JPH0886829A

JPH0886829A - 電子部品耐電圧測定方法及び装置

Info

Publication number: JPH0886829A
Application number: JP6247092A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Osada; 尊行長田; Yoshio Sato; 由郎佐藤
Original assignee: Tokin Corp
Current assignee: Tokin Corp
Priority date: 1994-09-14
Filing date: 1994-09-14
Publication date: 1996-04-02

Abstract

(57)【要約】【目的】チョークコイル等のコイルの絶縁低下や絶縁
破壊等の異常を容易に測定する電子部品耐電圧測定方法
及び装置を提供すること。【構成】被測定コイル１の巻線２の端子１０には、ノ
イズシュミレータ４から終端器３を経て高電圧インパル
スが印加される。一方、分光器システム５は、集光レン
ズ６から入射した前記被測定コイル１から放電される放
電光の強さのレベルを測定する。その測定値は、メイン
アンプ８で増幅し、記録計７で記録される。前記被測定
コイル１、前記分光器システム５を暗箱９に設置する電
子部品耐電圧測定方法及び装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品等にある電圧
を印加した時に発生する放電現象による放電光及び放電
音を定量的に測定する電子部品耐電圧測定方法及び装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の電磁雑音に対するイミ
ュニティ（耐ノイズ性）が社会的な問題となり、注目さ
れている。これに伴って、イミュニティ試験が盛んに行
われるようになってきている。その代表例が、高電圧イ
ンパルス試験で、この試験はパルス幅５０×１０^-2μｓ
ｅｃ〜１μｓｅｃ、電圧１０００Ｖ〜２０００Ｖ以上、
両極性の方形波を電子機器の電源入力回路に一定時間入
力し、電子機器に異常が発生したか否かを判定する方法
である。

【０００３】しかし、通常、ノイズフィルタとして電源
入力回路にチョークコイル（以下、単にコイルと称す）
が実装されており、高電圧インパルス試験を行うと、同
相の巻線間に放電現象が発生することがある。この放電
現象は、コイルのインダクタンスが低下して、ノイズフ
ィルタとしての効果がなくなり、コイルの絶縁低下や絶
縁破壊に進行するものであり、又、放電したコイル自身
がノイズ源となり、電子機器の誤動作の原因となる可能
性がある。

【０００４】従来、こうしたインパルス電圧によるコ
イルの絶縁低下や絶縁破壊の測定には、例えば、特開昭
６０−４４０７号公報に提示されたインパルス巻線試験
器を利用した測定方法がある。図９に、この測定方法の
原理構成図を示す。

【０００５】この方法は、高圧電源１２から高圧コンデ
ンサ１３に直流の高電圧をチャージし、高圧コンデンサ
１３にチャージされた高電圧は、サイリスタ（ＳＣＲ）
１４のゲートをトリガ回路１５でトリガすることによっ
て、被測定コイル１に高電圧インパルス電圧を印加する
ものである。高電圧インパルス電圧を印加すると、その
電気エネルギーを受け渡された該被測定コイル１は、コ
ンデンサ１１との間で減衰振動を開始する。その減衰振
動の波形を正常特性を持つ基準となるマスタコイルが持
つ波形と比較し、被測定コイルの絶縁低下や絶縁破壊を
測定するものである。この時、波形の観測は、高速Ａ／
Ｄコンバータ１６により数列に変換され、メモリ（ＲＡ
Ｍ）１７に格納され、表示や良否判定の演算処理が行わ
れ、この高速Ａ／Ｄコンバータ１６は、インパルス応答
波形、即ち、トランジェット波形を捉えることに十分な
スピードでなくてはならず、現在の試験機では毎５０×
１０^-2μｓｅｃで変換可能なＡ／Ｄコンバータが使用さ
れている。又、高圧電源１２は、データとして保管され
ているインパルス電圧をマイクロコンピュータ１９の制
御によって再現するために、自動制御可能なスイッチン
グ高圧電源が使用されている。１８は表示器、２０はＤ
／Ａコンバータである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したインパルス巻
線試験器によるコイルの電気エネルギーの減衰振動を測
定する方法では、コイルのインダクタンス値及び線間容
量の個体差が大きく、全てのコイルがマスターコイルと
同等の特性になるとは限らない。従って、マスターコイ
ルを用いて測定した基本的な減衰振動波形に対して、被
測定物を用いて測定した波形が同様の特性にならない場
合も多く、測定が困難になる。

