JP2012243937A - 半導体レーザ構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(a)n型クラッド層2、8、(b)発光層4、10、及び(c)p型クラッド層6、12を積層して成るレーザ構造単位101、103を複数備えるとともに、前記レーザ構造単位101、103間の境界における一部の領域に、p型導電型層7a及びn型導電型層7bから成るトンネル接合層7を備え、前記境界に、以下の(イ)、(ロ)のうちの一方又は両方を備えることを特徴とする半導体レーザ構造。(イ)前記一部以外の領域において、前記n型クラッド層8に接し、そのn型クラッド層8よりもバンドギャップエネルギーが大きいn型の層21。(ロ)前記一部以外の領域において、前記p型クラッド層6に接し、そのp型クラッド層6よりもバンドギャップエネルギーが大きいp型の層。
【選択図】図1
Description
(イ)前記一部以外の領域において、前記n型クラッド層に接し、そのn型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きいn型の層
(ロ)前記一部以外の領域において、前記p型クラッド層に接し、そのp型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きいp型の層
本発明の半導体レーザ構造は、前記(イ)の層、前記(ロ)の層、又はその両方の層を備えることにより、レーザ構造単位間の境界において、トンネル接合層が設けられていない領域での電流の流れを、より効果的に抑制し、電流の広がりを抑制することができる。その結果、電流の広がりによる発光ストライプ幅の増大や、無効電流の増大に伴う光出力の低下を抑制することができる。
前記(イ)の層、又は前記(ロ)の層は、Al及び/又はPを含むことが好ましい。前記(イ)の層、又は前記(ロ)の層は、Al、P、又はその両方を含むことにより、バンドギャップエネルギーが一層大きくなる。そのことにより、電流の広がりを抑制する効果が一層顕著になる。
本発明の半導体レーザ構造を適用した半導体レーザ素子の製造方法を図1に基づいて説明する。n型InP基板1上に、MOCVD法により、第1のn型クラッド層2、第1のn型光ガイド層3、第1の多重量子井戸活性層(発光層)4、第1のp型光ガイド層5、第1のp型クラッド層6、p型層21、p型導電型層7a、n型導電型層7bを順次積層する。ここで、p型導電型層7a、及びn型導電型層7bは、トンネル接合層7を構成する。
(1)半導体レーザ素子は、レーザ構造単位101、103の境界のうち、トンネル接合層7が存在しない領域に、p型層21を備えている。このp型層21のバンドギャップエネルギーは、第1のp型クラッド層6のバンドギャップエネルギーよりも大きく、第2のn型クラッド層8のバンドギャップエネルギーよりも大きい。
(3)p型層21は、n型InP基板1に対し、伸長歪みを有するので、バンドギャップエネルギーが大きい。そのため、上記(1)の効果を一層顕著にすることができる。
本発明の半導体レーザ構造を適用した半導体レーザ素子の製造方法を図2に基づいて説明する。n型GaAs基板1上に、MOCVD法により、第1のn型クラッド層2、第1のn型光ガイド層3、第1の多重量子井戸活性層(発光層)4、第1のp型光ガイド層5、第1のp型クラッド層6、p型導電型層7a、n型導電型層7bを順次積層する。ここで、p型導電型層7a、及びn型導電型層7bは、トンネル接合層7を構成する。
(1)半導体レーザ素子は、レーザ構造単位101、103の境界のうち、トンネル接合層7が存在しない領域に、n型層22を備えている。このn型層22のバンドギャップエネルギーは、第1のp型クラッド層6のバンドギャップエネルギーよりも大きく、第2のn型クラッド層8のバンドギャップエネルギーよりも大きい。
(3)n型層22は、n型GaAs基板1に対し、伸長歪みを有するので、バンドギャップエネルギーが大きい。そのため、上記(1)の効果を一層顕著にすることができる。
本発明の半導体レーザ構造を適用した半導体レーザ素子の製造方法を図3に基づいて説明する。n型InP基板1上に、MOCVD法により、第1のn型クラッド層2、第1のn型光ガイド層3、第1の多重量子井戸活性層(発光層)4、第1のp型光ガイド層5、第1のp型クラッド層6、p型層21、p型導電型層7a、n型導電型層7bを順次積層する。ここで、p型導電型層7a、及びn型導電型層7bは、トンネル接合層7を構成する。
(1)半導体レーザ素子は、レーザ構造単位101、103の境界のうち、トンネル接合層7が存在しない領域に、p型層21、及びn型層22を備えている。このp型層21、及びn型層22のバンドギャップエネルギーは、第1のp型クラッド層6のバンドギャップエネルギーよりも大きく、第2のn型クラッド層8のバンドギャップエネルギーよりも大きい。
