JP2012242239A - 放電光検出回路、電子部品の検査システム、電子部品の検査方法、及び、その検査方法により検査された電子部品 - Google Patents
放電光検出回路、電子部品の検査システム、電子部品の検査方法、及び、その検査方法により検査された電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012242239A JP2012242239A JP2011112534A JP2011112534A JP2012242239A JP 2012242239 A JP2012242239 A JP 2012242239A JP 2011112534 A JP2011112534 A JP 2011112534A JP 2011112534 A JP2011112534 A JP 2011112534A JP 2012242239 A JP2012242239 A JP 2012242239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- electronic component
- discharge light
- terminal
- light detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
【解決手段】放電光検出回路14は、端子10aに基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品10において発生し得る放電光を検出する。放電光検出回路は、受光素子14aと、増幅部14bと、判定部14cと、オフディレイ部14dと、制御部14eとを備える。受光素子は、検査電極11から端子に基準値以上の検査電圧または所定の検査電流が加えられた時に発生し得る放電光Lを受光して、電気信号Aに変換する。増幅部は電気信号を増幅する。判定部は、増幅された電気信号Bが予め定められた判定値X以上である期間に判定信号Cを出力する。オフディレイ部は、判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号Dを出力する。制御部は、遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号Eを出力する。
【選択図】図1
Description
端子に基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品において発生し得る放電光を検出する放電光検出回路であって、
検査電極から前記端子に前記基準値以上の検査電圧または所定の検査電流が加えられた時に前記検査電極と前記端子との間に発生し得る前記放電光を受光して、電気信号に変換する受光素子と、
前記電気信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部で増幅された電気信号が予め定められた判定値以上である期間に判定信号を出力する判定部と、
前記判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号を出力するオフディレイ部と、
前記オフディレイ部から前記遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、前記遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号を出力する制御部と、を備えることを特徴とする。
端子に基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品の検査システムであって、
前記電子部品の前記端子に接触可能な検査電極と、
前記電子部品を搬送して、前記電子部品の前記端子と前記検査電極とを接触させる搬送装置と、
前記端子と前記検査電極とが接触した状態で、前記検査電極から前記端子に前記基準値以上の検査電圧または所定の検査電流を加えて前記電子部品の電気的特性を検査する検査装置と、
放電光検出回路と、を備え、
前記放電光検出回路は、
前記検査装置によって前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられた時に前記検査電極と前記端子との間に発生し得る放電光を受光して、電気信号に変換する受光素子と、
前記電気信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部で増幅された電気信号が予め定められた判定値以上である期間に判定信号を出力する判定部と、
前記判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号を出力するオフディレイ部と、
前記オフディレイ部から前記遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、前記遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号を出力する制御部と、を有し、
前記搬送装置は、前記放電光検出回路から前記放電光検出信号を受けた場合、前記電子部品を不良品として排出することを特徴とする。
筒状部材をさらに備え、
前記放電光検出回路の前記受光素子は、前記筒状部材の一方の開口端から前記筒状部材内に入射した前記放電光を検出可能なように前記筒状部材内に取り付けられていてもよい。
前記放電光検出回路は、前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられている期間にのみ前記放電光を検出するように構成されていてもよい。
前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられる前のチェック期間に一時的に発光する発光素子を備え、
前記放電光検出回路の前記受光素子は、前記発光素子からの光を受光して電気信号に変換し、
前記放電光検出回路の前記制御部は、前記チェック期間に前記オフディレイ部からの前記遅延判定信号が検出されない場合、故障信号を出力してもよい。
端子に基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品の検査方法であって、
前記電子部品を搬送して、前記電子部品の前記端子と検査電極とを接触させる第1のステップと、
前記端子と前記検査電極とが接触した状態で、前記検査電極から前記端子に前記基準値以上の検査電圧または所定の検査電流を加えて前記電子部品の電気的特性を検査する第2のステップと、
前記第2のステップにおいて前記検査電極と前記端子との間に発生し得る放電光を受光して、電気信号に変換する第3のステップと、
前記電気信号を増幅する第4のステップと、
前記第4のステップで増幅された電気信号が予め定められた判定値以上である期間に判定信号を出力する第5のステップと、
前記判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号を出力する第6のステップと、
前記遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、前記遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号を出力する第7のステップと、
前記放電光検出信号が出力された場合、前記電子部品を不良品として排出する第8のステップと、を備えることを特徴とする。
前記第3のステップから前記第7のステップは、前記第2のステップにおいて前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられている期間にのみ実行されてもよい。
前記第2のステップの前に、発光素子からの光を放電光検出回路が検出できるか否かチェックするチェックステップを備え、
前記第3のステップから前記第7のステップは、前記放電光検出回路により実行されてもよい。
上記実施例1ではサージ防護素子10を検査する一例について説明したが、検査対象の電子部品10はこれに限られない。電子部品の検査システムは、端子10aに基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品10であって、検査電極11と電子部品10の端子10aとの間の接触が不十分である場合等に放電が起こり得る電子部品10を検査できる。
10a 端子
11 検査電極