【０００７】更に、マスターコイルが劣化することが考
えられ、同一の条件で試験を行うために、マスターコイ
ルの管理が必要である。一方、上記した放電現象の室内
においての放電測定では、目視できるような持続放電に
ついては測定可能であるが、非持続放電並びに微弱な放
電の測定は困難である。

【０００８】従って、本発明の課題は、前記問題点を解
消したコイルの絶縁低下や絶縁破壊等の異常を容易に測
定できる電子部品耐電圧測定方法及び装置を提供するこ
とである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、被測定電子部品に高電圧を印加し、前
記被測定電子部品の放電光の有無を検出し、前記放電光
の波長を分析測定することにより、前記被測定電子部品
の耐電圧特性を測定評価することを特徴とする電子部品
耐電圧測定方法を供し、少なくとも被測定電子部品、
及び集光装置を外部からの光を遮断する機能を有する箱
内に収納することを特徴とする前記記載の電子部品耐
電圧測定装置を供し、被測定電子部品に高電圧を印加
し、前記被測定電子部品の放電音の有無を検出し、前記
放電音の周波数を分析測定することにより、前記被測定
電子部品の耐電圧特性を測定評価することを特徴とする
電子部品耐電圧測定方法を供し、少なくとも被測定電
子部品、及び集音装置を外部からの音を遮断する機能を
有する箱内に収納することを特徴とする前記記載の電
子部品耐電圧測定装置を供し、被測定電子部品に高電
圧を印加し、前記被測定電子部品の放電光及び放電音の
有無を検出し、前記放電光の波長及び放電音の周波数を
分析測定することにより、前記被測定電子部品の耐電圧
特性を測定評価することを特徴とする電子部品耐電圧測
定方法を供し、少なくとも被測定電子部品、集光装
置、及び集音装置を外部からの光及び音を遮断する機能
を有する箱内に収納することを特徴とする前記記載の
電子部品耐電圧測定装置を供する。

【００１０】

【作用】本発明では、コイルに高電圧インパルスを加
え、放電現象により発生する放電光、又は放電音、又は
放電光と放電音は、コイル破壊前にも放出されるので、
これを暗箱、又は防音箱、又は防音性暗箱の中で測定す
ることにより、微弱な放電音や放電光が捕捉でき、コイ
ルの絶縁低下や絶縁破壊の兆候を捉らえることが可能と
なる。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明の実施例を図面をもとに説明
する。

【００１２】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示すコイルの放電現象による放電光を測定するシステム
のブロック図である。

【００１３】図１において、被測定コイル１は、巻線２
を持つコモンモードチョークコイル、或いはノーマルモ
ードチョークコイルである。前記巻線２を巻き回した前
記被測定コイル１の端子１０には、ノイズシュミレータ
４から終端器３を経て、高電圧インパルスが印加されて
いる。

【００１４】一方、発生する放電光を測定するには、分
光器システム５による。この集光・分光システムとして
の分光器システム５は、モノクロメーター、メインアン
プと記録計から構成される。モノクロメーターは、集光
装置の集光レンズ、光分析装置、光電子増倍管、波長駆
動装置から構成される。被測定電子部品の放電により、
放電光が集光装置の集光レンズ６に入射し、その放電光
の入射光は光分析装置に入り、ある特定の波長、もしく
はスペクトラムに波長駆動装置によって分解され、前記
放電光の強さのレベルを測定する。その測定の結果は、
メインアンプ８で規定の値まで増幅し、記録計７によっ
て記録する。

【００１５】メインアンプ８及び記録計７以外は、暗箱
９内に設置されている。暗箱は、黒色の布で内部を覆っ
た木製の箱を用いた。

【００１６】又、分光器システムの分光器の中に光電子
増倍管が設置され、前記光分析装置から出た光は、前記
光電子増倍管に入り、負高圧の電圧を印加するようにな
っている。この負高圧の印加電圧が大きいほど、出力電
圧が大きくなり、この分光器には３００Ｖ〜２０００Ｖ
（１００Ｖステップ毎）の切り換えスイッチが付いて、
負高圧の印加電圧を上げることができる。又、利得（Ｇ
ａｉｎ）は、光電子増倍管から出力されている電圧を電
気的に増幅するものである。即ち、この分光器には、
１，２，５，１０，２０，５０，１００，２００倍にす
ることができる切り換えスイッチが付いている。利得
（Ｇａｉｎ）掛ける１、即ち、×１は、前記切り換えス
イッチによって１倍にしたという意味である。

