JP2012510133A - 真空によってアシストされる目的物のマニピュレーション - Google Patents

Abstract

記憶装置処理装置はマニホールド（３２０）、マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素（３１３ａ〜３１３ｄ）、および１つまたは複数の先端部（３３０ａ〜３３０ｄ）を備える。それぞれの先端部は対応する真空吸引構成要素の１つの端部と結合する。それぞれの先端部は１つまたは複数の運動軸に適合する。
【選択図】図１

Description

本開示は、真空によってアシストされる目的物のマニピュレーションに関し、より詳細には、空洞（例えば、スロットおよび／または収容部）に保持される記憶装置の真空アシストによる取り出しおよび交換に関する。

ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、一般に大量に生産される。内部構成要素のケースへの最終組み立ては、一般に消費者が見るように、おそらく、ラベルの貼り付けを除き、最終的な物理的組み立てステップとして追加される関連回路基板（単数または複数）と共にクリーンルームで行われる。

最終組み立て後に、ＨＤＤは、一般に運搬具として知られるキャリアのスロットに個別に入れられる。運搬具は、一般に個々に短距離を運ぶことができる大きさであり、多数のスロットを備え、それぞれのスロットは、１つのＨＤＤを保持する。運搬具がＨＤＤ工場の組み立て後のさまざまな製造プロセスに移動すると、ＨＤＤは、取り外され、別のステップ（例えば、最終試験、ラベル貼り、包装）で処理され、次の製造プロセスステップに移送させるために運搬具スロットに再挿入される。

コストの削減は、電子機器製造の重要な要素であり、このために、運搬具は、運搬具構造の外壁の制限の中でできるだけ多くの個別のＨＤＤ保持空洞（「スロット」または「収容部」）を備えることになる。その結果、ＨＤＤは、運搬具の中で密集するので、スロットからの取り出しおよびスロットへの再挿入の間にＨＤＤを把持するために機械が係合するための限られた表面積を呈する。

ＨＤＤの繊細な特性のために、ＨＤＤのさまざまな表面に加えられてもよい力が制限され、前述の運搬具中の密集したＨＤＤのために、運搬具の前面端よりも奥にあるＨＤＤの小領域を把持することによる取り出しおよび再挿入は、一般に人間によって行われる。一般に、ＨＤＤユニットのロボットによる把持、特に、スロットの前面の奥にあるＨＤＤの領域の把持は、過度の力が加えられた場合に損傷の危険性があるために推奨されていない。

１つの態様では、記憶装置処理装置は、マニホールドと、マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素と、１つまたは複数の先端部と、を備える。それぞれの先端部は、対応する真空吸引構成要素の１つの端部と結合する。それぞれの先端部は、１つまたは複数の運動軸に適合する。

別の態様では、記憶装置処理装置は、マニホールドと、マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素と、柔軟なパッドと、を備える。柔軟なパッドは、１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する多くの流路を備える。

さらなる態様では、記憶装置処理システムは、真空供給源と、真空供給源と流体連通するマニホールドと、マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素と、１つまたは複数の先端部と、を備える。それぞれの先端部は、対応する真空吸引構成要素の１つの端部と結合する。それぞれの先端部は、１つまたは複数の運動軸に適合する。

さらに別の態様では、記憶装置処理システムは、真空供給源と、真空供給源と流体連通するマニホールドと、マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素と、１つまたは複数の柔軟なパッドと、を備える。１つまたは複数の柔軟なパッドは、１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する多くの流路を備える。

別の態様では、記憶装置を処理する方法は端部作動部と記憶装置の１つまたは複数の表面とを係合する工程を含む。端部作動部は、マニホールドと、マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素と、を備える。方法は、マニホールドに真空を供給する工程と、端部作動部と共に収容部から記憶装置を取り出す工程と、をも含む。

開示された方法の実施形態では、システムおよび装置は、１つまたは複数の以下の特徴を備えていてもよい。

ある実施形態では、先端部は、シリコーンから形成される。

ある場合には、装置は、真空吸引構成要素に隣接して配置され、真空吸引構成要素によって係合された記憶装置を支持するように配置される棚も備えることができる。真空吸引構成要素は、棚に対して移動可能にすることができる。

