JP5328474B2 - プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク保護方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク保護方法に関する。

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。

露光装置の稼動中に地震が発生すると、地震の揺れにより、不良品の発生や装置の破損等が懸念される。特許文献１には、地震検知用のセンサを有し、稼動中にセンサにより地震を検知すると、直ちに動作を停止する半導体露光装置が開示されている。また、特許文献２には、地震の揺れを予測する予測装置を備え、予測装置の予測結果に基づいて製造プロセスにおける地震対策を実行する半導体製造システムが開示されている。

特開平６−２０４１０８号公報 特開２００８−２１８５０８号公報

特許文献１及び特許文献２に記載の技術は、いずれも、プロジェクション方式の投影露光装置を用いたものである。投影露光装置では、投影光学系を用いてマスクのパターンを基板上へ投影するため、マスクの周囲には、マスクのパターン面と接触してマスクに損傷を与える恐れの有るものが存在しない。そのため、地震発生時のマスクの保護については、特別な配慮がなされていなかった。

一方、プロキシミティ露光装置では、マスクと基板とを数百μｍ程度のプロキシミティギャップまで接近させて露光を行う。そのため、装置が振動を受けると、マスクと基板とが接触して、マスクが損傷を受ける可能性がある。装置の振動は、地震の揺れに限らず、例えば同じ建屋内に設けられた走行台車の異常運転等によっても発生する。近年の表示用パネルの大画面化に伴い基板が大型化すると、マスクも大型化して高価となり、これらの振動による損傷からマスクを保護する必要性が高くなってきた。

本発明の課題は、プロキシミティ露光装置の振動によるマスクの損傷を防止することである。

本発明のプロキシミティ露光装置は、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、振動の発生を検知する検知手段と、検知手段が所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャックとの間隔を広げて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止する第１の接触防止手段とを備えたものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法は、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク保護方法であって、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャックとの間隔を広げて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止するものである。所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャックとの間隔を広げて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止するので、装置の振動によるマスクの損傷が防止される。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、マスクホルダとチャックとを相対的にＺ方向へ移動及びチルトして、マスクと基板とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構を備え、Ｚ−チルト機構が第１の接触防止手段を兼ねるものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法は、Ｚ−チルト機構によりマスクホルダとチャックとを相対的にＺ方向へ移動及びチルトして、マスクと基板とのギャップ合わせを行い、所定値以上の振動の発生を検知したとき、Ｚ−チルト機構によりマスクホルダとチャックとの間隔を広げるものである。マスクと基板とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構を、所定値以上の振動の発生を検知したときにマスクホルダとチャックとの間隔を広げる動作にも兼用することができる。

あるいは、本発明のプロキシミティ露光装置は、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、振動の発生を検知する検知手段と、検知手段が所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を入れて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止する第２の接触防止手段とを備えたものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法は、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク保護方法であって、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を入れて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止するものである。所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を入れて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止するので、装置の振動によるマスクの損傷が防止される。

さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、第２の接触防止手段が、マスクホルダに設けられたエアバッグを有し、エアバッグを膨らませて緩衝部材とするものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法は、マスクホルダにエアバッグを設け、エアバッグを膨らませて緩衝部材とするものである。エアバッグを用いた簡単な構成で、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を即座に入れることができる。

例えば気象庁の「緊急地震速報」等の地震予測情報を受信する受信機を用いて、振動の発生を検知すると、地震時の振動の発生を事前に検知することができる。また、プロキシミティ露光装置内に設けた加速度センサーを用いて、振動の発生を検知すると、例えば同じ建屋内に設けられた走行台車の異常運転等による地震時以外の振動の発生も検知することができる。

本発明によれば、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャックとの間隔を広げて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止することにより、プロキシミティ露光装置の振動によるマスクの損傷を防止することができる。

さらに、Ｚ−チルト機構によりマスクホルダとチャックとを相対的にＺ方向へ移動及びチルトして、マスクと基板とのギャップ合わせを行い、所定値以上の振動の発生を検知したとき、Ｚ−チルト機構によりマスクホルダとチャックとの間隔を広げることにより、マスクと基板とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構を、所定値以上の振動の発生を検知したときにマスクホルダとチャックとの間隔を広げる動作にも兼用することができる。