【００１７】図２に、その一実施例の記録結果、即ち、
放電光のスペクトラムを示す。印加した高電圧インパル
スは、パルス幅１μｓｅｃで、電圧の高さ１１００Ｖか
ら１８００Ｖまで変化させた。又、光の強さのレベルを
縦軸にとり、放電光の波長を横軸にとり、その各電圧の
パラメータとも、スケールは同じ値とした。

【００１８】図２（ａ）は、高電圧インパルスがパルス
幅１μｓｅｃで、電圧の高さが１１００Ｖで、負電圧の
印加電圧が−１０００Ｖで、利得が×１である条件での
放電光のスペクトラムである。

【００１９】図２（ｂ）は、高電圧インパルスがパルス
幅１μｓｅｃで、電圧の高さが１４００Ｖで、負電圧の
印加電圧が−１０００Ｖで、利得が×１である条件での
放電光のスペクトラムである。

【００２０】図２（ｃ）は、高電圧インパルスがパルス
幅１μｓｅｃで、電圧の高さが１８００Ｖで、負電圧の
印加電圧が−１０００Ｖで、利得が×１である条件での
放電光のスペクトラムを示している。

【００２１】この測定結果では、放電光の波長３３３ｎ
ｍの場合が最も相対レベルが高くなって、電圧１８００
Ｖにて異常に高い放電光のスペクトラムが観測されてい
る。

【００２２】従来のインパルス巻線試験器では、巻線２
の絶縁低下や絶縁破壊の兆候を上述したレベルでは、捉
えることが不可能である。

【００２３】本発明による放電光測定では、暗箱９の中
での測定なので、微弱な異常の兆候を捉えることが可能
である。

【００２４】放電光のスペクトラムの結果を前もって測
定し、正常なコイルの測定値と比較し、その良否を決め
ておくことにより、コイル等の生産現場の品質管理にも
適応が可能である。

【００２５】（実施例２）以下に、本発明の実施例２を
図面をもとに説明する。

【００２６】図３は、本発明の実施例２を示すコイルの
放電現象による放電音を測定するシステムのブロック図
である。

【００２７】図３において、被測定コイル１は、巻線２
を持つコモンモードチョークコイル、或いはノーマルモ
ードチョークコイルである。被測定コイル１の巻線２の
端子１０には、ノイズシュミレータ４から終端器３を経
て、高電圧インパルスが印加されている。

【００２８】集音、分音システムとしては、騒音計２
１、ディジタルオシロスコープ２３、又は高速フーリエ
変換解析器（ＦＦＴアナライザー）２４から構成され
る。発生する放電音を測定するには、騒音計２１によ
る。この騒音計２１は、集音装置として防風スクリーン
内にマイクロホン２２が設置されており、このマイクロ
ホン２２で音を感知し、電圧に変換し、更に、内部の電
気回路で、その電圧を減衰・増幅させ、集音した騒音レ
ベルを測定するものである。その騒音レベルは、タイム
ドメインレベルでディジタルオシロスコープ２３を使用
し、又は、周波数ドメインレベルでは、ＦＦＴアナライ
ザー２４を用いて観測する。前記ディジタルオシロスコ
ープ２３及び前記ＦＦＴアナライザー２４以外は、防音
箱２５内に設置されている。防音箱は、コンクリート製
の箱を用いた。

【００２９】図４は、その実施例２の記録結果、タイム
ドメインでの放電音の騒音レベルの観測結果である。印
加したインパルス波形は、パルス幅１μｓｅｃで、電圧
の高さを１０００Ｖから１８００Ｖまで変化させた。各
々、図４（ａ）は、電圧の高さが１０００Ｖの場合で、
放電音を測定する装置によって放電音を発生しない時の
波形を示す図であり、図４（ｂ）は、電圧の高さが１１
００Ｖの場合、図４（ｃ）は、電圧の高さが１８００Ｖ
の場合の放電音波形である。騒音計の出力電圧を縦軸に
とり、時間を横軸にとり、その各電圧のパラメーターと
も同じ値とした。図４の縦軸の１目盛りが５００ｍＶで
あり、横軸の１目盛りが５００μｓｅｃである。

