JP2012254490A - 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wの表面に形成された薄膜に摺接して薄膜を研磨する研磨テーブル1上の研磨パッド2をドレッサ22を用いてコンディショニングするコンディショニング方法であって、研磨パッド2の中心部と外周部との間を移動して研磨パッド2をドレッシングするドレッサ22の移動速度を研磨パッド2の所定の領域A2で標準移動レシピにおける所定の領域A2の速度より大きくして研磨パッド2のコンディショニングを行い、研磨パッド2の所定の領域A2に摺接して研磨される基板W上の薄膜の研磨速度を高めるようにした。
【選択図】図3
Description
また、基板上の比較的厚みがある絶縁膜や金属膜を除去する場合などのように、長時間研磨が必要になった場合に、研磨パッド表面の温度上昇によるセリア砥粒の研磨性能低下および研磨パッドの目立て状態変化に伴うスラリ供給能力の経時的低下という問題点がある。
標準移動レシピは、全区間で均一な速度、というわけではない。ドレッサの稼動範囲に限界があること、折り返しが存在すること、ドレッサ本体が大きさを持つことなどから、均一な速度で動かしても研磨パッドは均一に磨耗しない。標準移動レシピは上記の点を考慮に入れたシミュレーション結果をもとに、実験を行い、その結果をフィードバックすることを繰り返して実験的に作成している。ここで、移動速度を大きくする、小さくする、というのは、標準移動レシピにおける同一区間の速度と比較して大きくする、小さくすることをいう。
本発明によれば、研磨パッドがパッド表面に多数の微細な孔を有したパーフォレートパッドの場合、ドレッサの移動速度が大きい所定の領域において、ドレッサの移動速度が小さい他の領域より残留スラリの量が多くなる傾向がある。
本発明によれば、研磨パッド表面に向けて冷却ガスを吹きつけることにより、研磨パッドの温度を制御することができる。したがって、基板上の比較的厚みがある絶縁膜や金属膜を除去する場合などのように、長時間研磨が必要になった場合に、研磨パッド表面の温度上昇によるセリア砥粒の研磨性能低下および研磨パッドの目立て状態変化に伴うスラリ供給能力の経時的低下という問題を解消することができる。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドは研磨パッドの表面に孔が多数設けられているパッドであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記基板上の薄膜の研磨時にセリア粒子を含む研磨液を用いることを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記基板上の薄膜の研磨時に前記研磨パッドに冷却ガスを吹きつけて研磨パッドを冷却することを特徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨パッドの所定の領域は、基板の研磨中に前記基板の中央領域に摺接する領域であることを特徴とする。
本発明の研磨方法は、請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載のコンディショニング方法で研磨パッドをドレッシングした後、該ドレッシングした研磨パッドに基板の被研磨面を摺接して前記基板の表面に形成された薄膜を研磨することを特徴とする。
本発明の研磨装置は、請求項8乃至請求項14のいずれか一項に記載のコンディショニング装置を備えている。
また、本発明によれば、研磨パッドをドレッシングするドレッサの移動速度を研磨パッドの所定の領域で標準移動レシピにおける前記所定の領域の速度より大きくするか又は逆に小さくし、研磨パッドの前記所定の領域に摺接して研磨される基板上の薄膜の研磨速度をより高める又はより低下させるようにできるため、基板の所定の領域において意図的に研磨量を多くしたい又は逆に少なくしたいという要請にも応えることができる。
ここで、半径方向位置約80mmにおける標準揺動速度は、11mm/secであり、半径方向位置約180mmにおける標準揺動速度は、21mm/secであり、半径方向位置約220mmにおける標準揺動速度は、21mm/secであり、半径方向位置約350mmにおける標準揺動速度は、13mm/secである。
これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。
1a テーブル軸
2 研磨パッド
2a 研磨面
3 研磨液供給ノズル
10 トップリング
11 トップリングシャフト
12 トップリングヘッド
13 トップリングヘッドシャフト
20 コンディショニング装置
21 ドレッサアーム
21a ドレッシング部材
22 ドレッサ
23 揺動軸
24 モータ
28 支軸
30 冷却ノズル
30a ガス噴射口
40 制御装置
W 基板
Claims (16)
- 基板の表面に形成された薄膜に摺接して薄膜を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドをドレッサを用いてコンディショニングするコンディショニング方法であって、
前記研磨パッドの中心部と外周部との間を移動して研磨パッドをドレッシングするドレッサの移動速度を研磨パッドの所定の領域で標準移動レシピにおける前記所定の領域の速度より大きくして研磨パッドのコンディショニングを行い、研磨パッドの前記所定の領域に摺接して研磨される基板上の薄膜の研磨速度を高めるようにしたことを特徴とする研磨パッドのコンディショニング方法。 - 基板の表面に形成された薄膜に摺接して薄膜を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドをドレッサを用いてコンディショニングするコンディショニング方法であって、
前記研磨パッドの中心部と外周部との間を移動して研磨パッドをドレッシングするドレッサの移動速度を研磨パッドの所定の領域で標準移動レシピにおける前記所定の領域の速度より小さくして研磨パッドのコンディショニングを行い、研磨パッドの前記所定の領域に摺接して研磨される基板上の薄膜の研磨速度を低下させるようにしたことを特徴とする研磨パッドのコンディショニング方法。 - 前記ドレッサの移動速度は、研磨テーブルの外側にある揺動軸を中心として揺動する前記ドレッサの揺動速度であることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドは研磨パッドの表面に孔が多数設けられているパッドであることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記基板上の薄膜の研磨時にセリア粒子を含む研磨液を用いることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記基板上の薄膜の研磨時に前記研磨パッドに冷却ガスを吹きつけて研磨パッドを冷却することを特徴とする請求項1または2に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 前記研磨パッドの所定の領域は、基板の研磨中に前記基板の中央領域に摺接する領域であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッドのコンディショニング方法。
- 基板の表面に形成された薄膜に摺接して薄膜を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドをドレッサを用いてコンディショニングするコンディショニング装置であって、
前記研磨パッドの中心部と外周部との間を移動して研磨パッドをドレッシングするドレッサを制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記ドレッサの移動速度を研磨パッドの所定の領域で標準移動レシピにおける前記所定の領域の速度より大きくして研磨パッドのコンディショニングを行うように前記ドレッサを制御し、研磨パッドの前記所定の領域に摺接して研磨される基板上の薄膜の研磨速度を高めるようにしたことを特徴とする研磨パッドのコンディショニング装置。 - 基板の表面に形成された薄膜に摺接して薄膜を研磨する研磨テーブル上の研磨パッドをドレッサを用いてコンディショニングするコンディショニング装置であって、
