JP2012238812A - 受光デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に窪み6を形成し、底面部に内部配線電極8と貫通電極9と外部電極10を備え、ボンディングワイヤー5を介して受光素子4を実装している遮光機能を付加した黒色系ガラス基板2と、光フィルタ機能を付加した平板ガラス基板3を陽極接合により接合したパッケージ構成により、品質・信頼性の高いガラスパッケージ1を実現した。
【選択図】図1
Description
そのガラスパッケージは、前記のそれぞれの機能を持ったガラス基板の構成から、受光素子に必要な入射光のみを安定的に確実に受光することができる。
また、ガラス材料で構成されているため、耐熱性も高く、気密性も高い。また、材料違いによる線膨張係数の違いもないため、界面剥離などの問題も無く、品質・歩留まり及び信頼性の高い受光デバイス用パッケージを提供することができる。
さらに、この窪みが形成されたガラス基板は、黒色または類似した濃色を呈する。具体的には、300〜1000nmの光の透過率が5%以下が望ましい。これにより、当該パッケージの下面及び側面から入射する受光素子に不要な光を確実に遮断することができる。
前記光フィルタ機能を有するガラス基板は、金属酸化膜の多層膜を有するガラスであること、またはガラス自体がフィルタ機能を有するガラス基板材料であることを特徴とする。
よって、品質・歩留まり及び信頼性の高い受光デバイス用パッケージを実現できる。
以下、本発明の受光デバイスの実施例を、図面を用いて具体的に説明する。
本実施例の受光デバイス1を図1に基づいて説明する。図1は受光デバイス1の模式的な断面図であり、図2、図3の部分XXの模式的な縦断面図である、図2は、受光デバイス1の模式的な表平面図である。図3は、受光デバイス1の模式的な裏平面図である。
外部電極10a、10b、10c、10dは、受光デバイス1のパッケージ電極端子として機能する。
また、ボンディングワイヤーは、金(Au)、銅(Cu)ワイヤーを用いる。
例えば、ガラス基板3の表面3a、裏面3bそれぞれに、酸化チタン(TiO2)、酸化シリコン(SiO2)の金属酸化膜を、膜厚50〜200nmで交互に20〜50層の多層に成膜することにより、視感度補正に近いフィルタ効果を有するガラス基板材3を使用することができる。
また、例えばリン酸塩系ガラスを用いたり、ガラス材に酸化銅などの顔料を添加することにより、ガラス自体で特定波長のカットを可能にした光フィルタ機能を付加したガラス基板材3を使用することができる。
2 ガラス基板
3 光フィルタ機能付き平板ガラス基板
4 受光素子
5 ワイヤー
6 窪み
7 接合部
8 内部配線電極
9 貫通電極
10 外部電極
Claims (7)
- 窪みを有するガラス基板と、
前記窪みの底面に形成された複数の配線電極と、
前記底面に実装され、前記配線電極と導通する受光素子と、
前記ガラス基板の底面から裏面へ露出する複数の貫通電極と、
前記裏面に形成され、前記貫通電極と導通する複数の外部電極と、
前記窪みを覆うように前記ガラス基板と貼り合わされる平板ガラス基板と、
からなる受光デバイスにおいて、
前記平板ガラス基板は、光フィルタ機能を有することを特徴とする受光デバイス。 - 前記窪みを有するガラス基板は、遮光性機能を有していることを特徴とする請求項1記載の受光デバイス。
- 前記窪みを有するガラス基板は、黒色または濃色を呈するガラスであることを特徴とする請求項1又は2に記載の受光デバイス。
- 前記窪みを有するガラス基板は、波長300〜1000nmの透過率が5%以下であることを特徴とする請求項3記載の受光デバイス。
- 前記平板ガラス基板は、金属酸化膜の多層膜を有するガラスであることを特徴とする請求項1から4のうちいずれか1項に記載の受光デバイス。
- 前記平板ガラス基板は、ガラス自体が光フィルタ機能を有することを特徴とする請求項1から5のうちいずれか1項に記載の受光デバイス。
- 前記窪みを有するガラス基板と前記平板ガラス基板とは、陽極接合で接合されていることを特徴とする請求項1から6のうちいずれか1項に記載の受光デバイス。
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