JP2012237914A - 物体搬出方法、物体交換方法、物体保持装置、物体交換システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板ステージ20aは、基板ホルダ30aから加圧気体を噴出して基板P1を浮上させ、基板ホルダ30aに内蔵された基板搬出装置70aを用いて、基板ホルダ30aの上面(基板載置面)をガイド面として基板P1を水平面に沿って移動させることにより基板ホルダ30aから搬出する。このため、基板P1に対する露光処理が終了した後、基板交換のために基板ステージ20aを基板交換位置に位置させる前に基板P1の搬出動作を開始することができる。次に露光予定の別の基板P2は、基板P1の搬出動作が行われる際、基板ホルダ30aの上方に待機しており、基板P1の搬出動作完了後に基板ステージ20aが有する数の基板リフト装置46aに受け渡される。
【選択図】図5
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図10(C)を用いて説明する。
次に第2の実施形態について図11及び図12を用いて説明する。本第2の実施形態に係る液晶露光装置は、基板ホルダ30bの構成を除き、上記第1の実施形態の液晶露光装置10(図1参照)と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態について図13を用いて説明する。上記第1及び第2の実施形態では、基板ホルダ30a、30b(それぞれ図2、図9参照)が基板搬出装置70aを有していたのに対し、本第3の実施形態では、図13に示されるように、基板ステージ20cは、基板ホルダ30cの外部であって、基板ホルダ30cの+Y側、及び−Y側それぞれに基板搬出装置70aを有している。例えば2つの基板搬出装置70aそれぞれの構成は、上記第1の実施形態と同じである。また、基板搬出装置70aの配置を除く部分については、上記第2の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1及び第2の実施形態と同じ構成、機能を有する要素については、上記第2の実施形態(あるいは第1の実施形態)と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第4の実施形態について図14〜図15(C)を用いて説明する。上記第3の実施形態(図13参照)では、基板搬出装置70aの構成が上記第1の実施形態と同じであったのに対し、図14に示される本第4の実施形態では、基板搬出装置70dの構成が異なる。なお、基板搬出装置70dの構成を除く部分については、上記第3の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第3の実施形態と同じ構成、機能を有する要素については、上記第3の実施形態(あるいは第1及び第2の実施形態)と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (38)
- 物体保持装置が有する物体保持部材上に載置された物体を該物体保持部材上から搬出する物体搬出方法であって、
前記物体を保持した前記物体保持装置を、前記物体保持部材上から前記物体を搬出する物体搬出位置に向けて移動させることと、
前記物体保持装置が前記物体搬出位置に到達する前に、前記物体を前記物体保持部材上から搬出する搬出動作を開始することと、を含む物体搬出方法。 - 前記搬出動作を開始することでは、前記物体保持装置が有する搬出装置を用いて前記物体を前記物体保持部材に対して移動させる請求項1に記載の物体搬出方法。
- 前記物体の前記物体保持部材からの搬出は、前記物体保持部材の物体載置面に載置された前記物体を、前記物体保持装置が有するガイド部材によって規定されるガイド面にガイドさせ前記物体保持部材上から前記物体載置面に沿った方向に移動させることにより行う請求項1又は2に記載の物体搬出方法。
- 前記物体は、前記物体搬出位置において第1の方向に移動されることにより前記物体保持装置から搬出され、
前記搬出動作は、前記物体保持装置の前記第1の方向に交差する第2の方向への移動と並行して行われる請求項1〜3のいずれか一項に記載の物体搬出方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の物体搬出方法によって前記搬出動作を開始することと、
前記物体保持装置が前記物体搬出位置に到達する前に、別の物体を所定の待機位置に待機させることと、
前記物体保持装置が前記物体搬出位置に位置した状態で前記物体を前記物体保持装置から搬出することと、
前記待機位置に位置する前記別の物体を前記物体保持装置上に搬入することと、を含む物体保持装置上の物体交換方法。 - 前記搬出することでは、前記物体を前記物体載置面に平行な二次元平面に沿って移動させ、
前記搬入することでは、前記別の物体を前記二次元平面に直交する方向に移動させる請求項5に記載の物体交換方法。 - 前記別の物体を搬入することでは、前記物体保持装置に設けられた物体受け取り装置を用いて前記別の物体を受け取る請求項5又は6に記載の物体交換方法。
- 物体保持装置が有する物体保持部材上に載置された物体の交換を行う物体交換方法であって、
前記物体保持部材の上方に搬入対象の物体を搬送することと、
前記物体保持装置に設けられた物体受け取り装置を用いて、前記物体保持部材の上方に搬送された前記搬入対象の物体を受け取ることと、
前記物体保持部材の物体載置面に載置された搬出対象の物体を、前記物体保持装置が有するガイド部材によって規定されるガイド面にガイドさせ、前記物体保持装置が有する物体搬出装置を用いて前記物体保持部材上から前記物体載置面に沿った方向に搬出することと、を含む物体交換方法。 - 前記搬出対象の物体を保持した物体保持装置を、前記物体保持部材上から前記物体を搬出する物体搬出位置に向けて移動させることを更に含み、
前記搬出することでは、前記物体保持装置が前記物体搬出位置に到達する前に、前記物体を前記物体保持部材上から搬出する搬出動作を開始する請求項8に記載の物体交換方法。 - 前記搬出することでは、前記物体保持部材を前記ガイド部材とし、前記物体載置面を前記ガイド面として前記搬出対象の物体を移動させる請求項8又は9に記載の物体交換方法。