あるいは、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を入れて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止することにより、プロキシミティ露光装置の振動によるマスクの損傷を防止することができる。

さらに、マスクホルダにエアバッグを設け、エアバッグを膨らませて緩衝部材とすることにより、エアバッグを用いた簡単な構成で、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を即座に入れることができる。

さらに、地震予測情報を受信する受信機を用いて、振動の発生を検知することにより、地震時の振動の発生を事前に検知することができる。また、プロキシミティ露光装置内に設けた加速度センサーを用いて、振動の発生を検知することにより、地震時以外の振動の発生も検知することができる。

本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。 マスクホルダの上面図である。 チャックをロード／アンロード位置へ移動した状態を示す図である。 エアクッションの側面図である。 図５（ａ）はＺ−チルト機構の一例の正面図、図５（ｂ）は同側面図である。 図６（ａ）はＺ−チルト機構の他の例の正面図、図６（ｂ）は同側面図である。 本発明の他の実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。 図８（ａ）はマスクホルダの下面図、図８（ｂ），（ｃ）はマスクホルダの一部断面側面図である。

図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、ホルダフレーム２１、トップフレーム２２、エアクッション２３、Ｚ−チルト機構３０、本体ハウス４０、柱４１、主制御装置５０、受信機６０、加速度センサー６１、ステージ駆動回路６２、Ｚ−チルト機構駆動回路６３、及び空気圧回路６４を含んで構成されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板１をチャック１０へ搬入し、また基板１をチャック１０から搬出する基板搬送ロボット、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。

なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。

図１において、チャック１０は、基板１の露光を行う露光位置にある。露光位置の上空には、トップフレーム２２が設置されている。トップフレーム２２には、エアクッション２３を介して、ホルダフレーム２１が取り付けられている。ホルダフレーム２１には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が取り付けられている。図２は、マスクホルダの上面図である。図２において、マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口２０ａが設けられており、開口２０ａの下方には、マスク２が装着されている。マスクホルダ２０の下面の開口２０ａの周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ２０は、吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。

図３は、チャックをロード／アンロード位置へ移動した状態を示す図である。ロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送ロボットにより、基板１がチャック１０へ搬入され、また基板１がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板１のロード及びチャック１０からの基板１のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板１をチャック１０にロードする際、基板搬送ロボットから基板１を受け取り、基板１をチャック１０からアンロードする際、基板搬送ロボットへ基板１を受け渡す。

図１及び図３において、チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図１及び図３の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図１及び図３の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。

Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、基板１のアライメントが行われる。また、ホルダフレーム２１の側面に設けたＺ−チルト機構３０により、マスクホルダ２０をＺ方向（図１の図面上下方向）へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。

図１において、ステージ駆動回路６２は、主制御装置５０の制御により、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８を駆動する。Ｚ−チルト機構駆動回路６３は、主制御装置５０の制御により、各Ｚ−チルト機構３０を駆動する。

図４は、エアクッションの側面図である。ホルダフレーム２１の側面には、複数の支持用腕２１ａが取り付けられている。トップフレーム２２には、上方から見て支持用腕２１ａと重なる位置に、支持用腕２１ａと高さを変えて支持板２２ａが取り付けられている。支持用腕２１ａと支持板２２ａの間には、エアクッション２３が設けられている。エアクッション２３は、内部に圧縮空気が充填されており、圧縮空気の圧力でホルダフレーム２１の荷重を支える。図１において、空気圧回路６４は、主制御装置５０の制御により、エアクッション２３に充填する圧縮空気の圧力及び量を制御する。

なお、本実施の形態では、エアクッション２３が８個設けられているが、エアクッション２３の数及びそれら配置は、ホルダフレーム２１の荷重及び形状に応じて適宜決定される。