前記研磨パッドの中心部と外周部との間を移動して研磨パッドをドレッシングするドレッサを制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記ドレッサの移動速度を研磨パッドの所定の領域で標準移動レシピにおける前記所定の領域の速度より小さくして研磨パッドのコンディショニングを行うように前記ドレッサを制御し、研磨パッドの前記所定の領域に摺接して研磨される基板上の薄膜の研磨速度を低下させるようにしたことを特徴とする研磨パッドのコンディショニング装置。 - 前記ドレッサの移動速度は、研磨テーブルの外側にある揺動軸を中心として揺動する前記ドレッサの揺動速度であることを特徴とする請求項8または9に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記研磨パッドは研磨パッドの表面に孔が多数設けられているパッドであることを特徴とする請求項8または9に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記基板上の薄膜の研磨時にセリア粒子を含む研磨液を用いることを特徴とする請求項8または9に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記基板上の薄膜の研磨時に前記研磨パッドに冷却ガスを吹きつけて研磨パッドを冷却することを特徴とする請求項8または9に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 前記研磨パッドの所定の領域は、基板の研磨中に前記基板の中央領域に摺接する領域であることを特徴とする請求項8に記載の研磨パッドのコンディショニング装置。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載のコンディショニング方法で研磨パッドをドレッシングした後、該ドレッシングした研磨パッドに基板の被研磨面を摺接して前記基板の表面に形成された薄膜を研磨することを特徴とする研磨方法。
- 請求項8乃至請求項14のいずれか一項に記載のコンディショニング装置を備えた研磨装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140106405A (ko) * | 2013-02-25 | 2014-09-03 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치에 사용되는 연마 부재의 프로파일 조정 방법 및 연마 장치 |
JP2016082174A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 信越半導体株式会社 | 研磨装置及びウェーハの研磨方法 |
JP2016124063A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置およびその制御方法 |
KR20190005119A (ko) * | 2017-07-05 | 2019-01-15 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 연마 장치 및 방법 |
US11458589B2 (en) | 2018-12-21 | 2022-10-04 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing member dressing method |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6161999B2 (ja) | 2013-08-27 | 2017-07-12 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
CN105659362B (zh) * | 2013-10-23 | 2019-11-26 | 应用材料公司 | 具有局部区域速率控制的抛光系统 |
JP6444785B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2018-12-26 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 |
WO2016196216A1 (en) | 2015-05-29 | 2016-12-08 | Sunedison Semiconductor Limited | Methods for processing semiconductor wafers having a polycrystalline finish |
JP6372859B2 (ja) * | 2015-10-01 | 2018-08-15 | 信越半導体株式会社 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び研磨装置 |
JP6509766B2 (ja) * | 2016-03-08 | 2019-05-08 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
US20180085891A1 (en) * | 2016-09-29 | 2018-03-29 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Apparatus for shaping the surface of chemical mechanical polishing pads |
US10350724B2 (en) * | 2017-07-31 | 2019-07-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Temperature control in chemical mechanical polish |
US10857651B2 (en) * | 2017-11-20 | 2020-12-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Apparatus of chemical mechanical polishing and operating method thereof |
JP6887371B2 (ja) * | 2017-12-20 | 2021-06-16 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
CN108527144B (zh) * | 2018-03-28 | 2019-11-15 | 昆山国显光电有限公司 | 基板研磨装置及其研磨方法 |
KR20200043214A (ko) * | 2018-10-17 | 2020-04-27 | 주식회사 케이씨텍 | 화학 기계적 연마 장치의 컨디셔너 |
CN111421462B (zh) * | 2019-01-08 | 2022-03-22 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 化学机械研磨方法 |
US11897079B2 (en) * | 2019-08-13 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Low-temperature metal CMP for minimizing dishing and corrosion, and improving pad asperity |
CN110744450B (zh) * | 2019-10-21 | 2021-11-26 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种抛光垫的修整器及修整方法 |