ある場合には、装置は、１つまたは複数の先端部によって係合される記憶装置のたわみによって記憶装置から１つまたは複数の先端部がはずれる距離よりも近い距離で真空吸引構成要素に隣接して位置する棚を備えることもできる。

装置はマニホールドと流体連通する流量センサと、１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する１つまたは複数のバルブと、を備えることもできる。それぞれのバルブの１つは、対応する真空吸引構成要素の１つに関連する。それぞれのバルブは、関連する１つの真空吸引構成要素を通じた空気の流れを抑制するように操作可能である。

ある実施形態では、柔軟なパッドは、多くの断片を備え、それぞれの断片は、１つまたは複数の他の断片に取り付けられている。それぞれの断片は、１つまたは複数の真空吸引構成要素の少なくとも１つと流体連通する。

ある実装形態では、断片は、互いに対して移動可能である。

システムは、真空吸引構成要素の可動部を制御するように操作可能な自動化された機械をも備えることができる。自動化された機械は、マニホールドに接続されている可動腕を有するロボットを備えることができる。

システムは、マニホールドと流体連通するセンサと、１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する１つまたは複数のバルブと、センサおよび１つまたは複数のバルブと電気的に接続された制御装置と、をも備えることができる。

制御装置は、少なくとも部分的には、センサから受信される信号に基づいて、１つまたは複数のバルブの少なくとも１つの動作を制御するように構成されることができる。

センサは、圧力センサまたは流量センサであることができる。

方法は、１つまたは複数の真空吸引構成要素とマニホールドとの間の流体の伝達を順次に遮断する工程と、マニホールドの中の圧力を監視する工程と、マニホールドの中の圧力がしきい値圧力を超えた場合に１つまたは複数の真空吸引構成要素とマニホールドとの間の流体の伝達を減少させる工程と、をも含むことができる。

方法は、１つまたは複数の真空吸引構成要素とマニホールドとの間の流体の伝達を順次に遮断する工程と、マニホールドの中の流量を監視する工程と、マニホールドの中の流量がしきい値圧力を下回った場合に１つまたは複数の真空吸引構成要素とマニホールドとの間の流体の伝達を減少させる工程と、をも含むことができる。

実施形態は１つまたは複数の以下の利点を含むことができる。

ある実施形態では、記憶装置などの目的物が格納されている空洞から目的物を取り外しまたは取り出すために機械的に係合される目的物に対応していることにより、人間による取り出しが機械による取り出しに置き換えられる。

ある実施形態では、システム、装置、および／または方法は記憶装置などの目的物が格納されている空洞から目的物を機械的に取り出すことを可能にすると共に、同時に記憶装置の表面（単数または複数）の不規則性を許容する。

ある実施形態では、システム、装置、および／または方法は、記憶装置などの目的物が格納されている空洞から、目的物の表面の不規則性にかかわりなく、目的物を機械的に取り出すことを可能にする。

ある実施形態では、目的物に損傷を与えないで、限られた空洞空間から小型の目的物を取り出すことができる。

ある実施形態では、目的物に損傷を与えないで、限られた空洞空間へ、繊細な、小型の目的物を挿入することができる。

ある実施形態では、目的物に損傷を与えないで、１つまたは複数の不規則な表面外形を有する、繊細な、小型の目的物を限られた空洞空間から機械的に取り出すことができる。

ある実施形態では、目的物に損傷を与えないで、１つまたは複数の不規則な表面外形を有する、繊細な、小型の目的物を限られた空洞空間へ機械的に挿入することができる。

ある実施形態では、目的物に損傷を与えないで、１つまたは複数の不規則な表面外形を有する、繊細な、小型の目的物を機械的にマニピュレーションすることができる。

他の態様、特徴、および利点は明細書、図面、および特許請求の範囲に記載される。

記憶装置処理システムの概略図である。 運搬具および記憶装置の斜視図である。 運搬具の収容部に格納されている記憶装置の斜視図である。 柔軟な先端部を有する真空でアシストされる端部作動部の斜視図である。 図４Ａの真空でアシストされる端部作動部の別の斜視図である。 記憶装置の表面に係合する、図４Ａの端部作動部の柔軟な先端部を示す図である。 支持棚を有する真空でアシストされる端部作動部の斜視図である。 側面把持部を有する真空でアシストされる端部作動部の斜視図である。 電気的に制御される圧力および／または空気流の監視手段および弁手段を有する真空でアシストされる端部作動部の概略図である。 柔軟なパッドを有する真空でアシストされる端部作動部の斜視図である。 複数のパッド部分を有する柔軟なパッドを備える真空でアシストされる端部作動部の斜視図である。 複数のパッド部分を有する柔軟なパッドを備える真空でアシストされる端部作動部の斜視図である。