図５（ａ）はＺ−チルト機構の一例の正面図、図５（ｂ）は同側面図である。本例のＺ−チルト機構３０は、ケーシング３１、直動ガイド３２、可動ブロック３３、モータ３４、軸継手３５、ボールねじ３６ａ、ナット３６ｂ、及びボール３７を含んで構成されている。図５（ｂ）に示す様に、ケーシング３１は、トップフレーム２２の側面に取り付けられている。図５（ａ）に示す様に、ケーシング３１の内部には、直動ガイド３２が設けられており、直動ガイド３２には、可動ブロック３３が搭載されている。ケーシング３１の上方には、モータ３４が設置されており、モータ３４の回転軸には、軸継手３５を介して、ボールねじ３６ａが接続されている。可動ブロック３３には、ボールねじ３６ａにより移動されるナット３６ｂが取り付けられており、可動ブロック３３は、モータ３４の回転により、直動ガイド３２に沿って上下に移動する。

図５（ｂ）に示す様に、ホルダフレーム２１の下面には、チルト用腕２４が設けられている。可動ブロック３３の下面には、ボール３７が取り付けられており、ボール３７は、可動ブロック３３によりチルト用腕２４に押し付けられている。図２において、Ｚ−チルト機構３０は、ホルダフレーム２１の側面近くの三箇所に設置されている。３つのＺ−チルト機構３０は、可動ブロック３３を上下に移動して、チルト用腕２４を押すボール３７の高さをそれぞれ変更することにより、エアクッション２３により支持されているホルダフレーム２１の高さを三箇所で変更して、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトする。

図６（ａ）はＺ−チルト機構の他の例の正面図、図６（ｂ）は同側面図である。本例のＺ−チルト機構３０は、図５に示したＺ−チルト機構３０を逆さにして用いたものである。図６（ｂ）に示す様に、ホルダフレーム２１の上面には、チルト用腕２４が設けられている。図６（ａ）に示す様に、可動ブロック３３は、ボルト３８によりチルト用腕２４に固定され、チルト用腕２４を支持している。その他の構成要素は、図５に示した例と同様である。本例の各Ｚ−チルト機構３０は、可動ブロック３３を上下に移動して、チルト用腕２４を支持する高さをそれぞれ変更することにより、ホルダフレーム２１の高さを三箇所で変更して、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトする。

なお、本実施の形態では、Ｚ−チルト機構３０によりマスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。

以下、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置のマスク保護方法について説明する。図１〜図３において、ベース３の外側には、本体ハウス４０が設けられている。なお、図２では、本体ハウス４０が破線で示されている。本体ハウス４０の天井には、図示しない照射光学系からの露光光が透過する窓が設けられている。

図１において、主制御装置５０の近傍には、例えば気象庁の「緊急地震速報」等の地震予測情報を受信する受信機６０が設けられている。受信機６０は、受信した地震予測情報の予想震度に応じた信号を、主制御装置５０へ出力する。また、ベース３、トップフレーム２２、及び本体ハウス４０の柱４１には、加速度センサー６１が設けられている。各加速度センサー６１は、ベース３、トップフレーム２２、又は柱４１の振動による加速度を検出して、検出信号を主制御装置５０へ出力する。なお、加速度センサー６１は、ベース３、トップフレーム２２、及び柱４１に限らず、地震の揺れや同じ建屋内に設けられた走行台車の振動等の影響を受け易い場所に適宜設置される。

主制御装置５０は、受信機６０の予想震度に応じた信号及び各加速度センサー６１の検出信号を入力して、振動の発生を検知する。地震予測情報を受信する受信機６０を用いて、振動の発生を検知することにより、地震時の振動の発生を事前に検知することができる。また、プロキシミティ露光装置内に設けた加速度センサー６１を用いて、振動の発生を検知することにより、例えば同じ建屋内に設けられた走行台車の異常運転等による地震時以外の振動の発生も検知することができる。