CN112658971B (zh) * | 2021-03-16 | 2021-06-22 | 晶芯成(北京)科技有限公司 | 一种化学机械研磨方法及其分析系统 |
CN115366003A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-11-22 | 兆虹精密(北京)科技有限公司 | 研磨机研磨轮的修复装置和研磨机 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000000761A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Matsushita Electron Corp | 研磨布のドレッシング方法 |
JP2005125444A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 研磨パッドのドレッシング装置 |
JP2010076049A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Ebara Corp | ドレッシング方法、ドレッシング条件の決定方法、ドレッシング条件決定プログラム、および研磨装置 |
US20100227435A1 (en) * | 2009-03-09 | 2010-09-09 | Joon-Sang Park | Chemical-mechanical polishing method for polishing phase-change material and method of fabricating phase-change memory device using the same |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5216843A (en) | 1992-09-24 | 1993-06-08 | Intel Corporation | Polishing pad conditioning apparatus for wafer planarization process |
US5876271A (en) * | 1993-08-06 | 1999-03-02 | Intel Corporation | Slurry injection and recovery method and apparatus for chemical-mechanical polishing process |
US5547417A (en) * | 1994-03-21 | 1996-08-20 | Intel Corporation | Method and apparatus for conditioning a semiconductor polishing pad |
TW355153B (en) * | 1996-05-21 | 1999-04-01 | Toshiba Machine Co Ltd | A method for leveling abrasive cloth and device for the same |
JPH10550A (ja) * | 1996-06-11 | 1998-01-06 | Toshiba Mach Co Ltd | 研磨布ドレッシング方法およびその装置 |
US6306008B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-10-23 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method for conditioning and monitoring media used for chemical-mechanical planarization |
JP4349752B2 (ja) | 2000-10-24 | 2009-10-21 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング方法 |
TW495416B (en) | 2000-10-24 | 2002-07-21 | Ebara Corp | Polishing apparatus |
US6488571B2 (en) * | 2000-12-22 | 2002-12-03 | Intel Corporation | Apparatus for enhanced rate chemical mechanical polishing with adjustable selectivity |
US6896583B2 (en) * | 2001-02-06 | 2005-05-24 | Agere Systems, Inc. | Method and apparatus for conditioning a polishing pad |
US7160739B2 (en) * | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
EP1270148A1 (en) * | 2001-06-22 | 2003-01-02 | Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG | Arrangement and method for conditioning a polishing pad |
US7011566B2 (en) * | 2002-08-26 | 2006-03-14 | Micron Technology, Inc. | Methods and systems for conditioning planarizing pads used in planarizing substrates |
JP2005026453A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Ebara Corp | 基板研磨装置および基板研磨方法 |
CN1914004B (zh) * | 2004-01-26 | 2010-06-02 | Tbw工业有限公司 | 用于化学机械平面化的多步骤、原位垫修整方法 |
US7097536B2 (en) * | 2004-06-30 | 2006-08-29 | Intel Corporation | Electrically enhanced surface planarization |
TW200613092A (en) * | 2004-08-27 | 2006-05-01 | Ebara Corp | Polishing apparatus and polishing method |
JP4756583B2 (ja) * | 2005-08-30 | 2011-08-24 | 株式会社東京精密 | 研磨パッド、パッドドレッシング評価方法、及び研磨装置 |
KR100776570B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2007-11-15 | 두산메카텍 주식회사 | 화학적 기계적 연마장비의 연마패드 개질 장치 및 방법 |
JP2008284645A (ja) | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 研磨装置および研磨方法 |
JP4902433B2 (ja) * | 2007-06-13 | 2012-03-21 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置の研磨面加熱、冷却装置 |
KR100879761B1 (ko) * | 2007-07-12 | 2009-01-21 | 주식회사 실트론 | 화학적 기계적 연마 장치 및 이를 이용한 연마 패드 드레싱방법 |