【００３０】又、図５に、実施例２の記録結果、ＦＦＴ
アナライザー２４を用いて測定した周波数ドメインでの
放電音の音圧レベルの観測結果を示す。測定条件は、図
４の場合と同じである。騒音の周波数をＸ軸にとり、騒
音の相対レベルをＹ軸に、騒音の時間経過をＺ軸にとっ
た。

【００３１】この測定の結果では、図４において、イン
パルス電圧１８００Ｖにて、異常に高いレベルの放電音
が観測されているとおり、周波数ドメインにおいても、
図５に示すように、インパルス電圧１８００Ｖにおい
て、同様に、約５ＫＨｚから２０ＫＨｚの周波数帯に異
常に高いレベルの放電音のスペクトラムが観測される。

【００３２】従来のインパルス巻線試験器による減衰振
動波形では、巻線２の絶縁低下や絶縁破壊の兆候を上記
したレベルでは、捉えることが不可能である。本発明に
よる放電音の測定では、防音箱２５内の測定なので、微
弱な放電の兆候を捉えることが可能である。

【００３３】放電音の測定の結果と、前もって測定した
正常なコイルの測定値との比較により、その良否を決め
ておくことにより、コイル等の生産現場にも適応が可能
である。

【００３４】（実施例３）以下に、本発明の実施例３を
図面をもとに説明する。

【００３５】図６は、本発明の実施例３を示すコイルの
放電現象による放電光及び放電音を測定するシステムの
ブロック図である。

【００３６】図６において、防音性暗箱２６内に設置さ
れた被測定コイル１は、巻線２を持つコモンモードチョ
ークコイル、或いはノーマルモードチョークコイルであ
る。被測定コイル１の巻線２の端子１０には、ノイズシ
ュミレータ４から終端器３を経て、高電圧インパルスが
印加されている。

【００３７】一方、発生する放電光を測定するには、分
光器システム５による。この集光・分光システムとして
の分光器システム５は、モノクロメーター、メインアン
プと記録計から構成される。モノクロメーターは、集光
装置の集光レンズ、光分析装置、光電子増倍管、波長駆
動装置から構成される。被測定電子部品の放電により、
放電光が集光装置の集光レンズ６に入射し、その放電光
の入射光は光分析装置に入り、ある特定の波長、もしく
はスペクトラムに波長駆動装置によって分解され、前記
放電光の強さのレベルを測定する。その測定の結果は、
メインアンプ８で規定の値まで増幅し、記録計７によっ
て記録する。

【００３８】又、前述のように、集音、分音システム
は、騒音計２１、ディジタルオシロスコープ２３、又は
ＦＦＴアナライザー２４から構成される。発生する放電
音を測定するには、防音性暗箱２６内に設置した騒音計
２１による。この騒音計２１は、集音装置として防風ス
クリーン内にマイクロホン２２が設置されて、このマイ
クロホン２２で音を感知し、電圧に変換し、更に、内部
の電気回路で、その電圧を減衰・増幅させ、集音した放
電の騒音レベルを測定するものである。その測定結果
は、タイムドメインにおいて、ディジタルオシロスコー
プ２３で観測する。又、周波数ドメインにおける放電音
の騒音レベルは、ＦＦＴアナライザー２４にて観測す
る。

【００３９】この放電光及び放電音を測定するシステム
において、被測定コイル１、分光器システム５、及び騒
音計２１は、防音性暗箱内に設置し、その他の機器は外
部に設置する。防音性暗箱は、コンクリート製の箱を用
いた。