図１に示すように、記憶装置処理システム１０は、積載ステーション１００、組み立て後の処理ステーション（例えば、試験ステーション２００）、および、積載ステーション１００と試験ステーション２００との間で記憶装置２０を移動させるロボット３００を備える。本明細書で使用される記憶装置には、ディスクドライブ、固体ドライブ、メモリ素子および検証のために非同期試験が必要なすべての装置が含まれる。ディスクドライブは、一般に、デジタルに符号化されたデータを磁性面を有する高速回転する記録盤に記憶する不揮発性の記憶装置である。固体ドライブ（ＳＳＤ）は、永続性データを記憶するために固体メモリを使用するデータ記憶装置である。（フラッシュメモリの代わりに）ＳＲＡＭまたはＤＲＡＭを使用するＳＳＤは、ＲＡＭドライブとしばしば呼ばれる。固体という用語は、電気機械デバイスから固体エレクトロニクスを一般に区別する用語である。

試験ステーション２００は、例えば、試験のために個々の記憶装置２０を受け取るようにそれぞれが構成された多くのスロット（例えば、試験スロット２１０）を備える。この関連で、試験のための記憶装置２０が積載ステーション１００に置かれている。ロボット３００は、試験のために積載ステーション１００から試験スロット２１０の１つへ記憶装置を移動させることができ、次いで試験または他の組み立て後の処理が完了した後に、それぞれの試験スロット２１０から記憶装置２０を取り外し、積載ステーション１００にそれを戻す。

積載ステーション１００は、記憶装置と共に搬送具を受け取るための一組の収容部（例えば、運搬具収容部１１２）を規定する積載ステーション本体１１０を備える。積載ステーション１００は、運搬具収容部１１２内で着脱可能に装着される搬送具（例えば、運搬具１２０）をも備える。図２に示すように、運搬具１２０は、それぞれが記憶装置２０を格納するように構成される多くの記憶装置収容部１２４（例えば、３０で示される）を規定する運搬具本体１２２を備える。運搬具１２０の全体の体積は、背面壁１２８および前面開口部１２９ばかりではなく、側面１２６ａ、１２６ｂ、１２６ｃ、および１２６ｄによって規定される。運搬具の体積中に記憶装置収容部１２４があり、それぞれの記憶装置収容部１２４は、側壁１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｃ、および１２４ｄによって規定される。ある場合には、１つまたは複数の側壁を有するこれらの記憶装置収容部１２４が運搬具の側面１２６ａ〜１２６ｄにも相当することを除いて、記憶装置収容部１２４を規定する側壁は、前面開口部１２９の面までは延在しない。運搬具１２０は、カートなどの車両に装着されてもよいし、該乗り物に組み込み、記憶装置２０を更に簡単に移送するようにしてもよい。

典型的な記憶装置２０を図２に示す。記憶装置２０は、大きな上面２２、大きな底面２３、側面２４ａおよび側面２４ｂ、並びに、前面２５を備える。ステッカー２６などの目的物が前面２５に存在し、不規則な外形表面を示してもよい。回路基板は、１つまたは複数の大きな表面２２または２３の上にしばしば存在して、覆い、全表面を構成する。

図３に示されるように、記憶装置２０が収容部１２４の１つに挿入されると、記憶装置の表面２２、２３、２４ａ、２４ｂ、および２５の表面積のほんの一部だけが、収容部側壁１２４ａ、１２４ｂ、１２４ｃ、および１２４ｄの先端を超えて延在する。このように、少なくとも最初は、比較的小さな領域だけが、ロボット３００によるマニピュレーションのために存在する。

図１を再び参照すると、ロボット３００は、ロボットアーム３１０およびロボットアーム３１０の遠位端３１５に配置される端部作動部（すなわちマニピュレーター）３１２を備える。ロボットアーム３１０は、床表面３１６に対して実質的に垂直な第１の軸３１４を規定し、所定の円弧で回転するように動作し、第１の軸３１４から実質的に半径方向に延びる。ロボットアーム３１０は、記憶装置２０を積載ステーション１００と試験ステーション２００との間で移動させることによって、それぞれの試験スロット２１０に対して独立してサービスを提供するように構成される。特に、端部作動部３１２と共にロボットアーム３１０は、積載ステーション２００の１つの記憶装置収容部１２４から記憶装置２０を取り外し、例えば、記憶装置２０の試験のために記憶装置２０を試験スロット２１０に移動するように構成される。試験後、ロボットアーム３１０は、記憶装置２０を試験スロット２１０から取り出し、記憶装置２０を積載ステーション２００の記憶装置収容部１２４の１つに戻す。

図４Ａおよび図４Ｂに示すように、１つの実施形態では、端部作動部３１２は、マニホールド３２０および多くの把持部（すなわち真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄ）を備える。真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄは、マニホールド３２０の前面に沿って実質的に線形に配列されている（すなわち、真空作動部アレーまたは把持部アレー３２３）。マニホールド３２０は、１つの出口ポート３２２と、マニホールド３２０によって規定される真空導管３２５を介して出口ポート３２２と流体連通する多くの入口ポート３２４と、を備える。マニホールド３２０は、ロボットアーム３１０（図１）の遠位端３１５に、例えば、取り付け金具３１１を介して堅く装着される。

真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄのそれぞれは、管３２６の近位端３２８（図４Ｂ）から管３２６の遠位端３２９に延在する真空内腔３２７を有する実質的に中空の管３２６を備える。関連する先端部３３０ａ〜３３０ｄは、それぞれの管３２６の遠位端３２９またはその近傍に装着される。先端部３３０ａ〜３３０ｄは、１つまたは複数の運動軸に適合し、例えば、シリコーンゴムで形成されてもよい。先端部３３０ａ〜３３０ｄは、真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄが係合することが意図される記憶装置２０の厚さよりも薄い（例えば、直径が小さい）大きさである流体通路３３２を規定する略中空の、管状形状の構成要素である。

それぞれの近位端３２８で、真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄは、それぞれ対応する入口ポート３２４の１つと接続し、それぞれの真空内腔３２７は、マニホールド３２０の真空導管３２５と流体連通する。注入管３４０は、第１の端部３４１で、マニホールド３２０の出口ポート３２２に接続される。注入管３４０は、第２の端部３４２（図１）で、真空供給源３４４（図１）、例えば、真空ポンプに接続される。真空供給源３４４は、記憶装置２０の表面２５などの表面と係合するために使用されてもよい先端部３３０の流体通路３３２を通じて周囲大気を最終的に吸引する真空を生成する。

図５は、記憶装置２０の前面２５と係合する真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄを示す。先端部３３０ａ〜３３０ｄの適合性によって、先端部３３０ａ〜３３０ｄは、表面の不規則性またはステッカー２６などの表面の特徴に対して係合し、ステッカー２６および前面２５によって形成される不規則な表面の外形に実質的に適合することができ、密閉状態を提供してロボット３００（図１）および端部作動部３１２が、収容部１２４に制約される記憶装置２０の軸３０に実質的に平行な方向に移動するにつれて、運搬具１２０内の収容部１２４から記憶装置２０を取り外すことを可能にしている（図２）。

（他の実施形態）
ある実施形態が上述されてきたが、他の実施形態も可能である。

例えば、図６を参照すると、ある実施形態では、取り外された記憶装置２０をさらに支持するために支持部（例えば、棚３５０）を加えることができるので、記憶装置２０のすべての質量を真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄで支持する必要がない。