US8870625B2 (en) | 2007-11-28 | 2014-10-28 | Ebara Corporation | Method and apparatus for dressing polishing pad, profile measuring method, substrate polishing apparatus, and substrate polishing method |
US8096852B2 (en) * | 2008-08-07 | 2012-01-17 | Applied Materials, Inc. | In-situ performance prediction of pad conditioning disk by closed loop torque monitoring |
JP4873667B2 (ja) | 2009-09-18 | 2012-02-08 | 東洋ゴム工業株式会社 | 研磨パッド |
JP2011071215A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Toshiba Corp | 研磨方法および半導体装置の製造方法 |
-
2011
- 2011-06-08 JP JP2011128330A patent/JP5898420B2/ja active Active
-
2012
- 2012-05-25 TW TW101118672A patent/TWI558505B/zh active
- 2012-06-05 US US13/488,774 patent/US9469013B2/en active Active
- 2012-06-06 EP EP12004310.4A patent/EP2532478B1/en active Active
- 2012-06-08 KR KR1020120061485A patent/KR101796325B1/ko active IP Right Grant
- 2012-06-08 CN CN201210189483.5A patent/CN102814738B/zh active Active
-
2015
- 2015-12-01 JP JP2015234518A patent/JP6041967B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-11 US US15/041,284 patent/US9533395B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000000761A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Matsushita Electron Corp | 研磨布のドレッシング方法 |
JP2005125444A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 研磨パッドのドレッシング装置 |
JP2010076049A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Ebara Corp | ドレッシング方法、ドレッシング条件の決定方法、ドレッシング条件決定プログラム、および研磨装置 |
US20100227435A1 (en) * | 2009-03-09 | 2010-09-09 | Joon-Sang Park | Chemical-mechanical polishing method for polishing phase-change material and method of fabricating phase-change memory device using the same |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014161944A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Ebara Corp | 研磨装置に使用される研磨部材のプロファイル調整方法、および研磨装置 |
KR20140106405A (ko) * | 2013-02-25 | 2014-09-03 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치에 사용되는 연마 부재의 프로파일 조정 방법 및 연마 장치 |
KR101660101B1 (ko) * | 2013-02-25 | 2016-09-26 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치에 사용되는 연마 부재의 프로파일 조정 방법 및 연마 장치 |
US10532442B2 (en) | 2014-10-21 | 2020-01-14 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Polishing apparatus and wafer polishing method |
JP2016082174A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 信越半導体株式会社 | 研磨装置及びウェーハの研磨方法 |
KR20170072883A (ko) * | 2014-10-21 | 2017-06-27 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 연마장치 및 웨이퍼의 연마방법 |
TWI607501B (zh) * | 2014-10-21 | 2017-12-01 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Polishing device and wafer polishing method |
KR102344217B1 (ko) * | 2014-10-21 | 2021-12-28 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 연마장치 및 웨이퍼의 연마방법 |
JP2016124063A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置およびその制御方法 |
US10016871B2 (en) | 2014-12-26 | 2018-07-10 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and controlling the same |
JP2019013999A (ja) * | 2017-07-05 | 2019-01-31 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置及び方法 |
KR20190005119A (ko) * | 2017-07-05 | 2019-01-15 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 연마 장치 및 방법 |
KR102371938B1 (ko) | 2017-07-05 | 2022-03-08 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 연마 장치 및 방법 |
US11458589B2 (en) | 2018-12-21 | 2022-10-04 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing member dressing method |
US11945075B2 (en) | 2018-12-21 | 2024-04-02 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing member dressing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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