【００４０】図７に、その一実施例の記録結果として、
放電光を分光器システムで測定した放電光のスペクトラ
ム及び放電音のディジタルオシロスコープで測定した放
電音の波形を示す。印加したインパルス波形は、パルス
幅１μｓｅｃで、電圧の高さ５００Ｖから１８００Ｖま
で変化させた。図７（ａ）は、電圧の高さが５００Ｖの
場合であり、放電光を測定する装置によって放電光を発
しない時のスペクトラムを示す図である。図７（ｂ）
は、電圧の高さが１１００Ｖの場合であり、放電光を測
定する装置によって放電光を発した時のスペクトラムを
示す図である。図７（ｃ）は、電圧の高さが１８００Ｖ
の場合であり、放電光を測定する装置によって放電光を
発した時のスペクトラムを示す図である。図７（ｄ）
は、電圧の高さが５００Ｖの場合であり、放電音を測定
する装置によって放電音を発しない時の波形を示す図で
ある。図７（ｅ）は、電圧の高さが１１００Ｖの場合で
あり、放電音を測定する装置によって放電音を発した時
の波形を示す図である。図７（ｆ）は、電圧の高さが１
８００Ｖの場合であり、放電音を測定する装置によって
放電音を発した時の波形を示す図である。

【００４１】この測定結果では、インパルス電圧１８０
０Ｖにおいて、異常に高いレベルの放電光のスペクトラ
ムが観測され、同時に放電音の騒音レベルも高いレベル
が観測されている。この試験結果では、５００Ｖ、１１
００Ｖ、１８００Ｖの３ポイントの波形を示している
が、連続的にインパルス電圧を変化させても、放電光と
放電音とがよく対応していることが確認されている。

【００４２】又、図８に、インパルス電圧１１００Ｖ、
及び１８００Ｖにおける放電音のＦＦＴアナライザーに
よる観測結果を示す。Ｘ軸に騒音の周波数、Ｙ軸に騒音
の相対レベル、Ｚ軸に騒音の時間経過をとっている。こ
の測定結果から、インパルス電圧が１８００Ｖになる
と、約５ＫＨｚから２０ＫＨｚの周波数帯に放電音のス
ペクトラムが顕著に見られることがわかる。

【００４３】以上のように、放電光のスペクトラム、放
電音のレベル、及び放電音のスペクトラムを同時に観測
することによって、非常に精度の高い測定が可能とな
り、コイルの絶縁低下や絶縁破壊の微弱な兆候を捉える
ことが可能となる。

【００４４】放電光及び放電音の測定結果と前もって測
定した正常なコイルの測定値との比較により、その良否
を決めておくことにより、コイル等の生産現場の品質管
理にも適応が可能である。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明は、高電圧インパル
ス電圧をコイルに印加した時の放電現象による放電光を
暗箱の中で測定するので、絶縁低下や絶縁破壊の微弱な
兆候が測定でき、品質の向上に寄与できる。更に、暗箱
の中で測定するので、高電圧による感電事故を防止でき
る。

【００４６】又、高電圧インパルス電圧をコイルに印加
した時の放電現象による放電音を防音箱の中で測定する
ので、絶縁低下や絶縁破壊の微弱な兆候が測定できる。
又、コイル等の生産現場において、その良否の判定に用
いて、品質の向上に寄与できる。更に、防音箱の中で測
定するので、高電圧による感電事故を防止できる。

【００４７】又、高電圧インパルス電圧をコイルに印加
した時の放電現象による放電光及び放電音を防音性暗箱
の中で測定するので、絶縁低下や絶縁破壊の微弱な兆候
が測定でき、精度の高い良否の判定が可能となるので、
コイル等の生産品質の向上に寄与できる。更に、防音性
暗箱の中で測定するので、高電圧による感電事故を防止
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の放電光を測定するシステムのブロック
図。

【図２】本発明のシステムにより測定した放電光のスペ
クトラムを示す図。図２（ａ）は、電圧の高さが１１０
０Ｖの場合の本発明の装置によって測定した放電光のス
ペクトラムを示す図。図２（ｂ）は、電圧の高さが１４
００Ｖの場合の本発明の装置によって測定した放電光の
スペクトラムを示す図。図２（ｃ）は、電圧の高さが１
８００Ｖの場合の本発明の装置によって測定した放電光
のスペクトラムを示す図。

【図３】本発明の放電音を測定するシステムのブロック
図。

【図４】本発明のシステムにより測定したタイムドメイ
ンでの放電音の波形を示す図。図４（ａ）は、本発明の
電圧の高さが１０００Ｖの場合の放電音を測定する装置
によって測定した、放電音を発しない時の波形を示す
図。図４（ｂ）は、本発明の電圧の高さが１１００Ｖの
場合の放電音を測定する装置によって測定した放電音波
形を示す図。図４（ｃ）は、本発明の電圧の高さが１８
００Ｖの場合の放電音を測定する装置によって測定した
放電音波形を示す図。