主制御装置５０は、受信機６０の予想震度に応じた信号又は各加速度センサー６１の検出信号から、所定値以上の振動の発生を検知したとき、ステージ駆動回路６２を制御して、Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８を停止させる。そして、主制御装置５０は、空気圧回路６４を制御して、エアクッション２３に充填する圧縮空気の圧力又は量を増加させると伴に、Ｚ−チルト機構駆動回路６３を制御して、Ｚチルト機構３０によりマスクホルダ２０を上昇させる。これにより、マスクホルダ２０とチャック１０との間隔が広げられ、装置の振動によりマスクホルダ２０に保持されたマスク２がチャック１０又はチャック１０に支持された基板１に接触するのが防止される。

図７は、本発明の他の実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。本実施の形態は、図１に示したプロキシミティ露光装置において、マスクホルダ２０に、エアバッグ６５とエアバッグを膨らませるガス発生装置とを設けたものである。その他の構成要素は、図１に示した実施の形態と同様である。

図８（ａ）はマスクホルダの下面図、図８（ｂ），（ｃ）はマスクホルダの一部断面側面図である。図８（ａ）に示す様に、マスクホルダ２０の下面の開口２０ａの周囲には、吸着溝２０ｂが設けられている。吸着溝２０ｂは、マスク２の周辺部を真空吸着して保持する。また、マスクホルダ２０の下面のマスク２の周囲には、図示しない複数の落下防止爪が設けられている。落下防止爪は、マスク２の周辺部に接触して、吸着溝２０ｂによる真空吸着が振動等で外れたときに、マスク２がマスクホルダ２０から落下するのを防止する。

さらに、マスクホルダ２０の下面のマスク２の周囲には、複数の凹部２０ｃが設けられており、凹部２０ｃ内には、エアバッグ６５が収納されている。エアバッグ６５は、図８（ｂ）に示す様に、マスクホルダ２０の上面に設けられたガス発生装置６６に接続されている。ガス発生装置６６は、主制御装置５０が所定値以上の振動の発生を検知したとき、アルゴン等のガスを発生して、エアバッグ６５を膨らませる。膨らんだエアバッグ６５は、図８（ｃ）に示す様に、マスクホルダ２０とチャック１０又はチャック１０に支持された基板１との間に緩衝部材として入り、マスクホルダ２０に保持されたマスク２がチャック１０又はチャック１０に支持された基板１に接触するのを防止する。

以上説明した実施の形態によれば、基板１をチャック１０により支持し、マスク２をマスクホルダ２０により保持し、所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダ２０とチャック１０との間隔を広げて、マスクホルダ２０に保持されたマスク２がチャック１０又はチャック１０に支持された基板１に接触するのを防止することにより、プロキシミティ露光装置の振動によるマスク２の損傷を防止することができる。

さらに、Ｚ−チルト機構３０によりマスクホルダ２０とチャック１０とを相対的にＺ方向へ移動及びチルトして、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行い、所定値以上の振動の発生を検知したとき、Ｚ−チルト機構３０によりマスクホルダ２０とチャック１０との間隔を広げることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構３０を、所定値以上の振動の発生を検知したときにマスクホルダ２０とチャック１０との間隔を広げる動作にも兼用することができる。

あるいは、基板１をチャック１０により支持し、マスク２をマスクホルダ２０により保持し、所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダ２０とチャック１０又はチャック１０に支持された基板１との間に緩衝部材を入れて、マスクホルダ２０に保持されたマスク２がチャック１０又はチャック１０に支持された基板１に接触するのを防止することにより、プロキシミティ露光装置の振動によるマスク２の損傷を防止することができる。

さらに、マスクホルダ２０にエアバッグ６５を設け、エアバッグ６５を膨らませて緩衝部材とすることにより、エアバッグ６５を用いた簡単な構成で、マスクホルダ２０とチャック１０又はチャック１０に支持された基板１との間に緩衝部材を即座に入れることができる。

さらに、地震予測情報を受信する受信機６０を用いて、振動の発生を検知することにより、地震時の振動の発生を事前に検知することができる。また、プロキシミティ露光装置内に設けた加速度センサー６１を用いて、振動の発生を検知することにより、例えば同じ建屋内に設けられた走行台車の異常運転等による地震時以外の振動の発生も検知することができる。

