JP2012252040A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置1は、基板2に転写すべきパターンが形成されたマスク12が設けられており、光源11から出射された露光光を透過させて基板2にパターンを露光する。基板2は、ステージ10により、マスク12に対してスキャン方向に移動される。マスク12はマスクホルダ13に保持され、マスクホルダ13には、加速度センサ14が設けられている。そして、加速度センサ14によりマスク12の鉛直方向の加速度を検出する。判定部16は、加速度センサ14の検出結果が所定値を超えたか否かを判定し、この判定結果に基づいて、ステージ10を制御する制御部15は、ステージ10による基板2の移動を継続又は停止させる。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- 露光光を出射する光源と、露光対象の基板に転写すべきパターンが形成され前記光源からの露光光を透過させることにより前記パターンを前記基板に露光するマスクと、このマスクを保持する枠状のホルダと、前記基板を前記マスクに対して水平の第1方向に相対的に移動させる搬送部と、この搬送部を制御する制御部と、前記ホルダに設けられ少なくとも鉛直方向における前記マスクの加速度を検出する加速度検出部と、この加速度検出部が検出した前記マスクの鉛直方向における加速度が所定の閾値を超えたか否かを判定する判定部と、を有し、
前記制御部は、前記判定部が前記マスクの鉛直方向における加速度が所定の閾値を超えたと判定した場合に、前記マスクに対する前記基板の相対的移動を停止させることを特徴とする露光装置。 - 前記加速度検出部は、前記マスクの鉛直方向の加速度のうち、前記基板の搬送に伴って発生する加速度成分を除外して検出することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記判定部は、前記基板が前記マスクに対して相対的に前記第1方向に移動されていないときには、前記マスクの鉛直方向における加速度が前記閾値を超えたか否かの判定を行わないことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
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