【図５】本発明のシステムにより測定した周波数ドメイ
ンでの放電音のスペクトラムを示す図。図５（ａ）は、
本発明の電圧の高さが１１００Ｖの場合の放電音のスペ
クトラムを示す図。図５（ｂ）は、本発明の電圧の高さ
が１８００Ｖの場合の放電音のスペクトラムを示す図。

【図６】本発明の放電光及び放電音を測定するシステム
のブロック図。

【図７】本発明のシステムにより測定した放電光のスペ
クトラム及び放電音の波形を示す図。図７（ａ）は、電
圧の高さが５００Ｖの場合の放電光を測定する装置によ
って測定した放電光を発しない時のスペクトラムを示す
図。図７（ｂ）は、電圧の高さが１１００Ｖの場合の放
電光を測定する装置によって測定した放電光を発した時
のスペクトラムを示す図。図７（ｃ）は、電圧の高さが
１８００Ｖの場合の放電光を測定する装置によって測定
した放電光を発した時のスペクトラムを示す図。図７
（ｄ）は、電圧の高さが５００Ｖの場合の放電音を測定
する装置によって測定した放電音を発しない時の波形を
示す図。図７（ｅ）は、電圧の高さが１１００Ｖの場合
の放電音を測定する装置によって測定した放電音を発し
た時の波形を示す図。図７（ｆ）は、電圧の高さが１８
００Ｖの場合の放電音を測定する装置によって測定した
放電音を発した時の波形を示す図。

【図８】本発明のシステムにより測定した放電音のスペ
クトラムを示す図。図８（ａ）は、本発明の電圧の高さ
が１１００Ｖの場合の放電音のスペクトラムを示す図。
図８（ｂ）は、本発明の電圧の高さが１８００Ｖの場合
の放電音のスペクトラムを示す図。

【図９】従来例のインパルス巻線試験器のシステムのブ
ロック図。

【符号の説明】

１被測定コイル２巻線３終端器４ノイズシュミレーター５分光器システム６集光レンズ７記録計８メインアンプ９暗箱１０端子１１，１３コンデンサ１２高圧電源１４サイリスタ（ＳＣＲ）１５トリガ回路１６高速Ａ／Ｄコンバータ１７メモリ（ＲＡＭ）１８表示器１９（制御部）マイクロコンピュータ２０Ｄ／Ａコンバータ２１騒音計２２マイクロホン２３ディジタルオシロスコープ２４高速フーリエ変換解析器（ＦＦＴアナライザ
ー）２５防音箱２６防音性暗箱

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定電子部品に高電圧を印加し、前記
被測定電子部品の放電光の有無を検出し、前記放電光の
波長を分析測定することにより、前記被測定電子部品の
耐電圧特性を測定評価することを特徴とする電子部品耐
電圧測定方法。
【請求項２】少なくとも被測定電子部品、及び集光装
置を外部からの光を遮断する機能を有する箱内に収納す
ることを特徴とする請求項１記載の電子部品耐電圧測定
装置。
【請求項３】被測定電子部品に高電圧を印加し、前記
被測定電子部品の放電音の有無を検出し、前記放電音の
周波数を分析測定することにより、前記被測定電子部品
の耐電圧特性を測定評価することを特徴とする電子部品
耐電圧測定方法。
【請求項４】少なくとも被測定電子部品、及び集音装
置を外部からの音を遮断する機能を有する箱内に収納す
ることを特徴とする請求項３記載の電子部品耐電圧測定
装置。
【請求項５】被測定電子部品に高電圧を印加し、前記
被測定電子部品の放電光及び放電音の有無を検出し、前
記放電光の波長及び放電音の周波数を分析測定すること
により、前記被測定電子部品の耐電圧特性を測定評価す
ることを特徴とする電子部品耐電圧測定方法。
【請求項６】少なくとも被測定電子部品、集光装置、
及び集音装置を外部からの光及び音を遮断する機能を有
する箱内に収納することを特徴とする請求項５記載の電
子部品耐電圧測定装置。