12 搬送装置
13 検査装置
14 放電光検出回路
14a 受光素子
14b 増幅部
14c 判定部
14d オフディレイ部
14e 制御部
20 ワーク押さえ
20a 開口部
21 搬送部
21a 凹部
22 筒状部材
22a 開口端
25 発光素子
Claims (13)
- 端子に基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品において発生し得る放電光を検出する放電光検出回路であって、
検査電極から前記端子に前記基準値以上の検査電圧または所定の検査電流が加えられた時に前記検査電極と前記端子との間に発生し得る前記放電光を受光して、電気信号に変換する受光素子と、
前記電気信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部で増幅された電気信号が予め定められた判定値以上である期間に判定信号を出力する判定部と、
前記判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号を出力するオフディレイ部と、
前記オフディレイ部から前記遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、前記遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号を出力する制御部と、を備える
ことを特徴とする放電光検出回路。 - 前記電子部品は、サージ防護素子であることを特徴とする請求項1に記載の放電光検出回路。
- 端子に基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品の検査システムであって、
前記電子部品の前記端子に接触可能な検査電極と、
前記電子部品を搬送して、前記電子部品の前記端子と前記検査電極とを接触させる搬送装置と、
前記端子と前記検査電極とが接触した状態で、前記検査電極から前記端子に前記基準値以上の検査電圧または所定の検査電流を加えて前記電子部品の電気的特性を検査する検査装置と、
放電光検出回路と、を備え、
前記放電光検出回路は、
前記検査装置によって前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられた時に前記検査電極と前記端子との間に発生し得る放電光を受光して、電気信号に変換する受光素子と、
前記電気信号を増幅する増幅部と、
前記増幅部で増幅された電気信号が予め定められた判定値以上である期間に判定信号を出力する判定部と、
前記判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号を出力するオフディレイ部と、
前記オフディレイ部から前記遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、前記遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号を出力する制御部と、を有し、
前記搬送装置は、前記放電光検出回路から前記放電光検出信号を受けた場合、前記電子部品を不良品として排出する
ことを特徴とする電子部品の検査システム。 - 前記電子部品は、サージ防護素子であることを特徴とする請求項3に記載の電子部品の検査システム。
- 筒状部材をさらに備え、
前記放電光検出回路の前記受光素子は、前記筒状部材の一方の開口端から前記筒状部材内に入射した前記放電光を検出可能なように前記筒状部材内に取り付けられている
ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の電子部品の検査システム。 - 前記筒状部材は、黒色であることを特徴とする請求項5に記載の電子部品の検査システム。
- 前記放電光検出回路は、前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられている期間にのみ前記放電光を検出するように構成されている
ことを特徴とする請求項3から請求項6の何れかに記載の電子部品の検査システム。 - 前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられる前のチェック期間に一時的に発光する発光素子を備え、
前記放電光検出回路の前記受光素子は、前記発光素子からの光を受光して電気信号に変換し、
前記放電光検出回路の前記制御部は、前記チェック期間に前記オフディレイ部からの前記遅延判定信号が検出されない場合、故障信号を出力する
ことを特徴とする請求項3から請求項7の何れかに記載の電子部品の検査システム。 - 端子に基準値以上の電圧が加えられた時に導通する電子部品の検査方法であって、
前記電子部品を搬送して、前記電子部品の前記端子と検査電極とを接触させる第1のステップと、
前記端子と前記検査電極とが接触した状態で、前記検査電極から前記端子に前記基準値以上の検査電圧または所定の検査電流を加えて前記電子部品の電気的特性を検査する第2のステップと、
前記第2のステップにおいて前記検査電極と前記端子との間に発生し得る放電光を受光して、電気信号に変換する第3のステップと、
前記電気信号を増幅する第4のステップと、
前記第4のステップで増幅された電気信号が予め定められた判定値以上である期間に判定信号を出力する第5のステップと、
前記判定信号のオフタイミングを遅延させた遅延判定信号を出力する第6のステップと、
前記遅延判定信号が出力されているか否か定期的に判定し、前記遅延判定信号が出力されている場合に放電光検出信号を出力する第7のステップと、
前記放電光検出信号が出力された場合、前記電子部品を不良品として排出する第8のステップと、を備える
ことを特徴とする電子部品の検査方法。 - 前記電子部品は、サージ防護素子であることを特徴とする請求項9に記載の電子部品の検査方法。
- 前記第3のステップから前記第7のステップは、前記第2のステップにおいて前記検査電極から前記端子に前記検査電圧または前記検査電流が加えられている期間にのみ実行される
ことを特徴とする請求項9または請求項10に記載の電子部品の検査方法。 - 前記第2のステップの前に、発光素子からの光を放電光検出回路が検出できるか否かチェックするチェックステップを備え、
前記第3のステップから前記第7のステップは、前記放電光検出回路により実行される
ことを特徴とする請求項9から請求項11の何れかに記載の電子部品の検査方法。 - 請求項9から請求項12の何れかに記載の電子部品の検査方法で検査された電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011112534A JP5615761B2 (ja) | 2011-05-19 | 2011-05-19 | 放電光検出回路、電子部品の検査システム、及び、電子部品の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011112534A JP5615761B2 (ja) | 2011-05-19 | 2011-05-19 | 放電光検出回路、電子部品の検査システム、及び、電子部品の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012242239A true JP2012242239A (ja) | 2012-12-10 |
JP5615761B2 JP5615761B2 (ja) | 2014-10-29 |
Family
ID=47464102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011112534A Active JP5615761B2 (ja) | 2011-05-19 | 2011-05-19 | 放電光検出回路、電子部品の検査システム、及び、電子部品の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5615761B2 (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0886829A (ja) * | 1994-09-14 | 1996-04-02 | Tokin Corp | 電子部品耐電圧測定方法及び装置 |
WO1999039375A1 (fr) * | 1998-01-29 | 1999-08-05 | Nikon Corporation | Luxmetre et systeme d'exposition |