収容部１２４からの記憶装置２０の取り出しまたは記憶装置２０の収容部１２４への挿入の間に、真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄは、記憶装置２０の取り外しまたは挿入を容易にするために、棚３５０とは無関係に実質的に水平に移動してもよい。例えば、棚３５０はロボットアーム３１０（図１）の遠位端３１５（図１）に堅く接続されてもよく、マニホールド３２０は、棚３５０を介してロボットアーム３１０（図１）の遠位端３１５（図１）に接続されてもよい。特に、マニホールド３２０は、リニア軸受３５２および／または、マニホールド３２０が棚３５０に対して移動できる線形移動台によって、棚３５０に接続されてもよい。棚３５０に対するマニホールド３２０の移動は、線形アクチュエータ３５４、または、代替的に、処理制御装置４０の制御のもとにあるソレノイドによって制御されてもよい。

図７を参照すると、ある実施形態では、さらに真空吸引構成要素、すなわち側面把持部３６０および先端部３６２を記憶装置２０の側面２４ａおよび側面２４ｂを把持するために使用することができるので、運搬具１２０（図２）からの完全な取り外しが容易になり、使用するまたは組み立て後の処理のために記憶装置２０を別の場所（例えば、試験ステーション２００（図１））に移動させることができる。

ある場合には、記憶装置収容部１２４の中の記憶装置２０を保持する保持力を超えた、端部作動部３１２に加えることのできる所与の吸引力の限界である、十分な保持力で真空吸引構成要素すなわち把持部３１３ａ〜３１３ｄが記憶装置前面２５に取り付けられることを妨ぐために、十分な表面の不規則性があってもよい。

それ故に、端部作動部３１２は、マニホールドセンサおよび弁手段を備えてもよい。例えば、図８に示すように、先端部３３０ａ〜３３０ｄは、記憶装置の前面２５に係合するが、先端部３３０ｄは、表面の不規則性２９に遭遇している。その結果、マニホールド３２０が意図された真空レベルに到達することを防ぐ真空漏れによって、先端部３３０ｄの流体通路３３２と表面２５との間は密封されないので、記憶装置収容部１２４から記憶装置２０を取り出すために表面２５に加えられる力が不十分である可能性がある。

しかしながら、圧力センサ４２は、マニホールド圧力が最低限の圧力またはしきい値の圧力よりも小さいことを処理制御装置４０に報告できる。代替的に、または追加として、空気流量センサ４４がマニホールド３２０への空気流量が最大の値またはしきい値を超えることを処理制御装置４０に報告できる。この場合、処理制御装置４０は、バルブ４６を作動させ、先端部３３０ｄを吸引力源マニホールド３２０から遮断してもよい。この結果、アレー３２３が記憶装置の前面２５に加える保持力は、先端部３３０ｄを遮断しない場合のようには著しく低下しないので、記憶装置２０を記憶装置収容部１２４から取り外すことができる。

先端部３３０ａ〜３３０ｄのどれを遮断するべきかを決定するために、制御装置４０は、それぞれのバルブ４６を逐次に閉めてそれぞれの先端部３３０ａ〜３３０ｄへの流れを遮断し、結果として生じるマニホールド圧力またはマニホールド３２０からの流量を監視する。バルブ４６を閉鎖して、しきい値の圧力を超えてマニホールド圧力が増加し、または、しきい値の流量未満にマニホールド流量が減少する場合には、不完全な先端部の密閉が特定されている。バルブの閉鎖によってマニホールド圧力またはマニホールド流量に影響がない場合には、すべてのマニホールド先端部３３０ａ〜３３０ｄで記憶装置前面２５との密閉が有効に働いている。

別の実施形態では、図９を参照すると、端部作動部３１２は、マニホールド３２０と端部作動部３１２の前面の、半硬質の表面３７４との間で流体の伝達ができる多くの小さな穴または流路３７２のネットワーク含む柔軟なパッド３７０を備える。前面３７４以外の柔軟なパッド３７０の表面は実質的に密閉され、これらの場所での、真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄへの吸引用途での空気の流入を防ぐ。マニホールド３２０に供給される真空は記憶装置の前面２５にわたって分配され、パッド３７０の柔軟な性質は表面の不規則性に適合する。

