JP2012234843A - X線管 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 X線を発生するターゲット基材、あるいはX線を取り出す窓材の表面に、X線の透過度が交互に変化する複数の輪帯を形成し、この輪帯によってX線を平行化、あるいは収束化するようにした。また、X線を平行化するマイクロキャピラリの内面にターゲット基材を蒸着し、マイクロキャピラリとターゲット基材を兼用するようにした。X線管単体で平行化、収束化したX線が得られるので、機器の構成を簡略化できる。また、測定対象とX線管のアラインメントが変化しても、測定精度が低下しない。
【選択図】 図1
Description
電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源が放出した電子が照射され、複数の貫通穴が形成されると共に、この貫通穴の内面に電子が衝突することによりX線を放射する部材が配置されるマイクロキャピラリと、
前記マイクロキャピラリが放射したX線を外部に取り出す窓材と、
を具備したものである。X線を発生させるターゲット基材とX線を平行化する部材を兼ねることができるので、ゾーンプレート等のX線を平行化、収束化する部材が不要になり、X線の減衰を小さくすることができる。
前記X線を放射する部材を、前記マイクロキャピラリの前記電子が衝突する面にも配置するようにしたものである。発生するX線の強度が高くなる。
前記マイクロキャピラリは、複数の中空パイプを束ねたものである。簡単にマイクロキャピラリを作ることができる。
本発明によれば、X線を発生させるターゲット基材、あるいはX線を外部に取り出す窓材と、X線を平行化、収束化する部材を兼用するようにした。
λ=c/(e/h)=ch/e ・・・・・・・ (2)
但し、c=光速(2.99792458E+08m/s)、h=プランク定数(6.62602876E-34)、e=電子の電荷(1.6021892E-19J、1J=6.24E18eVで換算)である。
5keVでλ≒0.248nm
10leVでλ≒0.124nm
になる。5keVのX線を焦点距離f=1000mm位置に収束させるためには、最内側の輪帯の半径r1を15.7μmにすればよい。
11 ゾーンプレート
12 測定対象
14 検出器
21、26 ヒータ
22、27 ターゲット基材
23、28、30 窓材
24、29 高圧電源
31、32 カソード
40 マイクロキャピラリ
41 中空パイプ
42 タングステン
Claims (3)
- 電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源が放出した電子が照射され、複数の貫通穴が形成されると共に、この貫通穴の内面に電子が衝突することによりX線を放射する部材が配置されるマイクロキャピラリと、
前記マイクロキャピラリが放射したX線を外部に取り出す窓材と、
を具備したことを特徴とするX線管。 - 前記X線を放射する部材を、前記マイクロキャピラリの前記電子が衝突する面にも配置するようにしたことを特徴とする請求項1記載のX線管。
- 前記マイクロキャピラリは、複数の中空パイプを束ねたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線管。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPWO2020084890A1 (ja) * | 2018-10-25 | 2021-09-16 | 株式会社堀場製作所 | X線分析装置及びx線発生ユニット |
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2012
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JP7270637B2 (ja) | 2018-10-25 | 2023-05-10 | 株式会社堀場製作所 | X線分析装置及びx線発生ユニット |
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