JP2000346705A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Nissin Electric Co Ltd | アーク光検出装置 |
JP2008180653A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Keyence Corp | 多光軸光電センサ |
JP2009032778A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Nec Tokin Corp | 圧電トランスの製造方法 |
JP2009036656A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | パワーモジュールの故障検出装置 |
JP2009145083A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Kawamura Electric Inc | 電路接続部の接続不良検出回路 |
JP2009229249A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 駆動ユニット、接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置 |
JP2009281949A (ja) * | 2008-05-24 | 2009-12-03 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | サージ防護素子の検査方法及びサージ防護素子の検査装置 |
-
2011
- 2011-05-19 JP JP2011112534A patent/JP5615761B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0886829A (ja) * | 1994-09-14 | 1996-04-02 | Tokin Corp | 電子部品耐電圧測定方法及び装置 |
WO1999039375A1 (fr) * | 1998-01-29 | 1999-08-05 | Nikon Corporation | Luxmetre et systeme d'exposition |
JP2000346705A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Nissin Electric Co Ltd | アーク光検出装置 |
JP2008180653A (ja) * | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Keyence Corp | 多光軸光電センサ |
JP2009032778A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Nec Tokin Corp | 圧電トランスの製造方法 |
JP2009036656A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | パワーモジュールの故障検出装置 |
JP2009145083A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Kawamura Electric Inc | 電路接続部の接続不良検出回路 |
JP2009229249A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | 駆動ユニット、接触部材の駆動方法、特性検査装置、ワーク供給装置、およびテーピング装置 |
JP2009281949A (ja) * | 2008-05-24 | 2009-12-03 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | サージ防護素子の検査方法及びサージ防護素子の検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5615761B2 (ja) | 2014-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102680359B1 (ko) | 저항 측정 장치, 기판 검사 장치, 및 저항 측정 방법 | |
KR20090086303A (ko) | 반도체 디바이스의 검사 방법 및 반도체 디바이스의 검사장치 | |
CN104749542B (zh) | 检测系统的校正与运作方法 | |
US10247772B2 (en) | Position calibration method, test circuit board, sample panel and position calibration apparatus | |
JP5615761B2 (ja) | 放電光検出回路、電子部品の検査システム、及び、電子部品の検査方法 | |
TWI383160B (zh) | 電性連接瑕疵偵測系統及方法 | |
JP2008139305A (ja) | 少なくとも1つの磁場センサの測定精度を検査する方法 | |
CN202221452U (zh) | 自动测试系统 | |
JP2015045542A (ja) | 検査装置 | |
US20080204764A1 (en) | Lead terminal inspection method and lead terminal inspection apparatus | |
KR20140142774A (ko) | 엘이디(led)모듈 선별장치 | |
US9435846B2 (en) | Testing of thru-silicon vias | |
JP2007315789A (ja) | 半導体集積回路およびその実装検査方法 | |
KR20110015967A (ko) | 비접촉 검사방식을 적용한 단선 및 단락 검출용 칩 스케일 패키지 기판 및 그 검사장치 | |
JP2011077073A (ja) | 積層半導体装置及びその接続試験方法 | |
JP5048093B2 (ja) | 基板の回路パターン欠陥検査方法 | |
KR101367069B1 (ko) | 관성센서의 테스트 장치 및 테스트 방법 | |
KR101462954B1 (ko) | 전자회로카드 검사용 자동화 점검장비 고정치구 | |
KR102106341B1 (ko) | 전원전압 무결성을 확보하기 위한 반도체 소자 테스트 보드 | |
US9635794B2 (en) | Method and apparatus for attachment of integrated circuits | |
CN203909230U (zh) | 一种半导体芯片测试装置 | |
KR20030003567A (ko) | 웨이퍼 수량 검사 장치 | |
US20080088318A1 (en) | Method to test transparent-to-test capacitors | |
JP2007141965A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008277380A (ja) | 位置精度測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131128 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20140311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140520 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140812 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140910 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5615761 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |