JP2012242142A5

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Publication number: JP2012242142A5
Application number: JP2011109951A
Authority: JP
Filing date: 2011-05-16
Publication date: 2014-06-26
Anticipated expiration: 2031-05-16

Description

本発明に係る貼り合せ板状体検査装置は、透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域を有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ板状体を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置であって、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを有し、前記第１照明手段は、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を照明し、第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する構成となる。

また、本発明に係る貼り合せ板状体検査方法は、透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域とを有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ基板を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査方法であって、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを用い、前記第１照明手段が、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を照明するステップと、第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査するステップとを有し、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する構成となる。

反射板５２からの前記照明光Ｒ_L2（反射光）は、例えば、図６及び図８に示すように、センサパネルアッセンブリ１０における接着剤１３の異物や気泡の無い部分及びセンサパネル１１の回路素子の形成されていない部分を進むとそのままラインセンサカメラ５０に入射する。反射板５２による前記照明光Ｒ_L2（反射光）のセンサパネルアッセンブリ１０中の進路に、例えば、図７に示すように、センサパネル１１に形成された回路素子ＥＬがあると、その照明光Ｒ_L2は、その回路素子ＥＬによって遮蔽、屈折、散乱されてラインセンサカメラ５０に十分入射しない。反射板５２による前記照明光Ｒ_L2が、例えば、図９に示すように、接着剤１３中の気泡ＢＬの外表部を通ると、その照明光Ｒ_L2は、気泡ＢＬの外表部での屈折や散乱によってラインセンサカメラ５０に十分に入射しない。照明光Ｒ_L2が、例えば、図１０に示すように、気泡ＢＬの中央部を通ると、その照明光Ｒ_L2は、そのままラインセンサカメラ５０に入射し得る。反射板５２による前記照明光Ｒ_L2のセンサパネルアッセンブリ１０中の進路に、例えば、図１１に示すように、センサパネル１１に形成されたキズＤがあると、その照明光Ｒ_L2は、前記キズＤでの屈折や散乱によってラインセンサカメラ５０に十分入射しない。更に、反射板５２による前記照明光Ｒ_L2のセンサパネルアッセンブリ１０中の進路に、例えば、図１２に示すように、接着剤１３中に混ざった異物ＦＢがあると、その照明光Ｒ_L2は、異物ＦＢでの遮断、屈折、散乱によってラインセンサカメラ５０に十分入射しない。

次に、ラインセンサカメラ５０の撮影領域Ｅ_Cがカバーガラス１２の不透光領域１２ｂ（ラインセンサカメラ５０での撮影が実施的に影響されるほどの可視光が透過できない領域も含む）に対応する部分を移動する（ラインセンサカメラ５０が走査する）際には、センサパネル１１の表面に所定角度αをもって斜めに入射する（図３Ａ参照）照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1は、例えば、図１３〜図１５に示すように、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂに遮断されて反射板５２に達しない。このため、反射板５２の反射光（照明光Ｒ _L2）は生じることがなく、センサパネルアッセンブリ１０をカバーガラス１２側から通ってラインセンサカメラ５０に届く照明光は無い。

このような状況において、センサパネルアッセンブリ１０における走査方向Ｂ上流側の縁端部は、例えば、図１３に示すように、斜め上方の照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1に向かっていくように移動する（センサパネルアッセンブリ１０の当該縁端部が照明光Ｒ_L1の受け面となる）。図１３において、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２（不透明領域１２ｂ）の表面の領域Ｅ１を走査する場合、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がその領域Ｅ１で正反射してラインセンサカメラ５０に入射しない。オーバーフロー状態にある接着剤１３の先端１３ｐ１に照明光Ｒ_L1が入射すると、その照明光Ｒ_L1が接着剤１３の先端１３ｐ１で乱反射してその反射光の一部が位置Ｐ１にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。ラインセンサカメラ５０がオーバーフロー状態にある接着剤１３の表面の領域Ｅ２を走査する場合、センサパネル１１よりはみ出した接着剤１３の表面に凹凸があると、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1が接着剤１３の表面で乱反射してその反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。また、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１に入射すると、その照明光Ｒ_L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１で乱反射してその反射光の一部が位置Ｐ２にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。更に、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２の不透光領域１２ｂに対応したセンサパネル１１の領域Ｅ３を走査する場合、照明ユニット５１からの照明光Ｒ_L1は、センサパネル１１及び接着剤１３を透過するものの、カバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面で正反射してラインセンサカメラ５０に入射しない。そして、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２の透光領域１２ａに対応した領域Ｅ４を走査する場合は、前述したように（図６〜図１２参照）、反射板５２での反射光（照明光Ｒ _L2）がカバーガラス１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照射される状態となる。

更に、図１３と同様に、照明ユニット５１からの照明光Ｒ _L1に向かっていくように移動するセンサパネルアッセンブリ１０の走査方向Ｂ側の縁端部において接着剤１３がアンダーフロー状態となっている場合が図１５に示されている。

図１５において、照明ユニット５１からの照明光Ｒ _L1がセンサガラス１１を透過してアンダーフロー状態の接着剤１３の先端１３ｐ３に入射すると、その照明光Ｒ _L1が接着剤１３の先端１３ｐ３で乱反射してその反射光の一部がセンサガラス１１を透過して位置Ｐ２にあるラインセンサカメラ５０に入射し得る。他の場合、具体的には、ラインセンサカメラ５０がカバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面の領域Ｅ１を走査する場合、ラインセンサカメラ５０がセンサガラス１１の接着剤１３に接していない部分の領域Ｅ２を走査する場合、及びラインセンサカメラ５０がセンサガラス１１の前記領域Ｅ２に続く領域Ｅ３を走査する場合は、基本的に、照明ユニット５１からの照明光Ｒ _L1がカバーガラス１２の不透光領域１２ｂの表面にて正反射してラインセンサカメラ５０に光が入射しない。また、照明ユニット５１からの照明光Ｒ _L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１に入射する場合、図１３に示す場合と同様に、その照明光Ｒ _L1がセンサパネル１１の縁角１１ｐ１で乱反射してその反射光の一部がラインセンサカメラ５０に入射し得る。

Claims

透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域を有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ板状体を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置であって、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、
前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを有し、
前記第１照明手段は、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を斜めに照明し、
第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する貼り合せ板状体検査装置。
前記第２照明手段は、前記第２板状体に対向して配置され、前記貼り合せ板状体を透過した前記第１照明手段からの照明光を前記ラインセンサカメラに向けて反射する反射部材を有する請求項１記載の貼り合せ板状体検査装置。
前記第１照明手段により照明される前記貼り合せ板状体の表面における前記所定領域は、前記ラインセンサカメラの前記貼り合せ板状体の表面上での撮影領域に含まれない請求項１または２記載の貼り合せ板状体検査装置。
前記第１照明手段により照明される前記貼り合せ板状体の表面における前記所定領域は、前記ラインセンサの前記撮影領域より当該ラインセンサカメラの走査方向の上流側にある請求項３記載の貼り合せ板状体検査装置。
透光領域を有する第１板状体と、周辺部に形成された不透光領域と、該不透光領域の形成された周辺部より内側に形成された透光領域とを有する第２板状体とを透光性を有する接着剤にて貼り合せてなる貼り合せ基板を撮影して検査画像を生成する貼り合せ板状体検査方法であって、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体に対向して配置されるラインセンサカメラと、
前記貼り合せ板状体の前記第１板状体側から、光軸が前記ラインセンサカメラの光軸を横切ることのない状態で、当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段と、
前記貼り合せ板状体の前記第２板状体側から前記ラインセンサカメラに向けて照明する前記第１照明手段とは別の第２照明手段とを用い、
前記第１照明手段が、前記貼り合せ板状体の表面における前記ラインセンサカメラの撮影ラインから所定距離だけ離れて当該撮影ラインに沿った方向に延びる所定領域を斜めに照明するステップと、
第１照明手段及び第２照明手段による照明がなされている状態で、前記ラインセンサカメラと前記第１照明手段との相対的な位置関係を維持させつつ、前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査するステップとを有し、
前記ラインセンサカメラが前記貼り合せ板状体を走査することにより前記検査画像を生成する貼り合せ板状体検査方法。
前記第１照明手段により照明される前記貼り合せ板状体の表面における前記所定領域は、前記ラインセンサカメラの前記貼り合せ板状体の表面上での撮影領域に含まれない請求項５記載の貼り合せ板状体検査方法。