料の少なくとも1つを含む組み合わせを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記第1の浮動ゲート部がポリシリコンを含み、前記第2の浮動ゲート部がポリシリコンゲルマニウムを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記高K誘電材料が酸化ハフニウムを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記制御ゲートがポリシリコンを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記エッチングが前記第2の浮動ゲート層の保護されていない部分を実質的に除去する、請求項12に記載の方法。
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