図１０Ａに示すさらなる実施形態では、端部作動部３１２は、１つまたは複数の柔軟なパッド断片を有する柔軟なパッド３８０を備えるように構成され、この場合、柔軟なパッド断片３８２ａ、３８２ｂ、および３８２ｃは記憶装置２０の１つまたは複数の表面（上面２２、底面２３、左側側面２４ａ、および右側側面２４ｂ）に係合する。柔軟なパッド断片３８２ａ、３８２ｂ、および３８２ｃは互いに結合していてもよいし、結合していなくてもよい。マニホールド３２０に真空が加えられると、記憶装置２０は、端部作動部３１２にしっかりと保持される。真空吸引構成要素３１３ａ〜３１３ｄは、テレスコープ式すなわち延長できるようにしてもよく、ある場合には、柔軟なパッド３８２ａ、３８２ｂ、および３８２ｃが、例えば、記憶装置２０の上面２２、前面２５、および底面２３と適合し、または、図１０Ｂに示すように左側２４ａ、前面２５、および右側２４ｂ表面（例えば、図１０Ａ参照）と適合するように曲げやすくなっていてもよい。

柔軟なパッド３８２ａ、３８２ｂ、および３８２ｃによって周囲圧力よりも小さい所与の真空が加わる記憶装置２０の表面積が増加するという観点から、把持部アレー３２３が記憶装置２０に加えることができる限界力は先端部３３０を備える実施形態の限界力より大きくなってもよい。別の観点からは、記憶装置２０の取り出しに必要とされる力は更に小さい真空で作りだされてもよい。その結果、柔軟なパッド３７０または３８０を使用した場合には、記憶装置２０の前面２５、上面２２、底面２３、左側２４ａ、および右側２４ｂ表面に加わるストレスが、先端部３３０を使用した場合に比べて小さくなり、その結果、記憶装置２０に損傷を与える危険性が減る。

他の実施形態は、添付の特許請求の範囲にある。

Claims (28)

