JP2012509834A - 高純度シリコンを製造するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (21)
- ケイ素化合物の熱分解により高純度のシリコンを製造する方法であって、ケイ素化合物は、ケイ素化合物が熱分解する温度のキャリアガスと混合することにより分解されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載された方法であって、ケイ素化合物の分解に必要なエネルギーは、少なくともその一部が、好適な態様ではその全部が、キャリアガスによって供給されることを特徴とする方法。
- 請求項1又は請求項2又は請求項1の前文に記載された方法であって、ケイ素化合物は、高純度シリコンが液状で得られるような条件下で分解されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載された方法であって、ケイ素化合物がシリコンの融点より上の温度で、特には1410℃以上の温度で分解されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載された方法であって、キャリアガスは、ケイ素化合物と混合される前に、シリコンの融点より上の温度に、特には1410℃以上の温度に加熱されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載された方法であって、キャリアガスは、ケイ素化合物と混合される前に、1410℃〜4000℃の温度に、特には2000℃〜4000℃の温度に加熱されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載された方法であって、ケイ素化合物がケイ素−水素化合物であることを特徴とする方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載された方法であって、キャリアガスが水素であることを特徴とする方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載された方法であって、キャリアガスは、ケイ素化合物と混合される前に、プラズマ発生器中で加熱されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載された方法であって、ケイ素化合物とキャリアガスとの混合物は1600℃〜1800℃の温度に調整されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載された方法であって、混合物中のケイ素化合物の割合が5重量%〜99重量%であることを特徴とする方法。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載された方法であって、ケイ素化合物とキャリアガスとの混合物が反応器中に導入されることを特徴とする方法。
- 請求項12に記載された方法であって、混合物が反応器内に200m/s〜400m/sの流速で導入されることを特徴とする方法。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載された方法であって、ケイ素−水素化合物の熱分解により生成した水素が、キャリアガスとして使用されることを特徴とする方法。
- ケイ素化合物の熱分解により、特に請求項1〜14のいずれか1項に記載された方法により、高純度シリコンを製造するための反応器であって、ケイ素化合物と1410℃を超える温度に加熱されたキャリアガスとの混合物を導入することができる耐熱性の内部空間、気体状分解生成物の排出口、及び液状シリコンの排出口を備えている反応器。
- 請求項15に記載された反応器であって、反応器内部空間の少なくとも一部が本質的に円筒形状であることを特徴とする反応器。
- 請求項15又は16に記載された反応器であって、反応器内部空間に好適には接線方向に開口しており、ケイ素化合物とキャリアガスとの混合物を導入することができる流路を有していることを特徴とする反応器。
- 請求項15〜17のいずれか1項に記載された反応器であって、気体状分解生成物の排出口は、好適には反応器内部空間に垂直に配置されている、一端が開口したチューブ状のフィルターを備えていることを特徴とする反応器。
- 請求項15〜18のいずれか1項に記載された反応器を備えている、高純度シリコンを製造するためのプラント。
- 請求項19に記載されたプラントであって、キャリアガスを1410℃を超える温度に、特には2000℃〜4000℃の温度に加熱することができる加熱装置を有していることを特徴とするプラント。
- 請求項20に記載されたプラントであって、加熱手段がプラズマ発生器であることを特徴とするプラント。
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