JP5119974B2 - X線管 - Google Patents
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Description
電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源が放出した電子が衝突することによりX線を放射する部材を具備し、前記電子が衝突する表面に同心円状にX線が透過し易い領域とX線が透過し難い領域を交互に設けたターゲット基材と、
前記ターゲット基材を透過したX線を外部に取り出す窓材と、
を具備し、
前記X線が透過し難い部分の厚さを、前記X線が透過し易い部分の厚さより厚くするようにし、
前記X線を放射する部材は、タングステンであり、
前記窓材は、同心円の複数の輪帯を備え、この輪帯を1つおきにX線が透過し易い状態と透過し難い状態になるようにしたことを特徴とする。
請求項1に記載のX線管において、
前記窓材は、輪帯の厚さを交互に変えて形成されたことを特徴とする。
請求項1に記載のX線管において、
前記窓材は、シリカガラスで作成しX線が透過し難いボイドを埋め込むようにしてX線が透過し難い輪帯を形成したことを特徴とする。
請求項1〜3のいずれかに記載のX線管において、
前記窓材は、輪帯に直行する方向にリブを備えることを特徴とする。
請求項1,2、3、4の発明によれば、X線を発生させるターゲット基材、あるいはX線を外部に取り出す窓材と、X線を平行化、収束化する部材を兼用するようにした。
λ=c/(e/h)=ch/e ・・・・・・・ (2)
但し、c=光速(2.99792458E+08m/s)、h=プランク定数(6.62602876E-34)、e=電子の電荷(1.6021892E-19J、1J=6.24E18eVで換算)である。
5keVでλ≒0.248nm
10leVでλ≒0.124nm
になる。5keVのX線を焦点距離f=1000mm位置に収束させるためには、最内側の輪帯の半径r1を15.7μmにすればよい。
11 ゾーンプレート
12 測定対象
14 検出器
21、26 ヒータ
22、27 ターゲット基材
23、28、30 窓材
24、29 高圧電源
31、32 カソード
40 マイクロキャピラリ
41 中空パイプ
42 タングステン
Claims (4)
- 電子を放出する電子放出源と、
前記電子放出源が放出した電子が衝突することによりX線を放射する部材を具備し、前記電子が衝突する表面に同心円状にX線が透過し易い領域とX線が透過し難い領域を交互に設けたターゲット基材と、
前記ターゲット基材を透過したX線を外部に取り出す窓材と、
を具備し、
前記X線が透過し難い部分の厚さを、前記X線が透過し易い部分の厚さより厚くするようにし、
前記X線を放射する部材は、タングステンであり、
前記窓材は、同心円の複数の輪帯を備え、この輪帯を1つおきにX線が透過し易い状態と透過し難い状態になるようにしたことを特徴とするX線管。 - 前記窓材は、輪帯の厚さを交互に変えて形成されたことを特徴とする請求項1に記載のX線管。
- 前記窓材は、シリカガラスで作成しX線が透過し難いボイドを埋め込むようにしてX線が透過し難い輪帯を形成したことを特徴とする請求項1に記載のX線管。
- 前記窓材は、輪帯に直行する方向にリブを備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のX線管。
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JP2008045843A JP5119974B2 (ja) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | X線管 |
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JP2009205895A JP2009205895A (ja) | 2009-09-10 |
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JP2007188732A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Hitachi Zosen Corp | X線発生用ターゲットおよびその製造方法 |
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2008
- 2008-02-27 JP JP2008045843A patent/JP5119974B2/ja active Active
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