(3)p型層21は、n型InP基板1に対し、伸長歪みを有するので、バンドギャップエネルギーが大きい。そのため、上記(1)の効果を一層顕著にすることができる。また、n型層22は、n型InP基板1に対し、伸長歪みを有するので、バンドギャップエネルギーが大きい。そのため、上記(1)の効果を一層顕著にすることができる。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
4・・・第1の多重量子井戸活性層、5・・・第1のp型光ガイド層、
6・・・第1のp型クラッド層、7・・・トンネル接合層、7a・・・p型導電型層、
7b・・・n型導電型層、8・・・第2のn型クラッド層、
9・・・第2のn型光ガイド層、10・・・第2の多重量子井戸活性層、
11・・・第2のp型光ガイド層、12・・・第2のp型クラッド層、
13・・・p型コンタクト層、21・・・p型層、22・・・n型層、
31・・・SiO2層、31a・・・開口部、32・・・p側電極、
32a・・・電流注入ストライプ領域、33・・・n側電極、
101・・・第1のレーザ構造単位、103・・・第2のレーザ構造単位、
201・・・レーザ構造単位、203・・・n型クラッド層、205・・・発光層、
207・・・p型クラッド層、209・・・基板、211・・・トンネル接合層、
213・・・p側電極、215・・・絶縁層、217・・・n側電極
Claims (8)
- (a)n型クラッド層、(b)発光層、及び(c)p型クラッド層を積層して成るレーザ構造単位を複数備えるとともに、
前記レーザ構造単位間の境界における一部の領域に、p型導電型層及びn型導電型層から成るトンネル接合層を備え、
前記境界に、以下の(イ)、(ロ)のうちの一方又は両方を備えることを特徴とする半導体レーザ構造。
(イ)前記一部以外の領域において、前記n型クラッド層に接し、そのn型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きいn型の層
(ロ)前記一部以外の領域において、前記p型クラッド層に接し、そのp型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きいp型の層 - 前記(イ)の層、又は前記(ロ)の層は、Al及び/又はPを含むことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ構造。
- 基板を備え、
前記(イ)の層、又は前記(ロ)の層は、前記基板に対し、伸長歪みを有することを特徴とする請求項1又は2記載の半導体レーザ構造。 - 絶縁層により開口部を狭窄された電極を備え、
前記半導体レーザ構造の各層に直交する方向から見たとき、前記一部は、前記開口部の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体レーザ構造。 - 前記開口部の幅が50μm以上であることを特徴とする請求項4記載の半導体レーザ構造。
- 前記p型導電型層及び前記(ロ)の層におけるドーパントがZnであり、前記n型導電型層及び前記(イ)の層におけるドーパントがSeであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体レーザ構造。
- 前記(イ)の層は、前記境界に面する前記p型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きいことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体レーザ構造。
- 前記(ロ)の層は、前記境界に面する前記n型クラッド層よりもバンドギャップエネルギーが大きいことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体レーザ構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011112318A JP2012243937A (ja) | 2011-05-19 | 2011-05-19 | 半導体レーザ構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2012243937A true JP2012243937A (ja) | 2012-12-10 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011112318A Pending JP2012243937A (ja) | 2011-05-19 | 2011-05-19 | 半導体レーザ構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012243937A (ja) |
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