1. マニホールド（３２０）と、
   前記マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素（３１３ａ〜３１３ｄ）と、
   それぞれの先端部が対応する前記真空吸引構成要素の１つの端部と結合する、１つまたは複数の先端部（３３０ａ〜３３０ｄ）と、を具備する記憶装置処理装置であって、
   それぞれの先端部は、１つまたは複数の運動軸に適合する、記憶装置処理装置。
2. 請求項１に記載の装置において、
   前記先端部は、シリコーンから形成される、装置。
3. 請求項１または２に記載の装置において、
   前記真空吸引構成要素に隣接して配置され、前記真空吸引構成要素によって係合された記憶装置を支持するように配置される棚（３５０）をさらに具備する、装置。
4. 請求項１に記載の装置において、
   前記１つまたは複数の先端部によって係合される記憶装置のたわみによって前記記憶装置から前記１つまたは複数の先端部がはずれる距離よりも近い距離で前記真空吸引構成要素に隣接して位置する棚（３５０）をさらに具備する、装置。
5. 請求項３または４に記載の装置において、
   前記真空吸引構成要素は、前記棚に対して移動可能である、装置。
6. 請求項１乃至５の何れかに記載の装置において、
   前記マニホールドと流体連通する流量センサ（４４）と、前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する１つまたは複数のバルブ（４６）と、をさらに具備する、装置。
7. 請求項１乃至５の何れかに記載の装置において、
   前記マニホールドと流体連通する圧力センサ（４２）と、前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する１つまたは複数のバルブ（４６）とをさらに具備する、装置。
8. 請求項６または７に記載の装置において、
   それぞれの前記バルブの１つは対応する前記真空吸引構成要素の１つに関連し、
   それぞれのバルブは関連する１つの前記真空吸引構成要素を通じた空気の流れを抑制するように操作可能である、装置。
9. 記憶装置処理装置であって、
   マニホールド（３５０）と、
   前記マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素（３１３ａ〜３１３ｄ）と、
   前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する多くの流路を備える柔軟なパッド（３７０、３８０）と、を具備する、記憶装置処理装置。
10. 請求項９に記載の装置において、
    前記柔軟なパッド（３８０）は、多くの断片（３８２ａ〜３８２ｃ）をさらに備え、
    それぞれの断片は、１つまたは複数の他の前記断片に取り付けられ、
    それぞれの断片は、前記１つまたは複数の真空吸引構成要素の少なくとも１つと流体連通する、装置。
11. 請求項１０に記載の装置において、
    前記断片は、互いに対して移動可能である、装置。
12. 記憶装置処理システムであって、
    真空供給源（３４４）と、
    前記真空供給源と流体連通するマニホールド（３２０）と、
    前記マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素（３１３ａ〜３１３ｄ）と、
    それぞれの先端部が対応する前記真空吸引構成要素の１つの端部と結合する１つまたは複数の先端部（３３０ａ〜３３０ｄ）と、を備え、
    それぞれの先端部は、１つまたは複数の運動軸に適合する記憶装置処理システム。
13. 請求項１２に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記真空吸引構成要素の可動部を制御するように操作可能である自動化された機械をさらに具備する、記憶装置処理システム。
14. 請求項１３に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記自動化された機械は、前記マニホールドに接続されている可動腕（３１０）を備えるロボット（３００）を具備する、記憶装置処理システム。
15. 請求項１２乃至１４の何れかに記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記マニホールドと流体連通するセンサ（４２、４４）と、
    前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する１つまたは複数のバルブ（４６）と、
    前記センサおよび前記１つまたは複数のバルブと電気的に接続される制御装置（４０）と、をさらに具備する、記憶装置処理システム。
16. 請求項１５に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記制御装置は、少なくとも部分的には、前記センサから受信される信号に基づいて、少なくとも前記１つまたは複数のバルブの１つの動作を制御するように構成される、記憶装置処理システム。
17. 請求項１５または１６に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記センサは、圧力センサ（４２）である、記憶装置処理システム。
18. 請求項１５または請求項１６に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記センサは、流量センサ（４４）である、記憶装置処理システム。
19. 記憶装置処理システムであって、
    真空供給源（３４４）と、
    前記真空供給源と流体連通するマニホールド（３２０）と、
    前記マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素（３１３ａ〜３１３ｄ）と、
    前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する多くの流路を備える１つまたは複数の柔軟なパッド（３７０、３８２）と、を具備する、記憶装置処理システム。
20. 請求項１９に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記真空吸引構成要素の可動部を制御するように操作可能である自動化された機械をさらに具備する、記憶装置処理システム。
21. 請求項２０に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記自動化された機械は、前記マニホールドに接続されている可動腕（３１０）を備えるロボット（３００）を具備する、記憶装置処理システム。
22. 請求項１９乃至２１の何れかに記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記マニホールドと流体連通するセンサ（４２、４４）と、
    前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と流体連通する１つまたは複数のバルブ（４６）と、
    前記センサおよび前記１つまたは複数のバルブと電気的に接続された制御装置（４０）と、をさらに具備する、記憶装置処理システム。
23. 請求項２２に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記制御装置は、少なくとも部分的には、前記センサから受信される信号に基づいて、前記１つまたは複数のバルブの少なくとも１つの動作を制御するように構成される、記憶装置処理システム。
24. 請求項２２または２３に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記センサは、圧力センサ（４２）である、記憶装置処理システム。
25. 請求項２２または２３に記載の記憶装置処理システムにおいて、
    前記センサは、流量センサ（４４）である、記憶装置処理システム。
26. 記憶装置の処理方法において、
    記憶装置（２０）の１つまたは複数の表面（２２、２３、２４ａ、２４ｂ、２５）を、マニホールド（３２０）と前記マニホールドと流体連通する１つまたは複数の真空吸引構成要素（３１３ａ〜３１３ｄ）とを具備する端部作動部（３１２）に係合させる工程と、
    前記マニホールドに真空を供給する工程と、
    前記端部作動部と共に収容部から前記記憶装置を取り出す工程と、を含む、記憶装置の処理方法。
27. 請求項２６に記載の方法において、
    前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と前記マニホールドとの間の流体の伝達を順次に遮断する工程と、
    前記マニホールドの中の圧力を監視する工程と、
    前記マニホールドの中の圧力がしきい値圧力を超えた場合に、前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と前記マニホールドとの間の流体の伝達を減少させる工程と、をさらに含む、方法。
28. 請求項２６に記載の方法において、
    前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と前記マニホールドとの間の流体の伝達を順次に遮断する工程と、
    前記マニホールドの中の流量を監視する工程と、
    前記マニホールドの中の流量がしきい値圧力を下回った場合に、前記１つまたは複数の真空吸引構成要素と前記マニホールドとの間の流体の伝達を減少させる工程と、をさらに含む、方法。

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