１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
２０ マスクホルダ
２０ａ 開口
２０ｂ 吸着溝
２０ｃ 凹部
２１ ホルダフレーム
２１ａ 支持用腕
２２ トップフレーム
２２ａ 支持板
２３ エアクッション
２４ チルト用腕
３０ Ｚ−チルト機構
３１ ケーシング
３２ 直動ガイド
３３ 可動ブロック
３４ モータ
３５ 軸継手
３６ａ ボールねじ
３６ｂ ナット
３７ ボール
３８ ボルト
４０ 本体ハウス
４１ 柱
５０ 主制御装置
６０ 受信機
６１ 加速度センサー
６２ ステージ駆動回路
６３ Ｚ−チルト機構駆動回路
６４ 空気圧回路
６５ エアバッグ
６６ ガス発生装置

Claims (16)

1. マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
   基板を支持するチャックと、
   マスクを保持するマスクホルダと、
   振動の発生を検知する検知手段と、
   前記検知手段が所定値以上の振動の発生を検知したとき、前記マスクホルダと前記チャックとの間隔を広げて、前記マスクホルダに保持されたマスクが前記チャック又は前記チャックに支持された基板に接触するのを防止する第１の接触防止手段とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
2. 前記マスクホルダと前記チャックとを相対的にＺ方向へ移動及びチルトして、マスクと基板とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構を備え、該Ｚ−チルト機構が前記第１の接触防止手段を兼ねることを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
3. 前記検知手段は、地震予測情報を受信する受信機を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
4. 前記検知手段は、前記プロキシミティ露光装置内に設けられた加速度センサーを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
5. マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
   基板を支持するチャックと、
   マスクを保持するマスクホルダと、
   振動の発生を検知する検知手段と、
   前記検知手段が所定値以上の振動の発生を検知したとき、前記マスクホルダと前記チャック又は前記チャックに支持された基板との間に緩衝部材を入れて、前記マスクホルダに保持されたマスクが前記チャック又は前記チャックに支持された基板に接触するのを防止する第２の接触防止手段とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
6. 前記第２の接触防止手段は、前記マスクホルダに設けられたエアバッグを有し、該エアバッグを膨らませて緩衝部材とすることを特徴とする請求項５に記載のプロキシミティ露光装置。
7. 前記検知手段は、地震予測情報を受信する受信機を有することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のプロキシミティ露光装置。
8. 前記検知手段は、前記プロキシミティ露光装置内に設けられた加速度センサーを有することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のプロキシミティ露光装置。
9. マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク保護方法であって、
   基板をチャックにより支持し、
   マスクをマスクホルダにより保持し、
   所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャックとの間隔を広げて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止することを特徴とするプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
10. Ｚ−チルト機構によりマスクホルダとチャックとを相対的にＺ方向へ移動及びチルトして、マスクと基板とのギャップ合わせを行い、
    所定値以上の振動の発生を検知したとき、Ｚ−チルト機構によりマスクホルダとチャックとの間隔を広げることを特徴とする請求項９に記載のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
11. 地震予測情報を受信する受信機を用いて、振動の発生を検知することを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
12. プロキシミティ露光装置内に設けた加速度センサーを用いて、振動の発生を検知することを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
13. マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク保護方法であって、
    基板をチャックにより支持し、
    マスクをマスクホルダにより保持し、
    所定値以上の振動の発生を検知したとき、マスクホルダとチャック又はチャックに支持された基板との間に緩衝部材を入れて、マスクホルダに保持されたマスクがチャック又はチャックに支持された基板に接触するのを防止することを特徴とするプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
14. マスクホルダにエアバッグを設け、
    エアバッグを膨らませて緩衝部材とすることを特徴とする請求項１３に記載のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
15. 地震予測情報を受信する受信機を用いて、振動の発生を検知することを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。
16. プロキシミティ露光装置内に設けた加速度センサーを用いて、振動の発生を検知することを特徴とする請求項１３又は請求項１４に記載のプロキシミティ露光装置のマスク保護方法。

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