- 前記ガイド部材は、前記物体受け取り装置に設けられ、
前記搬入することでは、前記搬入対象の物体が前記ガイド部材に受け渡される請求項8又は9に記載の物体交換方法。 - 搬入された物体が載置される物体載置面を有し、前記物体載置面上に載置された前記物体を保持可能な物体保持部材と、
前記物体保持部材が保持する前記物体を前記物体保持部材上から外部に搬出する搬出装置と、を備える物体保持装置。 - 前記物体保持部材の前記物体載置面には、凹部が形成され、
前記搬出装置は、前記凹部内に収容される請求項12に記載の物体保持装置。 - 前記搬出装置は、前記物体保持部材の外側に配置される請求項13に記載の物体保持装置。
- 前記物体保持部材を所定の二次元平面に沿って所定のストロークで誘導する誘導装置を更に備え、
前記搬出装置は、前記誘導装置に設けられる請求項14に記載の物体保持装置。 - 前記搬出装置は、複数設けられる請求項12〜15のいずれか一項に記載の物体保持装置。
- 前記搬出装置は、前記物体を保持する保持装置を有し、
前記保持装置は、前記物体を保持可能な位置と、前記物体から離間した位置との間を前記物体に対して相対移動可能に設けられる請求項12〜16のいずれか一項に記載の物体保持装置。 - 前記保持装置は、前記物体の表面に平行な方向、及び前記物体の表面に直交する方向の少なくとも一方に相対移動可能である請求項17に記載の物体保持装置。
- 前記物体保持部材は、前記物体に所定の処理が行われる物体処理位置と、前記物体の搬出が行われる物体搬出位置との間で移動可能に設けられ、
前記搬出装置は、前記物体保持部材が前記物体搬出位置に到達する前に、前記物体を前記物体保持部材上から搬出する搬出動作を開始する請求項12〜18のいずれか一項に記載の物体保持装置。 - 請求項12〜19のいずれか一項に記載の物体保持装置と、
前記物体保持部材の上方に搬入対象の物体を搬送する搬入装置と、
前記物体保持装置に設けられ、前記搬入対象の物体を前記搬入装置から受け取る物体受け取り装置と、
前記物体保持装置に設けられ、前記搬出装置によって搬出される搬出対象の物体をガイドするガイド面を規定するガイド部材と、を備える物体交換システム。 - 前記搬出対象の物体は、前記物体保持装置の前記物体保持部材を前記ガイド部材とし、該物体保持部材の前記物体載置面を前記ガイド面として移動する請求項20に記載の物体交換システム。
- 前記ガイド部材は、前記物体受け取り装置に設けられ、
前記搬入対象の物体は、前記搬入装置から前記ガイド部材に受け渡される請求項20に記載の物体交換システム。 - 前記ガイド部材は、前記物体載置面から付き出した突出位置と、前記物体保持部材内に収容された収容位置との間を移動可能に設けられ、
前記搬出対象の物体は、前記突出位置に位置された前記ガイド部材上を移動する請求項22に記載の物体交換システム。 - 前記ガイド部材は、前記搬出対象の物体を非接触支持する請求項20〜23のいずれか一項に記載の物体交換システム。
- 前記搬出装置は、前記搬出対象の物体を前記物体載置面に平行な二次元平面に沿って移動させる請求項20〜24のいずれか一項に記載の物体交換システム。
- 前記搬入装置は、前記搬入対象の物体を前記物体載置面に平行な二次元平面に沿って移動させ、
前記物体受け取り装置は、前記二次元平面に直交する方向に移動可能な可動部材を有し、該可動部材を用いて前記搬入対象の物体を前記搬入装置から受け取る請求項20〜25のいずれか一項に記載の物体交換システム。 - 前記搬入装置は、前記搬入対象の物体を支持する支持部材を有し、
前記支持部材には、前記搬入対象の物体の搬入時における移動方向前側に開口した切り欠きが形成され、前記搬入対象の物体の受け渡し時に前記切り欠き内に前記可動部材が挿入される請求項26に記載の物体交換システム。 - 前記搬入装置は、前記支持部材の移動を案内する案内部材を、前記二次元平面に平行な平面内で前記支持部材の移動方向に直交する方向に関して前記支持部材の一側及び他側それぞれに有する請求項27に記載の物体交換システム。
- 前記物体搬入装置の支持部材に外部装置から前記搬入対象の物体を受け渡すための受け渡し部材が、前記支持部材の一側及び他側に配置された前記案内部材間に挿入される請求項28に記載の物体交換システム。
- 前記物体保持部材を所定の二次元平面に沿って所定のストロークで誘導する誘導装置を更に備え、
前記物体受け取り装置は、前記誘導装置に設けられる請求項20〜29のいずれか一項に記載の物体交換システム。 - 前記搬出装置により搬出される前記搬出対象の物体を前記ガイド部材と共にガイドし、前記物体保持装置から搬出された前記搬出対象の物体を受け取る搬出用受け取り部材を更に備え、
前記搬出用受け取り部材は、前記物体の幅よりも広幅に設定されたガイド面を有する請求項20〜30のいずれか一項に記載の物体交換システム。 - 前記搬入装置から前記物体受け取り装置への前記搬入対象の物体の受け渡しが行われる際の前記物体保持装置の位置と、前記搬出装置による前記搬出対象の物体の搬出が行われる際の前記物体保持装置の位置とが同じである請求項20〜31のいずれか一項に記載の物体交換システム。
- 請求項12〜19のいずれか一項に記載の物体保持装置と、
前記物体保持装置に保持された前記物体に対してエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 請求項20〜32のいずれか一項に記載の物体交換システムと、
前記物体保持装置に保持された前記物体に対してエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項33又は34に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さが500mm以上である請求項35に記載の露光装置。
- 請求項33〜36のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項33又は34に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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